JP4334688B2 - 清浄空気製造方法及び供給システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,清浄空気を製造する方法,並びに前記清浄空気を目的室に供給する供給システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば半導体デバイスの製造プロセスにおいては,高集積化が進むにつれてクリーンルーム中のガス状不純物による汚染が問題となっている。そのためたとえば高純度の窒素ガスを,製造装置の中のチャンバ内やウエハの保管庫に常時供給することが行われている。
しかしながら窒素ガスは高価であるため,大量に必要とする場所では実用上問題があり,また作業者の安全面からも好ましくない。
そのため最近では,高純度の窒素ガスに代えて,ガス状不純物が殆どないいわゆるケミカルフリーの乾燥空気を用いることが提案されている(「ウルトラクリーンテクノロジー」第10巻1号(1998年2月発行))。
【0003】
ここで提案されている技術は,たとえばシリカゲルやアルミナを吸着塔に充填し,該吸着塔内に処理空気を通過させて室温レベルでH2OやCO2を除去すると共に,Pt(プラチナ)やPd(パラジウム)を触媒として利用してガス状のケミカル不純物を除去する方法,−50℃程度に冷却した吸着剤(ゼオライトやアルミナ,活性炭)に処理空気中のケミカル成分を吸着させる方法,処理空気を圧縮して触媒塔でケミカル不純物を除去した後,吸着塔において水分やCO2を除去する方法などである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら触媒として使用するPtやPdは高価であり,また別途触媒塔を必要としているので設備的にも好ましくない。また低温吸着法では,吸着剤を常にそのような低温に維持しなければならず,消費エネルギが多く,また設備も大がかりなものとなって好ましくない。さらに処理空気を圧縮する方法についても,圧縮空気自体の製造に別途専用の機器等を要し,当然のことながら,圧縮空気自体の製造コストもかかってしまう。その結果,前記従来の技術では,ランニングコストが1.5円/m3以上必要となり,満足できるものではなかったのである。
【0005】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり,前記した乾燥した清浄空気を製造するにあたり,消費エネルギが少なく,その結果ランニングコストも低廉な清浄空気の製造方法及び清浄空気の供給システムを提供して,前記課題の解決を図ることをその目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,請求項1によれば,処理空気中の有機ガス成分を低減して清浄空気を製造する方法において,回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続し,前記3段直列の乾式減湿装置のうち,少なくとも2段目,3段目の乾式減湿装置におけるロータはシリカゲルを主体とし,アルミニウム,亜鉛を添加した金属珪酸塩を有するものであり,1段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,前記2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気をさらに3段目の乾式減湿装置で減湿処理して清浄化することを特徴とする,清浄空気製造方法が提供される。
【0007】
また清浄空気を目的室に供給するシステムとして,請求項2に記載したように,シリカゲル又は金属珪酸塩を有する回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続して,1段目の乾式減湿装置で減湿した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を3段目の乾式減湿装置で減湿処理するように構成され,前記2段目及び3段目の乾式減湿装置は,前記ロータの端面側に位置する空気の通過域が,減湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて,ロータの回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が位置するようにこれら各区域が配置され,前記1段目の乾式減湿装置で減湿された空気が分流されてその一部が前記2段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域を通過した空気と混合された後,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成され,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気が分流されてその一部が前記3段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成され,当該減湿区域を通過した空気が,前記目的室に導入されるように構成されたことを特徴とする,清浄空気供給システムが提案される。
【0008】
かかるシステムにおいて,請求項3のように,前記目的室からの還気の一部が,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成してもよい。
【0009】
また請求項4のように,前記目的室からの還気の一部が,前記1段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合するように構成してもよい。
【0010】
また処理空気中の有機ガス成分を低減した清浄空気を目的室に供給する他のシステムとして,請求項5に記載したように,回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続して,1段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を3段目の乾式減湿装置で減湿処理するように構成され,前記3段直列の乾式減湿装置のうち,少なくとも2段目,3段目の乾式減湿装置におけるロータはシリカゲルを主体とし,アルミニウム,亜鉛を添加した金属珪酸塩を有するものであり,前記2段目及び3段目の乾式減湿装置は,前記ロータの端面側に位置する空気の通過域が,減湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて,ロータの回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が位置するようにこれら各区域が配置され,前記2段目の乾式減湿装置で減湿された空気が分流されてその一部が前記2段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域を通過した空気と混合された後,前記1段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成され,前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気が分流されてその一部が前記3段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入され,他の一部が再生ヒータによって加熱された後,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されると共に,当該パージ区域及び再生区域を通過した空気は,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部が前記目的室に導入されるように構成されたことを特徴とする,清浄空気供給システムが提供される。
【0011】
この場合,請求項6に記載したように,前記目的室からの還気の一部が,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成したり,請求項7に記載したように,前記目的室からの還気の一部が,前記1段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成してもよい。
【0012】
発明者らの知見によれば,まず乾式減湿装置を3段に直列に系統接続して,1段目の乾式減湿装置で減湿処理させた空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,さらにその後3段目の乾式減湿装置で減湿処理すれば,−80℃以下の超低露点の空気を製造することが可能である。そして処理空気中に含まれる有機ガス成分について調べてみても,シリカゲル又は金属珪酸塩を有するロータを処理空気が通過する際に,該処理空気中に含まれる有機ガス成分が漸次これらシリカゲルや金属珪酸に吸着除去されて低減していき,最終段の3段目の乾式減湿装置の出口では,1ppb以下にすることが可能であることがわかった。
【0013】
ロータに備える吸着剤は,シリカゲル又は金属珪酸塩である。この種の乾式減湿装置には,金属珪酸塩のうちのゼオライトが添加されたものもあるが,ゼオライトは再生温度が高くまた細孔径がそろっているため,すべての有機ガス成分を除去するにはあまり適当ではない。したがって,本発明に適した金属珪酸塩としては,シリカゲルを主体とした金属珪酸塩が挙げられる。但し,塩化リチウムは,有機ガス成分を除去することができないため,本発明には適用しづらい。
【0014】
しかも前記請求項2のシステムによれば,単に3段の乾式減湿装置を直列に接続しただけではなく,1段目の乾式減湿装置で減湿された空気を分流してその一部を,2段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入すると共に,当該パージ区域を通過した空気を,3段目の乾式減湿装置の再生区域を通過した空気と混合して2段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入し,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気が分流されてその一部が前記3段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成されているので,再生空気を加熱するためのヒータの容量を小さくすることができる。そのうえ2段目の乾式減湿装置のロータの再生に使用する空気の湿度は,従来よりも低くなっているので,2段目の乾式減湿装置のロータ自体の能力が向上している。したがってこの点からも低露点でかつ清浄な空気を省エネルギの下で製造することが可能である。
【0015】
また2段目,3段目の各乾式減湿装置の再生区域の入口においては,各段のロータを通過する前に分流してパージ区域を通過した空気をそのまま混合したり(2段目の乾式減湿装置),再生区域に導入したり(3段目の乾式減湿装置)しているので,ロータ通過の際の圧力損失を最低限に抑えることができる。そのため,後述の実施の形態でも説明するが,再生区域の入口で正圧状態を実現することができる。したがって,2段目,3段目の各乾式減湿装置のロータ内に他からの水分の侵入を防止して,好適な再生を実施することができ,また不純物吸着能力並びに減湿能力の低下を防止することができる。
【0016】
また請求項5によれば,3段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に,3段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を出たもっとも清浄な空気を利用しているため,より清浄度の高い空気が得られる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下,図面に基づいて本発明の好ましい実施の形態を説明する。図1は,本実施の形態にかかる清浄空気供給システムの系統の概略を示しており,このシステムは,有機ガス成分濃度が1ppb以下でかつ−80℃以下の超低露点の清浄化空気を製造して,たとえば半導体ウエハの保管庫Sに供給するシステムとして構成されている。
【0018】
原料空気としての外気OAは処理系統ダクト1に導かれ,まず外気処理クーラ2によって冷却減湿される。冷却減湿された空気はその後,この外気処理クーラ2で冷却された,1段目の乾式減湿装置10のロータ11のパージ区域11cを通過したパージ空気と混合される。
【0019】
1段目の乾式減湿装置10は,図2に示したように,回転するロータ11の両端面にチャンバ12,13が配置された構成を有している。各チャンバ12,13は,内部に3つの仕切板14,14,14が放射状に配置されており,チャンバ12,13内の空間を3つに仕切っている。これに対応して,ロータ11の端面には,図2中の細矢印に示したロータ11の回転方向順に,減湿区域11a,再生区域11b,パージ区域11cの3つの空気の通過域が区画形成されている。そしてチャンバ12の外側端面には,これら各区域に対応して,ダクトなどに接続するための減湿出口12a,再生入口12b,パージ出口12cが形成されている。なおチャンバ13の外方端面にも,前記3つの区域に対応して減湿入口13a,再生出口13b,パージ入口13cが各々形成されている。
【0020】
なおロータ11には,シリカゲルにAl(アルミニウム),Zn(亜鉛)を若干量添加したものを母材に含浸させたものを使用している。すなわち,例えばハニカム状繊維紙やセラミックの焼成体の細かい繊維に,シリカゲルを主体としてAl(アルミニウム),Zn(亜鉛)を少し混ぜた金属珪酸塩を含浸させ,繊維の周りに当該金属珪酸塩をびっしりと張り付けたものを使用することができる。またロータ11の厚みは400mmであり,またロータ11の回転速度は,4回転/時に設定されている。
【0021】
前記したように,1段目の乾式減湿装置10のロータ11のパージ空気と混合された空気は,外気処理ファン3によって,前記1段目の乾式減湿装置10のロータ11の減湿区域11aを通って,例えば,露点温度が−35℃まで減湿されるようになっている。
【0022】
1段目の乾式減湿装置10のロータ11の減湿区域11aを通過した空気は,処理ファン4に導かれ,プレクーラ5によって冷却された後,分流されてその一部は,2段目の乾式減湿装置20のロータ21のパージ区域21cに導かれ,その後,後述のように,3段目の乾式減湿装置30のロータ31の再生区域31bを通過した空気と混合されて,2段目の乾式減湿装置20のロータ21の再生区域21bに導かれるようになっている。分流された空気の他の一部は,2段目の乾式減湿装置20のロータ21の減湿区域21aに導かれる。
【0023】
2段目の乾式減湿装置20は,1段目の乾式減湿装置10と基本的に同一の構成を有し,ロータ21の端面は,ロータ21の回転方向順に,処理区域である減湿区域21a,再生区域21b,パージ区域21cの3つの空気通過区域に区画されている。この2段目の乾式減湿装置20のロータ21の減湿区域21aを通過した空気は,例えば,その露点温度が−75℃の低露点の空気にまで減湿されるようになっている。
【0024】
2段目の乾式減湿装置20のロータ21の減湿区域21aを通過した空気は,その後,処理ファン6に導かれ,プレクーラ7によって冷却された後,ロータ21の上流側で分流されて,その一部は,3段目の乾式減湿装置30のロータ31のパージ区域31cに導かれるようになっている。分流された空気の他の一部は,3段目の乾式減湿装置30のロータ31の減湿区域31aに導かれるようになっている。
【0025】
3段目の乾式減湿装置30は,1段目の乾式減湿装置10,2段目の乾式減湿装置20と基本的に同一の構成を有し,ロータ31の端面は,ロータ31の回転方向順に,処理区域である減湿区域31a,再生区域31b,パージ区域31cの3つの空気通過区域に区画されている。この3段目の乾式減湿装置30のロータ31の減湿区域31aを通過した空気は,例えば,その露点温度が−90℃〜−110℃の超低露点にまで減湿されるようになっている。
【0026】
3段目の乾式減湿装置30のロータ31の減湿区域31aを通過した空気は,必要に応じて加熱コイル(図示せず)によって加熱したり,あるいは冷却コイル(図示せず)によって冷却するなどして所期の温度に設定された後,給気ダクト8を通じて給気SAとして,保管庫Sに搬送される。
【0027】
前記プレクーラ7によって冷却された後ロータ31の上流側で分流されて,3段目の乾式減湿装置30のロータ31のパージ区域31cに導入された空気は,ロータ31の冷却を行った後,再生ヒータ41で加熱された後,再生ファン42によりロータ31の再生区域31bに導かれ,これによってロータ31の再生が行われるようになっている。
【0028】
3段目の乾式減湿装置30のロータ31の再生区域31bを通過した空気は,低湿かつ高温であるため,2段目の乾式減湿装置20のロータ21の再生に利用することができる。本実施の形態では,2段目の再生ヒータ44によってさらに加熱されて昇温されるが,前記したように再生区域31bを通過した空気は,低湿かつ高温であるため,この再生ヒータ44の容量は小さくて済む。
【0029】
一方,2段目の乾式減湿装置20のロータ21のパージ区域21cに導かれた空気は,ロータ21の冷却を行った後,前記再生ヒータ44によって昇温された空気と混合されて,再生ファン45によって2段目の乾式減湿装置20のロータ21の再生区域21bに導かれて,ロータ21の再生に利用されるようになっている。このように,2段目の再生ヒータ44の容量が小さくできると共に,再生に用いる空気の湿度が,従前の2段式の場合よりも低くできるため,2段目の乾式減湿装置20のロータ21の能力は,従来よりも向上している。
【0030】
2段目の乾式減湿装置20のロータ21の再生区域21bを通過して出口からでた空気は,再生ヒータ46で再度加熱され,再生ファン47によって1段目の乾式減湿装置10のロータ11の再生区域11bに導かれ,ロータ11の再生に用いられ,その後排気EAとして排出される。一方既述したロータ11のパージ区域11cを通過したパージ空気は,出口温度が比較的低温で低湿度の空気であるため,パージダクト48を通じて,外気処理クーラ2の一部を使って再度冷却されて,外気OAと混合されて処理用の空気として用いられる。なお図1におけるD1〜D4は,風量を調節するためにダクト中に適宜介装されたダンパである。
【0031】
なお保管庫Sからの還気RA1,RA2,RA3は,各々対応する還気ダクト51,52,53によって,それぞれ外気処理クーラ2の上流側で導入外気OAと混合されたり,1段目の乾式減湿装置10の減湿区域11aで減湿された空気と混合されたり,さらに2段目の乾式減湿装置20の減湿区域21aで減湿された空気と混合されて,各ロータ11,21,31の減湿区域へと導入自在である。これらは,ダンパD5,D6,D7の開閉によって選択されるようになっている。
【0032】
本実施の形態にかかる清浄空気供給システムは,以上のように構成されており,既述したように,外気処理クーラ2によって冷却減湿された後の空気は1段目の乾式減湿装置10の減湿区域11aで減湿され,例えば−35℃まで露点温度が下げられる。次いでプレクーラ5によって冷却減湿された後,今度は2段目の乾式減湿装置20の減湿区域21aによってさらに減湿され,例えば−75℃までその露点温度が下げられる。そしてプレクーラ7によって再度冷却減湿された後,さらに3段目の乾式減湿装置30の減湿区域31aによって,露点温度が−90℃〜−110℃までさらに下げられる。このように超低露点にまで露点温度が下げられた空気は,その後必要に応じて加熱,冷却処理によって温度が調整された後,保管庫Sに給気SAとして供給される。
【0033】
そして前記実施の形態にかかる清浄空気供給システムを実際に稼働させた際の清浄化能力,すなわちガス状の不純物の除去能力と減湿能力についての実験結果を図3の表に示す。この表において,「仕様値」とは,保管庫Sに求められる値をいい,露点温度は−100℃未満,有機ガス成分,無機ガス成分については,各々1ppb未満とした。有機ガス成分は有機ガス成分の合計(THC)を示し,「トルエン換算値」とは,測定装置の基準となる値をトルエンとしていることを意味する。また「BLK Level」とは,たとえば純粋な窒素ガスなどを通した場合に測定装置で測定される値と同等という意味であり,実際に使用した測定装置の実質的な測定下限である。無機ガス成分は,代表となるもののみを測定している。但し,実際には他の無機ガス成分も存在するが,外気OAに含まれる濃度は低く,無視できる程度であるとした。
【0034】
この表からわかるように,まず減湿能力についていえば,3段目の乾式減湿装置30のロータ31を出たときの露点温度は−114℃であり,これまで不可能とされていたロータを用いた乾式減湿装置における−80℃を大きく下まわっている。なお,各乾式減湿装置10,20,30の出入口の温度は次の通りである。
1段目の乾式装置10の入口温度→5℃,同じく出口温度→23℃
2段目の乾式装置20の入口温度→5℃,同じく出口温度→7℃
3段目の乾式装置30の入口温度→5℃,同じく出口温度→6℃
また再生入口温度については,いずれも120℃である。
【0035】
そして有機ガス成分については,0.2ppbであり,使用した測定装置の測定下限であった。また無機ガス成分についてみても,いずれも0.1ppb以下であり,きわめて高い除去能力が確認できた。したがって一般的にクリーンドライエアと呼ばれる値,露点温度が−100℃,ないし−110℃で,ガス状不純物濃度が1ppb以下の値をいずれもクリアしていることがわかる。そのうえ触媒やケミカルフィルタ等は使用しておらず,継続して清浄化空気を製造することが可能である。
【0036】
しかも従来のように,圧縮機や高価な触媒等は使用しておらず,その点でもコストが低廉化されている。発明者らの試算によれば,既述した従来技術による同レベルの清浄度,低露点の空気の製造コストの約1/3以下の,0.5円/m3以下にランニングコストを抑えることが可能である。
【0037】
しかも本実施の形態においては,2段目のロータ21,3段目のロータ31を通過する前に分流して各々パージ区域21c,31cに導入し,その後3段目のロータ31を通過した空気と混合して2段目のロータ21の再生区域1bに導入したり,あるいは3段目のロータ31の再生区域31bに導入するようにしたので,ロータ通過の際に風道がロータを通る回数が少なく,その分圧力損失を抑えている。そのため,各再生区域21b,31bの入口で正圧状態を実現することができる。
【0038】
例えば図4に示したように,3段目のロータ31の減湿区域31を通過した後に分流してパージ区域31cに導入し,その後再生ヒータ41で加熱した場合と比較すると次のような結果が得られる。いま,ロータ31の圧力損失を,減湿区域31aで450Pa,再生区域31bで500Pa,パージ区域31cで350Paとし,処理ファン6によって送風されてプレクーラ7を通過した時点での処理空気の圧力を550Paとした場合,図4に示した系統では,減湿区域31aを通過した時点で圧力が100Paとなってしまい,その後パージ区域31cを通過した時点で−250Paとなってしまい,再生区域31bの入口で負圧になってしまう。負圧だと外部から水分が侵入して混入するおそれがあり,超低露点が得られないおそれがある。
【0039】
なお図4のように,減湿区域31aを通過した空気をパージ区域31cに導入する系統を使用して再生区域31bの入口で正圧を保つには,減湿区域31aを通過した空気の一部をさらに分流してそのまま再生区域31bに導入するようにすればよいが,そうすると減湿区域31aを通過した超低露点の空気をさらに,再生に回すことになるので,風量をより多くしなければならず,結果としてエネルギ消費が多くなり実用的ではない。
【0040】
この点本実施の形態によれば,図5にも示したように減湿区域31aに導入する前に分流されて,パージ区域31cに導入するようにしているので,パージ区域31cを通過した時点では,200Paと依然として正圧を保っている。したがって,外部から水分がロータ31内に侵入するおそれがなく,超低露点を好適に得ることが可能になっている。
【0041】
その他適宜保管庫Sからの還気を処理空気に混合させて使用することができるので,この点からも省エネルギ効果が得られる。また吸着した有機ガス成分については,低沸点のものは,再生側で離脱してそのまま排気として排出されるので,清浄化能力については,影響がない。また高沸点のものについては,仮に離脱しないものがあったとしても,高沸点の有機ガスは非常に濃度が低いため,ロータの寿命よりも早く破瓜することはなく,実用上問題はない。
【0042】
次に他の実施の形態にかかる清浄空気の供給システムについて図6に基づいて説明する。なお図中,前記実施の形態と同一符号で示される装置等は同一の装置等を示している。この供給システムでは,3段目の乾式減湿装置30のロータ31の減湿区域31aを通過した空気の一部を再生用のヒータ41で加熱した後,ロータ31の再生区域31bに導くと共に,ロータ31の減湿区域31aを通過した空気の他の一部をパージ区域31cに導き,両区域を通過した空気を混合してヒータ44で加熱した後,2段目の乾式減湿装置20のロータ21の再生区域21bに導入するようにしたものである。また2段目のロータ21のパージ区域21cには,減湿区域21aを通過した空気の一部が導入されるようになっている。
【0043】
かかる構成のシステムでは,前出の実施の形態にかかるシステムよりもエネルギを多く必要とするが,3段目のロータ31の再生に3段目のロータ31の減湿区域31aを通過した最も清浄な空気を利用しているため,より清浄度の高い空気が得られる。また発明者らの試算によれば,この図6のシステムによっても,0.5円/m3以下の価格で有機ガス成分濃度が1ppb以下の清浄度を有する乾燥空気を保管庫Sに供給することが可能である。
【0044】
なお前記実施の形態では,各段における乾式減湿装置10,20,30は,基本的に同一構成のものを使用したが,第1段目の乾式減湿装置10については,格別第2段,第3段の乾式減湿装置20,30と同一のものを使用する必要はない。なお仮にロータを出た空気に粒子成分が含まれていたとしても,例えば3段目のロータ31の出口側にULPAフィルタを設置することで,これら粒子を除去できる。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば,省エネルギの下で有機ガス成分濃度が1ppb以下の清浄な空気を製造することができ,その結果ランニングコストも大きく低廉化させることが可能である。また高価な触媒等も不要である。また乾式減湿装置のロータを正圧に保つことができるので,外部から水分が侵入するおそれはなく,好適に清浄なかつ超低露点の空気を製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかる清浄空気供給システムの構成の概略を示す説明図である。
【図2】図1の清浄空気供給システムに用いた1段目の乾式減湿装置のロータ部分の斜視図である。
【図3】図1の清浄空気供給システムを稼働させたときの各段の乾式減湿装置の出口空気の露点温度及びガス成分濃度の測定値を示した図表である。
【図4】ロータの減湿区域を通過させて分流する系統における各点での圧力損失を示す説明図である。
【図5】図1のシステムにおける3段目の乾式減湿装置の周辺の各点での圧力損失を示す説明図である。
【図6】本発明の他の実施の形態にかかる清浄空気供給システムの構成の概略を示す説明図である。
【符号の説明】
10 乾式減湿装置(1段目)
11 ロータ
11a 減湿区域
11b 再生区域
11c パージ区域
20 乾式減湿装置(2段目)
21 ロータ
21a 減湿区域
21b 再生区域
21c パージ区域
30 乾式減湿装置(3段目)
31 ロータ
31a 減湿区域
31b 再生区域
31c パージ区域
D1〜D7 ダンパ
S 保管庫
Claims (7)
- 処理空気中の有機ガス成分を低減して清浄空気を製造する方法において,
回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続し,
前記3段直列の乾式減湿装置のうち,少なくとも2段目,3段目の乾式減湿装置におけるロータはシリカゲルを主体とし,アルミニウム,亜鉛を添加した金属珪酸塩を有するものであり,
1段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,前記2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気をさらに3段目の乾式減湿装置で減湿処理して清浄化することを特徴とする,清浄空気製造方法。 - 清浄空気を目的室に供給するシステムであって,
・シリカゲル又は金属珪酸塩を有する回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続して,1段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を3段目の乾式減湿装置で減湿処理するように構成され,
・前記2段目及び3段目の乾式減湿装置は,前記ロータの端面側に位置する空気の通過域が,減湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて,ロータの回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が位置するようにこれら各区域が配置され,
・前記1段目の乾式減湿装置で減湿された空気が分流されてその一部が前記2段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域を通過した空気と混合された後,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成され,
・前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気が分流されてその一部が前記3段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入され,当該減湿区域を通過した空気が前記目的室に導入されるように構成されたことを特徴とする,清浄空気供給システム。 - 前記目的室からの還気の一部が,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成されたことを特徴とする,請求項2に記載の清浄空気供給システム。
- 前記目的室からの還気の一部が,前記1段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成されたことを特徴とする,請求項2に記載の清浄空気供給システム。
- 処理空気中の有機ガス成分を低減した清浄空気を目的室に供給するシステムであって,
・回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を3段直列に系統接続して,1段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を2段目の乾式減湿装置で減湿処理し,2段目の乾式減湿装置で減湿処理した空気を3段目の乾式減湿装置で減湿処理するように構成され,
・前記3段直列の乾式減湿装置のうち,少なくとも2段目,3段目の乾式減湿装置におけるロータはシリカゲルを主体とし,アルミニウム,亜鉛を添加した金属珪酸塩を有するものであり,
・前記2段目及び3段目の乾式減湿装置は,前記ロータの端面側に位置する空気の通過域が,減湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて,ロータの回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が位置するようにこれら各区域が配置され,
・前記2段目の乾式減湿装置で減湿された空気が分流されてその一部が前記2段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入されると共に,当該パージ区域を通過した空気は,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域を通過した空気と混合された後,前記1段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部は前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域に導入されるように構成され,
・前記3段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気が分流されてその一部が前記3段目の乾式減湿装置のパージ区域に導入され,他の一部が再生ヒータによって加熱された後,前記3段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されると共に,当該パージ区域及び再生区域を通過した空気は,前記2段目の乾式減湿装置の再生区域に導入されるように構成され,前記分流された空気の他の一部が前記目的室に導入されるように構成されたことを特徴とする,清浄空気供給システム。 - 前記目的室からの還気の一部が,前記2段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成されたことを特徴とする,請求項5に記載の清浄空気供給システム。
- 前記目的室からの還気の一部が,前記1段目の乾式減湿装置の減湿区域を通過した空気と,前記分流前に混合されるように構成されたことを特徴とする,請求項5に記載の清浄空気供給システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21664999A JP4334688B2 (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 清浄空気製造方法及び供給システム |
TW89106360A TW436317B (en) | 1999-04-23 | 2000-04-05 | Dry dehumidifying system, and manufacturing method and supply system of clean air |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21664999A JP4334688B2 (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 清浄空気製造方法及び供給システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001038137A JP2001038137A (ja) | 2001-02-13 |
JP4334688B2 true JP4334688B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=16691766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21664999A Expired - Lifetime JP4334688B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-07-30 | 清浄空気製造方法及び供給システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4334688B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2623179A1 (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-07 | Cotes A/S | A rotary air drying apparatus |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100535878B1 (ko) * | 1999-04-23 | 2005-12-12 | 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 | 건식감습장치, 청정공기제조방법 및 청정공기공급장치 |
KR100497431B1 (ko) * | 2002-11-01 | 2005-07-01 | 주식회사 케이피씨 | 치과용 공기정화장치 |
JP4543794B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2010-09-15 | 国立大学法人東北大学 | 平板状部材の搬送装置 |
JP4662763B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-03-30 | 日本無機株式会社 | 清浄乾燥気体供給システム用エアフィルタ及び清浄乾燥気体供給システム |
JP4896597B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2012-03-14 | エア・ウォーター株式会社 | 作業雰囲気の空気成分制御方法 |
JP4869822B2 (ja) * | 2006-08-01 | 2012-02-08 | エア・ウォーター株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2008246438A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nichias Corp | 除湿機及び除湿方法 |
JP2011104542A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿装置 |
CN102221259B (zh) * | 2010-04-14 | 2013-08-14 | 泰怡凯电器(苏州)有限公司 | 移动式空气处理装置 |
JP5548650B2 (ja) * | 2011-06-01 | 2014-07-16 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
JP2013184086A (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-19 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿機 |
KR101553202B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2015-09-14 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 제습 시스템 |
JP5991698B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2016-09-14 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
CN104390320A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-03-04 | 苏州市海魄洁净环境工程有限公司 | 一种洁净室温湿度自动控制装置 |
JP6059266B2 (ja) * | 2015-02-17 | 2017-01-11 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
JP6059302B1 (ja) * | 2015-07-15 | 2017-01-11 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
DK180573B1 (en) * | 2019-03-07 | 2021-08-04 | Toerbaad Aps | Drying System for product-air having a dew point below -30°C |
JP2020159670A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 日本スピンドル製造株式会社 | 低湿空気供給装置 |
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- 1999-07-30 JP JP21664999A patent/JP4334688B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
EP2623179A1 (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-07 | Cotes A/S | A rotary air drying apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001038137A (ja) | 2001-02-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090623 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090624 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4334688 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130703 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140703 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |