CN107611055A - 一种可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，补液桶的上方分别开有进气口及补液口，缓冲罐的上方分别开有排气口及进液口、下方开有出液口，进气口通过进气管与厂务供气管相连，补液口通过补液管与进液口相连通，补液管位于缓冲罐内的一端为弯管，由弯管流出的液体沿内壁流入缓冲罐内部，排气口通过罐排气管与大气相连，并在罐排气管上分别安装有排气通断阀及气泡检测传感器，出液口连通有输出液体的供液管，供液管上安装有供液泵。本发明使进入缓冲罐内部的液体可顺着内壁流入到缓冲罐的内部，以此来减少气泡的产生，并通过气泡检测传感器和排气通断阀的作用将缓冲罐内的气体自动排出，从而达到减少或消除供液管内的气泡。
Description
技术领域
本发明涉及半导体行业中晶圆进行涂胶显影工艺时的供液装置，具体地说是一种可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置。
背景技术
在半导体行业晶圆涂胶显影工艺中，液体中的气泡对于整个工艺的效果具有很大的影响，所以去除液体管路中的气泡是至关重要的。公知的液体供给装置一般采用气体加压到供液桶中来进行供液的方式，并且没有自动排出气泡的功能，在工艺过程中不可避免地会有气泡出来，喷涂到晶圆的表面，造成工艺的缺陷。
发明内容
针对现有采用气体加压到供液桶中进行供液方式存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明包括补液桶、排气通断阀、气泡检测传感器、缓冲罐及供液泵，其中补液桶的上方分别开有进气口及补液口，所述缓冲罐的上方分别开有排气口及进液口、下方开有出液口，所述补液桶的进气口通过进气管与厂务供气管相连，补液口通过补液管与所述缓冲罐的进液口相连通，所述补液管位于缓冲罐内的一端为弯管，由该弯管流出的液体沿缓冲罐的内壁流入缓冲罐内部，所述缓冲罐的排气口通过罐排气管与大气相连，并在该罐排气管上分别安装有排气通断阀及气泡检测传感器，所述缓冲罐的出液口连通有输出液体的供液管，该供液管上安装有供液泵；
其中：所述进气管上安装有三通切换阀，该三通切换阀的一个口与进气管相连，第二个口与所述厂务供气管相连，第三个口通过桶排气管与大气相连；所述补液管的另一端由补液口进入到补液桶的内部，并伸至所述补液桶的底部；在所述补液桶与缓冲罐之间的补液管上安装有过滤器；所述缓冲罐上安装有监测其内部液位的液位传感器；所述液位传感器安装在缓冲罐罐体的外侧壁上，位于罐体的中下部；所述气泡检测传感器安装在罐排气管的位置靠近所述排气口；所述供液管上安装有液体检测传感器；所述液体检测传感器安装在供液管的位置靠近所述出液口。
本发明的优点与积极效果为：
1.本发明利用将进入缓冲罐内部的补液管制作成有弧度的弯管，使进入的液体可顺着缓冲罐的内壁流入到缓冲罐的内部，以此来减少气泡的产生，并通过缓冲罐相关管路上设置的气泡检测传感器和排气通断阀的作用将缓冲罐内的气体自动排出，从而达到减少或消除供液管内的气泡。
2.本发明具有结构简单，实现方便，成本低等特点。
附图说明
图1为本发明的结构原理图；
其中：1为补液桶，2为进气管，3为进气口，4为补液管，5为补液口，6为过滤器，7为排气通断阀，8为罐排气管，9为气泡检测传感器，10为排气口，11为进液口，12为缓冲罐，13为液位传感器，14为出液口，15为液体检测传感器，16为供液泵，17为供液管，18为三通切换阀，19为桶排气管，20为厂务供气管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1所示，本发明包括补液桶1、过滤器6、排气通断阀7、气泡检测传感器9、缓冲罐12、液位传感器13、液体检测传感器15、供液泵16及三通切换阀18，其中补液桶1的上方分别开有进气口3及补液口5，缓冲罐12的上方分别开有排气口10及进液口11、下方开有出液口14，补液桶1的进气口3与进气管2相连，进气管2上安装有三通切换阀18，该三通切换阀18的一个口与进气管2相连，第二个口与厂务供气管20相连，第三个口通过桶排气管19与大气相连。
补液桶1的补液口5通过补液管4与缓冲罐12的进液口11相连通，补液管4位于缓冲罐12内的一端制作成有弧度的弯管，弯管的弧度与进液口的位置有关，使由该弯管流出的液体可沿着缓冲罐12的内壁流入到缓冲罐12内部；补液管4的另一端由补液口5进入到补液桶1的内部，并伸至补液桶1的底部。在补液桶1与缓冲罐12之间的补液管4上安装有过滤器6。
缓冲罐12的排气口10通过罐排气管8与大气相连，并在该罐排气管8上分别安装有排气通断阀7及气泡检测传感器9，气泡检测传感器9安装在罐排气管8的位置靠近排气口10。缓冲罐12下方的出液口14连通有输出液体的供液管17，该供液管17上安装有供液泵16。供液管17上安装有液体检测传感器15，该液体检测传感器15安装在供液管17的位置靠近出液口14。缓冲罐12上安装有监测其内部液位的液位传感器13，该液位传感器13安装在缓冲罐12罐体的外侧壁上，位于罐体的中下部。
气泡检测传感器9、液位传感器13、液体检测传感器15、排气通断阀7、供液泵16及三通切换阀18分别与控制系统连接，本发明中的控制系统为现有技术。
本发明的工作原理为：
利用将进入缓冲罐12内部的补液管4制作成有弧度的弯管，弯管的弧度与进液口的位置有关，使进入的液体可顺着缓冲罐的内壁流入到缓冲罐的内部，以此来减少气泡的产生，并通过缓冲罐相关管路上设置的气泡检测传感器和排气通断阀的作用将缓冲罐内的气体自动排出，从而达到减少或消除供液管内的气泡。具体为：
在使用前先进行初始化操作，补液桶1中已有液体，控制系统发送信号给排气通断阀7和三通切换阀18，使排气通断阀7打开，即三通切换阀18将厂务供气管20和进气管2连通，并通过进气管2向补液桶1内施加压力，将补液桶1内的液体打入缓冲罐12中。仔细观察，等液体充满缓冲罐12时，关闭排气通断阀7和三通切换阀18，即三通切换阀18将进气管2与桶排气管19连通，此时对缓冲罐12加液完成，开始正常工作模式。
正常工作时，通过控制系统对供液泵16发送指令，需要输出设定容量的液体，此时供液泵16收到命令，从缓冲罐12抽取设定量的液体进行输出，同时打开三通切换阀18，连通厂务供气管20和进气管2，向补液桶1中进行施压，补液桶1向缓冲罐12内补充与输出同等容量的液体，保持缓冲罐12内的液体容量不变。如果补液桶1内的液体不足，缓冲罐12内的液体无法进行补充，液位随之下降，当液位传感器13发出报警时，该管路供液装置停止工作，提醒工作人员对补液桶1进行加液或者更换；如果液位传感器13失效，缓冲罐12中的液位继续下降，当下降到低于安装在供液管17上的液体检测传感器15处，液体检测传感器15检测到检测点无液体，就会发出报警，该管路供液装置停止工作，提醒工作人员对补液桶1进行加液或者更换。
当供液泵16接收到控制系统指令后进行抽取液体，同时三通切换阀18打开，即三通切换阀18将厂务供气管20与进气管2连通，向补液桶1中施加压力，补液桶1就会给缓冲罐12进行补液。当停止补液后，三通切换阀18关闭，此时三通切换阀18将进气管2与桶排气管19连通，补液桶1里面的空气会通过桶排气管19排入大气中，减少对补液桶1中液体的压力，从而减少气体融入液体的比率。另外，补液管4连接补液桶1的另一端伸到补液桶1的底部，处于液面之下，气泡较液体轻，上浮到补液桶1的上方，这样不与空气接触，大大减少了补液桶1补充给缓冲罐12的液体内的气泡。再有，补液管4进入缓冲罐12内部的一端管路制作成有弧度的供液管，可使液体顺着缓冲罐12的内壁流入到缓冲罐12的内部，避免液体高处下落，液体与液体冲击，易产生气泡。如果缓冲罐12内存在一些气泡，因为缓冲罐12内充满液体，如果产生气泡，由于气泡轻于液体，导致气泡向上飘，这样就会飘到罐排气管8中，安装在罐排气管8上的气泡检测传感器9就会发出信号给控制系统，控制系统接收到信号，就会发送指令将排气通断阀7打开，进行排气。排气过程不能与供液泵16同时进行。
Claims (9)
1.一种可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：包括补液桶(1)、排气通断阀(7)、气泡检测传感器(9)、缓冲罐(12)及供液泵(16)，其中补液桶(1)的上方分别开有进气口(3)及补液口(5)，所述缓冲罐(12)的上方分别开有排气口(10)及进液口(11)、下方开有出液口(14)，所述补液桶(1)的进气口(3)通过进气管(2)与厂务供气管(20)相连，补液口(5)通过补液管(4)与所述缓冲罐(12)的进液口(11)相连通，所述补液管(4)位于缓冲罐(12)内的一端为弯管，由该弯管流出的液体沿缓冲罐(12)的内壁流入缓冲罐(12)内部，所述缓冲罐(12)的排气口(10)通过罐排气管(8)与大气相连，并在该罐排气管(8)上分别安装有排气通断阀(7)及气泡检测传感器(9)，所述缓冲罐(12)的出液口(14)连通有输出液体的供液管(17)，该供液管(17)上安装有供液泵(16)。
2.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述进气管(2)上安装有三通切换阀(18)，该三通切换阀(18)的一个口与进气管(2)相连，第二个口与所述厂务供气管(20)相连，第三个口通过桶排气管(19)与大气相连。
3.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述补液管(4)的另一端由补液口(5)进入到补液桶(1)的内部，并伸至所述补液桶(1)的底部。
4.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：在所述补液桶(1)与缓冲罐(12)之间的补液管(4)上安装有过滤器(6)。
5.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述缓冲罐(12)上安装有监测其内部液位的液位传感器(13)。
6.按权利要求5所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述液位传感器(13)安装在缓冲罐(12)罐体的外侧壁上，位于罐体的中下部。
7.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述气泡检测传感器(9)安装在罐排气管(8)的位置靠近所述排气口(10)。
8.按权利要求1所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述供液管(17)上安装有液体检测传感器(15)。
9.按权利要求8所述可减少气泡产生并具有自动排泡功能的管路供液装置，其特征在于：所述液体检测传感器(15)安装在供液管(17)的位置靠近所述出液口(14)。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109268687A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-25 | 迈得医疗工业设备股份有限公司 | 供液装置 |
| CN110787967A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-02-14 | 江西沃格光电股份有限公司 | 光刻胶涂布系统及涂布方法 |
| CN111318428A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-23 | 湖南中锂新材料科技有限公司 | 一种锂电池隔膜涂布系统 |
| CN113813676A (zh) * | 2021-10-31 | 2021-12-21 | 康硕(江西)智能制造有限公司 | 一种便携3d打印用陶瓷浆料过滤器 |
| CN114273158A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-04-05 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 一种双胶瓶自动切换的补胶装置及其补胶方法 |
| CN115679335A (zh) * | 2022-09-28 | 2023-02-03 | 首钢智新迁安电磁材料有限公司 | 一种降低电工钢连续退火机组黑点缺陷方法及系统 |
| CN118257715A (zh) * | 2024-05-28 | 2024-06-28 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种化学品供液泵系统及供液方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5700401A (en) * | 1995-12-22 | 1997-12-23 | Microbar Systems, Inc. | Liquid auto-level apparatus and method |
| JPH10189432A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給機構 |
| CN102096324A (zh) * | 2009-12-09 | 2011-06-15 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 喷胶装置及喷胶方法 |
| CN202865220U (zh) * | 2012-10-25 | 2013-04-10 | 北京清大天一科技有限公司 | 一种生物反应器 |
| CN104555870A (zh) * | 2013-10-09 | 2015-04-29 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种液体定量供给装置 |
-
2016
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5700401A (en) * | 1995-12-22 | 1997-12-23 | Microbar Systems, Inc. | Liquid auto-level apparatus and method |
| JPH10189432A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給機構 |
| CN102096324A (zh) * | 2009-12-09 | 2011-06-15 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 喷胶装置及喷胶方法 |
| CN202865220U (zh) * | 2012-10-25 | 2013-04-10 | 北京清大天一科技有限公司 | 一种生物反应器 |
| CN104555870A (zh) * | 2013-10-09 | 2015-04-29 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种液体定量供给装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109268687A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-25 | 迈得医疗工业设备股份有限公司 | 供液装置 |
| CN110787967A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-02-14 | 江西沃格光电股份有限公司 | 光刻胶涂布系统及涂布方法 |
| CN111318428A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-06-23 | 湖南中锂新材料科技有限公司 | 一种锂电池隔膜涂布系统 |
| CN113813676A (zh) * | 2021-10-31 | 2021-12-21 | 康硕(江西)智能制造有限公司 | 一种便携3d打印用陶瓷浆料过滤器 |
| CN114273158A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-04-05 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 一种双胶瓶自动切换的补胶装置及其补胶方法 |
| CN114273158B (zh) * | 2021-12-16 | 2023-01-24 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 一种双胶瓶自动切换的补胶装置及其补胶方法 |
| CN115679335A (zh) * | 2022-09-28 | 2023-02-03 | 首钢智新迁安电磁材料有限公司 | 一种降低电工钢连续退火机组黑点缺陷方法及系统 |
| CN118257715A (zh) * | 2024-05-28 | 2024-06-28 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种化学品供液泵系统及供液方法 |
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