CN115617005A - 基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 158
- 239000002994 raw material Substances 0.000 title claims abstract description 109
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 86
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims abstract description 374
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 338
- 238000011217 control strategy Methods 0.000 claims abstract description 82
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 6
- 238000013473 artificial intelligence Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32252—Scheduling production, machining, job shop
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Automation & Control Theory (AREA)
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Abstract
本发明涉及人工智能领域，公开了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置，用于实现自动化生产光阻剥离剂以及提高光阻剥离剂的药剂配比精确度。所述方法包括：对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
Description
技术领域
本发明涉及人工智能领域，尤其涉及一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置。
背景技术
光阻剥离剂用于将光阻剂图案用作掩模、经由干式蚀刻或湿式蚀刻形成金属层或绝缘层的图案通过光阻剥离剂以去除光阻剂图案。光阻剂分成二种类型，包括正型光阻剂及负型光阻剂。正型光阻剂是一种其曝光部分变成可溶于显影剂的光阻剂，且负型光阻剂是一种其曝光部分变成不可溶于显影剂的光阻剂。
目前光阻剥离剂的生产过程中，通常是由人工经验进行加料控制，由于人工经验的控制精度较低，导致生产的光阻剥离剂很难达到出厂标准，即现有方案的精确度较低。
发明内容
本发明提供了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置，用于实现自动化生产光阻剥离剂以及提高光阻剥离剂的药剂配比精确度。
本发明第一方面提供了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法包括：获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
结合第一方面，在本发明第一方面的第一实施方式中，所述获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略，包括：接收控制终端发送的光阻剥离剂生产请求，并对所述光阻剥离剂生产请求进行请求解析，得到待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量；对所述目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，所述比较结果包括：所述目标生产量大于预设目标值以及所述目标生产量小于或等于预设目标值；若所述目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料；若所述目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料；将所述第一给料模式、所述配比数据和所述目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
结合第一方面的第一实施方式，在本发明第一方面的第二实施方式中，所述根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加，包括：根据所述第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据所述目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量；根据所述多个配方药剂设置每个配方药剂对应的加料点集群，得到多个第一加料点集群；根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率；根据每个第一加料点集群对应的加料速率和所述第一给料模式控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加。
结合第一方面的第二实施方式，在本发明第一方面的第三实施方式中，所述对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量，包括：对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的集群负载状态；对每个第一加料点集群对应的集群负载状态进行药液流量添加时长计算，得到每个第一加料点集群的药液流量添加时长；根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据；对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量；对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，所述目标容器用于存储所述多个第一加料点集群添加的药液；根据所述检测药液量对所述初始药液量进行校对，生成第一药液量。
结合第一方面的第三实施方式，在本发明第一方面的第四实施方式中，所述根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，包括：按照预设比例值计算所述目标生产量对应的药液量阈值；对所述第一药液量和所述药液量阈值进行比对，判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，其中，所述判断结果包括：所述第一药液量超过所述药液量阈值以及所述第一药液量不超过所述药液量阈值。
结合第一方面的第四实施方式，在本发明第一方面的第五实施方式中，所述根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略，包括：若所述第一药液量超过所述药液量阈值，则根据所述配比数据和所述第一药液量计算剩余给料量；根据所述剩余给料量对所述第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式；根据所述第二给料模式和所述剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
结合第一方面的第五实施方式，在本发明第一方面的第六实施方式中，所述根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂，包括：根据所述第二原料定量控制策略中的第二给料模式从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群；控制所述第二加料点集群进行药液流量添加，并实时计算第二药液量；对所述第二药液量和所述目标生产量进行比较，并判断所述第二药液量是否符合所述目标生产量；若符合，则输出目标光阻剥离剂。
本发明第二方面提供了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置包括：
获取模块，用于获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；
添加模块，用于根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；
监控模块，用于对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
判断模块，用于根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；
生成模块，用于根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；
控制模块，用于根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
结合第二方面，在本发明第二方面的第一实施方式中，所述获取模块具体用于：接收控制终端发送的光阻剥离剂生产请求，并对所述光阻剥离剂生产请求进行请求解析，得到待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量；对所述目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，所述比较结果包括：所述目标生产量大于预设目标值以及所述目标生产量小于或等于预设目标值；若所述目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料；若所述目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料；将所述第一给料模式、所述配比数据和所述目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
结合第二方面的第一实施方式，在本发明第二方面的第二实施方式中，所述添加模块具体用于：根据所述第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据所述目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量；根据所述多个配方药剂设置每个配方药剂对应的加料点集群，得到多个第一加料点集群；根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率；根据每个第一加料点集群对应的加料速率和所述第一给料模式控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加。
结合第二方面的第二实施方式，在本发明第二方面的第三实施方式中，所述监控模块具体用于：对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的集群负载状态；对每个第一加料点集群对应的集群负载状态进行药液流量添加时长计算，得到每个第一加料点集群的药液流量添加时长；根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据；对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量；对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，所述目标容器用于存储所述多个第一加料点集群添加的药液；根据所述检测药液量对所述初始药液量进行校对，生成第一药液量。
结合第二方面的第三实施方式，在本发明第二方面的第四实施方式中，所述判断模块具体用于：按照预设比例值计算所述目标生产量对应的药液量阈值；对所述第一药液量和所述药液量阈值进行比对，判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，其中，所述判断结果包括：所述第一药液量超过所述药液量阈值以及所述第一药液量不超过所述药液量阈值。
结合第二方面的第四实施方式，在本发明第二方面的第五实施方式中，所述生成模块还包括：计算单元，用于若所述第一药液量超过所述药液量阈值，则根据所述配比数据和所述第一药液量计算剩余给料量；调整单元，用于根据所述剩余给料量对所述第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式；生成单元，用于根据所述第二给料模式和所述剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
结合第二方面的第五实施方式，在本发明第二方面的第六实施方式中，所述控制模块具体用于：根据所述第二原料定量控制策略中的第二给料模式从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群；控制所述第二加料点集群进行药液流量添加，并实时计算第二药液量；对所述第二药液量和所述目标生产量进行比较，并判断所述第二药液量是否符合所述目标生产量；若符合，则输出目标光阻剥离剂。
本发明第三方面提供了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备，包括：存储器和至少一个处理器，所述存储器中存储有指令；所述至少一个处理器调用所述存储器中的所述指令，以使得所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备执行上述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法。
本发明的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行上述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法。
本发明提供的技术方案中，对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂，本发明将原料自动定量控制分为两个阶段，第一阶段采用第一原料定量控制策略以实现较快的完成第一阶段的配比任务，然后第二阶段对加料模式进行动态调整，最终完成光阻剥离剂的生产任务，进而实现了自动化生产光阻剥离剂，提高了光阻剥离剂的药剂配比精确度。
附图说明
图1为本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法的一个实施例示意图；
图2为本发明实施例中药剂添加的控制流程图；
图3为本发明实施例中药液量计算的流程图；
图4为本发明实施例中给料模式调整的流程图；
图5为本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置的一个实施例示意图；
图6为本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置的另一个实施例示意图；
图7为本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备的一个实施例示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置，用于实现自动化生产光阻剥离剂以及提高光阻剥离剂的药剂配比精确度。本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等（如果存在）是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”或“具有”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
为便于理解，下面对本发明实施例的具体流程进行描述，请参阅图1，本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法的一个实施例包括：
S101、获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据配比数据和目标生产量设置第一原料定量控制策略；
可以理解的是，本发明的执行主体可以为基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置，还可以是终端或者服务器，具体此处不做限定。本发明实施例以服务器为执行主体为例进行说明。
具体的，服务器获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，获取待生产光阻剥离剂的多个组分的名称，并基于各组分的名称获取各自的预设分配比例，并根据配比数据和目标生产量设置第一原料定量控制策略，其中，该第一原料定量控制策略中，包括液料滴定池中预设的分配比例，具体的，响应于获取到其他组分的名称及其预设分配比例，根据其他组分选择相应的级别并获取该级别对应的预设分配比例，根据配比数据和目标生产量设置第一原料定量控制策略。
S102、根据第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制多个第一加料点集群进行药液流量添加；
具体的，服务器初始化第一原料定量控制策略，在确定第一加料点集群前，服务器通过第一原料定量控制策略在样本池中进行采样，并根据样本估计优势函数，在优势函数上叠加在定量控制策略中超量加液的规范化项，并更新第一原料定量控制的初始策略，重复上述步骤直至收敛，从而完成第一原料定量控制策略的最终确定，进而，服务器根据第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制多个第一加料点集群进行药液流量添加。
S103、对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
需要说明的是，服务器通过控制多个第一加料点集群对应的多个加料位置点，对药液流量添加状态进行实时监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，其中，服务器利用红外检测采集药液的滴速，并根据每个第一加料点集群对应的药液的滴速确定第一药液量。
S104、根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；
具体的，根据目标生产量的75%来设置药液量阈值，同时判断步骤S103中确定的第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果。
S105、根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；
S106、根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
具体的，当判断结果为超过药液量阈值时，对该第一原料定量控制策略中的药液滴速进行降低，当判断结果为未超过药液量阈值时，保持该第一原料定量控制策略中的药液滴速，同时根据调整后的药液滴速生成第二原料定量控制策略，进一步的，服务器根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
在一具体实施例中，执行步骤S101的过程可以具体包括如下步骤：
（1）接收控制终端发送的光阻剥离剂生产请求，并对光阻剥离剂生产请求进行请求解析，得到待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量；
（2）对目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，比较结果包括：目标生产量大于预设目标值以及目标生产量小于或等于预设目标值；
（3）若目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料；
（4）若目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料；
（5）将第一给料模式、配比数据和目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
具体的，服务器接收获取光阻剥离剂生产请求，将光阻剥离剂生产请求进行标识确定，确定出对应的目标标识，进而服务器根据该目标标识从预置的服务器中获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，对目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，比较结果包括：目标生产量大于预设目标值以及目标生产量小于或等于预设目标值，其中，预设目标值是通过人工设置的，当得到比较结果后，若目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料，若目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料，将第一给料模式、配比数据和目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
在一具体实施例中，如图2所示，执行步骤S102的过程可以具体包括如下步骤：
S201、根据第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量；
S202、根据多个配方药剂设置每个配方药剂对应的加料点集群，得到多个第一加料点集群；
S203、根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率；
S204、根据每个第一加料点集群对应的加料速率和第一给料模式控制多个第一加料点集群进行药液流量添加。
具体的，在进行确定配方药剂之前，服务器预先建立配方数据库，基于该配方数据库，根据第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量，进一步的，服务器根据多个配方药剂进行加料点分析，确定出每个配方药剂对应的加料点集群，其中，该多个加料点集群对应不同加料点的位置信息，进一步的，服务器根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率，其中，服务器根据药剂总量及不同加料点的位置信息进行加料时长计算，当确定对应的加料时长后，服务器计算每个第一加料点集群对应的加料速率，最终，服务器根据每个第一加料点集群对应的加料速率和第一给料模式控制多个第一加料点集群进行药液流量添加。
在一具体实施例中，如图3所示，执行步骤S103的过程可以具体包括如下步骤：
S301、对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的集群负载状态；
S302、对每个第一加料点集群对应的集群负载状态进行药液流量添加时长计算，得到每个第一加料点集群的药液流量添加时长；
S303、根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据；
S304、对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量；
S305、对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，目标容器用于存储多个第一加料点集群添加的药液；
S306、根据检测药液量对初始药液量进行校对，生成第一药液量。
具体的，服务器根据加料点集群的加料点接收查询加料点集群负载状态的命令，加料点为加料点集群多个加料点中的任意一个加料点；加料点获取加料点集群各加料点的负载信息及集群当前药剂添加量；加料点根据各加料点的系统负载信息、集群的当前药剂添加量以及预设的判断规则，判断加料点集群的负载状态，根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量，对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，目标容器用于存储多个第一加料点集群添加的药液，根据检测药液量对初始药液量进行校对，生成第一药液量。
在一具体实施例中，执行步骤S104的过程可以具体包括如下步骤：
（1）按照预设比例值计算目标生产量对应的药液量阈值；
（2）对第一药液量和药液量阈值进行比对，判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果，其中，判断结果包括：第一药液量超过药液量阈值以及第一药液量不超过药液量阈值。
具体的，需要说明的是，在此处预设比例为75%，其中，服务器根据该75%的预设比例计算目标生产量对应的药液量阈值。
在一具体实施例中，如图4所示，执行步骤S105的过程可以具体包括如下步骤：
S401、若第一药液量超过药液量阈值，则根据配比数据和第一药液量计算剩余给料量；
S402、根据剩余给料量对第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式；
S403、根据第二给料模式和剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
具体的，获取每个加料点的状态信息，该状态信息包括加料点的药液量、加料点所在位置的最小剩余加液量以及加料点所在位置，根据状态信息确定每个加料点的数据分配比例，并根据配比数据和第一药液量计算剩余给料量，进一步的，根据剩余给料量对第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式，其中，当判断结果为超过药液量阈值时，对该第一原料定量控制策略中的药液滴速进行降低，当判断结果为未超过药液量阈值时，保持该第一原料定量控制策略中的药液滴速，同时根据调整后的药液滴速生成第二原料定量控制策略，进一步的，服务器根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂，最终服务器根据第二给料模式和剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
在一具体实施例中，执行步骤S106的过程可以具体包括如下步骤：
（1）根据第二原料定量控制策略中的第二给料模式从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群；
（2）控制第二加料点集群进行药液流量添加，并实时计算第二药液量；
（3）对第二药液量和目标生产量进行比较，并判断第二药液量是否符合目标生产量；
（4）若符合，则输出目标光阻剥离剂。
上面对本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法进行了描述，下面对本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置进行描述，请参阅图5，本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置一个实施例包括：
获取模块501，用于获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；
添加模块502，用于根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；
监控模块503，用于对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
判断模块504，用于根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；
生成模块505，用于根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；
控制模块506，用于根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
通过上述各个组成部分的协同合作，对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂，本发明将原料自动定量控制分为两个阶段，第一阶段采用第一原料定量控制策略以实现较快的完成第一阶段的配比任务，然后第二阶段对加料模式进行动态调整，最终完成光阻剥离剂的生产任务，进而实现了自动化生产光阻剥离剂，提高了光阻剥离剂的药剂配比精确度。
请参阅图6，本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置另一个实施例包括：
获取模块501，用于获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；
添加模块502，用于根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；
监控模块503，用于对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
判断模块504，用于根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；
生成模块505，用于根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；
控制模块506，用于根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
可选的，所述获取模块501具体用于：接收控制终端发送的光阻剥离剂生产请求，并对所述光阻剥离剂生产请求进行请求解析，得到待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量；对所述目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，所述比较结果包括：所述目标生产量大于预设目标值以及所述目标生产量小于或等于预设目标值；若所述目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料；若所述目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料；将所述第一给料模式、所述配比数据和所述目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
可选的，所述添加模块502具体用于：根据所述第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据所述目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量；根据所述多个配方药剂设置每个配方药剂对应的加料点集群，得到多个第一加料点集群；根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率；根据每个第一加料点集群对应的加料速率和所述第一给料模式控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加。
可选的，所述监控模块503具体用于：对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的集群负载状态；对每个第一加料点集群对应的集群负载状态进行药液流量添加时长计算，得到每个第一加料点集群的药液流量添加时长；根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据；对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量；对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，所述目标容器用于存储所述多个第一加料点集群添加的药液；根据所述检测药液量对所述初始药液量进行校对，生成第一药液量。
可选的，所述判断模块504具体用于：按照预设比例值计算所述目标生产量对应的药液量阈值；对所述第一药液量和所述药液量阈值进行比对，判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，其中，所述判断结果包括：所述第一药液量超过所述药液量阈值以及所述第一药液量不超过所述药液量阈值。
可选的，所述生成模块505还包括：
计算单元5051，用于若所述第一药液量超过所述药液量阈值，则根据所述配比数据和所述第一药液量计算剩余给料量；
调整单元5052，用于根据所述剩余给料量对所述第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式；
生成单元5053，用于根据所述第二给料模式和所述剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
可选的，所述控制模块506具体用于：根据所述第二原料定量控制策略中的第二给料模式从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群；控制所述第二加料点集群进行药液流量添加，并实时计算第二药液量；对所述第二药液量和所述目标生产量进行比较，并判断所述第二药液量是否符合所述目标生产量；若符合，则输出目标光阻剥离剂。
本发明实施例中，对多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；根据目标生产量设置药液量阈值，并判断第一药液量是否超过药液量阈值，得到判断结果；根据判断结果和配比数据生成第二原料定量控制策略；根据第二原料定量控制策略从多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至第二药液量符合目标生产量，得到目标光阻剥离剂，本发明将原料自动定量控制分为两个阶段，第一阶段采用第一原料定量控制策略以实现较快的完成第一阶段的配比任务，然后第二阶段对加料模式进行动态调整，最终完成光阻剥离剂的生产任务，进而实现了自动化生产光阻剥离剂，提高了光阻剥离剂的药剂配比精确度。
上面图5和图6从模块化功能实体的角度对本发明实施例中的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置进行详细描述，下面从硬件处理的角度对本发明实施例中基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备进行详细描述。
图7是本发明实施例提供的一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备的结构示意图，该基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备600可因配置或性能不同而产生比较大的差异，可以包括一个或一个以上处理器（central processing units，CPU）610（例如，一个或一个以上处理器）和存储器620，一个或一个以上存储应用程序633或数据632的存储介质630（例如一个或一个以上海量存储设备）。其中，存储器620和存储介质630可以是短暂存储或持久存储。存储在存储介质630的程序可以包括一个或一个以上模块（图示没标出），每个模块可以包括对基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备600中的一系列指令操作。更进一步地，处理器610可以设置为与存储介质630通信，在基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备600上执行存储介质630中的一系列指令操作。
基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备600还可以包括一个或一个以上电源640，一个或一个以上有线或无线网络接口650，一个或一个以上输入输出接口660，和/或，一个或一个以上操作系统631，例如Windows Serve，Mac OS X，Unix，Linux，FreeBSD等等。本领域技术人员可以理解，图7示出的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备结构并不构成对基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。
本发明还提供一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机可读指令，计算机可读指令被处理器执行时，使得处理器执行上述各实施例中的所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法的步骤。
本发明还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可以为非易失性计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质也可以为易失性计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有指令，当所述指令在计算机上运行时，使得计算机执行所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法的步骤。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（read-only memory，ROM）、随机存取存储器（random acceS memory，RAM）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法包括：
获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；
根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；
对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；
根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；
根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
2.根据权利要求1所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略，包括：
接收控制终端发送的光阻剥离剂生产请求，并对所述光阻剥离剂生产请求进行请求解析，得到待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量；
对所述目标生产量和预设目标值进行比较，得到比较结果，其中，所述比较结果包括：所述目标生产量大于预设目标值以及所述目标生产量小于或等于预设目标值；
若所述目标生产量大于预设目标值，则确定第一给料模式为连续给料；
若所述目标生产量小于或等于预设目标值，则确定第一给料模式为断续给料；
将所述第一给料模式、所述配比数据和所述目标生产量设置为第一原料定量控制策略。
3.根据权利要求2所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加，包括：
根据所述第一原料定量控制策略中的配比数据确定多个配方药剂，并根据所述目标生产量计算每个配方药剂对应的药剂总量；
根据所述多个配方药剂设置每个配方药剂对应的加料点集群，得到多个第一加料点集群；
根据每个配方药剂对应的药剂总量计算每个第一加料点集群对应的加料速率；
根据每个第一加料点集群对应的加料速率和所述第一给料模式控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加。
4.根据权利要求3所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量，包括：
对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的集群负载状态；
对每个第一加料点集群对应的集群负载状态进行药液流量添加时长计算，得到每个第一加料点集群的药液流量添加时长；
根据每个第一加料点集群的药液流量添加时长和加料速率生成每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据；
对每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据进行求和运算，得到初始药液量；
对预置的目标容器进行药液量检测，得到检测药液量，其中，所述目标容器用于存储所述多个第一加料点集群添加的药液；
根据所述检测药液量对所述初始药液量进行校对，生成第一药液量。
5.根据权利要求1所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，包括：
按照预设比例值计算所述目标生产量对应的药液量阈值；
对所述第一药液量和所述药液量阈值进行比对，判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果，其中，所述判断结果包括：所述第一药液量超过所述药液量阈值以及所述第一药液量不超过所述药液量阈值。
6.根据权利要求5所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略，包括：
若所述第一药液量超过所述药液量阈值，则根据所述配比数据和所述第一药液量计算剩余给料量；
根据所述剩余给料量对所述第一给料模式进行模式调整，得到第二给料模式；
根据所述第二给料模式和所述剩余给料量生成第二原料定量控制策略。
7.根据权利要求6所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法，其特征在于，所述根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂，包括：
根据所述第二原料定量控制策略中的第二给料模式从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群；
控制所述第二加料点集群进行药液流量添加，并实时计算第二药液量；
对所述第二药液量和所述目标生产量进行比较，并判断所述第二药液量是否符合所述目标生产量；
若符合，则输出目标光阻剥离剂。
8.一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置，其特征在于，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制装置包括：
获取模块，用于获取待生产光阻剥离剂的配比数据和目标生产量，并根据所述配比数据和所述目标生产量设置第一原料定量控制策略；
添加模块，用于根据所述第一原料定量控制策略确定多个第一加料点集群，并控制所述多个第一加料点集群进行药液流量添加；
监控模块，用于对所述多个第一加料点集群进行药液流量添加状态监控，得到每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据，并根据每个第一加料点集群对应的药液流量状态数据确定第一药液量；
判断模块，用于根据所述目标生产量设置药液量阈值，并判断所述第一药液量是否超过所述药液量阈值，得到判断结果；
生成模块，用于根据所述判断结果和所述配比数据生成第二原料定量控制策略；
控制模块，用于根据所述第二原料定量控制策略从所述多个第一加料点集群中选取第二加料点集群，控制所述第二加料点集群进行药液流量添加并实时计算第二药液量，直至所述第二药液量符合所述目标生产量，得到目标光阻剥离剂。
9.一种基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备，其特征在于，所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备包括：存储器和至少一个处理器，所述存储器中存储有指令；
所述至少一个处理器调用所述存储器中的所述指令，以使得所述基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制设备执行如权利要求1-7中任一项所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法。
10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有指令，其特征在于，所述指令被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211532683.6A CN115617005B (zh) | 2022-12-02 | 2022-12-02 | 基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115617005A true CN115617005A (zh) | 2023-01-17 |
| CN115617005B CN115617005B (zh) | 2023-03-31 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211532683.6A Active CN115617005B (zh) | 2022-12-02 | 2022-12-02 | 基于光阻剥离剂生产的原料自动定量控制方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115617005B (zh) |
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| CN115617005B (zh) | 2023-03-31 |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |