TW201643093A

TW201643093A - 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置

Info

Publication number: TW201643093A
Application number: TW105116157A
Authority: TW
Inventors: Hiroyuki Shimizu; Toshioki Shimojima; Sota Shimizu
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-05-27
Filing date: 2016-05-24
Publication date: 2016-12-16
Also published as: TWI668174B; CN106199376A

Abstract

本發明提供一種能夠操作各作動部之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。電子零件搬送裝置10具有：複數個作動部；及操作部，其能夠操作各作動部中之至少1個作動部。該操作部係由顯示於顯示裝置40之按鈕構成。又，操作滑鼠51於顯示裝置40中將游標對準按鈕並點選，藉此能夠使作動部作動。

Description

電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置

本發明係關於一種電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。

先前，已知有例如對IC(Integrated Circuit，積體電路)器件等電子零件之電氣特性進行檢查之電子零件檢查裝置。該電子零件檢查裝置一般具有：檢查部，其檢查IC器件；及電子零件搬送裝置，其具有用以將IC器件搬送至檢查部之搬送部。又，於電子零件檢查裝置中，存在一面將IC器件冷卻或加熱至特定溫度，一面檢查IC器件之情況。

作為此種電子零件檢查裝置之一例，例如專利文獻1中揭示有具備檢查IC器件之電氣特性之檢查部之IC處置器。於該專利文獻1中，將IC處置器內之溫度或氣體等各種設定條件、或IC器件之良品率等顯示於操作畫面。

又，於先前之電子零件檢查裝置中，存在組入有用以將IC器件搬送至檢查部之保持部之電子零件搬送裝置者。例如，於專利文獻2所示之電子零件搬送裝置中，載置IC器件並使其自第1位置(特定位置)移動至第2位置(特定位置)之移動部對應於IC器件之搬送路徑而配置於複數個部位，作為移動部，存在使IC器件沿X方向移動者。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-97899號公報

[專利文獻2]日本專利特開2014-085230號公報

然而，於專利文獻1所示之IC處置器中，無法於操作畫面上操作IC處置器之各部之作動。因此，例如於進行IC處置器之各部之動作確認等之情形時，需要移動IC處置器整體。

又，於專利文獻2所示之電子零件搬送裝置中，存在定期進行用以變更移動部自第1位置移動至第2位置所需之動作時間之維護之情況。然而，動作時間之變更例如係進行維護之作業人員使用秒錶而進行，藉由該作業人員按下開始按鈕之時點或按下停止按鈕之時點會產生偏差。該情形時，存在用以獲得所需之處理量之移動部之動作時間未準確地變更之問題。

本發明係為了解決上述課題之至少一部分而完成者，能夠作為以下之形態或應用例而實現。

[應用例1]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於具有：複數個作動部；及操作部，其能夠操作上述複數個作動部中之至少1個作動部。

藉此，能夠操作各作動部。因此，例如能夠進行作動部之動作確認。

[應用例2]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述操作部能夠各自獨立地操作上述複數個作動部。

藉此，例如能夠進行複數個作動部中之僅欲進行動作確認之作動部之動作確認。

[應用例3]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述作動部係能夠開閉之擋板。

藉此，能夠進行擋板之動作確認。

[應用例4]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，具有顯示上述操作部之顯示部。

藉此，能夠一面視認顯示部一面進行操作部之操作。

[應用例5]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述顯示部顯示作動部之作動狀態。

藉此，能夠將作動部之作動狀態顯示於顯示部。因此，能夠一面進行作動部之操作一面確認作動狀態。

[應用例6]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述操作部係於上述作動部之動作確認時顯示。

藉此，能夠進行動作確認。

[應用例7]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述顯示部具有進行使上述作動部作動之指示之操作按鈕。

藉此，能夠藉由對操作按鈕進行操作之簡單方法，而操作作動部。

[應用例8]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述操作按鈕係以矩形顯示。

藉由將操作按鈕設為矩形，使其他部分之形狀與矩形不同，能夠易於視認到操作按鈕。

[應用例9]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述操作按鈕係發光者，當操作上述操作按鈕而將上述作動部設為作動狀態時，亮度增加。

藉此，能夠獲知操作按鈕是否被操作。

[應用例10]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述顯示部具有顯示上述作動部是否為作動狀態之作動狀態顯示部。

藉此，能夠藉由視認而獲知作動部是否處於作動狀態。

[應用例11]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述作動狀態顯示部係以圓形顯示。

藉由將作動狀態顯示部設為圓形，使其他部分之形狀與圓形不同，能夠易於視認到作動狀態顯示部。

[應用例12]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述作動狀態顯示部係發光者，於上述作動狀態時，亮度增加。

藉此，能夠藉由視認而獲知作動部是否處於作動狀態。

[應用例13]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，於上述顯示部中，上述操作按鈕及上述作動狀態顯示部之至少中心部之明暗會變化。

藉此，能夠易於觀察到操作按鈕及作動狀態顯示部。

[應用例14]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於具有：複數個作動部；操作部，其能夠操作上述複數個作動部中之至少l個作動部；及檢查部，其檢查電子零件。

[應用例15]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於具有：移動部，其使能夠載置電子零件之載置構件移動；及移動時間顯示部，其顯示上述移動部之移動時間。

藉此，電子零件搬送裝置之操作員等作業人員能夠視認到移動時間顯示部所顯示之移動時間，因此，能夠確認是否為了獲得利用該裝置之所需之處理量而是否恰好地設定了移動時間，即，移動部是否準確地動作。

[應用例16]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，上述移動時間較佳為上述移動部自動作開始時至動作結束時之時間。

藉此，移動部之移動時間成為足以判斷是否為了獲得利用電子零件搬送裝置之所需之處理量而恰好地進行了設定之時間。

[應用例17]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，具有能夠變更上述移動時間之移動時間變更部。

藉此，於需要變更移動部之移動時間之情形時，能夠迅速地進行其變更。

[應用例18]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述移動時間變更部能夠藉由旋動操作而進行上述移動時間之變更。

藉此，對移動時間變更部之操作變得簡單，因此，移動時間變更部之操作性即維護性提高，並且能夠準確地操作移動時間變更部。

[應用例19]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述移動時間變更部包含將上述移動部之移動速度於特定之範圍內變更而進行上述移動時間之變更之複數個模式，於變更上述移動時間之情形時，選擇上述複數個模式中之任一者。

藉此，能夠儘可能細微地進行移動時間之變更，即，能夠進行微變更，因此，能夠準確地進行該移動時間之變更。

[應用例20]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述移動時間變更部包含將上述移動部之移動速度於至少2種特定之範圍內變更，而進行上述移動時間之變更之低速模式用移動時間變更部及高速模式用移動時間變更部，於變更上述移動時間之情形時，選擇上述低速模式用移動時間變更部與上述高速模式用移動時間變更部中之至少一者。

藉此，能夠儘可能細微地進行移動時間之變更，因此，能夠準確地進行該移動時間之變更。

[應用例21]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，上述移動部於動作開始至動作結束之期間，以利用上述高速模式用移動時間變更部變更後之移動時間移動，繼而，以利用上述低速模式用移動時間變更部變更後之移動時間移動。

藉此，移動部能夠於動作結束時儘可能低速地停止，因此，能夠防止於動作結束時因例如碰撞或慣性而使電子零件飛出。

[應用例22]於上述應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為，具有抵接於上述動作結束時之上述移動部之抵接部。

藉此，完成電子零件之定位，其後，例如能夠利用與移動部分開設置之固持部固持該電子零件。

[應用例23]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於具有：移動部，其載置電子零件而移動；移動時間顯示部，其顯示上述移動部之移動時間；及檢查部，其檢查上述電子零件。

藉此，電子零件檢查裝置之操作員等作業人員能夠視認到移動時間顯示部所顯示之移動時間，因此，能夠確認是否為了獲得利用該裝置之所需之處理量而恰好地設定了移動時間，即，移動部是否準確地動作。

1‧‧‧檢查裝置

10‧‧‧電子零件搬送裝置

11A‧‧‧托盤搬送機構

11B‧‧‧托盤搬送機構

12‧‧‧溫度調整部

12a‧‧‧擋板

13‧‧‧供給機械手

14‧‧‧器件供給部

14a‧‧‧擋板

15‧‧‧供給空托盤搬送機構

16‧‧‧檢查部

17‧‧‧測定機械手

17a‧‧‧臂

17b‧‧‧臂

18‧‧‧器件回收部

19‧‧‧回收用托盤

20‧‧‧回收機械手

21‧‧‧回收空托盤搬送機構

22A‧‧‧托盤搬送機構

22B‧‧‧托盤搬送機構

30‧‧‧控制裝置

31‧‧‧控制部

32‧‧‧記憶部

40‧‧‧顯示裝置

41‧‧‧監視器

50‧‧‧操作裝置

51‧‧‧滑鼠

60‧‧‧設定顯示部

90‧‧‧IC器件

101‧‧‧主畫面

102‧‧‧圖標群

103‧‧‧圖標

104‧‧‧子視窗

105‧‧‧按鈕

106‧‧‧視窗

107‧‧‧按鈕群

108‧‧‧按鈕

109‧‧‧指示燈

109a‧‧‧指示燈群

109b‧‧‧指示燈群

110‧‧‧按鈕

110a‧‧‧按鈕群

110b‧‧‧按鈕群

111‧‧‧按鈕

111a‧‧‧按鈕群

111b‧‧‧按鈕群

112‧‧‧視窗

113‧‧‧指示燈群

114‧‧‧指示燈群

115‧‧‧指示燈群

115a‧‧‧指示燈

115b‧‧‧指示燈

115c‧‧‧指示燈

115d‧‧‧指示燈

116‧‧‧按鈕

117‧‧‧按鈕

118‧‧‧視窗

119‧‧‧示意圖

120‧‧‧指示燈群

120a‧‧‧指示燈

120b‧‧‧指示燈

120c‧‧‧指示燈

120d‧‧‧指示燈

120e‧‧‧指示燈

121‧‧‧按鈕群

121a‧‧‧按鈕

121b‧‧‧按鈕

121c‧‧‧按鈕

121d‧‧‧按鈕

122‧‧‧示意圖

123‧‧‧指示燈群

123a‧‧‧指示燈

123b‧‧‧指示燈

123c‧‧‧指示燈

123d‧‧‧指示燈

123e‧‧‧指示燈

124‧‧‧按鈕群

124a‧‧‧按鈕

124b‧‧‧按鈕

124c‧‧‧按鈕

125‧‧‧視窗

126‧‧‧示意圖

127‧‧‧指示燈群

127a‧‧‧指示燈

127b‧‧‧指示燈

127c‧‧‧指示燈

127d‧‧‧指示燈

127e‧‧‧指示燈

127f‧‧‧指示燈

128‧‧‧按鈕群

128a‧‧‧按鈕

128b‧‧‧按鈕

128c‧‧‧按鈕

128d‧‧‧按鈕

129‧‧‧示意圖

130‧‧‧指示燈群

130a‧‧‧指示燈

130b‧‧‧指示燈

130c‧‧‧指示燈

131‧‧‧按鈕

132‧‧‧視窗

133‧‧‧示意圖

134‧‧‧指示燈群

134a‧‧‧指示燈

134b‧‧‧指示燈

134c‧‧‧指示燈

134d‧‧‧指示燈

134e‧‧‧指示燈

134f‧‧‧指示燈

135‧‧‧按鈕群

135a‧‧‧按鈕

135b‧‧‧按鈕

135c‧‧‧按鈕

135d‧‧‧按鈕

135e‧‧‧按鈕

136‧‧‧示意圖

137‧‧‧指示燈群

137a‧‧‧指示燈

137b‧‧‧指示燈

137c‧‧‧指示燈

137d‧‧‧指示燈

137e‧‧‧指示燈

137f‧‧‧指示燈

138‧‧‧按鈕群

138a‧‧‧按鈕

138b‧‧‧按鈕

138c‧‧‧按鈕

139‧‧‧視窗

140‧‧‧指示燈群

140a‧‧‧指示燈

140b‧‧‧指示燈

140c‧‧‧指示燈

140d‧‧‧指示燈

140e‧‧‧指示燈

141‧‧‧視窗

142‧‧‧指示燈群

142a‧‧‧指示燈

142b‧‧‧指示燈

142c‧‧‧指示燈

142d‧‧‧指示燈

142e‧‧‧指示燈

142f‧‧‧指示燈

142g‧‧‧指示燈

142h‧‧‧指示燈

142i‧‧‧指示燈

142j‧‧‧指示燈

142k‧‧‧指示燈

142L‧‧‧指示燈

143‧‧‧按鈕群

143a‧‧‧按鈕

143b‧‧‧按鈕

143c‧‧‧按鈕

143d‧‧‧按鈕

143e‧‧‧按鈕

143f‧‧‧按鈕

143g‧‧‧按鈕

143h‧‧‧按鈕

143i‧‧‧按鈕

143j‧‧‧按鈕

170‧‧‧吸附噴嘴

171‧‧‧吸附感測器

200‧‧‧托盤

201‧‧‧光感測器

202‧‧‧光感測器

203‧‧‧固定構件

204‧‧‧擋板

205‧‧‧光感測器

206‧‧‧升降機構

207‧‧‧光感測器

208‧‧‧固定構件

209‧‧‧擋板

210‧‧‧光感測器

211‧‧‧光感測器

212‧‧‧光感測器

213‧‧‧升降機構

214‧‧‧光感測器

215‧‧‧光感測器

216‧‧‧固定構件

217‧‧‧擋板

218‧‧‧光感測器

219‧‧‧光感測器

220‧‧‧光感測器

221‧‧‧光感測器

222‧‧‧升降機構

223‧‧‧分離爪

224‧‧‧分離爪

311‧‧‧驅動控制部

312‧‧‧檢查控制部

1000‧‧‧檢查裝置

1003‧‧‧維護表單

1004‧‧‧選單表單

1005‧‧‧面板

1011A‧‧‧托盤搬送機構

1011B‧‧‧托盤搬送機構

1012‧‧‧溫度調整部

1013‧‧‧器件搬送頭

1014‧‧‧器件供給部

1015‧‧‧托盤搬送機構

1016‧‧‧檢查部

1017‧‧‧器件搬送頭

1018‧‧‧器件回收部

1019‧‧‧回收用托盤

1020‧‧‧器件搬送頭

1021‧‧‧托盤搬送機構

1022A‧‧‧托盤搬送機構

1022B‧‧‧托盤搬送機構

1031‧‧‧器件供給部．回收部用選單群

1032‧‧‧托盤供給．去除用選單群

1033‧‧‧空托盤搬送用選單群

1034‧‧‧托盤搬送用選單群

1035‧‧‧移動時間顯示欄

1041‧‧‧第1選單群

1042‧‧‧第2選單群

1043‧‧‧第3選單群

1044‧‧‧軟體名顯示欄

1045‧‧‧檔案名顯示欄

1046‧‧‧檢查部狀態顯示表

1051‧‧‧變更用柄

1052‧‧‧變更用柄

1053‧‧‧變更用柄

1054‧‧‧變更用柄

1055‧‧‧變更用柄

1056‧‧‧變更用柄

1061‧‧‧第1間隔壁

1062‧‧‧第2間隔壁

1063‧‧‧第3間隔壁

1064‧‧‧第4間隔壁

1065‧‧‧第5間隔壁

1066‧‧‧內側間隔壁

1070‧‧‧前外殼

1071‧‧‧側外殼

1072‧‧‧側外殼

1073‧‧‧後外殼

1074‧‧‧頂部外殼

1080‧‧‧控制部

1111‧‧‧主動輪

1112‧‧‧從動輪

1113‧‧‧傳送帶

1114‧‧‧擋塊

1115‧‧‧馬達

1116‧‧‧第1感測器

1116a‧‧‧發光部

1116b‧‧‧受光部

1117‧‧‧第2感測器

1117a‧‧‧發光部

1117b‧‧‧受光部

1300‧‧‧監視器

1301‧‧‧顯示畫面

1311‧‧‧按鈕

1312‧‧‧按鈕

1313‧‧‧按鈕

1314‧‧‧按鈕

1315‧‧‧按鈕

1316‧‧‧按鈕

1321‧‧‧按鈕

1322‧‧‧按鈕

1323‧‧‧按鈕

1331‧‧‧按鈕

1332‧‧‧按鈕

1341a‧‧‧按鈕

1341b‧‧‧按鈕

1342a‧‧‧按鈕

1342b‧‧‧按鈕

1343a‧‧‧按鈕

1343b‧‧‧按鈕

1344a‧‧‧按鈕

1344b‧‧‧按鈕

1345a‧‧‧按鈕

1345b‧‧‧按鈕

1346a‧‧‧按鈕

1346b‧‧‧按鈕

1400‧‧‧信號燈

1411‧‧‧按鈕

1412‧‧‧按鈕

1413‧‧‧按鈕

1414‧‧‧按鈕

1415‧‧‧按鈕

1416‧‧‧按鈕

1431‧‧‧設定部

1432‧‧‧設定部

1433‧‧‧設定部

1434‧‧‧設定部

1435‧‧‧設定部

1436‧‧‧設定部

1500‧‧‧揚聲器

1511‧‧‧低速用柄

1512‧‧‧高速用柄

1513‧‧‧標記

1521‧‧‧低速用柄

1522‧‧‧高速用柄

1531‧‧‧低速用柄

1532‧‧‧高速用柄

1541‧‧‧低速用柄

1542‧‧‧高速用柄

1551‧‧‧低速用柄

1552‧‧‧高速用柄

1561‧‧‧低速用柄

1562‧‧‧高速用柄

1600‧‧‧滑鼠台

1701‧‧‧門

4201‧‧‧按鈕

4202‧‧‧按鈕

4203‧‧‧按鈕

4204‧‧‧按鈕

4205‧‧‧按鈕

4206‧‧‧按鈕

4207‧‧‧按鈕

4208‧‧‧按鈕

4209‧‧‧按鈕

4210‧‧‧按鈕

4211‧‧‧按鈕

4212‧‧‧按鈕

A1‧‧‧托盤供給區域

A2‧‧‧器件供給區域

A3‧‧‧檢查區域

A4‧‧‧器件回收區域

A5‧‧‧托盤去除區域

AC‧‧‧交流電源

B1‧‧‧托盤供給區域

B2‧‧‧器件供給區域

B3‧‧‧檢查區域

B4‧‧‧器件回收區域

B5‧‧‧托盤去除區域

L116‧‧‧光

L117‧‧‧光

R_11A‧‧‧判定結果

SW₅₁₁‧‧‧開關

SW₅₁₂‧‧‧開關

t₀‧‧‧閾值

t_11A‧‧‧移動時間

VR₅₁₁‧‧‧可變電阻

VR₅₁₂‧‧‧可變電阻

圖1係表示本發明之第1實施形態之電子零件檢查裝置之概略立體圖。

圖2係圖1所示之檢查裝置(電子零件檢查裝置)之概略俯視圖。

圖3係表示圖1所示之檢查裝置之一部分之方塊圖。

圖4係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖5係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖6係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖7係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖8係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖9係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖10係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖11係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

圖12係自正面側觀察本發明之第2實施形態之電子零件檢查裝置之概略立體圖。

圖13係圖12所示之電子零件檢查裝置之概略俯視圖。

圖14A係表示藉由圖13所示之電子零件檢查裝置所具備之托盤搬送機構而搬送之托盤之狀態之俯視圖。

圖14B係表示藉由圖13所示之電子零件檢查裝置所具備之托盤搬送機構而搬送之托盤之狀態之側視圖。

圖15係顯示於圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之監視器之表單。

圖16係顯示於圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之監視器之表單。

圖17係顯示於圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之監視器之表單。

圖18係顯示於圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之監視器之表單。

圖19係表示圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之移動時間變更部之構成之一例之前視圖。

圖20係圖19所示之移動時間變更部之放大圖。

圖21係包含圖19所示之移動時間變更部之電路圖。

圖22係表示藉由圖14A及圖14B所示之托盤搬送機構而搬送之托盤之搬送速度之經時性變化之曲線圖。

以下，參照隨附圖式，對本發明之實施形態之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置進行詳細說明。

再者，於以下之實施形態中，為便於說明，於在圖中表示有相互正交之3軸之情形時，將相互正交之3軸設為X軸、Y軸及Z軸。又，包含X軸及Y軸之XY平面成為水平，Z軸成為鉛垂。又，將平行於X軸之方向亦稱為「X方向」，將平行於Y軸之方向亦稱為「Y方向」，將平行於Z軸之方向亦稱為「Z方向」。又，將X軸、Y軸及Z軸之各軸之箭頭之方向稱為正(+)側，將與箭頭相反之方向稱為負(-)側。又，將電子零件之搬送方向之上游側亦簡稱為「上游側」，將下游側亦簡稱為「下游側」。又，本案說明書中所謂之「水平」並不限於完全水平，只要不妨礙電子零件之搬送，亦包含相對於水平略微(例如未達5°之程度)傾斜之狀態。

又，以下之實施形態所示之檢查裝置(電子零件檢查裝置)例如係用以對BGA(Ball grid array，球狀柵格陣列)封裝體或LGA(Land grid array，焊盤柵格陣列)封裝體等IC器件、LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示裝置)、CIS(CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor，互補金屬氧化物半導體)Image Sensor，CMOS影像感測器)等電子零件之電氣特性進行檢查、試驗(以下簡稱為「檢查」)之裝置。再者，以下，為便於說明，以使用IC器件作為進行檢查之上述電子零件之情形為代表進行說明，且將其作為「IC器件90」。

(第1實施形態)

圖1係表示本發明之第1實施形態之電子零件檢查裝置之概略立體圖。圖2係圖1所示之檢查裝置(電子零件檢查裝置)之概略俯視圖。圖3係表示圖1所示之檢查裝置之一部分之方塊圖。圖4~圖11係表示顯示於圖1所示之監視器之視窗之圖。

如圖1及圖2所示，檢查裝置1具備：電子零件搬送裝置10，其搬送IC器件90；檢查部16；及設定顯示部(顯示部)60，其具有顯示裝置40及操作裝置50。再者，於本實施形態中，電子零件搬送裝置10由除檢查部16及下述控制裝置30所具有之檢查控制部312以外之構成而構成。

又，如圖1及圖2所示，檢查裝置1分為托盤供給區域A1、器件供給區域(電子零件供給區域)A2、設置有檢查部16之檢查區域(檢查部配置區域)A3、器件回收區域(電子零件回收區域)A4、及托盤去除區域A5。於該檢查裝置1中，IC器件90依序經由托盤供給區域A1至托盤去除區域A5之各區域，於中途之檢查區域A3進行檢查。再者，檢查裝置1係以能夠於常溫環境下、低溫環境下、及高溫環境下進行檢查之方式而構成。

托盤供給區域A1係供給排列著未檢查狀態之複數個IC器件90之托盤200之區域。於托盤供給區域A1中，可堆積多個托盤200。

器件供給區域A2係將來自托盤供給區域A1之托盤200上之複數個IC器件90分別供給至檢查區域A3之區域。再者，以跨及托盤供給區域A1與器件供給區域A2之方式，設置有搬送托盤200之托盤搬送機構(搬送部)11A、11B。

於器件供給區域A2設置有溫度調整部(浸泡板(soak plate))12、供給機械手(器件搬送頭)13、及供給空托盤搬送機構15。

溫度調整部12係配置IC器件90，加熱或冷卻所配置之IC器件90，而將該IC器件90調整(控制)至適合檢查之溫度的裝置。於圖2所示之構成中，沿Y方向配置、固定有2個溫度調整部12。而且，藉由托盤搬送機構11A自托盤供給區域A1搬入之托盤200上之IC器件90被搬送、載置於任一溫度調整部12。

再者，雖然未圖示，但於溫度調整部12設置有檢測溫度調整部12中之IC器件90之溫度之溫度檢測部。該溫度檢測部與控制裝置30電性連接，將所檢測出之溫度之資訊發送至控制裝置30。

又，於溫度調整部12，並排形成有8列2行之供配置IC器件90之凹部。再者，此處，將X方向設為列，將Y方向設為行。即，8個凹部沿Y方向直線狀地配置，進而，8個凹部沿Y方向直線狀地配置於在X 方向上錯開之位置。又，於各凹部之開口部設置有能夠開閉之擋板12a。

圖2所示之供給機械手13係進行IC器件90之搬送之搬送部，能夠於器件供給區域A2內沿X方向、Y方向、及Z方向移動地受支持。該供給機械手13負責自托盤供給區域A1搬入之托盤200與溫度調整部12之間之IC器件90之搬送、及溫度調整部12與下述器件供給部14之間之IC器件90之搬送。

供給空托盤搬送機構15係將去除所有IC器件90之狀態下之空的托盤200於X方向上進行搬送之搬送部(搬送機構)。而且，於該搬送後，藉由托盤搬送機構11B使空的托盤200自器件供給區域A2返回至托盤供給區域A1。

檢查區域A3係檢查IC器件90之區域。於該檢查區域A3設置有器件供給部14、檢查部16、測定機械手(器件搬送頭)17、及器件回收部18。

器件供給部14係將經溫度調整(溫度控制)之IC器件90搬送至檢查部16附近之搬送部。該器件供給部14能夠沿X方向於器件供給區域A2與檢查區域A3之間移動地受支持。又，於圖2所示之構成中，沿Y方向配置有2個器件供給部14，溫度調整部12上之IC器件90被搬送、載置於任一器件供給部14。再者，該搬送係藉由供給機械手13而進行。又，器件供給部14係以能夠加熱或冷卻IC器件90之方式而構成。又，雖然未圖示，但於器件供給部14設置有檢測器件供給部14中之IC器件90之溫度之溫度檢測部。

又，於各器件供給部14，並排形成有2列8行之供配置IC器件90之凹部。而且，於各凹部之開口部設置有能夠開閉之擋板14a。

檢查部16係對IC器件90之電氣特性進行檢查、試驗之單元，且係於檢查IC器件90之情形時保持該IC器件90之保持部。於檢查部16，設置有於保持有IC器件90之狀態下與該IC器件90之端子電性連接之複數個探針接腳。而且，IC器件90之端子與探針接腳電性連接(接觸)，經由探針接腳進行IC器件90之檢查。又，檢查部16係以能夠加熱或冷卻IC器件90之方式而構成。又，雖然未圖示，但於檢查部16設置有檢測檢查部16中之IC器件90之溫度之溫度檢測部。

測定機械手17係進行IC器件90之搬送之搬送部，能夠於檢查區域A3內移動地受支持。該測定機械手17能夠將自器件供給區域A2搬入之器件供給部14上之IC器件90搬送、載置於檢查部16上。

再者，測定機械手17具有一對臂17a、17b。該臂17a、17b分別具有固持IC器件90之複數個固持部(未圖示)。各固持部具備吸附噴嘴170，能夠藉由吸附IC器件90將其固持。又，如圖2所示，各吸附噴嘴170以2列8行之矩陣狀配置於臂17a、17b之各者。進而，於臂17a、17b之各者，以2列8行之矩陣狀配置有複數個吸附感測器171而設置。

測定機械手17於檢查IC器件90之情形時，將IC器件90朝檢查部16推壓，使IC器件90抵接於檢查部16。藉此，如上所述，IC器件90之端子與檢查部16之探針接腳電性連接。再者，測定機械手17係以能夠加熱或冷卻IC器件90之方式而構成。又，雖然未圖示，但於測定機械手17設置有檢測測定機械手17中之IC器件90之溫度之溫度檢測部。

器件回收部18係將已結束檢查部16之檢查之IC器件90搬送至器件回收區域A4之搬送部。該器件回收部18能夠沿X方向於檢查區域A3與器件回收區域A4之間移動地受支持。又，於圖2所示之構成中，器件回收部18係與器件供給部14同樣地沿Y方向配置有2個，檢查部16上之IC器件90被搬送、載置於任一器件回收部18。再者，該搬送係藉由測定機械手17而進行。又，雖然未圖示，但亦可於器件回收部18設置有檢測器件回收部18中之IC器件90之溫度之溫度檢測部。

器件回收區域A4係供回收檢查結束之IC器件90之區域。於該器件回收區域A4設置有回收用托盤19、回收機械手(器件搬送頭)20、及回收空托盤搬送機構(托盤搬送機構)21。又，於器件回收區域A4亦準備有3個空的托盤200。

回收用托盤19係供載置IC器件90之載置部，固定於器件回收區域A4內，且於圖2所示之構成中，沿X方向並排配置有3個。又，空的托盤200亦係供載置IC器件90之載置部，沿X方向並排配置有3個。而且，移動至器件回收區域A4之器件回收部18上之IC器件90被搬送、載置於該等回收用托盤19及空的托盤200中之任一個。藉此，針對每一檢查結果，將IC器件90回收、分類。

回收機械手20係進行IC器件90之搬送之搬送部，能夠於器件回收區域A4內沿X方向、Y方向、及Z方向移動地受支持。該回收機械手20能夠將IC器件90自器件回收部18搬送至回收用托盤19或空的托盤200。再者，回收機械手20具有固持IC器件90之複數個固持部(未圖示)。各固持部構成為能夠吸附IC器件90，能夠藉由吸附IC器件90而將其固持。

回收空托盤搬送機構21係將自托盤去除區域A5搬入之空的托盤200沿X方向進行搬送之搬送部(搬送機構)。繼而，於該搬送後，空的托盤200配置於供回收IC器件90之位置，即，可成為上述3個空的托盤200中之任一個。

托盤去除區域A5係回收、去除排列有檢查完畢狀態之複數個IC器件90之托盤200之區域。於托盤去除區域A5中，可堆積多個托盤200。再者，以跨及器件回收區域A4與托盤去除區域A5之方式設置有將托盤200逐個搬送之托盤搬送機構(搬送部)22A、22B。托盤搬送機構22A將載置有檢查完畢之IC器件90之托盤200自器件回收區域A4搬送至托盤去除區域A5。托盤搬送機構22B將用以回收IC器件90之空的托盤200自托盤去除區域A5搬送至器件回收區域A4。

如上說明之各區域A1~A5相互藉由未圖示之壁部或擋板等而分隔。該等擋板分別構成為能夠開閉，與控制裝置30電性連接，而控制其作動。

如圖3所示，控制裝置30具有控制檢查裝置1之各部之功能，具有包含驅動控制部311及檢查控制部312之控制部31、及記憶部32。

驅動控制部311控制各部(托盤搬送機構11A、11B、溫度調整部12、供給機械手13、供給空托盤搬送機構15、器件供給部14、檢查部16、測定機械手17、器件回收部18、回收機械手20、回收空托盤搬送機構21、及托盤搬送機構22A、22B)之驅動等。

檢查控制部312能夠控制檢查等。例如亦能夠基於記憶於記憶部32內之程式(軟體)，進行配置於檢查部16之IC器件90之檢查等。

又，控制部31亦具有將各部之驅動或檢查結果等顯示於顯示裝置40之功能、或根據來自操作裝置50之輸入進行處理之功能等。

記憶部32記憶用以使控制部31進行各種處理之程式或資料等。

設定顯示部60具有顯示裝置40及操作裝置50。

顯示裝置40具有顯示各部之驅動或檢查結果等之監視器41。監視器41例如可包含發光之液晶顯示面板或有機EL(electro luminescence，電致發光)等顯示面板等。作業人員能夠經由該監視器41，設定或確認檢查裝置1之各種處理或條件等。如圖1所示，顯示裝置40配置於檢查裝置1之+Z方向上。

操作裝置50係滑鼠51等輸入器件，將對應於作業人員之操作之操作信號輸出至控制部31。因此，作業人員能夠使用滑鼠51，對控制部31進行各種處理等之指示。如圖1所示，滑鼠51(操作裝置50)配置於檢查裝置1之+X方向上且靠近顯示裝置40之位置。又，於本實施形態中，雖然將滑鼠51用作操作裝置50，但操作裝置50並不限定於此，例如亦可為鍵盤、軌跡球、觸控面板等輸入器件等。

於此種檢查裝置1中，藉由操作滑鼠51，於顯示於顯示裝置40之視窗上操作游標，能夠使檢查裝置1之各部(作動部)作動。以下，對該情況進行說明。

圖4係表示顯示於顯示裝置40之主畫面101之圖。於圖4中，表示點選於主畫面101內之上側橫向排列之圖標群102中之標有「Controller」之字符之圖標103之狀態。

若點選「Controller」之圖標103，則於圖標103之下側，子視窗104與主畫面101重疊顯示。於該子視窗104配置有複數個(於圖示之構成中為8個)按鈕。若點選該等中之「I/O Monitor」之按鈕105，則如圖5所示，切換至視窗106。

於該視窗106內，於下方中央部顯示有按鈕群107。該按鈕群107係複數個(於本實施形態中為15個)按鈕矩陣狀地配置而成者。又，圖5表示點選按鈕群107中之「Index Arm」之按鈕108之狀態。於該狀態下，於按鈕群107之上方，自左側起依序排列顯示有指示燈群(作動狀態顯示部)109a、109b、按鈕群(操作按鈕)110a、110b、按鈕群111a、111b。又，於該畫面內顯示之「Arm1」對應於臂17a，「Arm2」對應於臂17b。

指示燈群109a、109b係顯示分別設置於測定機械手17之臂17a、17b之吸附感測器171是否作動者。指示燈群109a係顯示臂17a之吸附感測器171之作動狀態者，指示燈群109b係顯示臂17b之吸附感測器171之作動狀態者。

於各指示燈群109a、109b中，圓形之指示燈(作動狀態顯示部)109排列成2列8行，各個指示燈109與吸附感測器171逐個對應。若臂17a、17b之吸附感測器171作動，則與其對應之位置之指示燈109發光。即，亮度增大。藉此，作業人員可知對應於發光之指示燈109之吸附感測器171處於作動狀態。又，各指示燈109係以中心部發光之方式而構成，故而易於獲知其發光。

於按鈕群110a、110b中，正方形(矩形)之按鈕110排列成2列8行，各個按鈕110對應於臂17a、17b之吸附感測器171。

於檢查裝置1中，藉由操作滑鼠51，於顯示裝置40之畫面上將游標對準按鈕110並點選，能夠使對應於所點選之按鈕110之吸附感測器171作動。藉此，能夠使吸附感測器171之各者獨立地作動。

又，若各按鈕110(針對按鈕111亦相同)被點選操作，則按鈕110之整體變亮。即，亮度增大。藉此，作業人員可知已點選哪一個按鈕。

進而，按鈕110(針對按鈕111亦相同)呈正方形，指示燈109呈圓形。即，按鈕110與指示燈109之形狀不同，能夠防止作業人員將其等混同。

於按鈕群111a、111b中，正方形(矩形)之按鈕111排列成2列8行，各按鈕111對應於對臂17a、17b之與IC器件90抵接之抵接部供給冷卻氣體之空氣閥。

於檢查裝置1中，藉由操作滑鼠51，於顯示裝置40之畫面上將游標對準按鈕111並點選，能夠使對應於所點選之按鈕111之空氣閥作動，而對抵接部供給冷卻氣體。藉此，能夠獨立地對抵接部之各者供給冷卻氣體。

又，測定機械手17中之吸附感測器171之配置與顯示裝置40中之指示燈109及按鈕110之配置相同。藉此，作業人員易於一面利用顯示裝置40進行操作，一面掌握實際上作動之吸附感測器171。

其次，對圖6所示之視窗112進行說明。

於視窗112(針對視窗118、125、132、139、141亦相同)中，於各指示燈群及各按鈕群中，因與上述視窗106之指示燈群及按鈕群之構成相同，故而省略詳細說明。又，以下所說明之圓形之指示燈作為作動狀態顯示部而發揮功能，矩形之按鈕作為操作部(操作按鈕)而發揮功能。

如圖6所示，若點選按鈕群107之「Shuttle」按鈕，則切換至視窗112。於該視窗112中，於按鈕群107之上側，自左側起依序排列顯示有指示燈群113、114、115及按鈕116、117。

指示燈群113係顯示配置於2個器件供給部14之IC器件90是否正常地座落於設置於器件供給部14之凹穴內者。於指示燈群113中，縱向排列有2個表示列之指示燈，橫向排列有8個表示行之指示燈。又，於該等指示燈之橫向右側，顯示有表示有無IC器件90之感測器之指示燈。

指示燈群114係顯示配置於2個器件回收部18之IC器件90是否正常地座落於設置於器件供給部18之凹穴內者。於指示燈群114中，縱向排列有2個表示列之指示燈，橫向排列有8個表示行之指示燈。又，於該等指示燈之橫向右側，顯示有表示有無IC器件90之感測器之指示燈。

於指示燈群(作動狀態顯示部)115中，縱向排列有以點亮之狀態表示設置於器件供給部14之各凹穴之開口之擋板14a成為開狀態之指示燈115a、及以點亮之狀態表示擋板14a成為閉狀態之指示燈115b。

又，於指示燈群(作動狀態顯示部)115中，於指示燈115a、115b之下側，縱向排列有指示燈115c、115d。指示燈115c以點亮狀態表示設置於器件回收部18之各凹穴之開口之擋板(未圖示)成為開狀態，指示燈115d以點亮狀態表示器件回收部18之擋板(未圖示)成為閉狀態。

按鈕116能夠操作器件供給部14之擋板14a之作動。藉由操作滑鼠51並點選按鈕116，能夠使器件供給部14之擋板14a作動。當點選按鈕116將擋板14a設為閉狀態時，按鈕116變亮。又，此時，指示燈115b變亮。若自該狀態再次點選按鈕116，則擋板14a成為開狀態，按鈕 116變暗。

此點對於按鈕117亦同，能夠操作器件回收部18之擋板(未圖示)之作動。

其次，對圖7所示之視窗118進行說明。

如圖7所示，若點選按鈕群107之「Loader」之按鈕，則切換至視窗118。視窗118係用以顯示圖2中之托盤搬送機構11A及其附近之部分之作動之畫面。

於視窗118顯示有示意圖119、指示燈群120、按鈕群121、示意圖122、指示燈群123、及按鈕群124。

示意圖119係於檢查裝置1中，自+Z方向(正)側觀察托盤搬送機構11A之圖。於示意圖119中顯示有光感測器201、光感測器202、固定構件203、及擋板204。

於示意圖119之橫向右側顯示有指示燈群120。於指示燈群120中，縱向排列有5個圓形之指示燈120a、120b、120c、120d、120e。

於指示燈120a之橫向右側顯示有「Forward」之字符，表示指示燈120a對應於檢測有無托盤200之光感測器201(參照示意圖119)。

同樣地，於指示燈120b之橫向右側顯示有「Middle」之字符，表示指示燈120b對應於光感測器202。

同樣地，於指示燈120c之橫向右側顯示有「Lock」之字符，表示指示燈120c對應於固定托盤200之固定構件203。

於指示燈120d之橫向右側顯示有「Shutter Open」之字符，表示擋板204成為開狀態。

於指示燈120e之橫向右側顯示有「Shutter Close」之字符，表示擋板204成為閉狀態。

於指示燈群120之橫向右側顯示有按鈕群121。於按鈕群121中，縱向排列地顯示有按鈕121a、121b、121c、121d。

於按鈕121a之橫向右側顯示有「Tray Lock」之字符，表示按鈕121a對應於固定構件203。

於按鈕121b之橫向右側顯示有「Shutter Valve」之字符，表示按鈕121b對應於擋板204之閥。

於按鈕121c之橫向右側顯示有「Turn」之字符，表示按鈕121c進行擋板204之閥之馬達之ON/OFF之切換。

於按鈕121d之橫向右側顯示有「Low Speed」之字符，表示進行馬達之高速模式/低速模式之切換。

於按鈕群121之橫向右側顯示有示意圖122。示意圖122係自-Y方向(負)側觀察托盤搬送機構11A之圖。於示意圖122中，顯示有光感測器205、升降機構206、及分離爪224。

於示意圖122之橫向右側顯示有指示燈群123。於指示燈群123中，縱向排列地顯示有指示燈123a、123b、123c、123d、123e。

於指示燈123a之橫向右側顯示有「Remaining Tray」之字符，表示對應於光感測器205。

於指示燈123b之橫向右側顯示有「Exist」之字符，表示檢測即將搬送至托盤搬送機構11A之前之托盤200之光感測器205之作動狀態。

指示燈123c、123d係表示升降機構206之作動狀態。

於指示燈群123之橫向右側顯示有按鈕群124。於按鈕群124中，縱向排列有按鈕124a、124b、124c。

於按鈕124a之橫向右側顯示有「Separator」之字符，能夠操作分離爪224之作動。

於按鈕124b之橫向右側顯示有「Upper」之字符，能夠使升降機構206上升。

於按鈕124c之橫向右側顯示有「Middle」之字符，能夠使升降機構206下降。

如此，將2個示意圖119、122顯示於1個視窗118。藉此，可省略為使托盤搬送機構11A及其周邊作動而操作按鈕群107來切換視窗之操作。即，利用1個視窗118足以使托盤搬送機構11A及其周邊作動，故操作容易。

其次，對圖8所示之視窗125進行說明。

如圖8所示，若點選按鈕群107之「Auto1」之按鈕，則切換至視窗125。視窗125係用以顯示圖2中之托盤搬送機構22A及其附近之部分之作動之畫面(關於「Aut02」、「Aut03」亦相同)。

於視窗125顯示有示意圖126、指示燈群127、按鈕群128、示意圖129、指示燈群130、及按鈕131。

示意圖126係於檢查裝置1中自+Z方向(正)側觀察托盤搬送機構22A之圖。於示意圖126顯示有光感測器207、固定構件208、擋板209、光感測器210、及光感測器211。

於示意圖126之橫向右側顯示有指示燈群127。於指示燈群127中，縱向排列有6個圓形之指示燈127a、127b、127c、127d、127e、127f。

於指示燈127a之橫向右側顯示有「Forward」之字符，表示指示燈127a對應於檢測有無托盤200之光感測器207(參照示意圖126)。

同樣地，於指示燈127b之橫向右側顯示有「Lock」之字符，表示指示燈127b對應於固定托盤200之固定構件208。

於指示燈127c之橫向右側顯示有「Shutter Open」之字符，表示擋板209成為開狀態。

於指示燈127d之橫向右側顯示有「Shutter Close」之字符，表示擋板209成為閉狀態。

於指示燈127e之橫向右側顯示有「Middle」之字符，表示指示燈127e對應於光感測器210。

於指示燈127f之橫向右側顯示有「Exist」之字符，表示指示燈127f對應於光感測器211。

於指示燈群127之橫向右側顯示有按鈕群128。於按鈕群128中，縱向排列地顯示有按鈕128a、128b、128c、128d。

於按鈕128a之橫向右側顯示有「Tray Lock」之字符，表示按鈕128a對應於固定構件208。

於按鈕128b之橫向右側顯示有「Shutter Valve」之字符，表示按鈕128b對應於擋板209之閥。

於按鈕128c之橫向右側顯示有「Turn」之字符，表示按鈕128c進行擋板209之閥之馬達之ON/OFF之切換。

於按鈕128d之橫向右側顯示有「Low Speed」之字符，表示進行馬達之高速模式/低速模式之切換。

於按鈕群128之橫向右側顯示有示意圖129。示意圖129係自-Y方向(負)側觀察托盤搬送機構22A之圖。於示意圖129顯示有光感測器212及升降機構213。

於示意圖129之橫向右側顯示有指示燈群130。於指示燈群130中，縱向排列地顯示有指示燈130a、130b、130c。

於指示燈130a之橫向右側顯示有「Full」之字符，對應於光感測器212。

指示燈130b及指示燈130c表示示意圖129中之使托盤200升降之升降機構213之位置。

於指示燈130b之橫向右側顯示有按鈕131。於按鈕131之橫向右側顯示有「Upper/Middle」之字符，表示按鈕131對應於升降機構213之作動。

其次，對圖9所示之視窗132進行說明。

如圖9所示，若點選按鈕群107之「Empty1」之按鈕，則切換至視窗132。視窗132係用以顯示圖2中之托盤搬送機構22B及其附近之部分之作動之畫面。

於視窗132顯示有示意圖133、指示燈群134、按鈕群135、示意圖136、指示燈群137、及按鈕群138。

示意圖133係於檢查裝置1中自+Z方向(正)側觀察托盤搬送機構22B之圖。於示意圖133顯示有光感測器214、光感測器215、固定構件216、擋板217、及光感測器218。

於示意圖133之橫向右側顯示有指示燈群134。於指示燈群134中，縱向排列有6個圓形之指示燈134a、134b、134c、134d、134e、134f。

於指示燈134a之橫向右側顯示有「Forward」之字符，表示指示燈134a對應於檢測有無托盤200之光感測器214。

於指示燈134b之橫向右側顯示有「Middle」之字符，表示指示燈134b對應於檢測有無托盤200之光感測器215。

於指示燈134c之橫向右側顯示有「Lock」之字符，表示指示燈134c對應於固定托盤200之固定構件216。

於指示燈134d之橫向右側顯示有「Shutter Open」之字符，表示擋板217成為開狀態。

於指示燈134e之橫向右側顯示有「Shutter Close」之字符，表示擋板217成為閉狀態。

於指示燈134f之橫向右側顯示有「Middle LD」之字符，表示指示燈134f對應於光感測器218。

於指示燈群134之橫向右側顯示有按鈕群135。於按鈕群135中，縱向排列地顯示有按鈕135a、135b、135c、135d、135e。

於按鈕135a之橫向右側顯示有「Tray Lock」之字符，表示按鈕135a對應於固定構件216。

於按鈕135b之橫向右側顯示有「Shutter Valve」之字符，表示按鈕135b對應於擋板217之閥。

於按鈕135c之橫向右側顯示有「Turn」之字符，表示按鈕135c進行擋板217之閥之馬達之ON/OFF之切換。

於按鈕135d之橫向右側顯示有「Low Speed」之字符，表示進行馬達之高速模式/低速模式之切換。

於按鈕135e之橫向右側顯示有「Reverse」之字符，表示進行馬達之旋轉之朝向之切換。

於按鈕群135之橫向右側顯示有示意圖136。示意圖136係自-Y方向(負)側觀察托盤搬送機構22B之圖。於示意圖136顯示有光感測器219、光感測器220、光感測器221、升降機構222、及分離爪223。

於示意圖136之橫向右側顯示有指示燈群137。於指示燈群137中，縱向排列地顯示有指示燈137a、137b、137c、137d、137e、137f。

於指示燈137a之橫向右側顯示有「Full」之字符，表示對應於光感測器219。

於指示燈137b之橫向右側顯示有「Remaining」之字符，表示對應於光感測器220。

於指示燈137c之橫向右側顯示有「Exist」之字符，表示對應於光感測器221。

指示燈137d~137f分別係表示示意圖136中所示之升降機構222之位置者。

於指示燈群137之橫向右側顯示有按鈕群138。於按鈕群138中，縱向排列地配置有138a、138b、138c。

於按鈕138a之橫向右側顯示有「Separator」之字符，能夠操作分離爪223之作動。

於按鈕138b之橫向右側顯示有「Upper」之字符，能夠使升降機構222上升。

於按鈕138c之橫向右側顯示有「Middle」之字符，能夠使升降機構222下降。

其次，對圖10所示之視窗139進行說明。

如圖10所示，若點選按鈕群107之「Plate Cover」之按鈕，則切換至視窗139。於視窗139顯示有指示燈群140。

指示燈群140具有指示燈140a、140b、140c、140d、140e。指示燈140a~140c係縱向排列顯示。指示燈140d、140e縱向排列地顯示於指示燈140a~140c之右側。

於指示燈140a之橫向左側顯示有「X Slide Cover origin」之字符，指示燈140a表示設置於溫度調整部12之沿X方向開閉之擋板關閉。

於指示燈140b之橫向左側顯示有「X Slide Cover middle」之字符，指示燈140b表示設置於溫度調整部12之沿X方向開閉之擋板打開。

於指示燈140c之橫向左側顯示有「X Slide Cover left limit」之字符，指示燈140c表示設置於溫度調整部12之沿X方向開閉之擋板打開至極限。

於指示燈140d之橫向左側顯示有「Y Slide Cover origin」之字符，指示燈140d表示設置於溫度調整部12之沿Y方向開閉之擋板關閉。

於指示燈140e之橫向左側顯示有「Y Slide Cover 30mm」之字符，指示燈140e表示設置於溫度調整部12之沿Y方向開閉之擋板打開30mm。

其次，對圖11所示之視窗141進行說明。

如圖11所示，若點選按鈕群107之「Fix Tray & Other」之按鈕，則切換至視窗141。於視窗141顯示有指示燈群142、按鈕群143。

指示燈群142包含指示燈142a、142b、142c、142d、142e、 142f、142g、142h、142i、142j、142k、142L。指示燈142a~142g係縱向排列顯示。指示燈142h~142L縱向排列地顯示於指示燈142a~142g之右側。

於指示燈142a之橫向左側顯示有「Fix Tray 1」之字符，指示燈142a表示是否於Fix Tray 1載置有IC器件90。

於指示燈142b之橫向左側顯示有「Fix Tray 2」之字符，指示燈142b表示是否於Fix Tray 2載置有IC器件90。

於指示燈142c之橫向左側顯示有「Fix Tray 3」之字符，指示燈142c表示是否於Fix Tray 3載置有IC器件90。

於指示燈142d之橫向左側顯示有「Double IC reset」之字符。

於指示燈142e之橫向左側顯示有「Chamber Door」之字符，指示燈142e表示檢查部16之擋板之開閉狀態。

於指示燈142f之橫向左側顯示有「Air」之字符，指示燈142f表示空氣流入至檢查部16。

於指示燈142g之橫向左側顯示有「Temporary Stage Floating Sensor 1」之字符，指示燈142g表示於臨時放置台載置有IC器件90。

於指示燈142h之橫向左側顯示有「DockPlate Free L」之字符。

於指示燈142i之橫向左側顯示有「DockPlate Free R」之字符。

於指示燈142j之橫向左側顯示有「Front Cover Sensor」之字符。

於指示燈142k之橫向左側顯示有「Front Cover Switch」之字符。

於指示燈142L之橫向左側顯示有「Temporary Stage Floating Sensor 2」之字符，指示燈142L表示於臨時放置台載置有IC器件90。

於按鈕群143中，顯示有按鈕143a、143b、143c、143d、143e、143f、143g、143h、143i、143j。按鈕143a~143e係縱向排列顯示。按鈕143f~按鈕143j縱向排列地顯示於按鈕143a~143e之右側。

於按鈕143a之橫向左側顯示有「FAN Start」之字符，於按鈕143b 之橫向左側顯示有「FAN Run」之字符，於按鈕143c之橫向左側顯示有「FAN Reset」之字符。該等按鈕143a~143c能夠進行使檢查部16內之風扇作動/停止之操作。

於按鈕143d之橫向左側顯示有「Heater ON」之字符，於按鈕143e之橫向左側顯示有「Heater OFF」之字符。按鈕143d、143e能夠切換檢查部16內之加熱器之作動/停止。

於按鈕143f之橫向左側顯示有「Cover Lock」之字符。於按鈕143g之橫向左側顯示有「Double IC LED」之字符。於按鈕143h之橫向左側顯示有「START」之字符。於按鈕143i之橫向左側顯示有「Front Cover Lock」之字符。於按鈕143j之橫向左側顯示有「Front Cover LED」之字符。

如以上所說明般，於檢查裝置1中，於顯示裝置40中顯示有使檢查裝置1之各部作動之按鈕(操作部)，藉由點選按鈕，能夠使各部獨立地作動。又，於檢查裝置1中，於顯示裝置40中顯示有顯示各部之作動狀態之指示燈。

先前，例如於在IC器件90之檢查之前進行動作確認之情形時，係總括地使檢查裝置之各部作動，而進行各部之檢查。相對於此，於檢查裝置1中，如上所述，能夠使檢查裝置1之各部獨立地作動，又，能夠分別獲知各部是否作動。因此，於檢查裝置1中，尤其是於進行動作確認(維護)時非常有利。

(第2實施形態)

圖12係自正面側觀察本發明之第2實施形態之電子零件檢查裝置之概略立體圖。圖13係圖12所示之電子零件檢查裝置之概略俯視圖。圖14A係表示藉由圖13所示之電子零件檢查裝置所具備之托盤搬送機構而搬送之托盤之狀態之俯視圖，圖14B係表示圖13所示之電子零件檢查裝置所具備之托盤之狀態之側視圖。圖15~圖18分別係圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之監視器所顯示之表單。圖19係表示圖12所示之電子零件檢查裝置所具備之移動時間變更部之構成之一例之前視圖。圖20係圖19所示之移動時間變更部之放大圖。圖21係包含圖19所示之移動時間變更部之電路圖。圖22係表示藉由圖14A及圖14B所示之托盤搬送機構而搬送之托盤之搬送速度之經時性變化之曲線圖。

如圖13所示，檢查裝置1000被分為托盤供給區域B1、器件供給區域(以下簡稱為「供給區域」)B2、檢查區域B3、器件回收區域(以下簡稱為「回收區域」)B4、及托盤去除區域B5。而且，IC器件90依序經由托盤供給區域B1至托盤去除區域B5之各區域，於中途之檢查區域B3進行檢查。如此，檢查裝置1000成為具備於各區域搬送IC器件90之電子零件搬送裝置、於檢查區域B3內進行檢查之檢查部1016、及控制部1080者。又，如圖12所示，檢查裝置1000具備監視器1300及信號燈1400。

再者，檢查裝置1000係配置有托盤供給區域B1、托盤去除區域B5之一方(圖13中之-Y方向側)成為正面側，其相反側、即配置有檢查區域B3之一方(圖13中之+Y方向側)作為背面側而使用。

托盤供給區域B1係供給排列著未檢查狀態之複數個IC器件90之托盤(配置構件)200之供材部。於托盤供給區域B1中，可堆積多個托盤200。

供給區域B2係將配置於來自托盤供給區域B1之托盤200上之複數個IC器件90分別供給至檢查區域B3之區域。再者，以跨及托盤供給區域B1與供給區域B2之方式，設置有將托盤200逐個沿水平方向搬送之托盤搬送機構1011A、1011B。托盤搬送機構1011A係能夠使托盤200與載置於該托盤200之IC器件90一併沿Y方向移動之移動部。藉此，能夠將IC器件90穩定地送入至供給區域B2。又，托盤搬送機構1011B係能夠使空托盤200移動之移動部。

於供給區域B2設置有溫度調整部(浸泡板)1012、器件搬送頭1013、及托盤搬送機構(第1搬送裝置)1015。

溫度調整部1012係供載置複數個IC器件90之載置部，能夠加熱或冷卻該複數個IC器件90。藉此，能夠將IC器件90調整至適合檢查之溫度。於圖13所示之構成中，沿Y方向配置、固定有2個溫度調整部1012。而且，藉由托盤搬送機構1011A自托盤供給區域B1搬入(搬送來)之托盤200上之IC器件90被搬送、載置於任一溫度調整部1012。

器件搬送頭1013能夠於供給區域B2內移動地受支持。藉此，器件搬送頭1013負責自托盤供給區域B1搬入之托盤200與溫度調整部1012之間之IC器件90之搬送、及溫度調整部1012與下述器件供給部1014之間之IC器件90之搬送。

托盤搬送機構1015係將去除所有IC器件90之狀態之空的托盤200於供給區域B2內在X方向上搬送之機構。繼而，於該搬送後，藉由托盤搬送機構1011B使空的托盤200自供給區域B2返回至托盤供給區域B1。

檢查區域B3係檢查IC器件90之區域。於該檢查區域B3設置有器件供給部(供給梭)1014、檢查部1016、器件搬送頭1017、及器件回收部(回收梭)1018。

器件供給部1014係能夠載置經溫度調整之IC器件90，並將該IC器件90搬送(使其移動)至檢查部1016附近之移動部。該器件供給部1014能夠於供給區域B2與檢查區域B3之間沿X方向在水平方向上移動地受支持。又，於圖13所示之構成中，沿Y方向配置有2個器件供給部1014，溫度調整部1012上之IC器件90被搬送、載置於任一器件供給部1014。

檢查部1016係檢查、試驗IC器件90之電氣特性之單元。於檢查部1016，設置有於保持有IC器件90之狀態下與該IC器件90之端子電性連接之複數個探針接腳。而且，IC器件90之端子與探針接腳電性連接(接觸)，經由探針接腳進行IC器件90之檢查。IC器件90之檢查係基於連接於檢查部1016之測試機所具備之檢查控制部中記憶之程式而進行。再者，於檢查部1016中，與溫度調整部1012同樣地，能夠加熱或冷卻IC器件90，而將該IC器件90調整至適合檢查之溫度。

器件搬送頭1017能夠於檢查區域B3內移動地受支持。藉此，器件搬送頭1017能夠將自供給區域B2搬入之器件供給部1014上之IC器件90搬送、載置於檢查部1016上。

器件回收部1018係載置已結束於檢查部1016之檢查之IC器件90，並可將該IC器件90搬送(使其移動)至回收區域B4之移動部。該器件回收部1018能夠在檢查區域B3與回收區域B4之間沿X方向於水平方向上移動地受支持。又，於圖13所示之構成中，器件回收部1018與器件供給部1014同樣地沿Y方向配置有2個，檢查部1016上之IC器件90被搬送、載置於任一器件回收部1018。該搬送係藉由器件搬送頭1017而進行。

回收區域B4係供回收檢查結束之複數個IC器件90之區域。於該回收區域B4設置有回收用托盤1019、器件搬送頭1020、及托盤搬送機構(第2搬送裝置)1021。又，於回收區域B4亦準備有空的托盤200。

回收用托盤1019係供載置IC器件90之載置部，固定於回收區域B4內，於圖13所示之構成中，沿X方向配置有3個。又，空的托盤200亦為供載置IC器件90之載置部，沿X方向配置有3個。而且，移動至回收區域B4之器件回收部1018上之IC器件90被搬送、載置於該等回收用托盤1019及空的托盤200中之任一個。藉此，依各個檢查結果，將IC器件90回收、分類。

器件搬送頭1020能夠於回收區域B4內移動地受支持。藉此，器件搬送頭1020能夠將IC器件90自器件回收部1018搬送至回收用托盤 1019或空的托盤200。

托盤搬送機構1021係將自托盤去除區域B5搬入之空的托盤200於回收區域B4內沿X方向進行搬送之機構。繼而，於該搬送後，空的托盤200配置於供回收IC器件90之位置，即，可能會成為上述3個空的托盤200中之任一個。如此，於檢查裝置1000中，於回收區域B4設置有托盤搬送機構1021，此外，於供給區域B2設置有托盤搬送機構1015。藉此，例如與利用1個搬送機構進行將空的托盤200向X方向搬送相比，能夠謀求處理量(每單位時間之IC器件90之搬送個數)之提高。

再者，作為托盤搬送機構1015、1021之構成，並無特別限定，例如可列舉具有吸附托盤200之吸附構件、及將該吸附構件能夠沿X方向移動地支持之滾珠螺桿等支持機構之構成。

托盤去除區域B5係回收、去除排列有檢查完畢狀態之複數個IC器件90之托盤200之除材部。於托盤去除區域B5中，可堆積多個托盤200。

又，以跨及回收區域B4與托盤去除區域B5之方式設置有將托盤200沿水平方向逐個搬送之托盤搬送機構1022A、1022B。托盤搬送機構1022A係能夠使托盤200與載置於該托盤200之檢查完畢之IC器件90一併沿Y方向移動之移動部。藉此，能夠將檢查完畢之IC器件90自回收區域B4搬送至托盤去除區域B5。又，托盤搬送機構1022B係能夠使用以回收IC器件90之空的托盤200自托盤去除區域B5移動至回收區域B4之移動部。

控制部1080例如具有驅動控制部。驅動控制部例如控制托盤搬送機構1011A、1011B、溫度調整部1012、器件搬送頭1013、器件供給部1014、托盤搬送機構1015、檢查部1016、器件搬送頭1017、器件回收部1018、器件搬送頭1020、托盤搬送機構1021、及托盤搬送機構 1022A、1022B之各部之驅動。

再者，上述測試機之檢查控制部例如基於記憶於未圖示之記憶體內之程式，進行配置於檢查部1016之IC器件90之電氣特性之檢查等。

操作員能夠經由監視器1300，設定或確認檢查裝置1000之作動時之溫度條件等。如圖12所示，該監視器1300具有例如由液晶畫面構成之顯示畫面1301，配置於檢查裝置1000之正面側上部(+Z方向側)。於托盤去除區域B5之+X方向側，設置有載置操作監視器1300所顯示之畫面時所使用之滑鼠之滑鼠台1600。

又，信號燈1400能夠藉由所發光之顏色之組合，報告檢查裝置1000之作動狀態等。如圖12所示，信號燈1400配置於檢查裝置1000之上部(+Z方向側)。再者，於檢查裝置1000內置有揚聲器1500，藉由該揚聲器1500亦能夠報告檢查裝置1000之作動狀態等。

如圖13所示，於檢查裝置1000中，托盤供給區域B1與供給區域B2之間由第1間隔壁1061隔開(分隔)，供給區域B2與檢查區域B3之間由第2間隔壁1062隔開，檢查區域B3與回收區域B4之間由第3間隔壁1063隔開，回收區域B4與托盤去除區域B5之間由第4間隔壁1064隔開。又，供給區域B2與回收區域B4之間亦由第5間隔壁1065隔開。該等間隔壁具有保持各區域之氣密性之功能。

進而，檢查裝置1000之最外包裝由外殼覆蓋，該外殼例如存在前外殼1070、側外殼1071、側外殼1072、後外殼1073、頂部外殼1074。再者，於較後外殼1073更靠內側，配置有內側間隔壁1066。

如上所述，檢查裝置1000具備托盤搬送機構1011A、器件供給部1014、器件回收部1018、托盤搬送機構1022A，作為載置IC器件90而移動之移動部。而且，於檢查裝置1000中，為了獲得所需之處理量(每單位時間之IC器件90之處理個數)，需要確認是否恰好地設定了該等移動部之移動時間。該確認係於各種維護時進行，例如於檢查裝置1000之出貨時進行，或於該出貨後於IC器件90之製造工廠內之使用時定期地進行，或於構成移動部之零件隨著連續之使用而劣化之情形時更換該零件時進行。

以下，說明對移動部之維護，但作為該移動部，代表性地說明托盤搬送機構1011A。

如圖14A及圖14B所示，托盤搬送機構1011A具有主動輪1111、從動輪1112、及傳送帶1113。

主動輪1111配置於托盤供給區域B1內，連結於馬達1115。

從動輪1112相對於主動輪1111於+Y方向上相隔，且配置於供給區域B2內。

傳送帶1113係環繞架設於主動輪1111與從動輪1112之環形傳送帶。再者，傳送帶1113有2條，相互於X方向上相隔而配置。

於此種構成之托盤搬送機構1011A中，藉由馬達1115之作動而旋轉之主動輪1111之旋轉力經由傳送帶1113傳遞至從動輪1112。藉此，能夠將載置於傳送帶1113上之托盤200自托盤供給區域B1搬送至供給區域B2。

再者，較佳為，於主動輪1111與從動輪1112之間配置有防止傳送帶1113之撓曲之構件。藉此，能夠穩定地搬送托盤200。

又，托盤搬送機構1011A於供給區域B2內具有作為供托盤200抵接之抵接部之擋塊1114。當托盤200自托盤供給區域B1移動至供給區域B2時，於其移動(動作)結束之時刻碰觸於擋塊1114。藉由該碰觸狀態，完成與托盤200一起之各IC器件90之定位，因此，能夠利用器件搬送頭1013固持該各IC器件90。

再者，擋塊1114係由配置、固定於供給區域B2內且能夠抵接至托盤200之前進方向前方之端面之塊狀、或板狀之構件構成。又，作為擋塊1114之構成材料，並無特別限定，例如可使用不鏽鋼或鋁等金屬材料、聚乙烯或尼龍等樹脂材料。

其次，對監視器1300之顯示畫面1301進行說明。

如圖16~圖18所示，於監視器1300之顯示畫面1301放映出維護表單1003。如圖15所示，該維護表單1003係自顯示畫面1301所顯示之選單表單1004選擇者。

於對維護表單1003進行說明之前，對選單表單1004進行說明。

如圖15所示，選單表單1004包含第1選單群1041、第2選單群1042、第3選單群1043、軟體名顯示欄1044、檔案名顯示欄1045、及檢查部(插座)狀態顯示表1046。

第1選單群1041包含按鈕1411~按鈕1416，且以如下方式分配，即，按鈕1411對應於「Exit」，按鈕1412對應於「Shut down」，按鈕1413對應於「Device Set」，按鈕1414對應於「Unit Set」，按鈕1415對應於「Maintenance」，按鈕1416對應於「My Pad」。而且，藉由操作按鈕1415，顯示圖16~圖18之維護表單1003。

第2選單群1042包含按鈕4201~按鈕4212，且以如下方式分配，即，按鈕4201對應於「Build」，按鈕4202對應於「Start Mode」，按鈕4203對應於「C.Select」，按鈕4204對應於「C.Clear」，按鈕4205對應於「Temp Monitor」，按鈕4206對應於「Tower Light」，按鈕4207對應於「Password」，按鈕4208對應於「Security」，按鈕4209對應於「Observer」，按鈕4210對應於「Configuration」，按鈕4211對應於「Controller」，按鈕4212對應於「DIO Setting」。

第3選單群1043包含設定檢查裝置1000之作動條件之設定部1431~設定部1436，且以如下方式分配，即，設定部1431對應於「Temperature」，設定部1432對應於「Tester」，設定部1433對應於「Run Mode」，設定部1434對應於「Start Mode」，設定部1435對應於「Bin Setting」，設定部1436對應於「Rotation」。

於軟體名顯示欄1044顯示有用以使檢查裝置1000作動之軟體之名稱。

於檔案名顯示欄1045顯示有用以使檢查裝置1000作動之檔案之名稱。

於檢查部狀態顯示表1046顯示有於檢查部1016之檢查狀態。

其次，對維護表單1003進行說明。

如圖16~圖18所示，維護表單1003包含器件供給部．回收部用選單群1031、托盤供給．去除用選單群1032、空托盤搬送用選單群1033、托盤搬送用選單群1034、及移動時間顯示欄(移動時間顯示部)1035。

器件供給部．回收部用選單群1031包含設定器件供給部(供給梭)1014及器件回收部(回收梭)1018之作動條件之按鈕1311~按鈕1316。以如下方式分配，即，按鈕1311對應於「In Shuttle 1」，按鈕1312對應於「Out Shuttle 1」，按鈕1313對應於「Out Fiber」，按鈕1314對應於「In Shuttle 2」，按鈕1315對應於「Out Shuttle 2」，按鈕1316對應於「Out Fiber」。

托盤供給．去除用選單群1032包含設定於托盤供給區域B1及托盤去除區域B5之對托盤200之作動條件之按鈕1321~按鈕1323。以如下方式分配，即，按鈕1321對應於「Loader」，按鈕1322對應於「Unloader 」，按鈕1323對應於「Tray Lock」。

空托盤搬送用選單群1033包含設定托盤搬送機構1021之作動條件之按鈕1331及按鈕1332。以如下方式分配，即，按鈕1331對應於「Position Check」，按鈕1332對應於「Cylinder」。

托盤搬送用選單群1034包含使托盤搬送機構1011A、托盤搬送機構1011B、3個托盤搬送機構1022A、托盤搬送機構1022B作動之按鈕 1341a~1346b。

托盤搬送用選單群1034內之標題「Loader」係指「托盤搬送機構1011A」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1341a對應於使托盤搬送機構1011A以高速模式作動之「High SPD」按鈕，按鈕1341b對應於使托盤搬送機構1011A以低速模式作動之「Low SPD」按鈕。

標題「ReLoader 1」係指「托盤搬送機構1011B」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1342a對應於使托盤搬送機構1011B以高速模式作動之「High SPD」按鈕，按鈕1342b對應於使托盤搬送機構1011B以低速模式作動之「Low SPD」按鈕。

標題「ReLoader 2」係指「托盤搬送機構1022B」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1343a對應於使托盤搬送機構1022B以高速模式作動之「High SPD」按鈕，按鈕1343b對應於使托盤搬送機構1022B以低速模式按鈕「Low SPD」按鈕。

又，根據檢查裝置1000之種類，例如亦可使托盤搬送用選單群1034進而包含使托盤搬送機構1015以高速模式作動之按鈕、及以低速模式作動之按鈕。

標題「UnLoader 1」係指處於最靠近供給區域B2之位置之「托盤搬送機構1022A」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1344a對應於使該托盤搬送機構1022A以高速模式作動之速度「High SPD」按鈕，按鈕1344b對應於使該托盤搬送機構1022A以低速模式作動之「Low SPD」按鈕。

標題「UnLoader 2」係指鄰接於UnLoader 1之「托盤搬送機構1022A」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1345a對應於使該托盤搬送機構1022A以高速模式作動之「High SPD」按鈕，按鈕1345b對應於使該托盤搬送機構1022A以低速模式作動之「Low SPD」按鈕。

標題「UnLoader 3」係指鄰接於UnLoader 2之「托盤搬送機構1022A 」。而且，以如下方式分配，即，按鈕1346a對應於使該托盤搬送機構1022A以高速模式作動之「High SPD」按鈕，按鈕1346b對應於使該托盤搬送機構1022A以低速模式作動之「Low SPD」按鈕。

例如於選擇了按鈕1341a之情形時，於移動時間顯示欄1035，於括弧內顯示有以高速模式作動之托盤搬送機構1011A之1次之自動作開始至動作結束之實際時間即移動時間t_11A。而且，檢查裝置1000之操作員等作業人員於維護時，能夠視認到該移動時間顯示欄1035所顯示之移動時間t_11A。藉此，作業人員能夠於維護時確認是否為了獲得利用檢查裝置1000之所需之處理量而恰好地設定了移動時間t_11A，即，托盤搬送機構1011A是否準確地動作。如此，檢查裝置1000成為維護性優異之裝置。

再者，亦能夠以如下方式構成，即，於選擇了按鈕1341a之情形時，能夠視覺地辨識選擇了該按鈕1341a之意旨。作為此種構成，例如可列舉使按鈕1341a之顏色變化，或顯示於「LDR High」與監視器1300(維護表單1003)等構成。

又，如圖16~圖18所示，於移動時間顯示欄1035顯示有移動時間t_11A是否處於預先設定且記憶之數值即閾值t₀之範圍內之判定結果R_11A及該閾值t₀。

判定結果R_11A以「OK」或「NG」而顯示。

閾值t₀於本實施形態中為「1.3±0.1[s]」，根據移動時間t_11A是否處於該範圍內，選擇顯示「OK」與「NG」中之任一者。藉此，作業人員能夠判斷是否應變更移動時間t_11A。

例如，於圖16所示之狀態下，移動時間t_11A為1.3[s]。該情形時，移動時間t_11A處於閾值t₀之範圍內，故而判定結果R_11A成為「OK」。因此，作業人員能夠判斷為了獲得利用檢查裝置1000之所需之處理量而恰好地設定了移動時間t_11A。

又，於圖17所示之狀態下，移動時間t_11A為1.5[s]。該情形時，移動時間t_11A偏離閾值t₀之範圍，故而判定結果R_11A成為「NG」。因此，作業人員能夠判斷未恰好地設定移動時間t_11A，需要進行移動時間t_11A之變更。再者，於移動時間顯示欄1035，顯示有移動時間t_11A過晚之意旨之「LDR HIGH is Too Slow」。

於圖18所示之狀態下，移動時間t_11A為1.1[s]。該情形時，移動時間t_11A亦偏離閾值t₀之範圍，故而判定結果R_11A成為「NG」。因此，作業人員能夠判斷未恰好地設定移動時間t_11A，需要進行移動時間t_11A之變更。再者，於移動時間顯示欄1035顯示有移動時間t_11A過早之意旨之「LDR HIGH is Too Fast」。

如上所述，存在需要進行移動時間t_11A之變更之情況。對用以變更該移動時間t_11A之構成進行說明。

如圖19所示，於檢查裝置1000之正面側，設置有具有作為能夠變更移動時間t_11A之移動時間變更部之變更用柄(第1變更用柄)1051之面板1005。再者，如圖12所示，於覆蓋檢查裝置1000之正面側之前外殼1070，設置有能夠開閉地設置之門1701。藉由敞開該門1701，能夠使面板1005露出，從而對該面板1005進行操作。

於該變更用柄1051存在沿X方向排列配置之低速用柄1511及高速用柄1512。低速用柄1511與高速用柄1512係用以使托盤搬送機構1011A之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間t_11A之變更者。再者，操作低速用柄1511或高速用柄1512後之值例如亦能夠反映於圖16~圖18所示之維護表單1003。

作為托盤搬送機構1011A之於低速模式下之移動速度範圍，並無特別限定，例如較佳為5mm/s以上且20mm/s以下，更佳為10mm/s以上且15mm/s以下。低速用柄1511係於該範圍內變更移動時間t_11A之低速模式用移動時間變更部。

又，作為托盤搬送機構1011A之於高速模式下之移動速度範圍，並無特別限定，例如較佳為100mm/s以上且300mm/s以下，更佳為150mm/s以上且250mm/s以下。高速用柄1512係於該範圍內變更移動時間t_11A之高速模式用移動時間變更部。

而且，當變更移動時間t_11A時，能夠選擇低速用柄1511與高速用柄1512中之至少一個柄進行操作。再者，亦能夠以如下方式構成：與低速用柄1511或高速用柄1512之選擇操作連動(關連)地操作對應於該柄之按鈕1341a或按鈕1341b。

又，面板1005並不限定於如圖12所示般之配置部位，例如亦可配置於監視器1300之下側。該情形時，能夠一面視認監視器1300一面容易且準確地操作面板1005。

再者，如圖19所示，於面板1005，除變更用柄1051外，自+Z方向側朝-Z方向側沿Z軸依序配置有變更用柄(第2變更用柄)1052、變更用柄(第3變更用柄)1053、變更用柄(第4變更用柄)1054、變更用柄(第5變更用柄)1055、及變更用柄(第6變更用柄)1056。

變更用柄1052係能夠變更作為「ReLoader 1」之托盤搬送機構1011B之移動時間之移動時間變更部。該變更用柄1052亦存在用以使托盤搬送機構1011B之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間之變更之低速用柄1521及高速用柄1522。

變更用柄1053係能夠變更作為「ReLoader 2」之托盤搬送機構1022B之移動時間之移動時間變更部。該變更用柄1053亦存在用以使托盤搬送機構1022B之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間之變更之低速用柄1531及高速用柄1532。

變更用柄1054係能夠變更作為「UnLoader 1」之托盤搬送機構1022A之移動時間之移動時間變更部。該變更用柄1054亦存在用以使該托盤搬送機構1022A之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間之變更之低速用柄1541及高速用柄1542。

變更用柄1055係能夠變更作為「UnLoader 2」之托盤搬送機構1022A之移動時間之移動時間變更部。該變更用柄1055亦存在用以使該托盤搬送機構1022A之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間之變更之低速用柄1551及高速用柄1552。

變更用柄1056係能夠變更作為「UnLoader 3」之托盤搬送機構1022A之移動時間之移動時間變更部。該變更用柄1056亦存在用以使該托盤搬送機構1022A之移動速度於低速模式與高速模式之2個不同移動速度範圍內變更，而進行移動時間之變更之低速用柄1561及高速用柄1562。

又，於面板1005標註有用以識別哪一「變更用柄」係變更哪一「托盤搬送機構」者之名稱「Loader」、「ReLoader 1」、「ReLoader 2」、「UnLoader 1」、「UnLoader 2」、「UnLoader 3」。

又，亦標註有用以識別「低速用柄」及「高速用柄」中之哪一個係「低速用柄」或「高速用柄」之名稱「Low」、「High」。

圖19中之變更用柄1051~變更用柄1056除於面板1005上之配置部位不同以外係相同構成，故而代表性地對變更用柄1051進行說明。

如圖20所示，低速用柄1511(或高速用柄1512)係由自+Y方向觀察時呈圓形之構件構成，且係能夠以其中心O為旋動中心旋動地受支持之所謂之「轉盤式」之操作構件。

如圖21所示，於低速用柄1511內置有可變電阻VR₅₁₁，於高速用柄1512內置有可變電阻VR₅₁₂。可變電阻VR₅₁₁之最大電阻值與可變電阻VR₅₁₂之最小電阻值相同。

可變電阻VR₅₁₁與可變電阻VR₅₁₂於交流電源AC與自交流電源AC供給電力之托盤搬送機構1011A之馬達1115之間並聯連接。於交流電源AC與可變電阻VR₅₁₁之間設置有開關SW₅₁₁，於交流電源AC與可變電阻VR₅₁₂之間設置有開關SW₅₁₂。

於維護時，例如將開關SW₅₁₁設為「ON」狀態，將低速用柄1511沿圖20中之順時針方向旋動操作，藉此可變電阻VR₅₁₁之電阻值減少。隨著該電阻值之減少，供給至馬達1115之電力增加。藉此，托盤搬送機構1011A之移動速度亦增加，因此，能夠縮短移動時間t_11A。另一方面，將開關SW₅₁₁設為「ON」狀態，將低速用柄1511沿圖20中之逆時針方向旋動操作，藉此可變電阻VR₅₁₁之電阻值增加。隨著該電阻值之增加，供給至馬達1115之電力減少。藉此，托盤搬送機構1011A之移動速度亦減少，因此，能夠延長移動時間t_11A。

如此，藉由低速用柄1511之旋動操作，能夠使可變電阻VR₅₁₁之電阻值變化，而進行移動時間t_11A之變更。該情況於操作高速用柄1512時亦相同。而且，該變更於實際之IC器件90之通常之檢查時亦維持原本狀態。藉此，能夠準確地進行對托盤搬送機構1011A之動作變更，維護性優異。

再者，如上所述，可變電阻VR₅₁₁之最大電阻值與可變電阻VR₅₁₂之最小電阻值相同。該情形時，於低速模式下之移動速度與於高速模式下之移動速度變得相同。

如圖20所示，於低速用柄1511(或高速用柄1512)之周圍附有0~10之刻度。藉由將低速用柄1511(或高速用柄1512)之標記1513與各刻度重合，能夠階段性地變更移動時間t_11A。藉此，能夠消除進行維護之作業人員之個人差異。

又，開關SW₅₁₁及開關SW₅₁₂之ON/OFF之切換係藉由控制部1080而控制。該ON/OFF切換時點係基於圖14A所示之第1感測器1116之檢測結果而進行。再者，托盤搬送機構1011A於動作開始時設定為高速模式，於中途切換至低速模式，並在維持該低速模式之狀態下停止(參照圖22)。

如圖14A所示，第1感測器1116具有於俯視下介隔2條傳送帶1113於X方向上相隔而對向配置之發光部1116a及受光部1116b。自發光部1116a發出之光L₁₁₆於受光部1116b被接收，但當自托盤供給區域B1進入至供給區域B2之托盤200介存於發光部1116a與受光部1116b之間時，該光L₁₁₆被該托盤200遮斷。而且，於檢測到該遮光之情形時，托盤搬送機構1011A自高速模式切換至低速模式，即，開關SW₅₁₂變成OFF，開關SW₅₁₁變成ON。

其後，托盤搬送機構1011A於低速模式下動作，其動作停止之時點係基於圖14A所示之第2感測器1117之檢測結果而進行。

如圖14A所示，第2感測器1117位於在俯視下較第1感測器1116更靠托盤200之搬送方向前方。該第2感測器1117具有於俯視下介隔2條傳送帶1113於X方向上相隔而對向配置之發光部1117a及受光部1117b。自發光部1117a發出之光L₁₁₇於受光部1117b被接收，但當托盤200快要抵接至擋塊1114(例如2~5mm近前)時，光L₁₁₇被該托盤200遮斷(遮光)。而且，於檢測到該遮光之情形時，開關SW₅₁₁變成OFF，停止對馬達1115供給電力。藉此，托盤搬送機構1011A之動作停止，即，移動之托盤200停止。此時，托盤200能夠儘可能以低速抵接至擋塊1114。藉此，能夠防止因托盤200與擋塊1114之碰撞，而使托盤200上之IC器件90飛出。

以上，作為對移動部之維護，代表性地說明了對托盤搬送機構1011A之維護，但針對托盤搬送機構1011B、器件供給部1014、托盤搬送機構1015、器件回收部1018、托盤搬送機構1022A、托盤搬送機構1022B，亦能夠與托盤搬送機構1011A同樣地進行維護。

以上，基於較佳之實施形態，對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置進行了說明，但本發明並不限定於此，各部之構成能夠置換成具有相同功能之任意之構成者。又，亦可附加其他任意之構成物。

於上述第1實施形態中，設定顯示部60具備操作裝置50及顯示裝置40，但例如亦可為操作裝置與顯示裝置成為一體之構成。作為操作裝置與顯示裝置成為一體之構成，例如可列舉顯示裝置所具有之監視器成為觸控面板之構成。

再者，於按鈕群107中，關於除上述所說明之按鈕以外之按鈕，亦與上述同樣地，能夠切換至新視窗，能夠操作電子零件搬送裝置10之各部，或顯示作動狀態。

又，於上述第2實施形態中，能夠變更移動部之移動時間之移動時間變更部包含低速模式用移動時間變更部與高速模式用移動時間變更部之2種變更部，但並不限定於此，亦可包含1種或3種以上之變更部。