CN220071520U - 一种实时配液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种实时配液装置，包括储备槽、整体安装台和混液管，所述的整体安装台上端面上并排安装有不少于三个储备槽，所述的整体安装台内安装有与储备槽一一依次对接的磁力泵，所述的储备槽上端安装有第一气动阀，所述的储备槽侧面设置有侧面开口，所述的侧面开口通过侧部管道与整体安装台内的磁力泵连通，所述的磁力泵的输出口通过管道与混液管连通，所述的混液管的下端设置有总出液管道，所述的储备槽内的侧壁上安装有呈竖直布置的三个液位传感器。本实用新型保证了药液的活性，避免了化学液的浪费，同时保证化学液浓度稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片包装技术领域，特别是涉及一种实时配液装置。
背景技术
目前半导体清洗机配液采用体积比进行混合，这种方法存在一些问题，第一，清洗液需要提前混好，混到一定之后需要搅拌一定时间，确保药液混合均匀才可以使用，由于清洗液需要提前混好，当混好后一段时间不清洗硅片时，药液配液时间可能会达到有效寿命，这时，药液只能排放并重新配置，这样造成了大大的浪费。同时由于有些化学液随着时间的流逝会发生分解，导致混好的药液的有效浓度不足，需要进行补液操作，以保证化学液的有效浓度，这也对化学液造成了一定的浪费。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种实时配液装置，当机台端给出供液信号时，配液装置会立即开始配液，然后供给到机台，保证了药液的活性，避免了化学液的浪费，同时保证化学液浓度稳定，此外，由于该配液浓度通过流量计控制，可以通过改变流量参数来快速调整配液浓度，调整工艺，便于对不同产品工艺配比要求的切换。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种实时配液装置，包括储备槽、整体安装台和混液管，所述的整体安装台上端面上并排安装有不少于三个储备槽，所述的整体安装台内安装有与储备槽一一依次对接的磁力泵，所述的储备槽上端安装有第一气动阀，所述的储备槽侧面设置有侧面开口，所述的侧面开口通过侧部管道与整体安装台内的磁力泵连通，所述的磁力泵的输出口通过管道与混液管连通，所述的混液管的下端设置有总出液管道，所述的储备槽内的侧壁上安装有呈竖直布置的三个液位传感器。
本技术方案中通过设置三个以上的储备槽用来存储配液用原液，同时通过安装磁力泵和侧部管道用来实现内部循环，用来增加原液的流动速度，流动速度增加能够确保混合时，送入的原液比例，通过安装混液管用来实现混液，确保药液配合，通过设置三个液位传感器用来保证储备槽内的原液能够始终保持有恒定量，确保混液的持续输出。
作为对本技术方案的一种补充，所述的第一气动阀的进口处安装有与原液存储位置连通的进液管道。
通过增加进液管道用来方便与原液原本的存储装置进行对接。
作为对本技术方案的一种补充，所述的侧部管道和磁力泵之间安装有加热器，所述的加热器安装在整体安装台上。
通过设置加热器用来确保原液在混合时能够处在适当温度上，提高混合效果。
作为对本技术方案的一种补充，所述的储备槽内的三个液位传感器，由上往下依次是高液位传感器、中液位传感器和补液液位传感器。
通过高液位传感器用来给于第一气动阀关闭的信号，通过设置补液液位传感器用来给于第二气动阀开启的信号以及第三气动阀的关闭信号，通过中液位传感器用来给于第三气动阀的开启信号
作为对本技术方案的一种补充，所述的侧部管道上安装有第二气动阀。
通过安装第二气动阀用来控制储备槽是否进行内部循环。
作为对本技术方案的一种补充，所述的储备槽与磁力泵对接的管道内安装有流量计。
通过设置流量计用来测量磁力泵输出流速，确保原液以合理的流量进行配比。
作为对本技术方案的一种补充，所述的磁力泵和混液管连接的管道上安装有第三气动阀。
作为对本技术方案的一种补充，所述的总出液管道上安装有第四气动阀，所述的第四气动阀内安装有浓度计，通过设置浓度计用来检测混液的浓度。
有益效果：本实用新型涉及一种实时配液装置，具有以下优点：
(1)、机台端给出供液信号时，配液装置会立即开始配液，然后供给到机台，保证了药液的活性，避免了化学液的浪费，同时保证化学液浓度稳定；
(2)、该配液浓度通过流量计控制，可以通过改变流量参数来快速调整配液浓度，调整工艺，便于对不同产品工艺配比要求的切换。
附图说明
图1是本实用新型的主视图；
图2是本实用新型的内部结构视图。
图示：1、整体安装台，2、混液管，3、储备槽，4、第一气动阀，5、进液管道，6、侧部管道，7、第二气动阀，8、加热器，9、第四气动阀，10、浓度计，11、总出液管道，12、液位传感器，13、流量计，14、磁力泵，15、第三气动阀。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
本实用新型的实施方式涉及一种实时配液装置，如图1—2所示，包括储备槽3、整体安装台1和混液管2，所述的整体安装台1上端面上并排安装有不少于三个储备槽3，所述的整体安装台1内安装有与储备槽3一一依次对接的磁力泵14，所述的储备槽3上端安装有第一气动阀4，所述的储备槽3侧面设置有侧面开口，所述的侧面开口通过侧部管道6与整体安装台1内的磁力泵14连通，所述的磁力泵14的输出口通过管道与混液管2连通，所述的混液管2的下端设置有总出液管道11，所述的储备槽3内的侧壁上安装有呈竖直布置的三个液位传感器12。
本技术方案中通过设置三个以上的储备槽3用来存储配液用原液，同时通过安装磁力泵14和侧部管道6用来实现内部循环，用来增加原液的流动速度，流动速度增加能够确保混合时，送入的原液比例，通过安装混液管2用来实现混液，确保药液配合，通过设置三个液位传感器12用来保证储备槽3内的原液能够始终保持有恒定量，确保混液的持续输出。
作为对本技术方案的一种补充，所述的第一气动阀4的进口处安装有与原液存储位置连通的进液管道5。
通过增加进液管道5用来方便与原液原本的存储装置进行对接。
作为对本技术方案的一种补充，所述的侧部管道6和磁力泵14之间安装有加热器8，所述的加热器8安装在整体安装台1上。
通过设置加热器8用来确保原液在混合时能够处在适当温度上，提高混合效果。
作为对本技术方案的一种补充，所述的储备槽3内的三个液位传感器12，由上往下依次是高液位传感器、中液位传感器和补液液位传感器。
通过高液位传感器用来给于第一气动阀4关闭的信号，通过设置补液液位传感器用来给于第二气动阀7开启的信号以及第三气动阀15的关闭信号，通过中液位传感器用来给于第三气动阀15的开启信号
作为对本技术方案的一种补充，所述的侧部管道6上安装有第二气动阀7。
通过安装第二气动阀7用来控制储备槽3是否进行内部循环。
作为对本技术方案的一种补充，所述的储备槽3与磁力泵14对接的管道内安装有流量计13。
通过设置流量计13用来测量磁力泵14输出流速，确保原液以合理的流量进行配比。
作为对本技术方案的一种补充，所述的磁力泵14和混液管2连接的管道上安装有第三气动阀15。
作为对本技术方案的一种补充，所述的总出液管道11上安装有第四气动阀9，所述的第四气动阀9内安装有浓度计10，通过设置浓度计10用来检测混液的浓度。
实施例
原液进入储备槽3之前，储备槽3上方的第一气动阀4打开，第二气动阀7、第三气动阀15和第四气动阀9均处于关闭状态，待原液从第一气动阀4进入到储备槽3，当储备槽3达到指定液位，会触发高液位传感器时，此时储备槽3上方的第一气动阀4关闭；当液位下降，触发补液液位传感器时，储备槽3上方的第一气动阀4会再次打开，使得原液补充到储备槽3中。
当储备槽3液位高于低液位时，左侧的第二气动阀7会打开，同时磁力泵14开始工作，根据设定的流量调节磁力泵14的转速，使得储备槽3的循环流量保持稳定，保持稳定的目的是防止配液时，储备槽3下方的第三气动阀15突然打开，此时流量不稳定，造成配液浓度异常。
当储备槽3原液开始循环之后，加热器8会开始工作，将原液的温度升高至设定的参数，并持续工作，保持药液温度的稳定。
当机台给出供液信号时，储备槽3下方的第三气动阀15和第四气动阀9同时打开，储备槽3左侧的第二气动阀7会关闭，磁力泵8持续工作，将设定流量的原液供出储备槽3，原液经过混液管2，将几路原液混合均匀，运输到机台端，机台端管路装有浓度计10，实时监测配液浓度。
以上对本申请所提供的一种实时配液装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (8)
1.一种实时配液装置，其特征在于：包括储备槽(3)、整体安装台(1)和混液管(2)，所述的整体安装台(1)上端面上并排安装有不少于三个储备槽(3)，所述的整体安装台(1)内安装有与储备槽(3)一一依次对接的磁力泵(14)，所述的储备槽(3)上端安装有第一气动阀(4)，所述的储备槽(3)侧面设置有侧面开口，所述的侧面开口通过侧部管道(6)与整体安装台(1)内的磁力泵(14)连通，所述的磁力泵(14)的输出口通过管道与混液管(2)连通，所述的混液管(2)的下端设置有总出液管道(11)，所述的储备槽(3)内的侧壁上安装有呈竖直布置的三个液位传感器(12)。
2.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的第一气动阀(4)的进口处安装有与原液存储位置连通的进液管道(5)。
3.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的侧部管道(6)和磁力泵(14)之间安装有加热器(8)，所述的加热器(8)安装在整体安装台(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的储备槽(3)内的三个液位传感器(12)，由上往下依次是高液位传感器、中液位传感器和补液液位传感器。
5.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的侧部管道(6)上安装有第二气动阀(7)。
6.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的储备槽(3)与磁力泵(14)对接的管道内安装有流量计(13)。
7.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的磁力泵(14)和混液管(2)连接的管道上安装有第三气动阀(15)。
8.根据权利要求1所述的一种实时配液装置，其特征在于：所述的总出液管道(11)上安装有第四气动阀(9)，所述的第四气动阀(9)内安装有浓度计(10)。
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2023
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