TW200936486A - Filler - Google Patents

Description

200936486 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在容器内填充透過濾器以除去雜質之抗蝕 液（resist liqui(i)的填充裝置，特別是關於可減低因填充 動作而所發生之濾器前後的壓力差之填充裝置。 【先前技術】 抗蝕液之填充裝置’係在液體通路上配置濾器而捕獲含在 ❹抗姓液中之雜質（例如，參照專利文獻1或2)。專利文獻1 之抗光蝕劑塗佈裝置被記載有「自抗光蝕劑加侖瓶21經過 二通閥13、泵3、濾器單元4、三通閥14至塗佈喷嘴5之 供給用配官2 ’被設置自三通閥14直接返回三通閥13之循 環用配管8」。此一裝置係「在塗佈停止時使抗光蝕劑自三 通閥13、泵3、濾器單元4、三通閥14經過循環用配管8 返回二通閥13之環狀線路循環而不使抗光触劑停滯 又，在專利文獻2記载一種「使抗光蝕劑組成物通過濾 器，再使通過後的抗光蝕劑組成物導至該濾器，藉在封閉系 統内循環而除去該抗光钱劑組成物中的微粒子如此為特徵 而減低微粒子量之抗光姓劑組成物的製造方法」。此一方法 • 係在實施填充之前，藉使抗光蝕劑組成物通過濾器而除去抗 * 光蚀劑組成物中之雜質。 (專利文獻1)曰本專利特開平10-Π2881號公報（第3 〜4頁，圖3) 097137224 4 200936486 (專利文獻2)日本專利特開2002-62667號公報（第2 〜3頁，圖1) 【發明内容】 - (發明所欲解決之問題） 前述各引用文獻所記載之發明的構成中係藉由泵而使送 出之抗蝕液通過濾器而除去雜質等。似此在未實施填充動作 時即使藉由濾器而可除去或減少抗蝕液之雜質等，但在實施 ❹填充時，因填充閥的開閉動作而在濾器之上流侧與下流側會 發生壓力變動，而如此一壓力變動過大時，則會發生抗蝕液 的雜質通過遽器而朝下流側流出之問題。 本發明係為了解決上述問題而所完成，其目的為提供一種 可極力抑制因填充閥之開閉動作而在滤器的上流侧與下流 侧發生之壓力變動’如此藉由濾器以提高抗蝕液的過濾精密 度之填充裝置。 ❹（解決問題之手段） 本發明具備有：可貯存填充液之填充液槽（tank);及’連 通此一填充液槽與填充喷嘴之填充液通路；及，自此一填充 液通路分歧，而可使填充液回流至前述填充液槽之回收通 路，及，s免在比前述填充液通路的回收通路之分歧部更下流 側的填充閥，及’設在前述回收通路之回收閥；及被設在 填充液通路上’可輸送填充液槽内的填充液之供給系；及， 被設在填充液通路的供給泵與前述分歧部之間之濾器；及， 097137224 5 200936486 各別被設在前述填充閥與回收閥，而可調整各閥的門 驅動手段;及，可控制此等驅動手段之控制手:的== 前述控制手段可控制前述回收閥的開口度，以 作中之前錢器上流侧的壓力與下流側的壓力不會因^ 填充閥之開閉動作而變動。 ％ Ο ❹ 又’申請專利範圍第2項之發明，其特徵為，其設有可吃 憶填充閥的開口度和回收閥之開口度的_之記憶手段，^ 依照此一關係以控制填充閥與回收閥之開口度。 又，申請專利範圍第3項之發明，其特徵為又，在前述據器 的上流側及下流側設有壓力檢測手段，且因應於所檢測出之 壓力而控制回收閥的開口度。 (發明效果） 本發明之填綠置，由於控制前述时閥的開口度而使在 填充動作中之濾器的上流侧與下流側的壓力不會因前述填 充閥的_動作*變動’目此’其可提高抗錢通過濾器時 之過渡精密度。 【實施方式】 本發明具備有：可貯存填充液之填充液槽；及，自此填充 液槽送出填充液至填充喷嘴之填充液通路；及，在填充液通 路上對前述填充液槽輸送填充液之供給泵；及，自此一填充 液通路刀歧，可使填充液回流至前述填充液槽之回收通路； 097137224 6 200936486 及，設在比填充液通路的分歧部更下流側之填充閥；及，可 調整此一填充閥的開口度之驅動手段；及，設在前述回收通 -.路之回收閥，及，可調整此回收閥的開口度之驅動手段；及， . 可控制此等驅動手段的動作之控制手段；及，設在供給泵與 前述填充液通路的回收通路之分歧部之間的濾器；而藉控制 前述回收閥的開口度’可使在填充動作中之前述濾器上流側 與下流側的壓力不會因前述填充閥的開閉動作而變動，如此 © 而可達成使濾器的上流侧與下流侧的壓力差減低之目的。 (實施例1) 以下藉由圖式所表示之實施例來說明本發明。圖丨係本發 明之一實施例使填充裝置的構成簡略化所示之概略構成 圖。圖中，2係可貯存填充液（在本實施例為抗蝕液）之填 充液槽，其通過填充液通路4而連通至可填充抗蝕液至容器 6内之填充喷嘴8。在此填充液通路4上設有可送出填充液 瘳槽2内的抗蝕液之供給泵1〇 ;及，可連通.遮斷填充液通 路4之填充閥12。此一填充閥12藉由驅動手段之伺服馬達 (未圖示）而被開閉，其可正確地調整閥的開口度。又，在 前述供給泵10和填充閥丨2之間，設有可過濾利用供給泵 10而被送出之抗蝕液的濾器14。 自前述填充液通路4的途中（濾器14與填充閥12之間） 分歧，其設有可使通過填充液通路4内的抗蝕液回流至填充 液槽2之回收通路16。又，以下將連接至填充液通路4之 097137224 7 200936486 回收通路16的分歧部 8之填充液槽2側稱為上流部4A， 而將填充喷嘴8側稱為下 卜机邛4B。在前述回收通路16,設 有利用回收通路16之開閉而使送來填充液通路4的上流部 4A之抗滅的全部或—部份回流之回收闕2〇。此―回㈣ 20亦藉由未圖不之驅動手段的飼服馬達而被開閉其可正 確地調整閥的開口度。 Ο 填充抗餘液之容器6，係藉由測力器（load ce⑴22而測 定填充重量’其所檢測出之信號則被輸入至控制手段（控制 裝置）24。藉來自此測力器22的信號，控制裝置24則控制 刚述填充閥12及回收閥2〇的驅動手段之祠服馬達以調整闕 的開口度。 此一填充裝置，因應於填充液之種類而設定利用供給泵 10的驅動而自填充液槽2所被送出至填充液通路（填充液 通路的上流部4A)之填充液的流量。又，其事先藉由實驗 而求出填充閥12的開口度和回收閥2〇的開口度之關係，並 將該關係記憶於設在前述控制裝置24的記憶手段。因為在 通路流動之填充液的壓力係因通路直徑或長度等條件而有 不同，因此，在該條件下，如使填充閥12開放時，事先求 得如何控制回收閥20的開口度以抑制濾器14的前後壓力之 變動，並收集資料先求得不會發生壓力變動的關係（填充閥 U與回收閥20的關係）。 圖2表示可使濾器14的前後之壓力變動減低的填充閥12 097137224 8 200936486 之開口度與回收閥20的開口度之關係的一例之圖。如此圖 所示只要能控制填充閥12與回收閥20的開口度，即可使滤 ' ·器14的上流側之壓力與下流侧的壓力變動減低。例如，在 、此一實施例中，係使濾器14之上流侧的壓力設定為 200KPa，濾器14下流側的壓力則設定為i7〇Kpa，如此控制 填充閥12與回收閥20的開口度而使此壓力不會變動。又， 此時供給泵10之流量為一定。如此當維持濾器之上流侧 © 與下流侧的壓力之設定值而使壓力不變動時，則可使濾器 14之抗钱液的過濾準密度提高。 (實施例2) 圖3係本發明之第2實施例的填充裝置之概略構成圖，其 基本構成和别述第1實施例相同，因此，對同一或相等部份 被附加同一符號而省略其說明，以下僅說明其不同部份。此 ❹一實施例中，係在設置填充液通路4之濾器14的上流侧與 下流侧各別設有壓力檢測手段（壓力計）26、28，而測定藉 由供給粟10自填統槽2所被輸送至填統祕4的上流 口ΜΑ而通過滤$ 14之填充液的遽$ 14之上流侧中的壓力 與下*侧中之壓力^又，因應於此一測定之壓力 而對回收閥 20的開d度予以控制。此—實施例中，亦可使遽器w之上 流侧與下流侧的壓力變動減低，而可使滤器14之抗餘劑液 的過濾準密度提高。 【圖式簡單說明】 097137224 200936486 圖1為使填充裝置之構成簡略化所示之概略構成圖。（實 施例1) 圖2表示前述填充裝置的控制之一例的圖。 圖3係使其他實施例之填充裝置的構成簡略化所示之一 例的概略構成圖。（實施例2)

【主要元件符號說明】 2 填充液槽 4 填充液通路 4A 填充液通路之上流側（上流部） 4B 填充液通路之下流側（下流部） 6 容器 8 填充喷嘴 10 供給泵 12 填充閥 14 濾器 16 回收通路 18 分歧部 20 回收閥 22 測力器 24 控制手段（控制裝置） 26、28 壓力檢測手段（壓力計） 097137224 10

Claims (1)

1. 200936486 七、申請專利範圍·· 1.種填充裝置，其具備有··可貯存填充液之填充液槽； ..及，連通至此一填充液槽與填充喷嘴之填充液通路；及，自 * 此一填充液通路分歧’而可使填充液回流至前述填充液槽之 回收通路；及，設在比前述填充液通路的回收通路之分歧部 更下ML側的填充閥；及，設在前述回收通路之回收閥；及， 被設在填充液通路上，可輸送填充液槽内的填充液之供給 ❿泵；及，被設在填充液通路的供給泵與前述分歧部之間之濾 器，及，各別被設在前述填充閥與回收閥，而可調整各閥的 開口度之驅動手段；及，可控制此等驅動手段之控制手段； 其特徵為， 則述控制手段可控制前述回收閥的開口度，以使在填充動 作中之刖述濾器上流侧的壓力與下流侧的壓力不會因前述 填充閥之開閉動作而變動。 ❹ 2.如申請專利範圍第1項之填充裝置，其中，其設有可記 憶閥的開口度和回收閥之開口度的關係之記憶手段，而依照 此一關係以控制填充閥與回收閥之開口度。 3·如申請專利範圍第丨項之填充裝置，其中，在前述濾器 的上流侧與下流侧設有壓力檢測手段，且因應於所檢測出之 、壓力而控制回收閥的開口度。 097137224 11