JPH07235496A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH07235496A JPH07235496A JP2255094A JP2255094A JPH07235496A JP H07235496 A JPH07235496 A JP H07235496A JP 2255094 A JP2255094 A JP 2255094A JP 2255094 A JP2255094 A JP 2255094A JP H07235496 A JPH07235496 A JP H07235496A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- film formation
- operation data
- substrate
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Abstract
(57)【要約】
【目的】 成膜材料の成膜パラメータが基板毎に少しず
つ異なる場合の処理を簡略化し、オペレータの負担を軽
減する。 【構成】 １枚の基板の成膜中に、オペレータが次の基
板の成膜で使用する運転データに上書きするデータを、
作成手段４により保持手段３に保持する。１枚の基板の
成膜終了を検出手段５で検出したら、転送手段６によっ
て記憶手段１から運転データを読み出し、保持手段２に
転送する。書込手段７は、必要に応じ保持手段２に転送
されたデータに対し、保持手段３に保持されたデータを
上書きし、この上書きされた保持手段２の内容にもとづ
き次回の成膜を行なう。
つ異なる場合の処理を簡略化し、オペレータの負担を軽
減する。 【構成】 １枚の基板の成膜中に、オペレータが次の基
板の成膜で使用する運転データに上書きするデータを、
作成手段４により保持手段３に保持する。１枚の基板の
成膜終了を検出手段５で検出したら、転送手段６によっ
て記憶手段１から運転データを読み出し、保持手段２に
転送する。書込手段７は、必要に応じ保持手段２に転送
されたデータに対し、保持手段３に保持されたデータを
上書きし、この上書きされた保持手段２の内容にもとづ
き次回の成膜を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、基板毎の成膜材料の
成膜を、予め作成した運転データにもとづき自動的かつ
連続的に行なうことが可能な半導体製造装置に関する。
成膜を、予め作成した運転データにもとづき自動的かつ
連続的に行なうことが可能な半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、連続して成膜を行なう場合は、運
転データを最初に読み込み、全ての基板の成膜が終了す
るまで、そのデータを保持するようにするか、または各
基板毎に運転データを用意しておき、１つの基板の成膜
が終了する毎に新しいデータを読み込むようにしている
ものが多い。また、自動運転時のオペレータによる運転
データのパラメータ変更は、運転に反映させることが必
要とされるため、成膜する基板毎に少しずつパラメータ
を変更しようとすると、 （１）各基板ごとに、少しずつ異なるパラメータを定義
した運転データを作成する。 （２）自動運転中、基板が変わる毎にオペレータが或る
定まったタイミングでパラメータの変更操作を行なう。 のいずれかの手当てをする必要がある。
転データを最初に読み込み、全ての基板の成膜が終了す
るまで、そのデータを保持するようにするか、または各
基板毎に運転データを用意しておき、１つの基板の成膜
が終了する毎に新しいデータを読み込むようにしている
ものが多い。また、自動運転時のオペレータによる運転
データのパラメータ変更は、運転に反映させることが必
要とされるため、成膜する基板毎に少しずつパラメータ
を変更しようとすると、 （１）各基板ごとに、少しずつ異なるパラメータを定義
した運転データを作成する。 （２）自動運転中、基板が変わる毎にオペレータが或る
定まったタイミングでパラメータの変更操作を行なう。 のいずれかの手当てをする必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
（１）項については、似たような運転データを大量に作
成しなければならないため作業が煩雑であるだけでな
く、その後に、運転データを選択しようとしてもその選
択が難しい、また、（２）項については変更のタイミン
グが正確でなければならないが、これをオペレータの操
作に委ねるには負担が大きくなる、などの問題がある。
したがって、この発明の課題はオペレータの負担を増大
させることなく、パラメータを容易に変更し得るように
することにある。
（１）項については、似たような運転データを大量に作
成しなければならないため作業が煩雑であるだけでな
く、その後に、運転データを選択しようとしてもその選
択が難しい、また、（２）項については変更のタイミン
グが正確でなければならないが、これをオペレータの操
作に委ねるには負担が大きくなる、などの問題がある。
したがって、この発明の課題はオペレータの負担を増大
させることなく、パラメータを容易に変更し得るように
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、第１の発明では、成膜材料の成膜を基板毎に予
め作成した運転データにもとづき自動的かつ連続的に行
なう半導体製造装置において、前記運転データを格納す
る記憶手段と、自動運転の際に参照する運転データを保
持する第１の保持手段と、自動運転中に次回の成膜に使
用する運転データを上書きするためのデータを作成する
作成手段と、この作成手段により作成されたデータを保
持する第２の保持手段と、１枚の基板の成膜が終了した
ことを検出する検出手段と、その成膜終了を検出する度
に前記運転データを前記記憶手段から第１の保持手段へ
と転送する転送手段と、この転送手段にて第１の保持手
段へと転送された運転データに前記第２の保持手段のデ
ータを上書きする書込手段とを設けたことを特徴として
いる。。
るため、第１の発明では、成膜材料の成膜を基板毎に予
め作成した運転データにもとづき自動的かつ連続的に行
なう半導体製造装置において、前記運転データを格納す
る記憶手段と、自動運転の際に参照する運転データを保
持する第１の保持手段と、自動運転中に次回の成膜に使
用する運転データを上書きするためのデータを作成する
作成手段と、この作成手段により作成されたデータを保
持する第２の保持手段と、１枚の基板の成膜が終了した
ことを検出する検出手段と、その成膜終了を検出する度
に前記運転データを前記記憶手段から第１の保持手段へ
と転送する転送手段と、この転送手段にて第１の保持手
段へと転送された運転データに前記第２の保持手段のデ
ータを上書きする書込手段とを設けたことを特徴として
いる。。
【０００５】第２の発明では、成膜材料の成膜を基板毎
に予め作成した運転データにもとづき自動的かつ連続的
に行なう半導体製造装置において、前記運転データを格
納する記憶手段と、自動運転の際に参照する運転データ
を保持する保持手段と、１枚の基板の成膜が終了したこ
とを検出する検出手段と、その成膜終了を検出する度に
前記運転データを前記記憶手段から前記保持手段へと転
送する転送手段と、自動運転中に前記記憶手段の運転デ
ータを書き換える書込手段とを設けたことを特徴として
いる。
に予め作成した運転データにもとづき自動的かつ連続的
に行なう半導体製造装置において、前記運転データを格
納する記憶手段と、自動運転の際に参照する運転データ
を保持する保持手段と、１枚の基板の成膜が終了したこ
とを検出する検出手段と、その成膜終了を検出する度に
前記運転データを前記記憶手段から前記保持手段へと転
送する転送手段と、自動運転中に前記記憶手段の運転デ
ータを書き換える書込手段とを設けたことを特徴として
いる。
【０００６】
（１）１枚の基板の成膜中に、オペレータが次の基板の
成膜で使用する運転データに上書きするデータを設定す
る。基板の成膜が終了すると、オペレータの設定したデ
ータが運転データに上書きされ、次の基板の成膜は上書
きされたデータにもとづき行なわれる。そのため、パラ
メータの異なる運転データを基板の枚数分用意する必要
がなくなり、書き換えのタイミング許容範囲が拡大され
る。 （２）１枚の基板の成膜中に、オペレータが記憶手段に
ある運転データを書き換える。基板の成膜が終了する
と、書き換えられた運転データが保持手段へ転送され、
次の基板の成膜は書き換えられた運転データにもとづき
行なわれる。このため、パラメータの異なる運転データ
を基板の枚数分用意する必要もなくなり、書き換えのタ
イミング許容範囲も広がる。
成膜で使用する運転データに上書きするデータを設定す
る。基板の成膜が終了すると、オペレータの設定したデ
ータが運転データに上書きされ、次の基板の成膜は上書
きされたデータにもとづき行なわれる。そのため、パラ
メータの異なる運転データを基板の枚数分用意する必要
がなくなり、書き換えのタイミング許容範囲が拡大され
る。 （２）１枚の基板の成膜中に、オペレータが記憶手段に
ある運転データを書き換える。基板の成膜が終了する
と、書き換えられた運転データが保持手段へ転送され、
次の基板の成膜は書き換えられた運転データにもとづき
行なわれる。このため、パラメータの異なる運転データ
を基板の枚数分用意する必要もなくなり、書き換えのタ
イミング許容範囲も広がる。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の概念を示すブロック図で、
記憶手段１、保持手段２，３、作成手段４、検出手段
５、転送手段６および書込手段７などから構成される。
図２は図１をマルチタスク・リアルタイムＯＳを備え
た、パーソナルコンピュータ（以下、パソコンとも略称
する）を用いて実現した具体例を示す構成図である。同
図では、記憶手段１を補助記憶で、保持手段２，３をメ
インメモリでそれぞれ実現し、また、作成手段（上書き
データの作成手段）４、検出手段（１つの基板の成膜終
了検出手段）５、転送手段（運転データの読み込み手
段）６および書込手段（運転データの上書き手段）７な
どは、並行動作が可能なプログラムによりそれぞれ実現
している。
記憶手段１、保持手段２，３、作成手段４、検出手段
５、転送手段６および書込手段７などから構成される。
図２は図１をマルチタスク・リアルタイムＯＳを備え
た、パーソナルコンピュータ（以下、パソコンとも略称
する）を用いて実現した具体例を示す構成図である。同
図では、記憶手段１を補助記憶で、保持手段２，３をメ
インメモリでそれぞれ実現し、また、作成手段（上書き
データの作成手段）４、検出手段（１つの基板の成膜終
了検出手段）５、転送手段（運転データの読み込み手
段）６および書込手段（運転データの上書き手段）７な
どは、並行動作が可能なプログラムによりそれぞれ実現
している。
【０００８】この発明の要件ではないが、自動運転のた
めの制御部も並行動作が可能なプログラムにより実現し
ている。記憶手段１には運転データ（Ｄ１）が、保持手
段２には参照データ（Ｄ２）が、また、保持手段３には
上書きデータ（Ｄ３）がそれぞれ記憶または保持されて
いる。
めの制御部も並行動作が可能なプログラムにより実現し
ている。記憶手段１には運転データ（Ｄ１）が、保持手
段２には参照データ（Ｄ２）が、また、保持手段３には
上書きデータ（Ｄ３）がそれぞれ記憶または保持されて
いる。
【０００９】運転データＤ１と参照データＤ２の構成は
同じとし、例えば図３のように、運転時の機器に対する
指示のブロック（ステップ）が、時間的に並んだ形とな
っている。ただし、この構成は単なる１例にすぎず、時
間順序を示すデータと操作を示すデータとに分け、両者
をポインタでつなぐ形式も考えられる。また、個々の機
器には識別のための番号が割り振られており、機器番号
（ａ）と操作内容（ｂ）がペアとなっている。
同じとし、例えば図３のように、運転時の機器に対する
指示のブロック（ステップ）が、時間的に並んだ形とな
っている。ただし、この構成は単なる１例にすぎず、時
間順序を示すデータと操作を示すデータとに分け、両者
をポインタでつなぐ形式も考えられる。また、個々の機
器には識別のための番号が割り振られており、機器番号
（ａ）と操作内容（ｂ）がペアとなっている。
【００１０】さらに、各ステップにはその継続時間
（秒）を示すデータがある。ここでは、簡単のため機器
番号（ａ），操作内容（ｂ）および継続時間（ｃ）が整
数値として表わされ、機器の個数を１０個としている。
したがって、整数の長さを１ワードとすると、１ステッ
プのデータ長Ｌは、 Ｌ＝１＋１０×２＝２１（ワード） となる。
（秒）を示すデータがある。ここでは、簡単のため機器
番号（ａ），操作内容（ｂ）および継続時間（ｃ）が整
数値として表わされ、機器の個数を１０個としている。
したがって、整数の長さを１ワードとすると、１ステッ
プのデータ長Ｌは、 Ｌ＝１＋１０×２＝２１（ワード） となる。
【００１１】自動運転では装置の状態を、参照データＤ
２にある各ステップの継続時間単位で、参照データＤ２
にあるその時刻に有効なステップで示された状態となる
ように制御する。その運転方法は本題とは関係ないので
詳述しないが、一般的には、定周期で装置に制御信号を
送る、または外部機器の要求があったときに制御信号を
送る、といった方法が知られている。
２にある各ステップの継続時間単位で、参照データＤ２
にあるその時刻に有効なステップで示された状態となる
ように制御する。その運転方法は本題とは関係ないので
詳述しないが、一般的には、定周期で装置に制御信号を
送る、または外部機器の要求があったときに制御信号を
送る、といった方法が知られている。
【００１２】自動運転データを書き換えるため、自動運
転の制御部と次の２つのデータを共有している。運転デ
ータの使用可／不可を示すフラグＦ１と、自動運転中か
否かを示すフラグＦ２である。両フラグとも整数値であ
り、Ｆ１は「１」で使用可、「０」で使用不可を示し、
Ｆ２は「１」で自動運転中、「０」で非自動運転中とす
る。
転の制御部と次の２つのデータを共有している。運転デ
ータの使用可／不可を示すフラグＦ１と、自動運転中か
否かを示すフラグＦ２である。両フラグとも整数値であ
り、Ｆ１は「１」で使用可、「０」で使用不可を示し、
Ｆ２は「１」で自動運転中、「０」で非自動運転中とす
る。
【００１３】上書きデータＤ３は例えば図４のように、
次回に上書きを行なう必要があるかどうかを示す全体判
定データ（ｄ）と、運転データと同じ構造，内容のダミ
ーデータ（ｅ）と、各データの上書きをするかしないか
を判定する個別判定データ（ｆ）とからなっている。上
記全体判定データ（ｄ）も、簡単のため整数値として表
わされていて、「０」なら上書きせず、「１」ならば上
書きすることを示すものとする。
次回に上書きを行なう必要があるかどうかを示す全体判
定データ（ｄ）と、運転データと同じ構造，内容のダミ
ーデータ（ｅ）と、各データの上書きをするかしないか
を判定する個別判定データ（ｆ）とからなっている。上
記全体判定データ（ｄ）も、簡単のため整数値として表
わされていて、「０」なら上書きせず、「１」ならば上
書きすることを示すものとする。
【００１４】次に、上書きデータの作成プログラムにつ
いて、図５を参照して説明する。オペレータから上書き
データを作成する旨の指示が与えられると、まず、自動
運転中かどうかを判断する（ステップＳ１）。この判断
は、フラグＦ２を見て行なう。自動運転中でなければ、
何もせずに指示待ちに戻る。自動運転中ならば、どのス
テップを上書きするのかオペレータの入力を待つ。ステ
ップ番号が入力されたら（ステップＳ２）、それが
「０」または存在しないステップ番号でないことを確認
した後（ステップＳ３）、運転データを上書きする機器
の番号入力を待つ。
いて、図５を参照して説明する。オペレータから上書き
データを作成する旨の指示が与えられると、まず、自動
運転中かどうかを判断する（ステップＳ１）。この判断
は、フラグＦ２を見て行なう。自動運転中でなければ、
何もせずに指示待ちに戻る。自動運転中ならば、どのス
テップを上書きするのかオペレータの入力を待つ。ステ
ップ番号が入力されたら（ステップＳ２）、それが
「０」または存在しないステップ番号でないことを確認
した後（ステップＳ３）、運転データを上書きする機器
の番号入力を待つ。
【００１５】機器の番号が入力されたなら、機器の種類
にしたがって上書きデータを受け取りダミーデータｅに
記録する（ステップＳ４）。このとき、全体／個別判定
データｄ，ｆも上書きすることを示すように、変更する
ものとする。なお、ここでは機器番号を「０」として継
続時間ｃも変更できるようにしている。
にしたがって上書きデータを受け取りダミーデータｅに
記録する（ステップＳ４）。このとき、全体／個別判定
データｄ，ｆも上書きすることを示すように、変更する
ものとする。なお、ここでは機器番号を「０」として継
続時間ｃも変更できるようにしている。
【００１６】例えば、ステップ１で番号２のバルブに対
し、「１」（開を示す操作内容）なる信号を受け取った
場合（ステップＳ５）、上書きデータのステップ１，機
器番号２の操作内容に当たるダミーデータｅを図６のよ
うに「１」とし、これと対応する個別判定データｆを
「１」、同様に全体判定データｄも「１」とする（ステ
ップＳ８）。なお、指定された機器のダミーデータｅと
個別判定データｆのメモリ上の位置は、次式により求め
る（ステップＳ６，Ｓ７）。 ダミーデータｅの位置 ：（ステップ番号−１）×２１
＋機器番号＋１ 個別判定データｆの位置：（ステップ番号−１）×１１
＋機器番号 その後は、再びオペレータのステップ番号入力待ちとな
り、ここでゼロまたは存在しないステップ番号が入力さ
れたら、このプログラムを終了する。
し、「１」（開を示す操作内容）なる信号を受け取った
場合（ステップＳ５）、上書きデータのステップ１，機
器番号２の操作内容に当たるダミーデータｅを図６のよ
うに「１」とし、これと対応する個別判定データｆを
「１」、同様に全体判定データｄも「１」とする（ステ
ップＳ８）。なお、指定された機器のダミーデータｅと
個別判定データｆのメモリ上の位置は、次式により求め
る（ステップＳ６，Ｓ７）。 ダミーデータｅの位置 ：（ステップ番号−１）×２１
＋機器番号＋１ 個別判定データｆの位置：（ステップ番号−１）×１１
＋機器番号 その後は、再びオペレータのステップ番号入力待ちとな
り、ここでゼロまたは存在しないステップ番号が入力さ
れたら、このプログラムを終了する。
【００１７】成膜終了検出プログラムについて、図７を
参照して説明する。成膜の終了は様々な手法で検出可能
であるが、ここでは成膜の終了時に自動運転のプログラ
ムから当該プログラムが起動されるような形式としてい
る。その他の方法としては、（イ）終了を示すデータを
用意しておいてこれを監視する、（ロ）自動運転のプロ
グラムからメールのようなプログラム間通信手段より連
絡を受ける、などが考えられる。いずれにしても、成膜
の終了を検出して運転データの読み込みプログラムを起
動して終了することになる（ステップＳ１）。
参照して説明する。成膜の終了は様々な手法で検出可能
であるが、ここでは成膜の終了時に自動運転のプログラ
ムから当該プログラムが起動されるような形式としてい
る。その他の方法としては、（イ）終了を示すデータを
用意しておいてこれを監視する、（ロ）自動運転のプロ
グラムからメールのようなプログラム間通信手段より連
絡を受ける、などが考えられる。いずれにしても、成膜
の終了を検出して運転データの読み込みプログラムを起
動して終了することになる（ステップＳ１）。
【００１８】運転データの読み込みプログラムについ
て、図８を参照して説明する。このプログラムは起動さ
れると、図２に示す補助記憶から運転データＤ１を読み
込み（読み出し）、参照データＤ２の領域に上書きし
（ステップＳ１）、しかる後に運転データの上書きプロ
グラムを起動し、終了する（ステップＳ２）。
て、図８を参照して説明する。このプログラムは起動さ
れると、図２に示す補助記憶から運転データＤ１を読み
込み（読み出し）、参照データＤ２の領域に上書きし
（ステップＳ１）、しかる後に運転データの上書きプロ
グラムを起動し、終了する（ステップＳ２）。
【００１９】運転データの上書きプログラムについて、
図９を参照して説明する。このプログラムは起動される
と、まず、上書きを行なうべきかどうか全体判定データ
ｄを検査する（ステップＳ１）。ここで、全体判定デー
タがゼロならば、運転データの使用が可能になったこと
を自動運転の制御部に通知するため、自動運転の制御部
において「０」とされていたフラグＦ２を、自動運転中
を示す「１」として、終了する（ステップＳ２）。
図９を参照して説明する。このプログラムは起動される
と、まず、上書きを行なうべきかどうか全体判定データ
ｄを検査する（ステップＳ１）。ここで、全体判定デー
タがゼロならば、運転データの使用が可能になったこと
を自動運転の制御部に通知するため、自動運転の制御部
において「０」とされていたフラグＦ２を、自動運転中
を示す「１」として、終了する（ステップＳ２）。
【００２０】一方、全体判定データｄが「１」ならば、
個別判定データｆの先頭から調べてゆき、上書きを行な
うデータがあったならば、そのダミーデータを参照デー
タの対応する位置にコピーする（ステップＳ３，Ｓ４，
Ｓ５）。そして、上書きデータＤ３を検査し終わった
ら、全体判定データｄと全ての個別判定データｆをクリ
アし、運転データの使用が可能になったことを自動運転
の制御部に通知するため、フラグＦ２に「１」を設定し
て終了する（ステップＳ８，Ｓ９，Ｓ１０）。例えば、
先の図６にも示すように、ステップ１，機器番号２のバ
ルブを開くようにダミーデータが設定されている場合
は、以下の手順で参照データＤ２を上書きする。
個別判定データｆの先頭から調べてゆき、上書きを行な
うデータがあったならば、そのダミーデータを参照デー
タの対応する位置にコピーする（ステップＳ３，Ｓ４，
Ｓ５）。そして、上書きデータＤ３を検査し終わった
ら、全体判定データｄと全ての個別判定データｆをクリ
アし、運転データの使用が可能になったことを自動運転
の制御部に通知するため、フラグＦ２に「１」を設定し
て終了する（ステップＳ８，Ｓ９，Ｓ１０）。例えば、
先の図６にも示すように、ステップ１，機器番号２のバ
ルブを開くようにダミーデータが設定されている場合
は、以下の手順で参照データＤ２を上書きする。
【００２１】まず、個別判定データｆの先頭から１つず
つ、「１」かどうか比較する。「０」の場合は、次の個
別判定データの比較に移る。「１」ならば上書きするデ
ータの格納位置を次の式から求める。 ｎ ｍｏｄ １１が０の場合 ：ｉｎｔ（ｎ／１１）
×２１ ｎ ｍｏｄ １１が０でない場合：ｉｎｔ（ｎ／１１）
×２１＋ｎ×２ ここに、ｎは「１」であった個別判定データの先頭から
の位置を示している。そして、上式で求めた格納位置に
あるダミーデータｅのデータを、上式で求めた格納位置
の参照データＤ２にコピーする。
つ、「１」かどうか比較する。「０」の場合は、次の個
別判定データの比較に移る。「１」ならば上書きするデ
ータの格納位置を次の式から求める。 ｎ ｍｏｄ １１が０の場合 ：ｉｎｔ（ｎ／１１）
×２１ ｎ ｍｏｄ １１が０でない場合：ｉｎｔ（ｎ／１１）
×２１＋ｎ×２ ここに、ｎは「１」であった個別判定データの先頭から
の位置を示している。そして、上式で求めた格納位置に
あるダミーデータｅのデータを、上式で求めた格納位置
の参照データＤ２にコピーする。
【００２２】図１０はこの発明の別の概念を示すブロッ
ク図で、記憶手段８、保持手段９、検出手段１０、転送
手段１１および書込手段１２などから構成される。図１
１は図１０をマルチタスク・リアルタイムＯＳを備えた
パソコンを用いて実現した具体例を示す構成図である。
同図では、記憶手段８を補助記憶で、保持手段９をメイ
ンメモリでそれぞれ実現し、また、検出手段（１つの基
板の成膜終了検出手段）１０、転送手段（運転データの
読み込み手段）１１および書込手段（運転データの上書
き手段）１２などは図２と同様、並行動作が可能なプロ
グラムとしてそれぞれ実現している。また、この発明の
要件ではないが、自動運転のための制御部も並行動作が
可能なプログラムとして実現している。さらに、記憶手
段８には運転データ（Ｄ４）が、保持手段９には参照デ
ータ（Ｄ５）がそれぞれ記憶または保持されている。
ク図で、記憶手段８、保持手段９、検出手段１０、転送
手段１１および書込手段１２などから構成される。図１
１は図１０をマルチタスク・リアルタイムＯＳを備えた
パソコンを用いて実現した具体例を示す構成図である。
同図では、記憶手段８を補助記憶で、保持手段９をメイ
ンメモリでそれぞれ実現し、また、検出手段（１つの基
板の成膜終了検出手段）１０、転送手段（運転データの
読み込み手段）１１および書込手段（運転データの上書
き手段）１２などは図２と同様、並行動作が可能なプロ
グラムとしてそれぞれ実現している。また、この発明の
要件ではないが、自動運転のための制御部も並行動作が
可能なプログラムとして実現している。さらに、記憶手
段８には運転データ（Ｄ４）が、保持手段９には参照デ
ータ（Ｄ５）がそれぞれ記憶または保持されている。
【００２３】同様に、運転データＤ４と参照データＤ５
の構成は同じとし、例えば図１２のように、運転時の機
器に対する指示のブロック（ステップ）が、時間的に並
んだ形となっている。ただし、この構成は単なる１例に
すぎず、時間順序を示すデータと操作を示すデータとに
分け、両者をポインタでつなぐ形式も考えられる。ま
た、個々の機器には識別のための番号が割り振られてお
り、機器番号（ｇ）と操作内容（ｈ）がペアとなってい
る。
の構成は同じとし、例えば図１２のように、運転時の機
器に対する指示のブロック（ステップ）が、時間的に並
んだ形となっている。ただし、この構成は単なる１例に
すぎず、時間順序を示すデータと操作を示すデータとに
分け、両者をポインタでつなぐ形式も考えられる。ま
た、個々の機器には識別のための番号が割り振られてお
り、機器番号（ｇ）と操作内容（ｈ）がペアとなってい
る。
【００２４】さらに、各ステップにはその継続時間
（秒）を示すデータがあるのも同様である。ここでは、
簡単のため機器番号（ｇ），操作内容（ｈ）および継続
時間（ｉ）が整数値として表わされ、機器の個数を１０
個としている。したがって、整数の長さを１ワードとす
ると、１ステップのデータ長Ｌ’は、 Ｌ’＝１＋１０×２＝２１（ワード） となる。
（秒）を示すデータがあるのも同様である。ここでは、
簡単のため機器番号（ｇ），操作内容（ｈ）および継続
時間（ｉ）が整数値として表わされ、機器の個数を１０
個としている。したがって、整数の長さを１ワードとす
ると、１ステップのデータ長Ｌ’は、 Ｌ’＝１＋１０×２＝２１（ワード） となる。
【００２５】自動運転では装置の状態を、参照データＤ
５にある各ステップの継続時間単位で、参照データＤ５
にあるその時刻に有効なステップで示された状態となる
ように制御する。その運転方法は本題とは関係ないので
詳述しないが、一般的には、定周期で装置に制御信号を
送る、または外部機器の要求があったときに制御信号を
送る、といった方法が知られている。
５にある各ステップの継続時間単位で、参照データＤ５
にあるその時刻に有効なステップで示された状態となる
ように制御する。その運転方法は本題とは関係ないので
詳述しないが、一般的には、定周期で装置に制御信号を
送る、または外部機器の要求があったときに制御信号を
送る、といった方法が知られている。
【００２６】さらに、自動運転データを書き換えるた
め、自動運転の制御部と次の２つのデータを共有してい
るのも同じである。つまり、運転データの使用可／不可
を示すフラグＦ３と、自動運転中か否かを示すフラグＦ
４である。両フラグとも整数値であり、Ｆ３は「１」で
使用可、「０」で使用不可を示し、Ｆ４は「１」で自動
運転中、「０」で非自動運転中とする。
め、自動運転の制御部と次の２つのデータを共有してい
るのも同じである。つまり、運転データの使用可／不可
を示すフラグＦ３と、自動運転中か否かを示すフラグＦ
４である。両フラグとも整数値であり、Ｆ３は「１」で
使用可、「０」で使用不可を示し、Ｆ４は「１」で自動
運転中、「０」で非自動運転中とする。
【００２７】成膜終了検出プログラムを図１３に示す。
これは、先の例（図７）と同じである。すなわち、成膜
の終了は様々な手法で検出可能であるが、ここでは成膜
の終了時に自動運転のプログラムから当該プログラムが
起動されるような形式としている。その他の方法として
は、（イ）終了を示すデータを用意しておいてこれを監
視する、（ロ）自動運転のプログラムからメールのよう
なプログラム間通信手段より連絡を受ける、などが考え
られる。いずれにしても、成膜の終了を検出して運転デ
ータの読み込みプログラムを起動して終了する（ステッ
プＳ１）。
これは、先の例（図７）と同じである。すなわち、成膜
の終了は様々な手法で検出可能であるが、ここでは成膜
の終了時に自動運転のプログラムから当該プログラムが
起動されるような形式としている。その他の方法として
は、（イ）終了を示すデータを用意しておいてこれを監
視する、（ロ）自動運転のプログラムからメールのよう
なプログラム間通信手段より連絡を受ける、などが考え
られる。いずれにしても、成膜の終了を検出して運転デ
ータの読み込みプログラムを起動して終了する（ステッ
プＳ１）。
【００２８】運転データの読み込みプログラムを図１４
に示す。これも先の例（図８）と同じく、起動されると
図１１に示す補助記憶から運転データＤ４を読み込み
（読み出し）、参照データＤ５の領域に上書きする（ス
テップＳ１）。そして、運転データの使用が可能になっ
たことを自動運転の制御部に知らせるため、自動運転の
制御部において０とされていたフラグＦ３を１として終
了する所が（ステップＳ２）、図８と若干異なってい
る。
に示す。これも先の例（図８）と同じく、起動されると
図１１に示す補助記憶から運転データＤ４を読み込み
（読み出し）、参照データＤ５の領域に上書きする（ス
テップＳ１）。そして、運転データの使用が可能になっ
たことを自動運転の制御部に知らせるため、自動運転の
制御部において０とされていたフラグＦ３を１として終
了する所が（ステップＳ２）、図８と若干異なってい
る。
【００２９】運転データの読み込みプログラムについ
て、図１５を参照して説明する。オペレータによって運
転データを書き込む旨の指示があると、まず、ステップ
Ｓ１で自動運転中かどうかを判断する。判定は、自動運
転中かどうかを示すフラグＦ４を見て行なう。その結
果、自動運転中でなければ何もせずに指示待ちに戻り、
自動運転中ならば図１１の補助記憶から運転データＤ４
を所定の書き込み作業域Ｒに読み込む（ステップＳ
２）。この書き込み作業域Ｒは例えば図１６のように、
運転データと同様に「継続時間」，「機器番号」および
「作業内容」などの各領域から構成されている。この状
態で、次にどのステップに書き込むかオペレータの入力
待ちとなる。
て、図１５を参照して説明する。オペレータによって運
転データを書き込む旨の指示があると、まず、ステップ
Ｓ１で自動運転中かどうかを判断する。判定は、自動運
転中かどうかを示すフラグＦ４を見て行なう。その結
果、自動運転中でなければ何もせずに指示待ちに戻り、
自動運転中ならば図１１の補助記憶から運転データＤ４
を所定の書き込み作業域Ｒに読み込む（ステップＳ
２）。この書き込み作業域Ｒは例えば図１６のように、
運転データと同様に「継続時間」，「機器番号」および
「作業内容」などの各領域から構成されている。この状
態で、次にどのステップに書き込むかオペレータの入力
待ちとなる。
【００３０】そして、ステップ値が入力されたら（ステ
ップＳ３）、運転データを書き込むべき機器の番号入力
を待つ。機器の番号が入力されたら（ステップＳ５）、
機器の種類に従って書き込むデータを受け取り、書き込
み作業域Ｒに書き込む。例えば、ステップ１で番号２の
バルブに対し１（開を示す）を受け取ったとすると、書
き込み作業域Ｒのステップ１、機器番号２の操作内容に
当たるデータを図１７のように「１」とする。指定され
た機器のデータの位置は、以下のようにして求める。 データの位置：（ステップ番号−１）×２１＋機器番号
＋１
ップＳ３）、運転データを書き込むべき機器の番号入力
を待つ。機器の番号が入力されたら（ステップＳ５）、
機器の種類に従って書き込むデータを受け取り、書き込
み作業域Ｒに書き込む。例えば、ステップ１で番号２の
バルブに対し１（開を示す）を受け取ったとすると、書
き込み作業域Ｒのステップ１、機器番号２の操作内容に
当たるデータを図１７のように「１」とする。指定され
た機器のデータの位置は、以下のようにして求める。 データの位置：（ステップ番号−１）×２１＋機器番号
＋１
【００３１】その後は、再びオペレータのステップ番号
入力待ちとなる。ここで、０または存在しないステップ
番号を入力されると、書き込み作業域Ｒの内容を運転デ
ータとして補助記憶に書き出して終了する。
入力待ちとなる。ここで、０または存在しないステップ
番号を入力されると、書き込み作業域Ｒの内容を運転デ
ータとして補助記憶に書き出して終了する。
【００３２】「基板」は半導体基板、すなわちシリコン
基板やガリウム砒素基板，あるいはこれらの表面に別の
化合物半導体層やシリコン，別の絶縁膜，導電膜等を被
着形成したものであってもよく、また絶縁基板であって
もよい。絶縁基板の例としては、石英等のガラス基板の
他，耐熱性の樹脂例えばポリイミド樹脂等であってもよ
い。また、成膜材料は、半導体（シリコンやガリウム砒
素，インジウムガリウム砒素リンその他の化合物半導
体，ゲルマニウム，シリコンゲルマニウム）である他に
も、導電材料すなわちアルミニウム，銅，金や、タング
ステン，チタン，タンタル，コバルト，プラチナ等の高
融点金属，および高融点金属シリサイド，高融点金属ナ
イトライド，チタンタングステン等であってもよく、絶
縁材料例えば酸化膜，窒化膜等であってもよいものであ
る。
基板やガリウム砒素基板，あるいはこれらの表面に別の
化合物半導体層やシリコン，別の絶縁膜，導電膜等を被
着形成したものであってもよく、また絶縁基板であって
もよい。絶縁基板の例としては、石英等のガラス基板の
他，耐熱性の樹脂例えばポリイミド樹脂等であってもよ
い。また、成膜材料は、半導体（シリコンやガリウム砒
素，インジウムガリウム砒素リンその他の化合物半導
体，ゲルマニウム，シリコンゲルマニウム）である他に
も、導電材料すなわちアルミニウム，銅，金や、タング
ステン，チタン，タンタル，コバルト，プラチナ等の高
融点金属，および高融点金属シリサイド，高融点金属ナ
イトライド，チタンタングステン等であってもよく、絶
縁材料例えば酸化膜，窒化膜等であってもよいものであ
る。
【００３３】
【発明の効果】この発明によれば、次回の運転データに
上書きするデータの作成手段、または自動運転中に運転
データを書き込む手段のいずれかを設けるようにしたの
で、少しずつ異なるパラメータを持つ運転データを全て
作成する必要がなくなり、オペレータの負担を増大させ
ることなく、パラメータの変更に容易に対処することが
可能となる利点が得られる。また、パラメータの書き換
えは現ウエハの成膜中に行なえば良いので、オペレータ
による書き換えタイミングの許容範囲を広げることが可
能となる。
上書きするデータの作成手段、または自動運転中に運転
データを書き込む手段のいずれかを設けるようにしたの
で、少しずつ異なるパラメータを持つ運転データを全て
作成する必要がなくなり、オペレータの負担を増大させ
ることなく、パラメータの変更に容易に対処することが
可能となる利点が得られる。また、パラメータの書き換
えは現ウエハの成膜中に行なえば良いので、オペレータ
による書き換えタイミングの許容範囲を広げることが可
能となる。
【図１】この発明の概念を示すブロック図である。
【図２】図１を実現するための具体例を示す構成図であ
る。
る。
【図３】運転データ，参照データの内容を示す構成図で
ある。
ある。
【図４】上書きデータを説明するための説明図である。
【図５】上書きデータの作成手順を説明するためのフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図６】上書きデータの書き込み例を説明するための説
明図である。
明図である。
【図７】成膜終了の検出手順を説明するためのフローチ
ャートである。
ャートである。
【図８】運転データ読み込み手順を説明するためのフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図９】運転データの上書き手順を説明するためのフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図１０】この発明の他の概念を示すブロック図であ
る。
る。
【図１１】図１０を実現するための具体例を示す構成図
である。
である。
【図１２】運転データ，参照データの内容を示す構成図
である。
である。
【図１３】成膜終了の検出手順を説明するためのフロー
チャートである。
チャートである。
【図１４】運転データ読み込み手順を説明するためのフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図１５】運転データ書き込み手順を説明するためのフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図１６】書き込み作業域の構造を示す構成図である。
【図１７】書き込み動作を具体的に説明するための説明
図である。
図である。
１，８…記憶手段、２，３，９…保持手段、４…作成手
段、５，１０…検出手段、６，１１…転送手段、７，１
２…書込手段。
段、５，１０…検出手段、６，１１…転送手段、７，１
２…書込手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池上 春彦 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 成膜材料の成膜を基板毎に予め作成した
運転データにもとづき自動的かつ連続的に行なう半導体
製造装置において、 前記運転データを格納する記憶手段と、自動運転の際に
参照する運転データを保持する第１の保持手段と、自動
運転中に次回の成膜に使用する運転データを上書きする
ためのデータを作成する作成手段と、この作成手段によ
り作成されたデータを保持する第２の保持手段と、１枚
の基板の成膜が終了したことを検出する検出手段と、そ
の成膜終了を検出する度に前記運転データを前記記憶手
段から第１の保持手段へと転送する転送手段と、この転
送手段にて第１の保持手段へと転送された運転データに
前記第２の保持手段のデータを上書きする書込手段とを
設けたことを特徴とする半導体製造装置。 - 【請求項２】 成膜材料の成膜を基板毎に予め作成した
運転データにもとづき自動的かつ連続的に行なう半導体
製造装置において、 前記運転データを格納する記憶手段と、自動運転の際に
参照する運転データを保持する保持手段と、１枚の基板
の成膜が終了したことを検出する検出手段と、その成膜
終了を検出する度に前記運転データを前記記憶手段から
前記保持手段へと転送する転送手段と、自動運転中に前
記記憶手段の運転データを書き換える書込手段とを設け
たことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255094A JPH07235496A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255094A JPH07235496A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07235496A true JPH07235496A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12085958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2255094A Withdrawn JPH07235496A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07235496A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006070291A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Hoya Corp | レンズ製造方法及びプログラム |
| KR100628618B1 (ko) * | 1997-05-06 | 2007-01-31 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 제어장치,제어방법및반도체제조장치 |
-
1994
- 1994-02-21 JP JP2255094A patent/JPH07235496A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100628618B1 (ko) * | 1997-05-06 | 2007-01-31 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 제어장치,제어방법및반도체제조장치 |
| JP2006070291A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Hoya Corp | レンズ製造方法及びプログラム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6473664B1 (en) | Manufacturing process automation system using a file server and its control method | |
| JPH05282260A (ja) | コンピユータネツトワーク及びその操作方法 | |
| US6588010B1 (en) | Computer system and method of modifying program in the computer system | |
| JPH07235496A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS61236136A (ja) | ウエハカセツト治具 | |
| US11734217B2 (en) | Software or firmware managed hardware capability and control configuration for PCIe devices | |
| JPS61175838A (ja) | デ−タ処理方式 | |
| JPH10270525A (ja) | 基板処理装置、基板処理システムおよび処理レシピのデータ構造 | |
| JPH04165402A (ja) | 製造管理システム | |
| EP0798628B1 (en) | Storage system | |
| JPH0554079A (ja) | 情報処理装置 | |
| JPH04248652A (ja) | Ｄｍａコントローラ | |
| JP2639224B2 (ja) | 処理選択処理の複数プロセス間共有方法 | |
| JPH08171570A (ja) | 地図情報の高速検索処理システム | |
| JP2900654B2 (ja) | 加工処理装置および加工処理システム | |
| JPH11214276A (ja) | 固体デバイス製造装置 | |
| JPH104042A (ja) | 半導体製造工程管理システム | |
| JP2000311249A (ja) | グラフィック処理装置とそのグラフィックコマンド処理方法 | |
| JPH0659959A (ja) | ファイル保護方式 | |
| JPH03272125A (ja) | 半導体装置の製造システム | |
| JPS61117651A (ja) | インタ−フエイス装置 | |
| JPH0429100B2 (ja) | ||
| JP2001077837A (ja) | 通信システム | |
| JPH06314328A (ja) | 地理情報処理システムにおけるまたがり要素の管理方式 | |
| JPH0431944A (ja) | 電子ファイルシステム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |