JP2016222354A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移動部の動作確認を正確に行なうことができ、メンテナンス性に優れた電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。
【解決手段】電子部品検査装置は、電子部品を載置して移動する移動部（例えばLoader）と、移動部の移動時間ｔ_１１Ａを表示する移動時間表示欄３５を映し出すモニター３００と、移動時間ｔ_１１Ａを変更可能な移動時間変更部と、電子部品を検査する検査部とを有する。移動時間表示欄３５には、移動時間ｔ_１１Ａとして、移動部の動作開始から動作終了までの時間が表示される。
【選択図】図５

Description

本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。

従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部の保持部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている。この電子部品搬送装置では、ＩＣデバイスを載置して、第１の位置（所定位置）から第２の位置（所定位置）まで移動させる移動部が、ＩＣデバイスの搬送経路に応じて、複数箇所に配置されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、移動部として、ＩＣデバイスをＸ方向に移動させるものがある。

特開２０１４−０８５２３０号公報

電子部品搬送装置では、移動部が第１の位置から第２の位置まで移動するのに要する動作時間を変更するためのメンテナンスを定期的に行なうことがある。しかしながら、動作時間の変更には、例えばメンテナンスを行なう作業者がストップウォッチを用いて行なっており、その作業者によって、スタートボタンを押すタイミングや、ストップボタンを押すタイミングにバラツキが生じていた。この場合、所望のスループットを得るための移動部の動作時間が、正確に変更されないという問題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を載置可能な載置部材を移動する移動部と、
前記移動部の移動時間を表示する移動時間表示部と、を有することを特徴とする。

これにより、電子部品搬送装置のオペレーター等の作業者は、移動時間表示部に表示された移動時間を視認することができ、よって、当該装置での所望のスループットを得るために、移動時間が過不足なく設定されているか否か、すなわち、移動部が正確に動作するか否かを確認することができる。

［適用例２］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動時間は、前記移動部が動作開始時から動作終了時までの時間であるのが好ましい。

これにより、移動部の移動時間が、電子部品搬送装置での所望のスループットを得るために過不足なく設定されているか否かを判断するのに十分な時間となる。

［適用例３］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動時間を変更可能な移動時間変更部を有するのが好ましい。

これにより、移動部の移動時間の変更を要する場合、その変更を迅速に行なうことができる。

［適用例４］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動時間変更部は、回動操作により前記移動時間の変更が可能であるのが好ましい。

これにより、移動時間変更部に対する操作が簡単なものとなり、よって、移動時間変更部の操作性、すなわち、メンテナンス性が向上するとともに、移動時間変更部を正確に操作することができる。

［適用例５］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動時間変更部は、前記移動部の移動速度を、所定の範囲内で変更して、前記移動時間の変更を行なう複数のモードを含み、前記移動時間を変更する場合、前記複数のモードのうちのいずれかが選択されるのが好ましい。

これにより、移動時間の変更をできる限り細かく、すなわち、微変更することでき、よって、当該移動時間の変更を正確に行なうことができる。

［適用例６］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動時間変更部は、前記移動部の移動速度を、少なくとも２種の所定の範囲内で変更して、前記移動時間の変更を行なう低速モード用移動時間変更部と高速モード用移動時間変更部とを含み、前記移動時間を変更する場合、前記低速モード用移動時間変更部と前記高速モード用移動時間変更部とのうちの少なくとも一方が選択されるのが好ましい。

これにより、移動時間の変更をできる限り細かくすることでき、よって、当該移動時間の変更を正確に行なうことができる。

［適用例７］
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動部は、動作開始から動作終了までの間に、前記高速モード用移動時間変更部で変更された移動時間で移動し、次いで、前記低速モード用移動時間変更部で変更された移動時間で移動するのが好ましい。

これにより、移動部は、動作終了時にできる限り低速で停止することができ、よって、動作終了時に例えば衝突や慣性によって電子部品が飛び出してしまうのを防止することができる。

［適用例８］
本発明の電子部品搬送装置では、前記動作終了時の前記移動部に当接する当接部を有するのが好ましい。

これにより、電子部品の位置決めがなされ、その後、例えば当該電子部品を、移動部とは別途に設けられた把持部で把持することができる。

［適用例９］
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を載置して移動する移動部と、
前記移動部の移動時間を表示する移動時間表示部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を有することを特徴とする。

これにより、電子部品検査装置のオペレーター等の作業者は、移動時間表示部に表示された移動時間を視認することができ、よって、当該装置での所望のスループットを得るために、移動時間が過不足なく設定されているか否か、すなわち、移動部が正確に動作するか否かを確認することができる。

図１は、本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。 図２は、図１に示す電子部品検査装置の概略平面図である。 図３は、図２に示す電子部品検査装置が備えるトレイ搬送機構によって搬送されるトレイの状態を示す図（（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図）である。 図４は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示されるフォームである。 図５は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示されるフォームである。 図６は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示されるフォームである。 図７は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示されるフォームである。 図８は、図１に示す電子部品検査装置が備える移動時間変更部の構成の一例を示す正面図である。 図９は、図８に示す移動時間変更部の拡大図である。 図１０は、図８に示す移動時間変更部を含んだ回路図である。 図１１は、図３に示すトレイ搬送機構によって搬送されるトレイの搬送速度の経時的な変化を示すグラフである。

以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。図２は、図１に示す電子部品検査装置の概略平面図である。図３は、図２に示す電子部品検査装置が備えるトレイ搬送機構によって搬送されるトレイの状態を示す図（（ａ）が平面図、（ｂ）が側面図）である。図４〜図７は、それぞれ、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示されるフォームである。図８は、図１に示す電子部品検査装置が備える移動時間変更部の構成の一例を示す正面図である。図９は、図８に示す移動時間変更部の拡大図である。図１０は、図８に示す移動時間変更部を含んだ回路図である。図１１は、図３に示すトレイ搬送機構によって搬送されるトレイの搬送速度の経時的な変化を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いていた状態も含む。

図１、図２に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball grid array）パッケージやＬＧＡ（Land grid array）パッケージ等のＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）等の電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。

図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域（以下単に「回収領域」と言う）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、制御部８０を備えたものとなっている。また、その他、検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００とを備えている。

なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方（図２中の下側）が正面側となり、その反対側、すなわち、検査領域Ａ３が配された方（図２中の上側）が背面側として使用される。

トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ（配置部材）２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。

供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上に配置された複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向に移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００を移動させることができる移動部である。

供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート）１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構（第１搬送装置）１５とが設けられている。

温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該複数のＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができる。これにより、ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入された（搬送されてきた）トレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２に搬送され、載置される。

デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。

トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。

検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、デバイス供給部（供給シャトル）１４と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部（回収シャトル）１８とが設けられている。

デバイス供給部１４は、温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する（移動させる）ことができる移動部である。このデバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４に搬送され、載置される。

検査部１６は、ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験するユニットである。検査部１６には、ＩＣデバイス９０を保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。

デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。

デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送する（移動させる）ことができる移動部である。このデバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。

回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構（第２搬送装置）２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。

回収用トレイ１９は、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、回収領域Ａ４内に固定され、図２に示す構成では、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。また、空のトレイ２００も、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、これらの回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。

デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。

トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。このように検査装置１では、回収領域Ａ４にトレイ搬送機構２１が設けられ、その他に、供給領域Ａ２にトレイ搬送機構１５が設けられている。これにより、例えば空のトレイ２００のＸ方向への搬送を１つの搬送機構で行なうよりも、スループット（単位時間当たりのＩＣデバイス９０の搬送個数）の向上を図ることができる。

なお、トレイ搬送機構１５、２１の構成としては、特に限定されず、例えば、トレイ２００を吸着する吸着部材と、当該吸着部材をＸ方向に移動可能に支持するボールネジ等の支持機構とを有する構成が挙げられる。

トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。

また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置された検査済みのＩＣデバイス９０ごとＹ方向に移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００を、トレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる移動部である。

制御部８０は、例えば、駆動制御部を有している。駆動制御部は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂの各部の駆動を制御する。

なお、前記テスターの検査制御部は、例えば、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の電気的特性の検査等を行なう。

オペレーターは、モニター３００を介して、検査装置１の作動時の温度条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。

また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置１の上部に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。

図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られて（仕切られて）おり、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。これらの隔壁は、各領域の気密性を保つ機能を有している。さらに、検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。なお、リアカバー７３よりも内側には、内側隔壁６６が配置されている。

前述したように、検査装置１は、ＩＣデバイス９０を載置して移動する移動部として、トレイ搬送機構１１Ａ、デバイス供給部１４、デバイス回収部１８、トレイ搬送機構２２Ａを備えている。そして、検査装置１では、これらの移動部の移動時間が、所望のスループット（単位時間当たりのＩＣデバイス９０の処理個数）を得るために、過不足なく設定されているか否かを確認する必要がある。この確認は、種々のメンテナンス時に行なわれ、例えば、検査装置１の出荷時に行なわれたり、その出荷後のＩＣデバイス９０の製造工場内での使用時に定期的に行なわれたり、移動部を構成する部品が継続的な使用に伴って劣化した場合の当該部品の交換時に行なわれる。

以下では、移動部に対するメンテナンスについて説明するが、その移動部として、トレイ搬送機構１１Ａを代表的に扱う。

図３に示すように、トレイ搬送機構１１Ａは、主動プーリー１１１と、従動プーリー１１２と、ベルト１１３とを有している。

主動プーリー１１１は、トレイ供給領域Ａ１内に配置され、モーター１１５に連結されている。

従動プーリー１１２は、主動プーリー１１１に対しＹ方向に離間して、供給領域Ａ２内に配置されている。

ベルト１１３は、主動プーリー１１１と従動プーリー１１２とに掛け回された無端ベルトである。なお、ベルト１１３は、２本あり、Ｘ方向に離間して配置されている。

このような構成のトレイ搬送機構１１Ａでは、モーター１１５の作動によって回転した主動プーリー１１１の回転力は、ベルト１１３を介して、従動プーリー１１２に伝達される。これにより、ベルト１１３上に載置されたトレイ２００を、トレイ供給領域Ａ１から供給領域Ａ２に搬送することができる。

なお、主動プーリー１１１と従動プーリー１１２との間には、ベルト１１３の撓みを防止する部材が配置されているのが好ましい。これにより、トレイ２００を安定して搬送することができる。

また、トレイ搬送機構１１Ａは、供給領域Ａ２内でトレイ２００が当接する当接部としてのストッパー１１４を有している。トレイ２００は、トレイ供給領域Ａ１から供給領域Ａ２に移動した際に、その移動（動作）が終了した時点でストッパー１１４に突き当てられる。この突き当て状態により、トレイ２００ごと各ＩＣデバイス９０の位置決めがなされ、よって、当該各ＩＣデバイス９０をデバイス搬送ヘッド１３で把持することができる。

なお、ストッパー１１４は、供給領域Ａ２内に配置、固定され、トレイ２００の進行方向前方の端面に当接することができるブロック状または板状の部材で構成されている。また、ストッパー１１４の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属材料、ポリエチレンやナイロン等の樹脂材料を用いることができる。

図５〜図７に示すように、モニター３００の表示画面３０１には、メンテナンスフォーム３が映し出される。このメンテナンスフォーム３は、表示画面３０１に表示された図４に示すメニューフォーム４から選択されたものである。

メンテナンスフォーム３について説明する前に、メニューフォーム４について説明する。

図４に示すように、メニューフォーム４には、第１メニュー群４１と、第２メニュー群４２と、第３メニュー群４３と、ソフト名表示欄４４と、ファイル名表示欄４５と、検査部（ソケット）状態表示テーブル４６とが含まれている。

第１メニュー群４１には、ボタン４１１〜ボタン４１６が含まれており、ボタン４１１が「Exit」、ボタン４１２が「Shut down」、ボタン４１３が「Device Set」、ボタン４１４が「Unit Set」、ボタン４１５が「Maintenance」、ボタン４１６が「My Pad」と割り振られている。そして、ボタン４１５を操作すれば、図５〜図７のメンテナンスフォーム３が表示される。

第２メニュー群４２には、ボタン４２１〜ボタン４２１２が含まれており、ボタン４２１が「Build」、ボタン４２２が「Start Mode」、ボタン４２３が「C. Select」、ボタン４２４が「C. Clear」、ボタン４２５が「Temp Monitor」、ボタン４２６が「Tower Light」、ボタン４２７が「Password」、ボタン４２８が「Security」、ボタン４２９が「Observer」、ボタン４２１０が「Configuration」、ボタン４２１１が「Controller」、ボタン４２１２が「DIO Setting」と割り振られている。

第３メニュー群４３には、検査装置１の作動条件を設定する設定部４３１〜設定部４３６が含まれており、設定部４３１が「Temperature」、設定部４３２が「Tester」、設定部４３３が「Run Mode」、設定部４３４が「Start mode」、設定部４３５が「Bin Setting」、設定部４３６が「Rotation」と割り振られている。

ソフト名表示欄４４には、検査装置１を作動させるためのソフトの名称が表示される。
ファイル名表示欄４５には、検査装置１を作動させるためのファイルの名称が表示される。
検査部状態表示テーブル４６には、検査部１６での検査状態が表示される。

次に、メンテナンスフォーム３について説明する。
図５〜図７に示すように、メンテナンスフォーム３には、デバイス供給部・回収部用メニュー群３１と、トレイ供給・除去用メニュー群３２と、空トレイ搬送用メニュー群３３と、トレイ搬送用メニュー群３４と、移動時間表示欄（移動時間表示部）３５とが含まれている。

デバイス供給部・回収部用メニュー群３１には、デバイス供給部（供給シャトル）１４およびデバイス回収部（回収シャトル）１８の作動条件を設定するボタン３１１〜ボタン３１６が含まれている。ボタン３１１が「In Shuttle 1」、ボタン３１２が「Out Shuttle 1」、ボタン３１３が「Out Fiber」、ボタン３１４が「In Shuttle 2」、ボタン３１５が「Out Shuttle 2」、ボタン３１６が「Out Fiber」と割り振られている。

トレイ供給・除去用メニュー群３２には、トレイ供給領域Ａ１およびトレイ除去領域Ａ５でのトレイ２００に対する作動条件を設定するボタン３２１〜ボタン３２３が含まれている。ボタン３２１が「Loader」、ボタン３２２が「Unloader」、ボタン３２３が「Tray Lock」と割り振られている。

空トレイ搬送用メニュー群３３には、トレイ搬送機構２１の作動条件を設定するボタン３３１およびボタン３３２とが含まれている。ボタン３３１が「Position Check」、ボタン３３２が「Cylinder」と割り振られている。

トレイ搬送用メニュー群３４には、トレイ搬送機構１１Ａ、トレイ搬送機構１１Ｂ、３つのトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂを作動させるボタン３４１ａ〜３４６ｂが含まれている。

トレイ搬送用メニュー群３４内のタイトル「Loader」は、「トレイ搬送機構１１Ａ」のことである。そして、ボタン３４１ａがトレイ搬送機構１１Ａを高速モードで作動させる「High SPD」ボタン、ボタン３４１ｂがトレイ搬送機構１１Ａを低速モードで作動させる「Low SPD」ボタンと割り振られている。

タイトル「ReLoader 1」は、「トレイ搬送機構１１Ｂ」のことである。そして、ボタン３４２ａがトレイ搬送機構１１Ｂを高速モードで作動させる「High SPD」ボタン、ボタン３４２ｂがトレイ搬送機構１１Ｂを低速モードで作動させる「Low SPD」ボタンと割り振られている。

タイトル「ReLoader 2」は、「トレイ搬送機構２２Ｂ」のことである。そして、ボタン３４３ａがトレイ搬送機構２２Ｂを高速モードで作動させる「High SPD」ボタン、ボタン３４３ｂがトレイ搬送機構２２Ｂを低速モードでボタン「Low SPD」ボタンと割り振られている。

また、検査装置１の種類に応じて、例えば、トレイ搬送機構１５を高速モードで作動させるボタン、低速モードで作動させるボタンをさらにトレイ搬送用メニュー群３４に含めることもできる。

タイトル「UnLoader 1」は、供給領域Ａ２に最も近い「トレイ搬送機構２２Ａ」のことである。そして、ボタン３４４ａが当該トレイ搬送機構２２Ａを高速モードで作動させる速度「High SPD」ボタン、ボタン３４４ｂが当該トレイ搬送機構２２Ａを低速モードで作動させる「Low SPD」ボタンと割り振られている。

タイトル「UnLoader 2」は、UnLoader 1に隣接した「トレイ搬送機構２２Ａ」のことである。そして、ボタン３４５ａが当該トレイ搬送機構２２Ａを高速モードで作動させる「High SPD」ボタン、ボタン３４５ｂが当該トレイ搬送機構２２Ａを低速モードで作動させる「Low SPD」ボタンと割り振られている。

タイトル「UnLoader 3」は、UnLoader 2に隣接した「トレイ搬送機構２２Ａ」のことである。そして、ボタン３４６ａが当該トレイ搬送機構２２Ａを高速モードで作動させる「High SPD」ボタン、ボタン３４６ｂが当該トレイ搬送機構２２Ａを低速モードで作動させる「Low SPD」ボタンと割り振られている。

例えばボタン３４１ａを選択した場合、移動時間表示欄３５には、高速モードで作動したトレイ搬送機構１１Ａの１回の動作開始から動作終了までの実時間である移動時間ｔ_１１Ａが括弧書きで表示される。そして、検査装置１のオペレーター等の作業者は、メンテナンス時に、この移動時間表示欄３５に表示された移動時間ｔ_１１Ａを視認することができる。これにより、作業者は、検査装置１での所望のスループットを得るために、移動時間ｔ_１１Ａが過不足なく設定されているか否か、すなわち、トレイ搬送機構１１Ａが正確に動作するか否かをメンテナンス時に確認することができる。このように、検査装置１はメンテナンス性に優れた装置となっている。

なお、ボタン３４１ａを選択した場合、当該ボタン３４１ａを選択した旨が視覚的に認識可能に構成されていてもよい。このような構成としては、例えば、ボタン３４１ａの色が変化したり、「LDR High」とモニター３００（メンテナンスフォーム３）に表示する等の構成が挙げられる。

また、図５〜図７に示すように、移動時間表示欄３５には、移動時間ｔ_１１Ａが、予め設定され、記憶された数値である閾値ｔ_０の範囲内にあるか否の判定結果Ｒ_１１Ａと、その閾値ｔ_０とが表示される。

判定結果Ｒ_１１Ａは、「ＯＫ」または「ＮＧ」で表示される。
閾値ｔ_０は、本実施形態では「１．３±０．１［ｓ］」であり、この範囲内に移動時間ｔ_１１Ａが入っているか否かで、「ＯＫ」と「ＮＧ」とのいずれかが選択表示される。これにより、作業者は、移動時間ｔ_１１Ａを変更すべきか否かを判断することができる。

例えば図５に示す状態では、移動時間ｔ_１１Ａが１．３［ｓ］であった。この場合、移動時間ｔ_１１Ａは閾値ｔ_０の範囲内あるので、判定結果Ｒ_１１Ａは「ＯＫ」となっている。従って、作業者は、検査装置１での所望のスループットを得るために、移動時間ｔ_１１Ａが過不足なく設定されていると判断することができる。

また、図６に示す状態では、移動時間ｔ_１１Ａが１．５［ｓ］であった。この場合、移動時間ｔ_１１Ａは閾値ｔ_０の範囲から外れるので、判定結果Ｒ_１１Ａは「ＮＧ」となっている。従って、作業者は、移動時間ｔ_１１Ａが過不足なく設定されておらず、移動時間ｔ_１１Ａの変更を要すると判断することができる。なお、移動時間表示欄３５には、移動時間ｔ_１１Ａが遅すぎる旨の「LDR HIGH is TOO Slow」が表示される。

図７に示す状態では、移動時間ｔ_１１Ａが１．１［ｓ］であった。この場合も、移動時間ｔ_１１Ａは閾値ｔ_０の範囲から外れるので、判定結果Ｒ_１１Ａは「ＮＧ」となっている。従って、作業者は、移動時間ｔ_１１Ａが過不足なく設定されておらず、移動時間ｔ_１１Ａの変更を要すると判断することができる。なお、移動時間表示欄３５には、移動時間ｔ_１１Ａが早すぎる旨の「LDR HIGH is TOO Fast」が表示される。

前述したように、移動時間ｔ_１１Ａの変更を要する場合がある。この移動時間ｔ_１１Ａを変更するための構成について説明する。

図８に示すように、検査装置１の正面側には、移動時間ｔ_１１Ａを変更可能な移動時間変更部としての変更用つまみ（第１の変更用つまみ）５１を有するパネル５が設けられている。なお、図１に示すように、検査装置１の正面側を覆うフロントカバー７０には、開閉可能に設置された扉７０１が設けられている。この扉７０１を開放することにより、パネル５が露出して、当該パネル５に対する操作が可能となる。

この変更用つまみ５１には、Ｘ方向に並んで配置された低速用つまみ５１１と高速用つまみ５１２とがある。低速用つまみ５１１と高速用つまみ５１２とは、トレイ搬送機構１１Ａの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間ｔ_１１Ａの変更を行なうためのものである。なお、低速用つまみ５１１や高速用つまみ５１２を操作した値は、例えば図５〜図７に示すメンテナンスフォーム３にも反映可能である。

トレイ搬送機構１１Ａの低速モードでの移動速度範囲としては、特に限定されず、例えば、例えば、５ｍｍ／ｓ以上、２０ｍｍ／ｓ以下であるのが好ましく、１０ｍｍ／ｓ以上、１５ｍｍ／ｓ以下であるのがより好ましい。低速用つまみ５１１は、この範囲内で移動時間ｔ_１１Ａを変更する低速モード用移動時間変更部である。

また、トレイ搬送機構１１Ａの高速モードでの移動速度範囲としては、特に限定されず、例えば、１００ｍｍ／ｓ以上、３００ｍｍ／ｓ以下であるのが好ましく、１５０ｍｍ／ｓ以上、２５０ｍｍ／ｓ以下であるのがより好ましい。高速用つまみ５１２は、この範囲内で移動時間ｔ_１１Ａを変更する高速モード用移動時間変更部である。

そして、移動時間ｔ_１１Ａを変更する際には、低速用つまみ５１１と高速用つまみ５１２とのうちの少なくとも一方のつまみを選択して操作することができる。なお、低速用つまみ５１１または高速用つまみ５１２の選択操作に連動して（関連して）、当該つまみに対応するボタン３４１ａまたはボタン３４１ｂが操作されるよう構成されていてもよい。

また、パネル５は、図１に示すような配置箇所に限定されず、例えば、モニター３００の下側に配置されていてもよい。この場合、モニター３００を視認しつつ、パネル５を容易かつ正確に操作することができる。

なお、図８に示すように、パネル５には、変更用つまみ５１の他にも、変更用つまみ（第２の変更用つまみ）５２と、変更用つまみ（第３の変更用つまみ）５３と、変更用つまみ（第４の変更用つまみ）５４と、変更用つまみ（第５の変更用つまみ）５５と、変更用つまみ（第６の変更用つまみ）５６とが図中の上側から順にＺ方向に沿って配置されている。

変更用つまみ５２は、「ReLoader 1」であるトレイ搬送機構１１Ｂの移動時間を変更可能な移動時間変更部である。この変更用つまみ５２にも、トレイ搬送機構１１Ｂの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間の変更を行なうための低速用つまみ５２１と高速用つまみ５２２とがある。

変更用つまみ５３は、「ReLoader 2」であるトレイ搬送機構２２Ｂの移動時間を変更可能な移動時間変更部である。この変更用つまみ５３にも、トレイ搬送機構２２Ｂの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間の変更を行なうための低速用つまみ５３１と高速用つまみ５３２とがある。

変更用つまみ５４は、「UnLoader 1」であるトレイ搬送機構２２Ａの移動時間を変更可能な移動時間変更部である。この変更用つまみ５４にも、当該トレイ搬送機構２２Ａの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間の変更を行なうための低速用つまみ５４１と高速用つまみ５４２とがある。

変更用つまみ５５は、「UnLoader 2」であるトレイ搬送機構２２Ａの移動時間を変更可能な移動時間変更部である。この変更用つまみ５５にも、当該トレイ搬送機構２２Ａの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間の変更を行なうための低速用つまみ５５１と高速用つまみ５５２とがある。

変更用つまみ５６は、「UnLoader 3」であるトレイ搬送機構２２Ａの移動時間を変更可能な移動時間変更部である。この変更用つまみ５６にも、当該トレイ搬送機構２２Ａの移動速度を低速モードと高速モードの２つの異なる移動速度範囲内で変更して、移動時間の変更を行なうための低速用つまみ５６１と高速用つまみ５６２とがある。

また、パネル５には、どの「変更用つまみ」がどの「トレイ搬送機構」を変更するものであるのかを識別するための名称「Loader」、「ReLoader 1」、「ReLoader 2」、「UnLoader 1」、「UnLoader 2」、「UnLoader 3」が付されている。

また、「低速用つまみ」および「高速用つまみ」のうち、どちらが「低速用つまみ」であるかまたは「高速用つまみ」であるかを識別するための名称「Low」、「High」も付されている。

図８中の変更用つまみ５１〜変更用つまみ５６は、パネル５上の配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、変更用つまみ５１について代表的に説明する。

図９に示すように、低速用つまみ５１１（または高速用つまみ５１２）は、Ｙ方向から見たとき、円形をなす部材で構成され、その中心Ｏを回動中心として回動可能に支持された、いわゆる「ダイヤル式」の操作部材である。

図１０に示すように、低速用つまみ５１１には、可変抵抗ＶＲ_５１１が内蔵されており、高速用つまみ５１２には、可変抵抗ＶＲ_５１２が内蔵されている。可変抵抗ＶＲ_５１１の最大抵抗値と、可変抵抗ＶＲ_５１２の最小抵抗値とは、同じである。

可変抵抗ＶＲ_５１１と可変抵抗ＶＲ_５１２とは、交流電源ＡＣと当該交流電源ＡＣから電力が供給されるトレイ搬送機構１１Ａのモーター１１５との間で、並列接続となっている。交流電源ＡＣと可変抵抗ＶＲ_５１１との間には、スイッチＳＷ_５１１が設置され、交流電源ＡＣと可変抵抗ＶＲ_５１２との間には、スイッチＳＷ_５１２が設置されている。

メンテナンス時には、例えばスイッチＳＷ_５１１を「ＯＮ」状態として、低速用つまみ５１１を図９中の時計回りに回動操作することにより、可変抵抗ＶＲ_５１１の抵抗値が減少する。この抵抗値の減少に伴って、モーター１１５に供給される電力は増加することとなる。これにより、トレイ搬送機構１１Ａの移動速度も増加し、よって、移動時間ｔ_１１Ａを短くすることができる。一方、スイッチＳＷ_５１１を「ＯＮ」状態として、低速用つまみ５１１を図９中の反時計回りに回動操作することにより、可変抵抗ＶＲ_５１１の抵抗値が増加する。この抵抗値の増加に伴って、モーター１１５に供給される電力は減少することとなる。これにより、トレイ搬送機構１１Ａの移動速度も減少し、よって、移動時間ｔ_１１Ａを延ばすことができる。

このように、低速用つまみ５１１の回動操作により、可変抵抗ＶＲ_５１１の抵抗値が変化して、移動時間ｔ_１１Ａの変更を行なうことができる。これは、高速用つまみ５１２を操作したときも同様である。そして、この変更は、実際のＩＣデバイス９０の通常の検査時にもそのまま維持される。これにより、トレイ搬送機構１１Ａに対する動作変更を正確に行なうことができ、メンテナンス性に優れる。

なお、前述たように、可変抵抗ＶＲ_５１１の最大抵抗値と、可変抵抗ＶＲ_５１２の最小抵抗値とは、同じである。この場合、低速モードでの移動速度と、高速モードでの移動速度とは、同じとなる。

図９に示すように、低速用つまみ５１１（または高速用つまみ５１２）の周囲には、０〜１０までの目盛りが付されている。各目盛りに低速用つまみ５１１（または高速用つまみ５１２）のマーカー５１３を合わせることにより、移動時間ｔ_１１Ａを段階的に変更することができる。これにより、メンテナンスを行なう作業者の個人差をできる限り解消することができる。

また、スイッチＳＷ_５１１およびスイッチＳＷ_５１２のＯＮ／ＯＦＦの切り換えは、制御部８０によって制御される。このＯＮ／ＯＦＦ切り換えタイミングは、図３（ａ）に示す第１センサー１１６の検出結果に基づいて行なわれる。なお、トレイ搬送機構１１Ａは、動作開始時には高速モードに設定されており、途中で低速モードに切り換えられ、その低速モードのまま停止する（図１１参照）。

図３（ａ）に示すように、第１センサー１１６は、平面視で、２本のベルト１１３を介してＸ方向に離間して対向配置された発光部１１６ａと、受光部１１６ｂとを有している。発光部１１６ａから発せられた光Ｌ_１１６は、受光部１１６ｂで受光されるが、トレイ供給領域Ａ１から供給領域Ａ２に進入してきたトレイ２００が発光部１１６ａと受光部１１６ｂの間に介在したときには、当該トレイ２００によって遮断される。そして、この遮光が検出された場合に、トレイ搬送機構１１Ａは、高速モードから低速モードに切り換えられる、すなわち、スイッチＳＷ_５１２がＯＦＦとなり、スイッチＳＷ_５１１がＯＮとなる。

その後、トレイ搬送機構１１Ａは、低速モードで動作するが、その動作停止のタイミングは、図３（ａ）に示す第２センサー１１７の検出結果に基づいて行なわれる。

図３（ａ）に示すように、第２センサー１１７は、平面視で、第１センサー１１６よりもトレイ２００の搬送方向前方に位置している。この第２センサー１１７は、平面視で、２本のベルト１１３を介してＸ方向に離間して対向配置された発光部１１７ａと、受光部１１７ｂとを有している。発光部１１７ａから発せられた光Ｌ_１１７は、受光部１１７ｂで受光されるが、トレイ２００がストッパー１１４に当接する直前（例えば２〜５ｍｍ手前）にきたときに、当該トレイ２００によって遮断される。そして、この遮光が検出された場合に、スイッチＳＷ_５１１がＯＦＦとなり、モーター１１５への電力の供給が停止する。これにより、トレイ搬送機構１１Ａの動作が停止する、すなわち、移動していたトレイ２００が停止する。このとき、トレイ２００は、できる限り低速でストッパー１１４に当接することができる。これにより、トレイ２００とストッパー１１４との衝突によってトレイ２００上のＩＣデバイス９０が飛び出してしまうのを防止することができる。

以上、移動部に対するメンテナンスとして、トレイ搬送機構１１Ａに対するメンテナンスについて代表的に説明したが、トレイ搬送機構１１Ｂ、デバイス供給部１４、トレイ搬送機構１５、デバイス回収部１８、トレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂについても、トレイ搬送機構１１Ａと同様にメンテナンス可能である。

以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

また、移動部の移動時間を変更可能な移動時間変更部には、前記実施形態では低速モード用移動時間変更部と高速モード用移動時間変更部との２種の変更部が含まれているが、これに限定されず、３種以上の変更部が含まれていてもよい。

１……検査装置（電子部品検査装置）
１１Ａ、１１Ｂ……トレイ搬送機構
１１１……主動プーリー
１１２……従動プーリー
１１３……ベルト
１１４……ストッパー
１１５……モーター
１１６……第１センサー
１１６ａ……発光部
１１６ｂ……受光部
１１７……第２センサー
１１７ａ……発光部
１１７ｂ……受光部
１２……温度調整部（ソークプレート）
１３……デバイス搬送ヘッド
１４……デバイス供給部（供給シャトル）
１５……トレイ搬送機構（第１搬送装置）
１６……検査部
１７……デバイス搬送ヘッド
１８……デバイス回収部（回収シャトル）
１９……回収用トレイ
２０……デバイス搬送ヘッド
２１……トレイ搬送機構（第２搬送装置）
２２Ａ、２２Ｂ……トレイ搬送機構
３……メンテナンスフォーム
３１……デバイス供給部・回収部用メニュー群
３１１、３１２、３１３、３１４、３１５、３１６……ボタン
３２……トレイ供給・除去用メニュー群
３２１、３２２、３２３……ボタン
３３……空トレイ搬送用メニュー群
３３１、３３２……ボタン
３４……トレイ搬送用メニュー群
３４１ａ、３４１ｂ、３４２ａ、３４２ｂ、３４３ａ、３４３ｂ、３４４ａ、３４４ｂ、３４５ａ、３４５ｂ、３４６ａ、３４６ｂ……ボタン
３５……移動時間表示欄（移動時間表示部）
４……メニューフォーム
４１……第１メニュー群
４１１、４１２、４１３、４１４、４１５、４１６……ボタン
４２……第２メニュー群
４２１、４２２、４２３、４２４、４２５、４２６、４２７、４２８、４２９、４２１０、４２１１、４２１２……ボタン
４３……第３メニュー群
４３１、４３２、４３３、４３４、４３５、４３６……設定部
４４……ソフト名表示欄
４５……ファイル名表示欄
４６……検査部（ソケット）状態表示テーブル
５……パネル
５１……変更用つまみ（第１の変更用つまみ）
５１１……低速用つまみ
５１２……高速用つまみ
５１３……マーカー
５２……変更用つまみ（第２の変更用つまみ）
５２１……低速用つまみ
５２２……高速用つまみ
５３……変更用つまみ（第３の変更用つまみ）
５３１……低速用つまみ
５３２……高速用つまみ
５４……変更用つまみ（第４の変更用つまみ）
５４１……低速用つまみ
５４２……高速用つまみ
５５……変更用つまみ（第５の変更用つまみ）
５５１……低速用つまみ
５５２……高速用つまみ
５６……変更用つまみ（第６の変更用つまみ）
５６１……低速用つまみ
５６２……高速用つまみ
６１……第１隔壁
６２……第２隔壁
６３……第３隔壁
６４……第４隔壁
６５……第５隔壁
６６……内側隔壁
７０……フロントカバー
７０１……扉
７１……サイドカバー
７２……サイドカバー
７３……リアカバー
７４……トップカバー
８０……制御部
９０……ＩＣデバイス
２００……トレイ（配置部材）
３００……モニター
３０１……表示画面
４００……シグナルランプ
５００……スピーカー
６００……マウス台
Ａ１……トレイ供給領域
Ａ２……デバイス供給領域（供給領域）
Ａ３……検査領域
Ａ４……デバイス回収領域（回収領域）
Ａ５……トレイ除去領域
ＡＣ……交流電源
Ｌ_１１６、Ｌ_１１７……光
Ｏ……中心
Ｒ_１１Ａ……判定結果
ＳＷ_５１１、ＳＷ_５１２……スイッチ
ｔ_０……閾値
ｔ_１１Ａ……移動時間
ＶＲ_５１１、ＶＲ_５１２……可変抵抗

Claims (9)

1. 電子部品を載置可能な載置部材を移動する移動部と、
   前記移動部の移動時間を表示する移動時間表示部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
2. 前記移動時間は、前記移動部が動作開始時から動作終了時までの時間である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
3. 前記移動時間を変更可能な移動時間変更部を有する請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
4. 前記移動時間変更部は、回動操作により前記移動時間の変更が可能である請求項３に記載の電子部品搬送装置。
5. 前記移動時間変更部は、前記移動部の移動速度を、所定の範囲内で変更して、前記移動時間の変更を行なう複数のモードを含み、前記移動時間を変更する場合、前記複数のモードのうちのいずれかが選択される請求項３または４に記載の電子部品搬送装置。
6. 前記移動時間変更部は、前記移動部の移動速度を、少なくとも２種の所定の範囲内で変更して、前記移動時間の変更を行なう低速モード用移動時間変更部と高速モード用移動時間変更部とを含み、前記移動時間を変更する場合、前記低速モード用移動時間変更部と前記高速モード用移動時間変更部とのうちの少なくとも一方が選択される請求項３ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
7. 前記移動部は、動作開始から動作終了までの間に、前記高速モード用移動時間変更部で変更された移動時間で移動し、次いで、前記低速モード用移動時間変更部で変更された移動時間で移動する請求項６に記載の電子部品搬送装置。
8. 前記動作終了時の前記移動部に当接する当接部を有する請求項７に記載の電子部品搬送装置。
9. 電子部品を載置して移動する移動部と、
   前記移動部の移動時間を表示する移動時間表示部と、
   前記電子部品を検査する検査部と、を有することを特徴とする電子部品検査装置。

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