TW202035921A - 低濕空氣供給裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種可實現小型化之低濕空氣供給裝置。 [解決手段]低濕空氣供給裝置(1)將低濕空氣供給至無塵室(100)內。該低濕空氣供給裝置(1)具備：吸入部(3)，與無塵室(100)內連接，且吸入無塵室(100)內的空氣(ARl)；冷卻部(4)，冷卻空氣(ARl)；除濕部(7)，對經冷卻之空氣(AR2)進行除濕；及供給部(8)，與無塵室(100)內連接，且將由除濕部(7)進行了除濕之空氣(AR4)供給至無塵室(100)內。供給部(8)由空氣(AR4)能夠通過之呈盒形之導管(81)構成，導管(81)為構成低濕空氣供給裝置(1)的最外裝之筐體(20)的一部分。

Description

低濕空氣供給裝置
本發明係有關一種低濕空氣供給裝置。 本申請案係主張基於2019年3月28日申請之日本專利申請第2019-062846號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。
已知有能夠在保持適於各種作業之環境之狀態下進行該作業之無塵室。有時對於無塵室連接有供給調節了溫度及濕度之空氣之裝置(例如，參閱專利文獻1)。專利文獻1中所記載之裝置具備：乾式除濕機，吸引處理空氣並進行除濕；溫濕度調節機構，將由乾式除濕機進行了除濕之空氣調節到既定的溫濕度；送風機，送出由溫濕度調節機構調節了溫濕度之空氣；及筐體，收容乾式除濕機、溫濕度調節機構及送風機。
該專利文獻1中所記載之裝置中，例如，乾式除濕機與溫濕度調節機構依次經由排出管和連通通道而連接。排出管配置於筐體內。與筐體同樣地，排出管為空心體。因此，專利文獻1中所記載之裝置成為在空心體的內側還具有空心體之結構。如此的結構中，在空心體彼此之間產生間隙，該間隙成為無效空間。無效空間可能成為導致裝置的大型化之原因。因此，例如在設置空間有限之屋內，不適合設置裝置。 [先前技術文獻]
[專利文獻1]日本專利第3280605號公報
[發明所欲解決之問題]
本發明的目的為提供一種可實現小型化之低濕空氣供給裝置。 [解決問題之技術手段]
本發明的低濕空氣供給裝置的一樣態為將低濕空氣供給至乾燥室內之低濕空氣供給裝置，該低濕空氣供給裝置的特徵為，係具備： 吸入部，係與前述乾燥室內連接，且吸入前述乾燥室內的空氣； 冷卻部，係冷卻經由前述吸入部吸入之空氣； 除濕部，係對由前述冷卻部進行了冷卻之空氣進行除濕；及 供給部，係與前述乾燥室內連接，且將由前述除濕部進行了除濕之空氣供給至前述乾燥室內， 前述吸入部、前述冷卻部、前述除濕部及前述供給部中的至少一個係由空氣能夠通過之呈盒形之導管構成， 前述導管為構成前述低濕空氣供給裝置的最外裝之筐體的一部分。 [發明之效果]
依本發明，至少供給部由空氣能夠通過之呈盒形之空心的導管構成。又，該導管的一部分外表面或整個外表面發揮作為低濕空氣供給裝置的筐體的一部分之功能。藉此，例如若在以往，則能夠在可能成為無效空間之空間配置發揮供給部之功能之導管而填補該空間，亦即能夠有效地利用無效空間。如此的結構有助於供給裝置的小型化，藉此可實現供給裝置的小型化。
以下，基於圖式中所示之適合的實施形態，對本發明的低濕空氣供給裝置進行詳細說明。 圖1係本發明的低濕空氣供給裝置的主要部分的方塊圖。圖2係本發明的低濕空氣供給裝置的正面圖。圖3係本發明的低濕空氣供給裝置的右側視圖。圖4係圖2中的A-A剖視圖。圖5係圖2中的B-B剖視圖。圖6係從圖2中的箭頭C方向觀察之圖。圖7係圖4中的D-D剖視圖。圖8係圖5中的E-E剖視圖。另外，以下，為了方便說明，將水平方向上的一個方向稱為“X軸方向”，將水平方向上的與X軸方向正交之方向稱為“Y軸方向”，將垂直方向稱為“Z軸方向”。又，將圖1、圖3及圖5～圖7中的上側稱為“上(或上方)”，將下側稱為“下(或下方)”。又，在低濕空氣供給裝置內，空氣強制性地流動，有時還稱為基於該流動之“上游側”、“下游側”。
圖1中所示之低濕空氣供給裝置(以下，簡稱為“供給裝置”)1為將作為低濕空氣之空氣AR4供給至室內以使露點溫度成為-20度以下之裝置。作為室內，並無特別限定，例如，可舉出無塵室(包括乾燥室、乾燥台)100內等。又，在無塵室100內，例如，能夠在保持適於如鋰離子電池的製造作業、厭濕之材料(粉體等)的處理作業等般之各種作業之環境之狀態下進行該作業。
如圖2～圖5所示，供給裝置1具備框架2、吸入部3、冷卻部4、吸引部5A、分叉部6、除濕部7、供給部8、第1加熱部10A、中繼部9、第2加熱部10B、排出部5B及筐體20。以下，對各部的結構進行說明。
框架2為將吸入部3、冷卻部4、吸引部5A、分叉部6、除濕部7、供給部8、第1加熱部10A、中繼部9、第2加熱部10B、排出部5B及筐體20一起進行支承之支承體。 如圖2所示，框架2具有下側框架21和與下側框架21的上側分開配置之上側框架22。如此，框架2成為具有下層和上層之2層結構。另外，框架2的層數並不限定於2層，例如，可以為3層以上。
又，框架2具有設置於下側框架21之複數個腿部(調節支腳)23和複數個腳輪24。各腿部23能夠在將供給裝置1設置於地面200的所期望的位置上之後，在該位置上固定供給裝置1。腳輪24能夠在解除基於各腿部23之固定之狀態下使供給裝置1在地面200上沿所期望的方向移動。
筐體20為構成低濕空氣供給裝置1的整個最外裝之罩構件。筐體20能夠覆蓋框架2、吸入部3、冷卻部4、吸引部5A、分叉部6、除濕部7、供給部8、第1加熱部10A、中繼部9、第2加熱部10B及排出部5B。另外，筐體20具有例如複數個罩構件，各罩構件藉由螺固等而固定於框架2。
吸入部3為吸入無塵室100內的空氣AR1之吸入口。如圖2、圖3所示，吸入部3配置於框架2的下側框架21上，並朝向Y軸方向負側以圓管狀突出。藉此，能夠將吸入部3連接於無塵室100內。又，藉由吸引部5A工作，能夠經由吸入部3吸入無塵室100內的空氣AR1。另外，吸入部3的形狀並不限定於圓管狀。
另外，關於吸入部3的配置數量，在圖2中所示之結構中為4個，但是並不限定於此，可以為1個、2個、3個或5個以上。又，在吸入無塵室100內的空氣AR1時，可以使用4個吸入部3中的全部，亦能夠使用4個中的1個、2個或3個吸入部3。如此，在供給裝置1中，還能夠選擇使用或不使用各吸入部3。
冷卻部4連接於吸入部3的下游側。冷卻部4配置於框架2的下側框架21上，並冷卻經由吸入部3吸入之空氣AR1。藉由該冷卻，空氣AR1成為空氣AR2。 冷卻部4具有：冷卻線圈41，供冷媒(未圖示)通過；及控制部(冷凍機)42，控制冷媒向冷卻線圈41的供給量、供給速度等。
冷卻線圈41由捲繞成線圈狀之管體(未圖示)構成。又，藉由使空氣AR1與冷媒通過之狀態的管體接觸，空氣AR1被冷卻而成為空氣AR2。又，能夠藉由控制部42來調節冷卻線圈41的冷卻能力，亦即調節對於空氣AR1的冷卻程度。
吸引部5A連接於冷卻線圈41的下游側亦即X軸方向正側。吸引部5A亦與冷卻部4一起配置於框架2的下側框架21上。吸引部5A能夠將吸入無塵室100內的空氣AR1之吸引力施加於吸入部3，並直接將空氣AR1引導至下游側。
吸引部5A具有藉由通電進行旋轉之風扇51。藉由該風扇51進行旋轉，能夠強制性地將空氣AR1或是冷卻空氣AR1而成之空氣AR2從上游側(冷卻部4側)順暢地引導至下游側(除濕部7側)。另外，雖然取決於風扇51的轉速，空氣AR2亦可藉由風扇51進一步被冷卻的同時被除濕。
分叉部6連接於吸引部5A的下游側亦即Z軸方向正側。分叉部6配置於框架2的上側框架22上。使空氣AR2向不同的2個方向分叉。以下，將由分叉部6分叉之空氣AR2中其中一方的空氣AR2稱為“空氣AR2-1”，並將另一方的空氣AR2稱為“空氣AR2-2”。
除濕部7連接於分叉部6的下游側亦即X軸方向負側。空氣AR2-1及空氣AR2-2之雙方會通過除濕部7。又，空氣AR2-1被除濕。另一方面，空氣AR2-2供於保持除濕部7的除濕功能。 如圖6所示，除濕部7具有吸附水分之吸附材料71和收容吸附材料71之殼體72。
吸附材料71呈圓柱狀或圓板狀，並配置成其中心軸與X軸方向平行。吸附材料71含有例如矽膠、沸石等，在空氣AR2-1通過後述之吸附材料71的除濕區域711時，能夠吸附空氣AR2-1中所包含之水分。藉此，能夠對空氣AR2-1進行除濕。藉由該除濕，空氣AR2-1成為空氣AR3。
殼體72將吸附材料71以能夠向圖6中的逆時針方向(箭頭α71 )旋轉之方式進行支承。又，殼體72具有：圓形開口部73，分別在X軸方向正側和負側開口，並露出吸附材料71；及肋74，將開口部73劃分為3個區域。將由肋74劃分之開口部73的各區域從圖6中的下側區域按逆時針方向依次稱為“第1區域731”、“第2區域733”、“第3區域732”。
又，吸附材料71依據旋轉角度到達第1區域731～第3區域732中的任一區域。吸附材料71到達第1區域731之部分成為對空氣AR2-1進行除濕之除濕區域711。關於吸附材料71到達第2區域733之部分，藉由以第2加熱部10B加熱而成之空氣AR5通過再生區域713，吸附材料71內的水分蒸發，吸附材料71的除濕功能被再生。吸附材料71到達第3區域732之部分成為藉由空氣AR2-2通過來冷卻吸附材料71之預冷區域712。
如此，即使在吸附材料71吸附水分時除濕功能下降，除濕部7亦能夠利用由第2加熱部10B加熱之空氣AR5使被吸附材料71吸附之水分蒸發。藉此，除濕部7的除濕功能被再生，能夠再次除濕，藉此能夠穩定地反覆進行除濕。
供給部8連接於除濕部7的除濕區域711的下游側亦即X軸方向負側。供給部8在與除濕部7相反的一側與無塵室100內連接。該供給部8配置於框架2的上側框架22上。又，在供給部8內配置有由藉由通電發熱之加熱器構成之第1加熱部10A。由除濕部7進行了除濕之空氣AR3通過供給部8內，並且由第1加熱部10A加熱而成為空氣AR4。空氣AR4供給至無塵室100內。空氣AR4為以露點溫度成為-20度以下之方式供給之低濕空氣。如此，供給裝置1能夠將調節了濕度及溫度之空氣AR4迅速且穩定地供給至無塵室100內。
如圖7所示，供給部8由空氣AR4(空氣AR3)能夠通過之呈盒形之空心的導管81構成。另外，導管81的橫截面形狀在圖7中所示之結構中為四邊形，但是並不限定於此。
本實施形態中，導管81具有與X軸方向正側面對之外表面811、與X軸方向負側面對之外表面812、與Z軸方向正側面對之外表面813、與Z軸方向負側面對之外表面814及與Y軸方向正側面對之外表面815。又，如圖2～圖4所示，外表面811～外表面815的一部分或整體均發揮供給裝置1的筐體20的一部分之功能、亦即均兼作筐體20的一部分(為筐體20的一部分)。藉此，例如若在以往，則能夠在可能成為無效空間之空間配置發揮供給部8之功能之導管81而填補該空間，亦即能夠有效地利用無效空間。如此的結構有助於供給裝置1的小型化。
導管81具有：導管本體82，由金屬材料構成；及隔熱層83，配置於導管本體82的外側，且由隔熱材構成。藉此，能夠防止通過導管81亦即供給部8之空氣AR4的溫度變化，並且能夠將該空氣AR4供給至無塵室100內。
作為構成導管本體82之金屬材料，並無特別限定，例如，能夠使用鋁、不鏽鋼等各種金屬材料。作為構成隔熱層83之隔熱材，並無特別限定，例如，能夠使用玻璃棉或岩綿等各種隔熱材。
如圖5所示，中繼部9連接於除濕部7的預冷區域712的下游側亦即X軸方向負側。中繼部9在與預冷區域712相反的一側與除濕部7的再生區域713連接。中繼部9配置於框架2的上側框架22上。又，在中繼部9內配置有由藉由通電發熱之加熱器構成之第2加熱部10B。如此的中繼部9為經由分叉部6分叉之空氣A2-2依次經過除濕部7、第2加熱部10B再次到達亦即返回到除濕部7為止的流路。空氣A2-2通過中繼部9內，並且由第2加熱部10B加熱而成為空氣AR5。空氣AR5藉由通過除濕部7的再生區域713而使吸附材料71中的水分蒸發而使其乾燥。藉此，在再生區域713中，除濕功能被再生。
如圖8所示，中繼部9由空氣AR2-2(空氣AR5)能夠通過之呈盒形之空心的導管91構成。另外，導管91的橫截面形狀在圖8中所示之結構中為四邊形，但是並不限定於此。又，如圖5所示，導管91在X軸方向負側具有在空氣AR2-2通過期間轉換空氣AR2-2的方向之方向轉換部94。
本實施形態中，導管91具有與Y軸方向正側面對之外表面911、與Y軸方向負側面對之外表面912、與Z軸方向正側面對之外表面913、與Z軸方向負側面對之外表面914及與X軸方向負側面對之外表面915。又，如圖2～圖4所示，外表面911～外表面915中的外表面911、外表面912、外表面913及外表面915的一部分或整體發揮作為供給裝置1的筐體20的一部分之功能。藉此，與前述同樣地，例如若在以往，則能夠在可能成為無效空間之空間配置發揮作為中繼部9之功能之導管91而填補該空間，亦即能夠有效地利用無效空間。藉此，輔以導管81，能夠進一步實現供給裝置1的小型化。
導管91具有：導管本體92，由金屬材料構成；及隔熱層93，配置於導管本體92的外側，且由隔熱材構成。藉此，能夠防止通過供給部9之空氣AR5的溫度變化和對導管81的溫度影響，並且能夠將該空氣AR5送入再生區域713。藉此，能夠利用空氣AR5使處於再生區域713中之吸附材料71充分地乾燥。
排出部5B連接於除濕部7的再生區域713的下游側亦即X軸方向正側。排出部5B配置於框架2的上側框架22上。排出部5B能夠將使空氣AR5向外部排出之排出力施加於排出部5B的上游側。 排出部5B具有藉由通電進行旋轉之風扇52。藉由該風扇52進行旋轉，能夠強制性地將空氣AR5順暢地向排出方向引導亦即引導至下游側。
如上所述，供給裝置1成為可實現小型化之結構。又，能夠將供給裝置1在俯視下的最大長度保持為2000mm以下為較佳。尤其，能夠將供給裝置1沿X軸方向之總長度LX 保持為2000mm以下為較佳。又，能夠將供給裝置1沿Y軸方向之深度LY 例如保持為總長度LX 的50%以上且75%以下為較佳。由如此的大小，能夠實現地面200上的供給裝置1的設置空間(設置面積)的省空間化。
如前所述，框架2成為具有下側框架21亦即下層和上側框架22亦即上層之2層結構。又，在下側框架21上配置有吸入部3、冷卻部4及吸引部5A。又，在上側框架22上配置有分叉部6、除濕部7、供給部8、中繼部9、第1加熱部10A、第2加熱部10B及排出部5B。由如此的2層結構，實現供給裝置1的省空間化，並且地面200上的載置狀態穩定。
以上，關於本發明的低濕空氣供給裝置，對圖示的實施形態進行了說明，但是本發明並不限定於此，構成低濕空氣供給裝置之各部能夠與可發揮相同功能之任意結構者替換。又，可以附加任意結構物。 又，低濕空氣供給裝置1中，供給部8由導管81構成，中繼部9由導管91構成，進而，吸入部3、冷卻部4、吸引部5A、排出部5B、分叉部6及除濕部7中的1個或複數個可以具有如供給部8或中繼部9般之導管結構。
1:低濕空氣供給裝置(供給裝置) 2:框架 21:下側框架 22:上側框架 23:腿部(調節支腳) 24:腳輪 3:吸入部 4:冷卻部 41:冷卻線圈 42:控制部(冷凍機) 5A:吸引部 5B:排出部 51:風扇 52:風扇 6:分叉部 7:除濕部 71:吸附材料 711:除濕區域 712:預冷區域 713:再生區域 72:殼體 73:開口部 731:第1區域 732:第3區域 733:第2區域 74:肋 8:供給部 81:導管 811,812,813,814,815:外表面 82:導管本體 83:隔熱層 9:中繼部 91:導管 911,912,913,914,915:外表面 92:導管本體 93:隔熱層 94:方向轉換部 10A:第1加熱部 10B:第2加熱部 20:筐體 100:無塵室 200:地面 AR1,AR2,AR2-1,AR2-2,AR3,AR4,AR5:空氣 LX:總長度 LY:深度 α71:箭頭
[圖1]係本發明的低濕空氣供給裝置的主要部分的方塊圖。 [圖2]係本發明的低濕空氣供給裝置的正面圖。 [圖3]係本發明的低濕空氣供給裝置的右側視圖。 [圖4]係圖2中的A-A剖視圖。 [圖5]係圖2中的B-B剖視圖。 [圖6]係從圖2中的箭頭C方向觀察之圖。 [圖7]係圖4中的D-D剖視圖。 [圖8]係圖5中的E-E剖視圖。
1:低濕空氣供給裝置(供給裝置)
2:框架
3:吸入部
4:冷卻部
5A:吸引部
5B:排出部
6:分叉部
7:除濕部
8:供給部
9:中繼部
10A:第1加熱部
10B:第2加熱部
20:筐體
21:下側框架
22:上側框架
23:腿部(調節支腳)
24:腳輪
41:冷卻線圈
42:控制部(冷凍機)
51:風扇
52:風扇
200:地面
711:除濕區域
712:預冷區域
811:外表面
812:外表面
813:外表面
814:外表面
913:外表面
914:外表面
915:外表面
AR1:空氣
AR2:空氣
AR2-1:空氣
AR2-2:空氣
AR3:空氣
AR5:空氣
X:方向
Y:方向
Z:方向

Claims (8)

  1. 一種低濕空氣供給裝置，其將低濕空氣供給至乾燥室內，該低濕空氣供給裝置的特徵為，係具備： 吸入部，係與前述乾燥室內連接，且吸入前述乾燥室內的空氣； 冷卻部，係冷卻經由前述吸入部吸入之空氣； 除濕部，係對由前述冷卻部進行了冷卻之空氣進行除濕；及 供給部，係與前述乾燥室內連接，且將由前述除濕部進行了除濕之空氣供給至前述乾燥室內， 前述吸入部、前述冷卻部、前述除濕部及前述供給部中的至少一個係由空氣能夠通過之呈盒形之導管構成， 前述導管為構成前述低濕空氣供給裝置的最外裝之筐體的一部分。
  2. 如請求項1所述之低濕空氣供給裝置，其具備第1加熱部，該第1加熱部係配置於前述導管內，並對通過前述導管之空氣進行加熱。
  3. 如請求項2所述之低濕空氣供給裝置，其具備： 分叉部，係使由前述冷卻部進行了冷卻之空氣向與前述除濕部不同的方向分叉；及 第2加熱部，係對經由前述分叉部分叉之空氣進行加熱， 前述除濕部係具有吸附由前述冷卻部進行了冷卻之空氣中所包含之水分之吸附材料，在前述吸附材料吸附水分時，利用由第2加熱部加熱之空氣使被前述吸附材料吸附之水分蒸發，藉此能夠再次除濕。
  4. 如請求項3所述之低濕空氣供給裝置，其中，經由前述分叉部分叉之空氣經過前述第2加熱部到達前述除濕部為止的流路由前述導管構成。
  5. 如請求項1至請求項4中任一項所述之低濕空氣供給裝置，其中，前述導管係在外側具有由隔熱材構成之隔熱層。
  6. 如請求項1至請求項4中任一項所述之低濕空氣供給裝置，其成為多層結構，該多層結構具有： 下層，係配置有前述吸入部及前述冷卻部；及 上層，係位於前述下層的上側，且配置有前述除濕部及前述供給部。
  7. 如請求項6所述之低濕空氣供給裝置，其具備風扇，該風扇係配置於前述冷卻部與前述除濕部之間，且強制性地將空氣從前述冷卻部側引導至前述除濕部側， 前述風扇係配置於前述下層。
  8. 如請求項1至請求項4中任一項所述之低濕空氣供給裝置，其中，前述低濕空氣供給裝置係在俯視下的最大長度為2000mm以下。
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