JP4382341B2 - ロータ式除湿装置 - Google Patents
ロータ式除湿装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4382341B2 JP4382341B2 JP2002318400A JP2002318400A JP4382341B2 JP 4382341 B2 JP4382341 B2 JP 4382341B2 JP 2002318400 A JP2002318400 A JP 2002318400A JP 2002318400 A JP2002318400 A JP 2002318400A JP 4382341 B2 JP4382341 B2 JP 4382341B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- purge
- area
- rotor
- adsorbent layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
- F24F3/1411—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant
- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1032—Desiccant wheel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1068—Rotary wheel comprising one rotor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1092—Rotary wheel comprising four flow rotor segments
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1096—Rotary wheel comprising sealing means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気中水分の存在を嫌う物品の製造施設や環境試験室などにおいて、低湿度環境(すなわち、低露点環境)を形成するのに用いるロータ式除湿装置に関し、
詳しくは、吸着剤層をロータ回転方向に連続的に配置した吸着ロータの回転経路に、再生用高温気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層を再生する再生域と、パージ用気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層をパージするパージ域と、処理対象の空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその空気を除湿する処理域とをロータ回転方向において上手側から順に並べて配置してあるロータ式除湿装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のロータ式除湿装置では、図5に示すように、吸着剤層Xをロー回転方向に連続的に配置した吸着ロータ103の回転経路に、上記の再生域104とパージ域105と処理域106とを、その順にロータ回転方向の上手側から並べて配置する構成(図5では、吸着ロータ103を回転方向で展開して示している)において、処理対象の空気OAを処理域106に通過させて域内吸着剤層Xにより除湿処理するのに対し、この処理域106を通過した除湿処理後の低湿空気OA′を処理済み空気SAとして使用先101に送るようにするとともに、その除湿処理後の低湿空気OA′のうちの一部を分流して、その分流低湿空気をパージ用気体PAとしてパージ域105に送っていた(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
そして、このように処理域106で除湿処理した低湿空気OA′の一部をパージ用気体PAとしてパージ域105に送ることにより、パージ域105において、先の再生域104で再生処理された吸着剤層Xに余計な水分を吸着させることなく(すなわち、吸着剤層Xの吸湿能力をパージ用気体PA中の水分の為に低下させることなく)、域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに対しパージ処理を施すようにしていた。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−343819号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の装置では、処理済み空気SAとして送出する空気とパージ用気体PAとして用いる空気とを処理域106において一括に除湿するので、処理域106における吸着剤層Xの吸湿能力が処理済み空気SAとして送出する空気とパージ用気体PAとして用いる空気とに対し、それら空気の流量比と等しい割合で割り当てられる(すなわち、単位流量当りで均等に割り当てられる)形態になって、処理済み空気SAとして送出する空気への割り当て能力分が大きく減少し、このことで、装置の有効除湿能力(出力レベルでの除湿能力)が低くなる問題があり、換言すれば、処理域106を通過した除湿処理後の低湿空気OA′の一部を分流してパージ域105に送る方法では、パージ用気体PAとして用いる空気を必要以上に低湿化してしまう無駄があった。
【0006】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、処理済み空気として送出する空気とパージ用気体として装置内で使用する空気とを除湿処理することにおいて合理的な処理形態を採ることにより、上記の問題を効果的に解消する点にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
〔1〕請求項1に係る発明はロータ式除湿装置に係り、その特徴は、
吸着剤層をロータ回転方向に連続的に配置した吸着ロータの回転経路に、再生用高温気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層を再生する再生域と、パージ用気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層をパージするパージ域と、処理対象の空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその空気を除湿する処理域とをロータ回転方向において上手側から順に並べて配置してあるロータ式除湿装置において、
前記処理域をロータ回転方向において上手側の送気用処理域と下手側のパージ用処理域とに分割し、
前記処理対象の空気を前記送気用処理域と前記パージ用処理域とに分流して供給し、それら送気用処理域とパージ用処理域との夫々において導入空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風して除湿するとともに、前記送気用処理域で吸着剤層に通風して除湿した空気を処理済み空気として送出し、かつ、前記パージ用処理域で吸着剤層に通風して除湿した空気の全量を前記パージ用気体として前記パージ域に供給する構成にしてある点にある。
【0008】
つまり、ロータ式除湿装置では、処理域におけるロータ回転方向の上手側部分での除湿処理による吸着水分の蓄積により、処理域内にある吸着剤層はロータ回転方向の下手側ほど吸湿能力が低下するので、同じ処理域での除湿処理後の空気であっても、ロータ回転方向の上手側部分を通過した空気と下手側部分を通過した空気とでは、その除湿度に差が生じる。また一方、パージ用気体としてパージ域に供給する空気は、パージ域での冷却過程にあって未だ高温状態にある吸着剤層(すなわち、パージ完了後の吸着剤層に比べ平均的に吸湿効率が低い状態にある吸着剤層)が余分な水分を吸湿するのを抑止できる程度の低湿空気であれば十分で、処理済み空気として使用先に送出される空気ほど除湿度の高い空気でなくてもよい。
【0009】
このことに対し、上記構成によれば、処理域のうちロータ回転方向の上手側部分(すなわち、吸着水分の蓄積が未だ進んでおらず吸着剤層の吸湿能力が高い側の部分)を送気用処理域にして、その送気用処理域で除湿した空気を処理済み空気として送出し、一方、処理域のうちロータ回転方向の下手側部分(すなわち、吸着水分の蓄積が進んで吸着剤層の除湿能力が低下した側の部分)をパージ用処理域にして、そのパージ用処理域で除湿した空気をパージ用気体としてパージ域に供給するから、処理域全体としての吸着剤層の吸湿能力を処理域通過空気の中でも処理済み空気として送出する空気の方に優先的に割り当てることができて、そのことにより、処理済み空気として送出する空気の除湿度を高めるのに対し、パージ用気体として装置内で用いる空気の除湿度を処理済み空気として送出する空気の除湿度よりも低く制限することができ、これにより、先述の従来装置に比べ、パージ用気体として処理域からパージ域に送る空気を必要以上に低湿化してしまう無駄を回避した形態で、吸着ロータの大型化を伴うことなく装置の有効除湿能力を効果的に高めることができる。
【0010】
〔2〕請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記送気用処理域をロータ回転方向において上手側の主処理域と下手側の予処理域とに分割し、
前記送気用処理域で除湿処理する空気を前記予処理域と前記主処理域とに対してその順に通過させる構成にしてある点にある。
【0011】
つまり、この構成では、送気用処理域のうちロータ回転方向の上手側部分(すなわち、送気用処理域の中でも特に吸着水分の蓄積が進んでおらず吸着剤層の吸湿能力がかなり高い側の部分)を主処理域にし、一方、送気用処理域のうちロータ回転方向の下手側部分(すなわち、送気用処理域の中でも吸着水分の蓄積がある程度進んで吸着剤層の吸湿能力が多少低下した側の部分)を予処理域にし、この構成において、送気用処理域で除湿処理する空気を先ず予処理域に通過させることで予除湿し、それに続き、その予除湿後の空気を主処理域に通過させることで主除湿する。
【0012】
すなわち、このように送気用処理域で除湿処理する空気を予処理域とそれよりも域内吸着剤層の吸湿能力が高い主処理域とで2段階に除湿処理することにより、送気用処理域の全体に対し処理対象の空気を一過的に通過させて一段階で除湿処理するのに比べ、処理済み空気として送出する空気の除湿度を一層効果的に高めることができ、特に低湿の空気が要求される場合に有効となる。
【0013】
〔3〕請求項3に係る発明は、請求項1又は2に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記パージ用気体として前記パージ用処理域から前記パージ域に供給する空気を加熱するパージ用加熱手段を設けてある点にある。
【0014】
つまり、パージ用気体としてパージ域に供給する空気の温度が低い場合、パージ域に続く処理域での吸着剤層の温度を低くして処理域における吸着剤層の吸湿能力を高める点では有利であるが、反面、再生域からパージ域への放熱量が大きくなって再生域の温度が低下することで再生域での脱着効率(再生効率)が低くなり、そのことで処理域における吸着剤層の吸湿能力が低く制限されて、装置の有効除湿能力が却って低下してしまう場合がある。
【0015】
この点、上記構成によれば、パージ用処理域から送出される比較的低温の空気をパージ用加熱手段により加熱することで、パージ用気体としてパージ域に供給する低湿空気の温度を最適化して上記のように脱着効率の低下による吸湿能力の制限を回避しながら、パージ域における吸着剤層に残存する水分の脱着能力を高めることができ、これにより、装置の有効除湿能力を一層効果的に高めることができて、特に送気用処理域に送る空気をプレクーラにより予冷して送気用処理域における吸着剤層の吸湿能力を高める装置構成を採る場合に有効である。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1、図2は、本発明の請求項1に係る発明の好適な実施形態を示し、図1において、1は空気中水分の存在を嫌う物品(例えば、電子部品、薬剤、フィルム等)の製造作業を行なう低湿化対象域としてのドライルームであり、このドライルーム1へは、吸着ロータ式の除湿装置2により生成した低湿の処理済み空気SA(例えば、露点温度−35゜Cの空気)を供給し、この処理済み空気SAの供給によりドライルーム1を所要の低湿雰囲気に維持する。
【0017】
除湿装置2の吸着ロータ3は、シリカゲル、ゼオライト、活性炭などの吸着剤を用いた通気性の吸着剤層Xをロータ構成材としてロータ回転方向に連続的に配置したものであり、本実施形態では図2に示すように、ロータ回転軸芯Pの方向に空気OAを通過させる円盤状の吸着ロータ3を用いている。
【0018】
また、吸着ロータ3の回転経路は、ロータ回転方向において、再生域4と、パージ域5と、処理域6,7とに区画してあり、さらに、処理域6,7はロータ回転方向において上手側の送気用処理域6と下手側のパージ用処理域7とに分割してあり、これら計四域4〜7を上記の記載順にロータ回転方向に並べた配置にすることで、吸着ロータ3の回転に伴い、ロータ各部を再生域4、パージ域5、送気用処理域6、パージ用処理域7の順に移行させる。
【0019】
8は外部から空気OAを導入する空気導入路であり、この空気導入路8には、導入空気OAを浄化するフィルタ9、及び、そのフィルタ9により浄化された空気OAを予冷するプレクーラ10を装備してある。10aはプレクーラ10に装備のエリミネータである。
【0020】
フィルタ9及びプレクーラ10により浄化・予冷処理した導入空気OAを処理対象空気として、送気用処理域6とパージ用処理域7とに分流して供給し、それぞれ送気用処理域6とパージ用処理域7において導入空気OAを域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに通風することで、その空気OAを吸着剤層Xによる水分吸着により除湿する。
【0021】
そして、処理域6,7のロータ回転方向の上手側部分の送気用処理域6において、域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層X(すなわち、パージ域5におけるパージ処理後の吸湿能力が高い吸着剤層)に対し浄化・予冷後の空気OAを通風することで、空気OAを吸着剤層Xによる水分吸着により除湿度の高い低湿空気OA′を生成し、その低湿空気OA′を処理済み空気SAとしてアフタークーラ11により冷却した上で給気路12を通じてドライルーム1に供給する。
【0022】
また、パージ用処理域7において、域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層X(すなわち、送気用処理域6で既に除湿処理に用いて吸湿能力の低い吸着剤層)に対し浄化・予冷後の空気OAを通風することで、空気OAを吸着剤層Xによる水分吸着によりパージ用気体PAとしては充分に除湿された低湿空気OA″を生成し、その低湿空気OA″をパージ域5に供給する。
【0023】
これによって、ドライルーム1に対しては、高吸湿能力の吸着剤層Xが域内通過過程にある送気用処理域6を通過した高除湿度の低湿空気OA′を処理済み空気SAとして供給することができ、パージ域5に対しては、低吸湿能力の吸着剤層Xが域内通過過程にあるパージ用処理域7を通過した低除湿度の低湿空気OA″をパージ用気体PAとして供給することができる。
【0024】
パージ用処理域7を通過し除湿された低湿空気OA″(パージ用気体PA)は、パージ用導風路13を通じてパージ域5に供給され、パージ域5においてそのパージ用気体PAを域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに対して通風させることで、その吸着剤層X中に残る再生用高温気体HAの掃気(パージ)、及び、吸着剤層Xの冷却を行ない、このパージ域5での掃気・冷却処理を経て、再生域4での再生後の吸着剤層Xを吸着ロータ3の回転に伴い送気用処理域6及びパージ用処理域7へ移行させる。
【0025】
そして、パージ域5を通過した空気PA′は、再生用導風路14を通じて再生用加熱手段15に供給され、その再生用加熱手段15により所定の温度まで加熱された空気PA′は再生用高温気体HAとして再生域4に供給されて再生域4の域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xから吸着水分を脱着することで、吸着剤層Xの吸湿能力を上昇させて吸着剤層Xの再生化を図る。
【0026】
16は再生域4から送出される使用済みの再生用高温気体HA′を外部へ排出する排気路である。
【0027】
17はフィルタ9よりも上流側で空気導入路8に介装された外気ファンであり、処理域(すなわち、送気用処理域6とパージ用処理域7)において域内通過過程にある吸着剤層Xに通風させる空気OAを外部より導入して、送気用処理域6とパージ用処理域7とに供給する。
【0028】
18はフィルタ9・プレクーラ10による浄化・冷却後の空気OAを送気用処理域6とパージ用処理域7とに分流する処理ファンであり、処理ファン18により、送気用処理域6への空気OAの供給量とパージ用処理域7への空気OAの供給量とを所定量に調整する。
【0029】
19は排気路16に介装された再生ファンであり、この再生ファン19により、再生域4での吸着剤層Xに対する再生用高温気体HAの通風、及び、使用済み再生用高温気体HA′の外部への排出を行なう。
【0030】
20は空気導入路8、給気路12、パージ用導風路13、再生用導風路14、排出路16に設けられたダンパである。
【0031】
〔別の実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【0032】
本発明の請求項2に記載の発明の実施において、図3及び図4に示すように、処理域6,7のロータ回転方向の上手側部分の送気用処理域6を、そのロータ回転方向における上手側の主処理域6aと下手側の予処理域6bとに分割し、フィルタ9及びプレクーラ10によって浄化・予冷処理され、送気用処理域6に送る処理対象空気としての導入空気OAを、先ず予処理域6bの域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに通風し、その予処理域6bで予除湿処理された空気を主処理域6aの域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに通風することで、その導入空気OAを二段階に除湿処理することで、除湿度の極めて高い極低湿空気OA′を生成し、その極低湿空気OA′を処理済み空気SAとしてアフタークーラ11により冷却した上で給気路12を通じてドライルーム1に供給する構成にしてもよい。
【0033】
また、本発明の請求項3に記載の発明の実施において、図1及び図3に破線で示すように、パージ用処理域7を通過したパージ用気体PAをパージ域5に供給するパージ用導風路13上に、パージ用気体PAを加熱するパージ用加熱手段21を設けてもよい。
【0034】
除湿処理後の処理済み空気SAを送る低湿化対象域1の具体的用途及び域構成はどのようなものであってもよく、また、場合によっては除湿処理後の処理済み空気SAを他の除湿手段によりさらに除湿した上で用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 装置の全体構成を示す図
【図2】 吸着ロータ部分の斜視図
【図3】 別実施形態にある装置の全体構成を示す図
【図4】 別実施形態にある吸着ロータ部分の斜視図
【図5】 従来装置の全体構成を示す図
【符号の説明】
1 使用先
3 吸着ロータ
4 再生域
5 パージ域
6 送気用処理域
6a 主処理域
6b 予処理域
7 パージ用処理域
21 パージ用加熱手段
HA 再生用高温気体
OA 処理対象空気
OA′ 空気
OA″ 空気
SA 処理済み空気
PA パージ用気体
X 吸着剤層
Claims (3)
- 吸着剤層をロータ回転方向に連続的に配置した吸着ロータの回転経路に、再生用高温気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層を再生する再生域と、パージ用気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその吸着剤層をパージするパージ域と、処理対象の空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその空気を除湿する処理域とをロータ回転方向において上手側から順に並べて配置してあるロータ式除湿装置であって、
前記処理域をロータ回転方向において上手側の送気用処理域と下手側のパージ用処理域とに分割し、
前記処理対象の空気を前記送気用処理域と前記パージ用処理域とに分流して供給し、それら送気用処理域とパージ用処理域との夫々において導入空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風して除湿するとともに、前記送気用処理域で吸着剤層に通風して除湿した空気を処理済み空気として送出し、かつ、前記パージ用処理域で吸着剤層に通風して除湿した空気の全量を前記パージ用気体として前記パージ域に供給する構成にしてあるロータ式除湿装置。 - 前記送気用処理域をロータ回転方向において上手側の主処理域と下手側の予処理域とに分割し、
前記送気用処理域で除湿処理する空気を前記予処理域と前記主処理域とに対してその順に通過させる構成にしてある請求項1記載のロータ式除湿装置。 - 前記パージ用気体として前記パージ用処理域から前記パージ域に供給する空気を加熱するパージ用加熱手段を設けてある請求項1又は2記載のロータ式除湿装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002318400A JP4382341B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | ロータ式除湿装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002318400A JP4382341B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | ロータ式除湿装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004148255A JP2004148255A (ja) | 2004-05-27 |
JP4382341B2 true JP4382341B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=32461543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002318400A Expired - Fee Related JP4382341B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | ロータ式除湿装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4382341B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100775075B1 (ko) * | 2007-08-13 | 2007-11-08 | (주)에이티이엔지 | 데시칸트 제습기 |
EP2585196B1 (en) * | 2010-06-22 | 2017-11-08 | Bry-Air (Asia) Pvt. Ltd. | System and method for improving the performance of desiccant dehumidification equipment for low-humidity applications |
JP5698172B2 (ja) * | 2012-03-14 | 2015-04-08 | 株式会社西部技研 | グローブボックス |
-
2002
- 2002-10-31 JP JP2002318400A patent/JP4382341B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004148255A (ja) | 2004-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2019018157A (ja) | 除湿空調装置 | |
JP4334688B2 (ja) | 清浄空気製造方法及び供給システム | |
JP2659652B2 (ja) | 乾式除湿装置 | |
JP2014507275A5 (ja) | ||
EP1231439B1 (en) | Clean room | |
JP3762138B2 (ja) | 乾式減湿システム | |
JP2006326504A (ja) | 除湿装置 | |
JP4990443B2 (ja) | 除湿装置及び除湿方法 | |
JP2004008914A (ja) | 乾式除湿装置 | |
JP3081601B1 (ja) | 除湿装置 | |
JP2012166128A5 (ja) | ||
JP3483752B2 (ja) | 乾式減湿システム | |
JP4382341B2 (ja) | ロータ式除湿装置 | |
JPH05200231A (ja) | 乾式除湿装置 | |
JP2731499B2 (ja) | 乾式除湿装置 | |
JPH05200233A (ja) | 乾式除湿装置 | |
JP4250380B2 (ja) | ガス濃縮装置及びガス濃縮方法 | |
JP3105382B2 (ja) | 超低露点空気発生装置 | |
JP3979824B2 (ja) | ロータ式除湿装置 | |
JP4014393B2 (ja) | 除湿装置 | |
JP3560004B2 (ja) | 水分・炭酸ガスの除去方法及び装置 | |
JPH06320A (ja) | 乾式除湿装置 | |
JP5823334B2 (ja) | 吸着システム | |
JP2001205037A (ja) | 乾式除湿装置 | |
JPH0724239A (ja) | 空気浄化装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090910 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |