JP3081601B1 - 除湿装置 - Google Patents

除湿装置

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JP3081601B1
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Abstract

【要約】 【課題】 除湿装置の除湿性能を効果的に向上させる。 【解決手段】 外気OAを吸着剤層Xへの通風により予
除湿するとともに、この予除湿後の外気OA′、又は、
その予除湿後の外気OA′と低湿化対象域1からの還気
RAとの混合気を、吸着剤層Xへの通風により主除湿
し、予除湿及び主除湿に用いた吸着剤層Xを、その吸着
剤層Xに再生用高温気体HAを通風する再生処理と、再
生処理後の吸着剤層Xにパージ用気体PAを通風するパ
ージ処理とを経て、予除湿及び主除湿に再使用する除湿
装置において、パージ処理として、予除湿及び主除湿の
夫々に用いる吸着剤層Xに、予除湿後の外気OA′の一
部OA″、又は、主除湿後の空気SAの一部、又は、低
湿化対象域1からの還気RAの一部をパージ用気体PA
として通風する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境試験室や空気
中水分の存在を嫌う物品の製造施設などで、低湿度環境
(低露点環境)の形成に用いる除湿装置に関し、詳しく
は、外気を吸着剤層への通風により予除湿するととも
に、この予除湿後の外気、又は、その予除湿後の外気と
低湿化対象域からの還気との混合気を、予除湿に用いる
吸着剤層よりも吸着能力が高い状態にある吸着剤層への
通風により主除湿して、この主除湿後の空気を低湿化対
象域に供給し、そして、予除湿及び主除湿の夫々に用い
た吸着剤層を、その吸着剤層に再生用高温気体を通風す
る再生処理と、その再生処理後の吸着剤層にパージ用気
体を通風するパージ処理とを経て、予除湿及び主除湿の
夫々に再使用する除湿装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の除湿装置では、図4に示
すように、吸着剤層Xを構成材とする前段と後段の2つ
の吸着ロータ3a、3bを設け、そして、前段の吸着ロ
ータ3aについては、外気OAを通過過程のロータ部分
に通風する予処理域5aと、再生用高温気体HAを通過
過程のロータ部分に通風する再生処理域6aと、予処理
域5へ送る外気OAからの分流外気oaをパージ用気体
PAとして通過過程のロータ部分に通風するパージ処理
域7aとを、その順にロータ回転方向に並べてロータ回
転経路に配置し、また、後段の吸着ロータ3bについて
は、前段吸着ロータ3aの予処理域5aを通過した外気
OA′と低湿化対象域1からの還気RAとの混合気MA
を通過過程のロータ部分に通風する主処理域4bと、再
生用高温気体HAを通過過程のロータ部分に通風する再
生処理域6bと、主処理域4bへ送る混合気MAからの
分流気maをパージ用気体PAとして通過過程のロータ
部分に通風するパージ処理域7bとを、その順にロータ
回転方向に並べてロータ回転経路に配置していた。
【0003】つまり、外気OAを前段吸着ロータ3aの
予処理域5aにおいて通過ロータ部分の吸着剤層Xに通
風することで水分吸着により予除湿するとともに、この
予除湿後の外気OA′と低湿化対象域1からの還気RA
との混合気MAを、後段吸着ロータ3bの主処理域4b
において通過ロータ部分の吸着剤層Xに通風することで
同じく水分吸着により主除湿するようにし、この主除湿
後の空気SAを低湿化対象域1に供給していた。
【0004】そして、前段吸着ロータ3aでは、予処理
域5aで外気OAの予除湿に用いた吸着剤層X(ロータ
部分)を、予処理域5aに続く再生処理域6aで再生用
高温気体HAの通風により再生処理するとともに、その
再生処理域6aに続くパージ処理域7aで分流外気oa
の通風によりパージ処理して、その後、再び予処理域5
aで外気OAの予除湿に用いるようにし、また、後段吸
着ロータ3bでは、主処理域4bで混合気MAの主除湿
に用いた吸着剤層X(ロータ部分)を、主処理域4bに
続く再生処理域6bで再生用高温気体HAの通風により
再生処理するとともに、その再生処理域6bに続くパー
ジ処理域7bで分流混合気maの通風によりパージ処理
して、その後、再び主処理域4bで混合気MAの主除湿
に用いるようにしていた。
【0005】同図4において、24は主除湿対象の混合
気MAを冷却することで後段吸着ロータ3bでの主除湿
効果を高めるプレクーラ、25は後段吸着ロータ3bで
の水分吸着による主除湿で昇温した主除湿後の空気SA
を冷却するアフタークーラ、26,27は後段吸着ロー
タ3b及び前段吸着ロータ3a夫々の再生処理域6b,
6aに供給する再生用高温気体HAを加熱生成する再生
用ヒータである。
【0006】なお、外気OAの予除湿に吸着ロータ以外
の除湿手段を用いた従来装置としては、図5に示すよう
に、前段吸着ロータ3aに代えて、外気OAを露点温度
以下に冷却する除湿用冷却コイル28を設け、この除湿
用冷却コイル28での冷却除湿により外気OAを予除湿
するようにしたものがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、外気OAの予
除湿に除湿用冷却コイル28を用いる後者(図5)の従
来装置では、除湿用冷却コイル28で用いる冷却媒体
(例えば冷水や低温ブライン)の温度により外気OAの
冷却温度が制限されるため、外気OAを十分な低湿度ま
で予除湿することができず、この為、主除湿後の空気S
Aとして所要低湿度の空気を得るのに、後段吸着ロータ
3bに大型で大能力のものが必要になって、装置全体が
大型化したり装置コストが嵩む問題があり、また、大能
力の後段吸着ロータ3bを用いたとしても限界があっ
て、より低湿の空気の生成が要求されることに対し対応
できない問題もあった。
【0008】そして、前段と後段の2つの吸着ロータ3
a、3bを用いる前者(図4)の従来装置では、外気O
Aの予除湿に除湿用冷却コイル28を用いる装置と比べ
れば、外気OAをより低い湿度まで予除湿し得るもの
の、それにしても、前段吸着ロータ3aのパージ処理域
7aでパージ用気体PAとして吸着剤層X(通過ロータ
部分)に通風する分流外気oaの保有水分が影響して、
そのパージ処理域7aに続き予処理域5aに移行する吸
着剤層X(ロータ部分)の吸着水分量がかなり高いもの
となり、この為、予処理域5aでの通風外気OAからの
除湿量が低く制限されて、やはり後段吸着ロータ3bに
大型で大能力のものが必要になる、また、より低湿の空
気の生成が要求されることに対し対応できないといった
同種の問題が依然としてあった。
【0009】この実情に鑑み、本発明の第1の課題は、
外気をより効果的に予除湿できるようにして、装置全体
としての除湿性能を大きく向上させる点にあり、また、
本発明の第2の課題は、高い除湿性能を得ながら装置全
体の効果的なコンパクト化を可能にする点にある。
【0010】
【課題を解決するための手段】〔1〕請求項1に係る発
明では、外気を吸着剤層への通風により予除湿するとと
もに、この予除湿後の外気、又は、その予除湿後の外気
と低湿化対象域からの還気との混合気を、前記予除湿に
用いる吸着剤層よりも吸着能力が高い状態にある吸着剤
層への通風により主除湿して、この主除湿後の空気を前
記低湿化対象域に供給し、前記予除湿及び前記主除湿の
夫々に用いた前記吸着剤層を、その吸着剤層に再生用高
温気体を通風する再生処理と、その再生処理後の吸着剤
層にパージ用気体を通風するパージ処理とを経て、前記
予除湿及び前記主除湿の夫々に再使用する除湿装置にお
いて、前記パージ処理として、前記予除湿及び前記主除
湿の夫々に用いる前記吸着剤層に、前記予除湿後で主除
湿前の外気の一部を前記パージ用気体として通風する構
成にする。
【0011】つまり、この構成では、先述した従来装置
の前段吸着ロータでパージ用気体として用いる予除湿前
の分流外気よりも除湿により低湿度化した空気(すなわ
ち、上記した予除湿後で主除湿前の外気の一部)をパー
ジ用気体に用いて、外気の予除湿に用いる吸着剤層をパ
ージ処理するから、パージ用気体の保有水分の影響で予
除湿に用いる吸着剤層の吸着水分量が高いものとなって
外気からの除湿量が低く制限されることを効果的に解消
できて、吸着水分量の十分に低い状態の吸着剤層により
外気の予除湿を行うことができ、これにより、先述の各
従来装置に比べ、外気の予除湿をより効果的に行うこと
ができて、予除湿後の外気の湿度を大きく低下させるこ
とができる。
【0012】そして、このように予除湿後の外気の湿度
を大きく低下させ得ることで、主除湿での除湿負荷を軽
減して主除湿後の空気の湿度を効果的に低下させること
ができ、また、予除湿後の外気の湿度低下により、主除
湿に用いる吸着剤層についてのパージ用気体(すなわ
ち、上記した予除湿後で主除湿前の外気の一部)の湿度
も低下して、吸着水分量のより低い状態の吸着剤層によ
り主除湿を行えることからも、主除湿後の空気の湿度を
さらに効果的に低下させることができる。
【0013】すなわち、これらのことから、先述の各従
来装置に比べ、装置全体としての除湿性能を大きく向上
させることができて、装置のコンパクト化及び装置コス
トの低減を図りながら所要低湿度の空気を得ることがで
き、また、各従来装置では対応できなかったより低湿の
空気の生成にも対応することができる。
【0014】〔2〕請求項2に係る発明では、前記吸着
剤層を、前記主除湿及び前記予除湿の順に用いた後、前
記再生処理及び前記パージ処理を経て、再び前記主除湿
及び前記予除湿の順に用いる構成にする。
【0015】つまり、この構成では、前述の如き予除湿
後外気の大きな湿度低下による主除湿負荷の軽減、及
び、主除湿能力そのものの向上により、主除湿に用いた
後の吸着剤層でも引き続き外気の予除湿に十分に使用で
きることに着目し、再生処理及びパージ処理を経た同一
の吸着剤層を用いて主除湿と外気の予除湿とを順次に行
うようにする。
【0016】そして、この構成によれば、同一の吸着剤
層を用いて主除湿と外気の予除湿とを順次に行うから、
主除湿と予除湿を各々専用の吸着剤層を用いて行う場合
に生じる各吸着剤層の劣化程度の異なりや耐用期間の異
なりを回避することができ、これにより、吸着剤層の保
守管理を容易にすることができる。
【0017】〔3〕請求項3に係る発明では、前記吸着
剤層をロータ構成材としてロータ回転方向に連続的に配
置した吸着ロータを設け、この吸着ロータの回転経路
に、前記主除湿の対象気を通過過程のロータ部分に通風
する主処理域と、前記予除湿の対象外気を通過過程のロ
ータ部分に通風する予処理域と、前記再生用高温気体を
通過過程のロータ部分に通風する再生処理域と、前記パ
ージ用気体を通過過程のロータ部分に通風するパージ処
理域とを、その順にロータ回転方向に並べて配置する構
成にする。
【0018】つまり、この構成では、吸着剤層を構成材
とする1つの吸着ロータのうち、主処理域の通過過程に
あるロータ部分の吸着剤層により主除湿を行い、この主
処理域に対しロータ回転方向で下手に位置する予処理域
の通過過程にあるロータ部分の吸着剤層(すなわち、主
除湿に用いた後の吸着剤層)により外気の予除湿を行
う。
【0019】また、この予処理域に対しロータ回転方向
で下手に位置する再生処理域の通過過程にあるロータ部
分の吸着剤層(すなわち、予除湿に用いた後の吸着剤
層)を、再生用高温気体の通風により再生処理し、この
再生処理域に対しロータ回転方向で下手に位置するパー
ジ処理域の通過過程にあるロータ部分の吸着剤層(すな
わち、主処理域へ送る再生処理後の吸着剤層)を、パー
ジ用気体の通風によりパージ処理し、これにより、1つ
の吸着ロータにおいて主除湿と外気の予除湿と再生処理
とパージ処理とを併行実施しながら、ロータ各部の吸着
剤層について、同一の吸着剤層をロータ回転に伴い、主
除湿及び予除湿の順に用いた後、再生処理及びパージ処
理を経て、再び主除湿及び予除湿の順に用いる形態にす
る。
【0020】すなわち、この構成によれば、前述の如く
高い除湿性能を得るようにしながらも、1つの吸着ロー
タにより予除湿と主除湿を行うから、先述の従来装置の
如く予除湿と主除湿を各別の吸着ロータで行う構成を採
るに比べ、装置構成を簡素化することができて、装置全
体を極めて効果的にコンパクト化することができ、ま
た、装置コストを一層低減し得るとともに、装置の保守
・管理も一層容易にすることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】図1において、1は空気中水分の
存在を嫌う物品(例えば、光ディスクや薬剤等)の製造
作業を行う低湿化対象域としてのドライルームであり、
このドライルーム1へは、吸着ロータ使用の除湿装置2
により生成した極低湿度の空気SA(例えば、絶対湿度
0.013g/kg(DA),乾球湿度13℃)を供給
し、この低湿度空気SAの供給によりドライルーム1を
所要の低湿度雰囲気(例えば、絶対湿度0.07g/k
g(DA),乾球温度23℃)に維持する。
【0022】除湿装置2における吸着ロータ3は、活性
炭などの吸着剤を用いた通気性の吸着剤層Xをロータ構
成材としてロータ回転方向に連続的に配置したものであ
り、本例では図2に示す如く、ロータ回転軸芯Pの方向
に気体通過させる円盤状の吸着ロータ3にしてある。
【0023】吸着ロータ3の回転経路は、ロータ回転方
向において主処理域4,予処理域5,再生処理域6,パ
ージ処理域7の四域に区画してあり、これら四域4〜7
を上記の記載順にロータ回転方向に並べた配置にするこ
とにより、吸着ロータ3の回転に伴い、ロータ各部を主
処理域4,予処理域5,再生処理域6,パージ処理域7
の順に移行させる。
【0024】そして、主処理域4では、主除湿対象気M
Aを通過過程のロータ部分(すなわち、再生処理後で吸
着剤層Xの吸着能力が高いロータ部分)に通風すること
で、主除湿対象気MAを吸着剤による水分吸着により除
湿(主除湿)し、主処理域4に続く予処理域5では、外
気導入路8からの導入外気OAを予除湿対象気として主
処理域4と同じ通風向きで通過過程のロータ部分に通風
することで、導入外気OAを吸着剤の残存吸着能力によ
る水分吸着をもって除湿(予除湿)する。
【0025】また、予処理域5に続く再生処理域6で
は、再生用高温気体HAを主処理域4や予処理域5とは
逆の通風向きで通過過程のロータ部分に通風すること
で、主処理域4及び予処理域5で水分吸着した吸着剤層
Xを再生用高温気体HAによる吸着水分の脱着をもって
再生処理し、再生処理域6に続くパージ処理域7では、
パージ用気体PAを主処理域4や予処理域5と同じ通風
向きで通過過程のロータ部分に通風することで、次の主
処理域4への移行に先立ち、吸着剤層X中に残る再生用
高温気体HAを排除するとともに吸着剤層Xを冷却す
る。
【0026】除湿装置2の風路構成については、予処理
域5を通過した後の処理済み外気OA′を風路9,10
により導いて、還気風路11により導かれるドライルー
ム1からの還気RAと合流させ、この処理済み外気O
A′と還気RAとの合流混合気を風路12を通じ主除湿
対象気MAとして主処理域4に送るようにし、また、予
処理域5を通過した後の処理済み外気OA′の一部O
A″を風路9,10から分流して、この分流した処理済
み外気OA″を風路13を通じパージ用気体PAとして
パージ処理域7に送るようにしてある。
【0027】つまり、外気導入路8からの導入外気OA
を予処理域5で予除湿して、この予除湿後の外気OA′
とドライルーム1からの還気RAとの混合気を主処理域
4で主除湿し、この主除湿後の空気SAを風路14を通
じてドライルーム1に供給するようにしてある。
【0028】また、パージ処理域7では、予除湿により
湿度低下した外気OA′の一部OA″(予除湿後で主除
湿前及び還気合流前の外気OA′の一部OA″)をパー
ジ用気体PAとして吸着剤層Xのパージ処理を行なうこ
とにより、次に除湿に用いる吸着剤層Xの吸着水分量が
パージ用気体PAの保有水分の影響で高いものとなって
次の除湿過程での除湿量が低く制限されるといったこと
を回避し、吸着水分量の十分に低い状態の吸着剤層Xに
より次の主除湿及び予除湿を行なえるようにしてある。
【0029】15は主処理域4での水分吸着による主除
湿で昇温した主除湿後の空気SAを冷却するアフターク
ーラ、16は再生処理域6に送る再生用高温気体HAを
加熱生成する再生用ヒータであり、本例では、パージ処
理域7を通過した後の使用済みパージ用気体PA′(す
なわち、パージ処理に用いた後の予除湿後分流外気O
A″)を風路17を通じ再生用ヒータ16に導いて加熱
し、この加熱空気を再生用高温気体HAとして再生処理
域6に送るようにしてある。
【0030】また、再生処理域6に通過させた後、風路
18を通じて外部へ排出する使用済み再生用高温気体H
A′の一部HA″を分流して、この分流気HA″を還送
路19を通じ風路17の使用済みパージ用気体PA′に
合流させ、これにより、再生用高温気体HAを一部循環
使用する形態にして、再生用ヒータ16での必要加熱量
を低減するとともに、再生処理域6に対する再生用高温
気体HAの通風量を大きく確保するようにしてある。
【0031】20は、使用済みパージ用気体PA′と還
送路19により導かれる分流気HA″との混合気に対し
外気OAを混入する風路であり、この外気混入量の調整
により、再生用高温気体HAの湿度を調整する。また、
21はドライルーム1への外気導入風量に相当する風量
の室内気を排気EAとして外部へ排出する排気路であ
る。
【0032】なお、図1においては、装置仕様の一例と
して、各部の風量(m3 /H,at20℃),絶対湿度
(g/kg(DA)),乾球温度(DB℃)を例示して
ある。
【0033】
【0034】
【0035】〔別実施形態〕 前述の各実施形態において、主処理域4に送る主除湿対
象気MAを冷却する冷却コイルや、パージ処理域7に送
るパージ用気体PAを冷却する冷却コイル、あるいはま
た、予処理域5に送る予除湿対象外気OAを冷却する冷
却コイルを設け、これら冷却コイルによる気体冷却によ
り吸着剤の吸着能力を高めて、除湿性能の一層の向上を
図ってもよい。
【0036】前述の各実施形態では1つの吸着ロータ3
で主除湿と外気の予除湿とを行う例を示したが、場合に
よっては、図3に示すように、前段吸着ロータ3aの予
処理域5aで外気OAの予除湿を行うとともに、後段吸
着ロータ3bの主処理域4bで主除湿を行う形式におい
て、前段吸着ロータ3aのパージ処理域7a、及び、後
段吸着ロータ3bのパージ処理域7bの夫々に、パージ
用気体PAとして予除湿後で主除湿前の外気OA′と低
湿化対象域1からの還気RAとの合流混合気MAの一部
MA′を送るようにしてもよい。なお、図3において、
24はプレクーラ、25はアフタークーラ、26, 27
は再生用ヒータである。
【0037】前述の各実施形態では、予除湿後の外気O
A′と低湿化対象域1からの還気RAとの混合気を主除
湿対象気MAとする例を示したが、これに代え、予除湿
後の外気OA′のみを主除湿対象気MAとする全外気方
式を採用してもよい。
【0038】吸着ロータは、回転軸芯方向に気体通過さ
せる円盤状ロータに限定されるものではなく、回転半径
方向に気体通過させる円筒状ロータや、帯面に対し直交
する方向に気体通過させる無端帯状のロータであっても
よく、また、吸着ロータを用いるに代え、固定吸着剤層
に対し主除湿対象気MAと予除湿対象外気OAと再生用
高温気体HAとパージ用気体PAをその順に切り替え通
風する吸着塔形式を採用してもよい。
【0039】パージ処理において、予除湿及び主除湿の
夫々に用いる吸着剤層Xに対しパージ用気体PAとして
通風する予除湿後で主除湿前の外気OA′の一部OA″
に、主除湿後の空気SAの一部SA′又は低湿化対象域
1からの還気RAの一部RA′を混合してもよい。
【0040】主除湿後の空気SAを送る低湿化対象域1
の具体的用途及び域構成はどのようなものであってもよ
く、また、場合によっては主除湿後の空気SAを他の除
湿手段によりさらに除湿した上で用いるようにしてもよ
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】装置の全体構成を示す図
【図2】吸着ロータの斜視図
【図3】別実施形態を示す装置構成図
【図4】従来装置の装置構成図
【図5】他の従来装置の装置構成図
【符号の説明】
1 低湿化対象域 3 吸着ロータ 4 主処理域 5 予処理域 6 再生処理域 7 パージ処理域 HA 再生用高温気体 MA 主除湿対象気 OA 外気 OA′ 予除湿後の外気 PA パージ用気体 RA 還気 SA 主除湿後の空気 X 吸着剤層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹嶋 康之 東京都新宿区西新宿2丁目6番1号 株 式会社大氣社内 (56)参考文献 特開 平6−343819(JP,A) 特開 平11−522(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F24F 3/14

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外気を吸着剤層への通風により予除湿す
    るとともに、この予除湿後の外気、又は、その予除湿後
    の外気と低湿化対象域からの還気との混合気を、前記予
    除湿に用いる吸着剤層よりも吸着能力が高い状態にある
    吸着剤層への通風により主除湿して、この主除湿後の空
    気を前記低湿化対象域に供給し、 前記予除湿及び前記主除湿の夫々に用いた前記吸着剤層
    を、その吸着剤層に再生用高温気体を通風する再生処理
    と、その再生処理後の吸着剤層にパージ用気体を通風す
    るパージ処理とを経て、前記予除湿及び前記主除湿の夫
    々に再使用する除湿装置であって、 前記パージ処理として、前記予除湿及び前記主除湿の夫
    々に用いる前記吸着剤層に、前記予除湿後で主除湿前の
    外気の一部を前記パージ用気体として通風する構成にし
    てある除湿装置。
  2. 【請求項2】 前記吸着剤層を、前記主除湿及び前記予
    除湿の順に用いた後、前記再生処理及び前記パージ処理
    を経て、再び前記主除湿及び前記予除湿の順に用いる構
    成にしてある請求項1記載の除湿装置。
  3. 【請求項3】 前記吸着剤層をロータ構成材としてロー
    タ回転方向に連続的に配置した吸着ロータを設け、 この吸着ロータの回転経路に、前記主除湿の対象気を通
    過過程のロータ部分に通風する主処理域と、前記予除湿
    の対象外気を通過過程のロータ部分に通風する予処理域
    と、前記再生用高温気体を通過過程のロータ部分に通風
    する再生処理域と、前記パージ用気体を通過過程のロー
    タ部分に通風するパージ処理域とを、その順にロータ回
    転方向に並べて配置してある請求項2記載の除湿装置。
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