CN111214972A - 药液配比方法及药液配比装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种药液配比方法及药液配比装置，所述药液配比方法包括：将第一药液注入到第一容器；在注入所述第一药液的同时，将第二药液注入所述第一容器；实时获取所述第一药液的第一流量值；根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。通过本发明，提高了药液配比精度和可靠性。

Description

药液配比方法及药液配比装置

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种药液配比方法及药液配比装置。

背景技术

目前，在半导体生产工艺中，几乎每道工序都涉及到清洗工艺，圆片清洗质量的好坏对半导体器件性能有重要的影响。清洗工艺过程中药液的配比精度对硅片表面金属的腐蚀速率和均匀性有很大的影响，配比精度不高会导致化学药液在晶片表面腐蚀、清洗效果存在差异，导致不同批次硅片的表面结构一致性较差，甚至影响到芯片的良率。

如图1所示为现有技术中的一种药液配比系统结构示意图，清洗工艺需要配比的两种药液(第一药液Ca、第二药液Cb)的比例R可通过上位机修改。药液配比开始前，需提前将第二药液Cb注入到第二容器Bt的第一液位传感器L1位置，然后打开第一气动阀A4，关闭第二气动阀A3，启动计量泵MP运行循环，保证药液填充满管路。药液配比分两步进行，第一步先打开第三气动阀A1，注入第一药液Ca到第一容器Ta，当第二液位传感器L2检测到液位后，关闭第三气动阀A1。计量阀FM检测第一药液Ca的注入量为M。第二步关闭第一气动阀A4，打开第二气动阀A3，注入第二药液Cb到第一容器Ta，通过计量泵MP控制药液的注入量为N，使两种药液实际注入量的比值M/N等于药液比例R。

现有技术方案一中使用的计量泵MP的工作原理是：每一次动作往第一容器Ta注入第一量的药液，通过控制计量泵MP的运动次数来控制药液的注入量，这种药液配比的精确性建立在计量泵每次注入的药液必须第一且精准的基础上。其次脉冲泵的控制方式属于开环控制，如果泵或气动阀出现故障不动作，系统难以判别，将会极大影响清洗工艺。并且药液配比时两种药液注入必须分步进行，脉冲泵药液注入较慢，影响设备产能。此外，受限于计量泵的注液速度，这种方式一般用于大比率的(比如100：1)药液配比，如药液稀释，应用场景较少。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种药液配比方法及药液配比装置。

为实现本发明的目的而提供一种药液配比方法，所述方法包括：

将第一药液注入到第一容器；

在注入所述第一药液的同时，将第二药液注入所述第一容器；

实时获取所述第一药液的第一流量值；

根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；

根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

优选地，在所述将第一药液注入到第一容器的步骤之前，还包括：

控制所述第二药液的流量维持在一设定经验值。

优选地，所述控制所述第二药液的流量维持在一设定经验值，具体包括：

向第二容器注入所述第二药液，直至所述第二容器中第二药液的流量达到所述设定经验值为止。

优选地，在根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内的步骤之后，还包括：

实时判断所述第二容器中所述第二药液的容量是否小于第一缓存容量，

若判断结果为所述第二药液的容量小于所述第一缓存容量，则继续向所述第二容器中注入所述第二药液，直至所述第二容器中第二药液的容量等于所述第一缓存容量为止。

优选地，在所述根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内的步骤之后，还包括：

判断所述第一容器中的药液总量是否已达到一设定容量；

若判断结果为所述第一容器中的药液总量已达到所述设定容量，则停止将所述第一药液与所述第二药液同时注入到所述第一容器；

若判断结果为所述第一容器中的药液总量未达到所述设定容量，则继续实时获取所述第一药液的第一流量值；根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

优选地，根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值的步骤之后，还包括：

将所述第二流量值与预设的药液比例值相乘，得到计算流量值；

判断所述计算流量值与第一流量值的差值是否大于预设的流量阈值；

若判断结果为是，则发出报警信号，并停止将所述第一药液与所述第二药液同时注入到所述第一容器。

一种药液配比装置，包括：第一容器、第一流量计、流量控制装置以及分别与所述第一容器连通的第一管路、第二管路；

所述第一管路用于输送第一药液；

所述第二管路用于输送第二药液；

所述第一流量计用于采集所述第一药液的第一流量值，并将所述第一流量值发送给所述流量控制装置；

所述流量控制装置用于在所述第一管路与所述第二管路同时向所述第一容器注液时，根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值，并根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

优选地，还包括：与所述第二管路连接的第二容器；

所述第二容器用于缓存所述第二药液。

优选地，所述第一流量计为超声波流量计。

优选地，所述流量控制装置包括：

磁悬浮泵，用于获取所述第一流量值，并根据所述第一流量值计算获得所述第二流量值；

第二流量计，与所述磁悬浮泵串联，用于采集所述第二药液的流量值。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的药液配比方法及药液配比装置的技术方案中，在将第一药液注入第一容器的同时，将第二药液注入第一容器，实时获取第一药液的第一流量值，根据第一流量值和预设的药液比例值计算第二药液的第二流量值，根据第二流量值将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内，由此第二药液的第二流量值始终与第一药液的第一流量值呈预设的药液比例值，保持了第二药液按预设的药液比例值的关系随第一药液变化，改善了药液配比无法监测的问题；并且第一药液与第二药液同时注入到第一容器缩短了药液配比时间，提高了药液配比精度和可靠性，提升了设备工艺效果和产能。

附图说明

图1为现有技术中的一种药液配比系统结构示意图；

图2为本发明第一个实施例提供的药液配比方法的流程框图；

图3为本发明第二个实施例提供的药液配比方法的流程框图；

图4为本发明第三个实施例提供的药液配比方法的流程框图；

图5为本发明第四个实施例提供的药液配比方法的流程框图；

图6为本发明一个实施例提供的药液配比装置的结构示意图；

图7为本发明另一个实施例提供的药液配比装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的药液配比方法及药液配比装置进行详细描述。

如图2所示，为本发明第一个实施例提供的药液配比方法的流程框图，本实施例中，药液配比方法包括：

步骤100：将第一药液注入到第一容器。

步骤101：在注入第一药液的同时，将第二药液注入第一容器。

步骤102：实时获取第一药液的第一流量值。

步骤103：根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值。

步骤104：根据第二流量值，将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

需要说明的是，本实施例步骤102和步骤103在微观上来看是两个步骤，但在实际工艺中，宏观上几乎是同时的，因为电控的速度特别快，瞬间就会根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值。

具体地，第一预设数值范围由工艺需求确定，并且第一预设数值范围随第二流量值的变化而变化，比如，第一流量值f1为60mL/min，预设的药液比例值R为2，则第二流量值f2＝f1/R＝60/2＝30mL/min，根据工艺需求，将第一预设数值范围设置为(25，35)；当然，第一预设数值范围会随着第二流量值的变化而变化，比如，当第二流量值f2变化到35mL/min，则第一预设数值范围则可设置为(30，40)。

本发明实施例提供的药液配比方法，在将第一药液注入第一容器的同时，将第二药液注入第一容器，实时获取第一药液的第一流量值，根据第一流量值和预设的药液比例值计算第二药液的第二流量值，根据第二流量值将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内，由此第二药液的第二流量值始终与第一药液的第一流量值呈预设的药液比例值，保持了第二药液按预设的药液比例值的关系随第一药液变化，改善了药液配比无法监测的问题；并且第一药液与第二药液同时注入到第一容器缩短了药液配比时间，提高了药液配比精度和可靠性，提升了设备工艺效果和产能。

如图3所示，为本发明第二个实施例提供的药液配比方法的流程框图，本实施例中，药液配比方法包括：

步骤200：控制第二药液的流量维持在一设定经验值。

具体地，设定经验值由工艺需求确定，不同的药液配比装置，设定经验值可能不同。

步骤201：将第一药液注入到第一容器。

步骤202：在注入第一药液的同时，将第二药液注入第一容器。

步骤203：实时获取第一药液的第一流量值。

步骤204：根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值。

步骤205：根据第二流量值，将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

本实施例提供的药液配比方法，在将第一药液注入到第一容器之前，控制第二药液的流量维持在一设定经验值，相对于第二药液的流量为零时，可以在得到第一流量值之后快速使第二药液调节到以第二流量值为中心的第一预设数值范围，提高了药液配比的控制精度。

如图4所示，为本发明第三个实施例提供的药液配比方法的流程框图，本实施例中，药液配比方法包括：

步骤300：向第二容器注入第二药液，直至第二容器中第二药液的流量达到设定经验值为止。

具体地，可以在第二容器的外围设置循环管路(如图7中缓存管T3与第二管路T2连接而成的管路)，该循环管路的出液端与进液端均与第二容器连接，第二药液在循环管路与第二容器的流量相同，当循环管路中第二药液的流量达到设定经验值时，第二容器中第二药液的流量亦是设定经验值，本步骤中，使第二容器中第二药液的流量达到设定经验值保持了第二药液的流通，使后续调节第二药液的流量更加方便、快捷。

步骤301：将第一药液注入到第一容器。

步骤302：在注入第一药液的同时，将第二药液注入第一容器。

步骤303：实时获取第一药液的第一流量值。

步骤304：根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值。

步骤305：根据第二流量值，将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

步骤306：实时判断第二容器中第二药液的容量是否小于第一缓存容量；若是，执行步骤307；若否，继续返回执行步骤301。

具体地，第一缓存容量由工艺需求确定，该工艺需求包括第二容器的最大容量、第二药液的最大需求量等。比如，第一缓存容量为第二容器的98％容量，第二容器在第一缓存容量时表示已经装满药液。

步骤307：继续向第二容器中注入第二药液，直至第二容器中第二药液的容量等于第一缓存容量为止，返回执行步骤301。

本发明实施例提供的药液配比方法，在维持第二药液的流量以第二流量值为中心的第一预设数值范围之后，实时判断第二容器中第二药液的容量是否小于第一缓存容量，保证了第二容器中第二药液的容量维持在第一缓存容量，为第二药液提供了安全的补给，保证了药液配比的可靠性。

需要说明的是，相对于图4所示实施例，在本发明的一个优选的实施例中，还可以在步骤300中向第二容器注入第二药液时，实时判断第二容器中第二药液的容量是否小于第一缓存容量，并且在第二容器中第二药液的容量达到第一缓存容量后，停止向第二容器中注入第二药液；并且在本优选实施例中，在第一药液和第二药液配比过程中，一旦第二容器中的第二药液的容量小于第一缓存容量，就向第二容器中注入第二药液。

如图5所示，为本发明第四个实施例提供的药液配比方法的流程框图，本实施例中，药液配比方法包括：

步骤400：将第一药液注入到第一容器。

步骤401：在注入第一药液的同时，将第二药液注入第一容器。

步骤402：实时获取第一药液的第一流量值。

步骤403：根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值。

具体地，第一药液的第一流量值与第二药液的第二流量值之间具有预设的药液比例值关系，如第二流量值f2＝第一流量值f1/预设的药液比例值R，因此在第一流量值f1与预设的药液比例值R确定后，则第二流量值f2则会很容易计算得出。

步骤404：将第二流量值与预设的药液比例值相乘，得到计算流量值。

具体地，通过将第二药液的流量值与预设的药液比例值相乘得到计算流量值，比较计算流量值与第一流量值，可以校验获得的第二流量值是否正确。

步骤405：判断计算流量值与第一流量值的差值是否大于预设的流量阈值；若是，执行步骤406；若否，执行步骤409。

具体地，预设的流量阈值由第一药液与第二药液在配比过程中的误差要求确定，误差要求越高，预设的流量阈值越小；误差要求越低，预设的流量阈值越大。

步骤406：发出报警信号。

具体地，当计算流量值与第一流量值的差值大于预设的流量阈值时，确定步骤403中第二流量值计算错误，此时说明存在硬件或软件的故障，需要发出报警信号提醒操作人员注意。进一步，为了保障第一药液与第二药液配比的安全性，需要终止第一药液与第二药液向第一容器的注入。

步骤407：停止将第一药液与第二药液同时注入到第一容器。

步骤408：结束。

步骤409：根据第二流量值，将第二药液的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

步骤410：判断第一容器中的药液总量是否已达到一设定容量；若是，执行步骤407。若否，执行步骤402。

具体地，设定容量由第一药液和第二药液总配比量确定。

本发明实施例提供的药液配比方法，通过检测第一容器中药液总量确定药液的配比是否已经完成，可及时结束第一容器的药液配比；在计算流量值与第一流量值的差值超过预设的流量阈值时，确定当前药液配比故障，并发出报警信号，中断第一药液与第二药液的配比，可有效的提高设备的可靠性和工艺稳定性，使本发明提供的药液配比方法具有较广阔的应用前景。

需要说明的是，相对于图5所示实施例，在发明另一优选的实施例中，还可以在步骤410与步骤409之间增加第二药液的实际流量值的校验过程，而第二药液的实际流量值的校验过程包括：采集第二药液的实际流量值，判断第二药液的实际流量值是否在第一预设数值范围内，若在第一预设数值范围内，确定第二药液的流量维持正常；否则，第二药液的流量维持不正常，在第二药液的流量维持不正常时，需要执行步骤406至步骤407。

相应地，本发明还提供了一种药液配比装置，如图6所示，为本发明实施例提供的药液配比装置的结构示意图，本实施例中，药液配比装置包括：第一容器Ta、第一流量计Z1、流量控制装置C1以及分别与第一容器Ta连通的第一管路T1、第二管路T2。

其中，第一管路T1用于输送第一药液Ca。

第二管路T2用于输送第二药液Cb。

第一流量计Z1用于采集第一药液Ca的第一流量值，并将第一流量值发送给流量控制装置C1。

流量控制装置C1用于在第一管路T1与第二管路T2同时向第一容器Ta注液时，根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液Cb的第二流量值，并根据第二流量值，将第二药液Cb的流量维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

具体地，本发明实施例中，可以通过设置在第一管路T1上的第一开关K1，使第一管路T1向第一容器Ta注液；通过设置在第二管路T2上流量控制装置C1使第二管路T2向第一容器Ta注液，并且同时控制流量控制装置C1与第一开关K1，可以使第一管路T1与第二管路T2同时向第一容器Ta注液。

具体地，第一药液Ca的第一流量值f1与第二药液Cb的第二流量值f2之间具有预设的药液比例值R关系，如，第二流量值f2＝第一流量值f1/预设的药液比例值R。由此，在第一流量值f1与预设的药液比例值R确定后，则流量控制装置C1可以很容易计算得出第二流量值f2。

具体地，第一预设数值范围由工艺需求确定，并且第一预设数值范围随第二流量值的变化而变化，比如，第一流量值f1为60mL/min，预设的药液比例值R为2，则第二流量值f2＝f1/R＝60/2＝30mL/min，根据工艺需求，将第一预设数值范围设置为(25，35)；当然，第一预设数值范围会随着第二流量值的变化而变化，比如，当第二流量值f2变化到35mL/min，则第一预设数值范围则可设置为(30，40)。

具体地，第一流量计Z1为超声波流量计，本实施例中，第一流量计Z1采用超声波流量计，可以便于将第一药液的第一流量值由第一流量计传送给流量控制装置，节省了第一流量计与流量控制装置之间的硬线连接，提高了药液配比的安全性。

本发明实施例提供的药液配比装置，流量控制装置根据第一流量值和预设的药液比例值计算获得第二药液的第二流量值，并根据第二流量值将第二药液维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内，由此第二药液的第二流量值始终与第一药液的第一流量值始终呈预设的药液比例值，保持了第二药液按预设的药液比例值的关系随第一药液变化，改善了药液配比无法监测的问题；并且第一药液与第二药液同时注入到第一容器，缩短了药液配比时间，提高了药液配比精度和可靠性，提升了设备工艺效果和产能。

进一步，本发明另一个实施例中，如图7所示，相对于图6所示的实施例，药液配比装置还包括：与第二管路T2连接的第二容器Tb，第二容器Tb用于缓存第二药液Cb。

具体地，如图7所示，流量控制装置C1包括：磁悬浮泵C11以及第二流量计Z2。其中，磁悬浮泵C11用于获取第一流量值，并根据第一流量值计算获得第二流量值；第二流量计Z2与磁悬浮泵C11串联在第二容器Tb与第一容器Ta之间，第二流量计Z2可用于采集第二药液的流量值。为了计量的准确性，第二流量计Z2可以为超声波流量计。本实施例中，通过第二流量计采集的第二药液的流量值可以校验第二药液的流量是否一直维持在以第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

在图7中，药液配比装置还包括：缓存管T3以及混液管H1，其中，缓存管T3上设置有第二开关K2，混液管H1上设置有第三开关K3。具体地，药液配比装置还可以包括第四开关K4，通过第四开关K4可以控制第二容器Tb的进液量，以保持第二容器Tb的容量一直在第一缓存容量。进一步，第一开关K1、第二开关K2、第三开关K3以及第四开关K4可以是气动阀或电动阀。进一步，第二容器Tb中还设置有第一液位传感器L1，第一液位传感器L1用于测量第二药液Tb的容量，当第一液位传感器L1检测到液位时，说明第二容器Tb的容量已达到第一缓存容量，此时可以关闭第四开关K4。

其中，缓存管T3的进液端与第二管路T2的出液端连接，缓存管T3出液端与第二容器Tb连接；混液管H1的进液端分别与缓存管T3的出液端、第二管路T2的出液端连接，混液管H1的出液端与第一容器Ta连接。在图7中，关闭第三开关K3，打开第二开关K2，可使缓存管T3与第二管路T2连接而成第二容器Tb的循环管路，通过该循环管路，可使第一药液Ca与第二药液Cb在共同注入第一容器Ta之前，使第二容器Tb中的第二药液Cb的流量达到设定经验值，从而使后续调节第二药液Cb的第二流量值更加方便、快捷。进一步，打开第三开关K3，关闭第二开关K3，第二药液Cb依次通过第二管路T2、混液管H1进入到第一容器Ta。

本发明实施例提供的药液配比装置，还包括第二容器，设置第二容器可以保证第二药液提供了安全的补给，提高了药液配比的可靠性；进一步，还包括缓存管、混液管，缓存管连接在第二容器与混液管之间，混液管连接在第二管路与第一容器之间，通过缓存管、第二管路可以便于第一药液与第二药液在共同注入第一容器之前，使第二容器中的第二药液的流量达到设定经验值；通过混液管、第二管路可以使第二药液进入第一容器，并于第一药液与第二药液共同向第一容器注入。

下面参照图7对本发明提供的药液配比装置的具体控制过程进行详细介绍：

配比开始前，打开气动阀K4，将第二药液Cb注入到第二容器Tb中。当第一液位传感器L1检测到液位时，关闭气动阀K4，打开气动阀K2(此时气动阀K3处于闭合状态)，开启磁悬浮泵C11。当超声波流量计Z2流量稳定后，第二容器Tb中第二药液Cb的流量达到设定经验值，第二容器Tb准备完毕。

开始第一药液Ca与第二药液Cb的配比时，打开气动阀K1、K3，关闭气动阀K2，开启磁悬浮泵C11，第一药液Ca通过第一管路T1输入第一容器Ta，同时第二药液Cb依次通过第二管路T2与混液管H1注入第一容器Ta。超声波流量计Z1、Z2分别实时采集第一药液Ca和第二药液Cb的流量，磁悬浮泵C11获取超声波流量计Z1采集的第一药液Ca的第一流量值，然后将第一流量值除以药液比例值得到第二流量值，并由第二流量值计算得到第一预设数值范围，磁悬浮泵C11将超声波流量计Z2采集的第二药液Cb的流量值作为流量参考值，流量参考值可用于校验第一预设数值范围是否正确，从而实现了第二药液Cb的流量的闭环控制。配比过程中如果第一液位传感器L1检测不到液位，气动阀K4自动打开进行补液。磁悬浮泵C11在配比过程中实时对比计量流量值(第二流量值与药液比例值的乘积)与第一流量值，若一定时间内差值超过预设的流量阈值，可立即产生报警信号，停止第一药液Ca与第二药液Cb向第一容器Ta的注入，从而中断第一药液Ca与第二药液Cb配比；在图7中还配备有与第一容器Ta连接的第二液位传感器L2，第二液位传感器L2用于检测第一容器Ta中药液的液位，磁悬浮泵C11在第二液位传感器L2检测到液位时，确定第一容器Ta中的药液总量达到了设定容量，此时关闭气动阀K1、K3，可完成第一药液Ca与第二药液Cb的配比。

本发明通过引入磁悬浮泵和流量计，对配比流量进行闭环控制，实时检测配比流量，故障时可产生相关报警中断配比，配比时间较短，可有效的提高设备的可靠性和工艺稳定性，因此，本发明提供的药液配比装置具有较广阔的应用前景。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种药液配比方法，其特征在于，所述方法包括：

将第一药液注入到第一容器；

在注入所述第一药液的同时，将第二药液注入所述第一容器；

实时获取所述第一药液的第一流量值；

根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；

根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

2.根据权利要求1所述的药液配比方法，其特征在于，在所述将第一药液注入到第一容器的步骤之前，还包括：

控制所述第二药液的流量维持在一设定经验值。

3.根据权利要求2所述的药液配比方法，其特征在于，所述控制所述第二药液的流量维持在一设定经验值，具体包括：

向第二容器注入所述第二药液，直至所述第二容器中第二药液的流量达到所述设定经验值为止。

4.根据权利要求3所述的药液配比方法，其特征在于，在根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内的步骤之后，还包括：

实时判断所述第二容器中所述第二药液的容量是否小于第一缓存容量，

若判断结果为所述第二药液的容量小于所述第一缓存容量，则继续向所述第二容器中注入所述第二药液，直至所述第二容器中第二药液的容量等于所述第一缓存容量为止。

5.根据权利要求1所述的药液配比方法，其特征在于，在所述根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内的步骤之后，还包括：

判断所述第一容器中的药液总量是否已达到一设定容量；

若判断结果为所述第一容器中的药液总量已达到所述设定容量，则停止将所述第一药液与所述第二药液同时注入到所述第一容器；

若判断结果为所述第一容器中的药液总量未达到所述设定容量，则继续实时获取所述第一药液的第一流量值；根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值；根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

6.根据权利要求5所述的药液配比方法，其特征在于，根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值的步骤之后，还包括：

将所述第二流量值与预设的药液比例值相乘，得到计算流量值；

判断所述计算流量值与第一流量值的差值是否大于预设的流量阈值；

若判断结果为是，则发出报警信号，并停止将所述第一药液与所述第二药液同时注入到所述第一容器。

7.一种药液配比装置，其特征在于，包括：第一容器、第一流量计、流量控制装置以及分别与所述第一容器连通的第一管路、第二管路；

所述第一管路用于输送第一药液；

所述第二管路用于输送第二药液；

所述第一流量计用于采集所述第一药液的第一流量值，并将所述第一流量值发送给所述流量控制装置；

所述流量控制装置用于在所述第一管路与所述第二管路同时向所述第一容器注液时，根据所述第一流量值和预设的药液比例值计算获得所述第二药液的第二流量值，并根据所述第二流量值，将所述第二药液的流量维持在以所述第二流量值为中心的第一预设数值范围内。

8.根据权利要求7所述的药液配比装置，其特征在于，还包括：与所述第二管路连接的第二容器；

所述第二容器用于缓存所述第二药液。

9.根据权利要求7所述的药液配比装置，其特征在于，所述第一流量计为超声波流量计。

10.根据权利要求7所述的药液配比装置，其特征在于，所述流量控制装置包括：

磁悬浮泵，用于获取所述第一流量值，并根据所述第一流量值计算获得所述第二流量值；

第二流量计，与所述磁悬浮泵串联，用于采集所述第二药液的流量值。

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