TW200815778A

TW200815778A - Connector assembly, receptacle type connector, and interface apparatus

Info

Publication number: TW200815778A
Application number: TW096125376A
Authority: TW
Inventors: Shigeru Matsumura; Eiichiro Takemasa; Kazutaka Osawa; Hiroyuki Hama; Yuichiro Izumi
Original assignee: Advantest Corp; Tyco Electronics Amp Kk
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2007-07-12
Publication date: 2008-04-01
Also published as: DE102007044208A1; JP2008078048A; TWI336404B; CN101149395B; KR20080027446A; JP4275163B2; US7690944B2; KR100941703B1; US20080076298A1; CN101149395A

Description

200815778 九、發明說明：【發明所屬之技術領域】本發明係有關於用以將電 ^ ^ ^ A 乳電、、見和電路基板以電性i| 接之連接咨組合體、構成該 ^ 哭、β 7 連接為組合體的槽孔型連招口口以及在電子元件測試裝置中用 W ^ π μ ΛΛ 用Χ進仃測試頭和被測該電子兀件之間的以電性連接之中繼的介面裝置。【先前技術】

在半導體積體電路元件等之各 * UL I / 合禋電子70件（以下亦代表性地稱為I c元件）的萝避，盘、 ^ Ρ Μ 44 ^ 、、在被製入晶圓上之狀態或已被封裝的狀態測試iC元件一 /iL t 1卞 < 注此或功能而使用電子疋件測試裝置。此電子元件測試裝置使用處理器(Handier)或谓測器將IG元件和測試頭以電性連接，並利用測試器 (Tester)執行測試。在測試頭的上部’設置用以進行π元件和測試頭之間的電性連接之所謂的介面裝置（以下亦只稱為Hi — Fix或晶圓母板）。以往之Hi — Fix5,如第22圖所示，在最上部包括已 «具有複數個和H：元件之輸出人端子以電性接觸的接觸端子的插座99之插座板98，而且在最下部包括經由電軋電繞7和此插座板98以電性連接的中繼基板6，，電氣電境7之端部直接焊接於中繼基板6，。Hi — Fix5，經由此中繼電路板β ’和測試頭4以電性連接。為了提高測試之效率，在一個Hi — Fix設置複數個（例

2247-8995-PF 5 200815778 如32個、64個或128個）插座，而且從各插座引出很多條電氣電纜。因而，在製作Hi — Fix時，必須將好幾仟條的電氣電纜焊接於中繼基板，耗費很多工時而且需要熟練，具有亦成為Hi — Fix之價格昂貴的原因之一之課題。對這種課題，想到將中繼基板變更成可拆裝之連接器構造係有效。可是’在用以將插座板和中繼基板以電性連接之電氣電纜’例如包括用以傳送高速信號之同軸電纜、或用以供給電源或傳送低速信號的單線等之複數種電=電繞。。因而’必須準備對應於這些全部之電氣電徵的複數個連接益，而無法充分地降低Hi — Fix之價格。發明内容】體。X月之目的在於提供一種泛用性優異的連接器組合 b ::達成上述之目❸，若依據本發明，提供-種連接為、、且6體，其特徵在於·· 妾安裝於電氣電声之一古種電纜侧連接器，係辽電、、見之一方的端部；及中繼地連接該複數種雷，臨Μ 4 , 要係可拆裝硬數種電k侧連接器，該中合部，其係具有該全邱少絲* 埂接即具有弟一嵌狀。 σ #類的電纜側連接器可嵌合的形在本發明，將具有複數種電纜側的第一嵌合部执w M i 運接為可肷合之形狀入口邛，又置於中繼連接器。因而，器可應付複數種雷辨種中、、、k連接文双徑电乡見，而可JJ备你介 J降低；丨面裝置的價格。

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V 在該發明雖未特別限定，但是該複數種電纜側連接器包括：同轴連接器，係被安裝於由信號線及接地線所構成之同軸電魔的-方之端部；及單線連接器，係被安裝於單線之一方的端部，該中繼連接器之該第-喪合部具有係今同轴連接器可嵌合而且該單線連接器可後合的形狀較佳Γ 在該發明雖未特別限定，但是該中繼連接器具複數個該第一嵌合部的連#器本體較#。 0又在-亥毛明雖未特別限定，但是該同抽電覆係由信號及接地線所構成；該同抽連心、、' 連接之H端；運接益係具有㈣號線以電性所虎知子、以及該接地線以電性所連接的第—及第二接地端子；該單線連接器係具有3條單線各連接之H三單線端子較佳。 ^自H性所在該^雖未特靠定，但是該第—嵌 -〜弟二輸出端子;該同軸連 :、有弟的情況’該信號端子和該第—輸出二二 =部嵌合該第-及第二接地端子各自和錢’而且連接；該單線連接器係在 =輸4端子以電性第一〜第三單線端子弟—敗合部喪合的情況，該接較佳。 4第一〜第三輸出端子以電性連在該發明雖未特別限定，但是”山以固定和該第一嵌人八弟一嵌合部係具有用器的上鎖手段；該同軸連二：：：連接器或該單線連接鎖手段卡合所需之卡合突起較佳Γ早線連接器係具有該上在該發明雖未特別限定 ▲連接器的該連接器

2247-8995-PF 7 200815778 本體係具有電路基板以的第二嵌合部較佳。電性所連接之基板側連接器可嵌合孔1連接益，係都可接受連接纜之同軸電纜用插頭型連接哭另、查拉夕* 釉電一，、遷接°。及連接多條皁線的單線用插頭型連接器之任一者的摊3别嘗的槽孔型連接器。此槽孔型連接p (以

下只稱為槽孔）包括用以和同轴電繞用插頭型連㈣（以下只稱為同軸錢諸頭）進行f性連接之第__接觸點群及用以和早、㈣插㈣連接仏只稱為單線詩頭）進行電性連接的第—接觸點群。第—接觸點群包括信號用第— 接觸點及位於以信號用第—接觸點為中心之對稱位置的— .子接地用接觸點。X，第二接觸點群係包括該信號用第一接觸點及各自位於與該信號用第—接觸點等距離之2點的 -：信號用第二接觸點。又，本發明之槽孔包括用以保持該第-接觸點群及第n輯的絕緣外殼。此外，本發明之槽孔，從嵌合面看，第二接觸點群的各信號用第二接觸點係配置於以連接該一對接地用接觸點之直線為邊界的任一侧。在此’都可接受同軸電纜用插頭型連接器及單線用插頭1連接器之任一者，係意指在一個後合凹部，都可接受同軸電纜用插頭型連接器及單線用插頭型連接器之任一者。個別地包括接受同軸電纜用插頭之嵌合凹部和接受單線用插頭的嵌合凹部之形態除外。本發明藉由可利用絕緣外殼形成嵌合凹部，並在任一者嵌合凹部都配設第一接觸點群及第二接觸點群，而用一個嵌合凹部都可接受同軸電 2247-8995-PF 8 200815778 纜用插頭及單線用插頭。本發明之槽孔係藉由採用該構造，而兼具第一接觸點群之信號用第一接觸點兼具在第二接觸點群之一個信號用接觸點。即，本發明的槽孔係作為用一個嵌合凹部都可接受同軸電纜用插頭及單線用插頭之構造的元件，在第一接觸點群和第二接觸點群兼具一個信號用接觸點。如此，藉由減少接觸點數，而可使在嵌合凹部之該信號用接觸點的佔有面積變小。這意指可將接觸點高密度地配置於嵌合凹部，在排列複數個由第一接觸點群及第二接觸點群所^成之一單位的接觸點單元之情況，提供可使整體變成小型的权點又，藉由在第一接觸點群和第二接觸點群兼具信號用接觸點，而具有可使和該信號用接觸點連接之外部連接u 用接觸點變成一個的優點。這亦有助於槽孔變得小型。其次，在對應於同軸電纜用插頭的第一接觸點群，— 對接地用接觸點各自配置於以信號用第—接觸點為中心之對無的位置。在第—接觸點群，亦可將—對接地用接觸點及信號用接觸點各自配置於等腰三角形 =rr構造，在和同轴電規之間無二： =的匹配。因此，為了實現虛擬性同轴構造，而二用接觸點各自配置於以信號用第一接觸點為中冉、位置。作為虛擬性同軸構造，彳可採用彼此平行之板狀物。對接地用接觸點

用第第：Γ點群包括各自和與第—接觸點群兼用之信於用弟一接觸點等距離地配置的2個第二接觸點。其中，在U

2247-8995-PF 9 200815778 本叙明之槽孔’第二接觸點群的各信號用第置於以連接第一接觸點群之一觸^係配界之任一側。因此，在第_ 線為邊弟一接觸點群，&號用第— 和一對第二接觸點配置於算接觸點且％寺腰二角形之頂點。配置於任一側，係從嵌合面看而決定。，疋否在本發明之槽孔，信號用第一接觸點及各信一接觸點具有彼此相同的形狀較佳。為了減少零砮弟- 用插頭之3個接觸點係具有彼此相同的形狀較佳。田單線係連接對象之信號用第一接觸點及各信號：’ 係彼此相同的形狀較佳。昂—接觸點亦在此，構成第一接觸點群之信號用第一接觸點接地用接觸點需要彼此在電氣上獨立。又， _對點群之信號用第一接觸點和一對信號用第二接觸此在電氣上獨立。可是’第一接觸點群之接地用接觸第二接觸點群的信號用第二接觸點係彼此在電氣上連接亦 =妨。因此，在本發明之槽孔’對信號用第一接觸點位於同一側之接地用接觸點和信號用第二接觸點係一體地形成㈣。因為可比各自採用獨立之構件更減少零件數，所以可咼密度地構成接觸點單元。利用此構造，如後述所_ 可使接地迴路的影響變小。此外，藉由採用這種構造不而可將對4個接觸點之外部連接用接觸點集中成"。和上述之兼用信號用接觸點的-個外部連接用接觸點相加，共 3個外部連接用接觸點就夠了。本發明亦可採用包括複數個由該第—接觸點群及第二 2247-8995-PF 10 200815778 f觸點群所構成之接觸點單元的槽孔。在此情況，接觸點單疋交錯地排列成格子狀較佳。和差動傳送用連接器一樣，因為交互配置接地用接觸點和信號用接觸點之結果，可抑制高頻特性的降低。

本發明亦可作成都可接受連接同軸電纜之同軸電纜用插頭型連接器及連接多條單線的單線用插頭型連接器2任 =者的槽孔型連接器、及和該槽孔型連接器以電性連接之該同軸電纟览用插頭型連接器或該單線用插頭型連接器的連接器組合體。此槽孔亦可採用上述之任一種構造。° 又，為了達成上述之目的，若依據本發明，提供一、，丨面裝i，其係安裝於用以進行^皮測試電子元件之測試頭，並在該被測試電子元件和該測 ^地體二Γ:裝置，其特徵在於：包括該連接器組合 “、k連接g係在該介面裝置設置於和該測試頭相鄰雷：置；㈣氣電纜之另一端係和與該被測試電子元件以頭接觸的量測板以電性連接；該基板侧連接器

武頭以電性連接。々為/貝J 隹孩务明雖未特別限定個該第一嵌合邱，品〇 θ > …叫π 1 二^邛而且具有複數個該第二嵌合部較佳。在。亥發明雖未特別限定，但是包括器較佳。口邊〒龜連接在該發明雖未特別限定，但是該中繼該測試頭侧遠技吳你，安⑽有朝向、 °穴出的疋位銷；該測試頭侧連接^ 和該定位銷相對向之定位孔較佳。連心具有

2247-8995-PF 11 200815778 封裝的半導體=特但是該被測試電子元件係已電性連接之插座的插; 在該發明雖未特別限定，但是該被測試電子形成於晶®上的半導體元件；該量測板係⑽裝和該半= 體兀件以電性連接之彳貞測針的偵測卡較佳。 —為了達成上述之目的，若依據本發明，提供一種電子兀件測減衣置’其係用以進行被測試電子元件之測試的電子兀件測忒裝置’包括··測試頭，係在測試和該被測試電子it件以電性連接；及介面裝置，係安裝於該測忒頭，進灯該被測試電子元件和該測試頭之間的電性連接之中繼。【實施方式】以下，根據圖面說明本發明之實施形態。〈第1實施形態〉第1圖係表示本實施形態的電子元件測試裝置之整體的立體圖，第2圖係沿著第1圖之π — π線的概略剖面圖，第3圖係第1圖所示之電子元件測試裝置的後視圖。首先，參照這些第1圖〜第3圖概略說明本實施形態的電子元件測試裝置之整體構造° 本實施形態的電子元件測試裝置1如第1圖及第2圖所示，由以下之元件構成，處理器1 〇，係用以處理被測試 1C元件；測試頭4，係以電性連接被測試1C元件；以及測

2247-8995-PF 12 200815778 試器3’肖此測試頭4傳送測試信號，並執行被測試“元件的測試。處理器10係在對被測試IC元件施加高溫或低溫之熱應力的狀態將IG元件供給職頭4，並測試完了後根據其測試結果將1C元件分類的裝置，包括儲存部2⑽、裝载部 300、室部1〇〇以及卸載部4〇〇。將收容複數個被測試IC元件的訂製托盤儲存於儲存部200。在裝載部綱，將測試前之1(：元件從該訂製托盤換裝於測試用托盤（在處理器1〇内循環搬運的托盤）後，將該測試用托盤搬入室部1〇〇内。在室部1〇〇，在對ic元件 %加即疋之熱應力後，在被裝載於測試用托盤的狀態將各 IC=件壓在測試頭4，並使各IC元件以電性接觸插座99, 並實施ic元件之測試。將已測試之IC元件從室部1〇〇搬至卸載部400’並換裝於因應於測試結果的訂製托盤。此外，對於和以往之Hi — Fix相同之構造賦與相同的參照符號。在儲存部200設置：測試前IC儲存器2〇1，係儲存己收容測試前之IC元件的訂製托盤；&已測試ic儲存器 2〇2，係儲存己收容因應於測試結果所分類之〗c元件的訂製托盤。 ° 測試前1C儲存器201及已測試IC儲存器2〇2具有托盤支持框203、及在此托盤支持框2〇3内可昇降的升降機 204。在托盤支持框2〇3，堆疊並支持圖外之複數個訂製托盤，並可利用升降機204使這些訂製托盤進行上下動。

2247-8995-PF 13 200815778 製托子器別1將已收容測試前…件的訂試社果收^ '、、而’已測試1c儲存器202將因應於測 Π谷Γ試之IC元件的訂製托盤疊層並保持。儲存器201所儲存之訂製托盤被 ^=此托^旧將-前U元件從訂製托盤換

^載部300包括χγ搬運裳置3〇4，其係將被測試Ic 少彳之D丁製托盤換裝於測試用托盤。此XY搬運裝置304如第1圖所示’包括：2支軌道301，係架設於主機架1〇5上；可動臂302’係可利'此2支軌道3〇1在訂製托盤和測試用托盤之間往復移動(將此方向設為γ方向”以及可動頭 3〇3,係利用該可動f 3G2支持，並可沿著可動臂抓朝向 X方向移動。在此XY搬運裝置304之可動頭303,安裝可吸附並保持被測試1C元件的吸附頭。對可動頭3〇3安裝例如約8個及附頭久可將8個被測試1C元件從訂製托盤換裝於測試用托盤。在裝載部300之主機架105，鑽設一對窗部3〇6、3〇6，其被配置成被搬至該裝載部3〇〇的訂製托盤面臨主機架 105的上面。雖省略圖示，在各窗部306設置用以保持訂製托盤之保持用掛鉤，在訂製托盤之上面經由窗部3〇6面臨主機架105之表面的位置保持訂製托盤。此外’在各個窗部3〇6之下側，設置用以使訂製托盤昇降的昇降工作台。此昇降工作台使換裝測試前之1C元件

2247-8995-PF 14 200815778 而變成空的盯製托盤下降’並交給托盤移送臂2 〇 5。室部100由以下之構件構成，恒溫槽1〇1，係對被裝入測試用托盤的被測試1C元件施加目標之高溫或低溫的溫度應力；測試室102，係將在此恒溫槽1〇1被施加溫度應力之狀態的被測試1C元件壓在測試頭4 ;以及除熱槽 10 3，係從測试後之IC元件除去所施加的溫度應力。在恒溫槽1 01施加高溫的情況，在除熱槽丨〇3利用送風而冷卻被測試1C元件，使其回到室溫。又，在恒溫槽 101施加例如約一3(TC之低溫的情況，在除熱槽1〇3以暖風或加熱器等將被測試1C元件加熱而回到至約不會發生結露的溫度為止。然後，將該已除熱之被測試IC元件搬至卸載部400。如第2圖及第3圖所示，在構成測試室1〇2之底面的處理器10之底部11的約中央形成開口 Ua，在該開口 Ua 内連結被女裝於測試頭4之上部的jj丨—f丨χ $ a。

Fix5A的插座99上時，測試用托盤被搬至此Η 孕由

驅動裝置（未圖示）經由推桿（未圖示）將被測試ic元件壓在Hi —Fix5A，並使測試用托盤上之複數個被測試ic元件的輸出入端子以電性接觸插座99的接觸端子。然後，測試器3經由贼頭4向被測試1(：元件傳送賴信號，並執行被測試1C元件的測試。此測試結果例如儲存於根據測試用托盤所附加之識別號碼和在測試用托盤之内部所指派的被、’j式1C 70件之5虎碼所決定的位址。測試完了之測試用托盤’在除熱槽⑽使IC元件的溫度回到室溫後，被搬至卸

2247-8995-PF 15 200815778 載部400。在卸載部400,亦設置構造和設置於裳载部_之搬運裝置3G4相同的χγ搬運裝置綱。利用此χγ搬運裝置404’將已測試之IC元件從被搬至卸載部4 : 托盤換裝於訂製托盤。 H式用

在卸載部400之主機架1〇5,鑽設二對窗部4〇6、4〇6，其被配置成被搬至該卸載部⑽的訂製托盤面臨主機架 105的上面。雖省略圖示，在各窗部4〇6設置用以保持訂製托盤之保持用掛鉤，在訂製托盤之上面經由窗部權面臨主機架105之表面的位置保持訂製托盤。又，在各個窗部406之下側，設置用以使訂製托盤昇降的昇降工作台。此昇降工作台使裝滿已測試之ic元件的玎製托盤下降，並交給托盤移送臂2 〇 5。如第1圖所示，在儲存部2〇〇設置可在儲存器2〇1、 202上移動的托盤移送臂205，在裝載部300、卸載部4〇〇以及各儲存器2 01、2 0 2之間可移送訂製托盤。第4圖係表示本實施形態的H丨一 F丨X及測試頭的剖面圖’弟5圖係從下側看本實施形態的η j _ jT i X之平面圖，第6圖係表示本實施形態的元件側連接器、中繼連接器以及測試頭侧連接器之剖面圖，第7圖係表示本實施形態的中繼連接器之上部平面圖。本實施形態之Hi —Fix5A如第4圖所示，係藉由僅交換最上部的插座板9 8，而可應付被測試I c元件之種類更換的 SBC(Socket Board Change)型式者。此 Hi-Fix5A 如 2247-8995-PF 16 200815778 第4圖所示，經由設置於測試頭4之上部的測試頭側連接器41 (基板側連接器）及中繼連接器（槽孔）6安裝於測試頭 4之上部。 #

Hi — Fix5A如第5圖所示，具有複數個（在第5圖所示之例子為28個）中繼連接器6。這些中繼連接器6位於^ — Fix5A之最下部，以沿著Hi —Fix5A之内侧方向實質上1 平行地排列的狀態固定於框形之機架52。、各中繼連接器6具有如第6圖及第7圖所示之由絕緣 _ 材料所構成的大致角棒形的外殼61。在各中繼連接器6之外殼61的上面形成被安裝於電氣電纜7之端部的元件側連接器8嵌合之複數個嵌合孔6〇1。在本實施形態，沿著η —Fix5A之内側方向排成2行地配置複數個嵌合孔6〇ι。藉由將複數個嵌合孔601形成於一個中繼連接器6，而將中繼連接器6安裝於Hi — Fix5A的機架52之作業的作業性提而。又，中繼連接器6之維修時的作業性亦提高。又，藉由將中繼連接器6分割成複數個（在第5圖所示之例子為28個），和將全部之嵌合孔6〇1形成於一個中繼連接器的情況相比，因為可僅拆下成為維修對象之中繼連接器6等，所以中繼連接器6之維修作業性提高。在本貝施开> 態’如第7圖所示，在每一個中繼連接器 6，在Hi — Fix5A之内侧整個區域排成2行地排列交錯狀的複數個嵌合孔601。在此，在本發明未特別限定如此。例如，亦可在Hi —Fix5A之内側整個區域排成j行或3行以上地配置複數個嵌合孔6〇丨，或以m列η行配置例如爪仙

2247-8995-PF 17 200815778 以個嵌合孔60K其中，…都是自然數，至少—方係2 第8圖係從下方看本實施形態之槽孔6的立體圖。如弟8圖所示，槽孔（中繼連接器）6之外殼6ι由下部外和上部外殼63構成。槽孔6係都可接受同轴電缓所連^ 同軸電纜用插頭及3條單線所連接的單線用插頭之者。一槽孔6之各接觸點被壓入下部外殼並上部外殼63包括用以接受同軸 /、寺。又， ^ ^ ^ 』神兔、灰用插碩（同軸連接 1或早線用插頭（單線連接器）82之嵌合凹部mi。第9圖係表示下部外殼62之内部的邱八 < Μ α丨的部分立體圖，第 1〇圖係表示從嵌合面側看槽孔6的部分立體圖。如弟8圖及弟9圖所示，下部外私β 外设62包括底床621、及攸其周邊所立設的侧壁622，和底庆β9 和底床621相對向的面且有開放之箱形的形態。又，在下部、牡卜σ丨外豉62之底床621的下側’沿著底床6 21之長度方向來占瓦没万向形成矩形的外部連接點保持部624。较用接觸在下部外殼62，保持構成接觸一再取接觸點早疋Μ之接觸點。接觸點單元β 4意指為了和@ f 4 T U釉電缆用插碩及單線用插頭之任一者都嵌合所需的接觸 0一 μ 啁點之集合早位。一個接觸點早兀64由信號用第一接觸點丧碉點641 (643c)、接地用接觸點 642a、642b、信號用第二接觸戥_ 按觸”、、占镬觸點643a、643b之共5個接觸點構成。在此，細節將後述，传赛琥用弟一接觸點641 (643c) 由一個接觸構件65構成。又，拉仏^ 再风又，接地用接觸點642a和信號

2247-8995-PF 18 200815778 用第二接觸點643a'及接地用接觸點642b和信號用第二接觸點643b，各自利用一體之接觸構件66構成，而成為、同一形狀。因此，5個接觸點利用利用3個接觸構件構成。這5们接觸點由從底床621立設至既定之高度為止的間壁 623匕圍。此接觸點單元64可和後述之同轴電纜用插頭η 及單線用插頭82之任-者都嵌合。同軸電麗用插頭8 j和 L唬用第一接觸點64卜接地用接觸點642&、以電性連接。又，單線用插頭82和信號用第一接觸點W允及信 5虎用第二接觸點643a、643b以電性連接。在第11圖表示構成信號用第一接觸點641 (643c)之第接觸構件65的立體圖。第一接觸構件65係藉由將金屬板鑽孔及彎曲而一體地形成。第一接觸構件65在其一端包括成為信號用第一接觸點641 (6430之一對彈性片651、652。彈性片651、652在其基部利用u字形之連結部653相連接。彈性片651、652 具有，此朝向另一方彎曲的部分，而構成夾子狀的接觸點。藉由在彈性片651、652之間插入對方側之接觸點，而信號用第一接觸點641 (643c)和對方侧接觸點以電性連接此對方側接觸點係後述之同軸電纜用插頭8〗的信號用接觸點或單線用插頭82的信號用接觸點。從連結部653往第一接觸構件65之另一端形成延長部 654。延長部654貫穿下部外殼62之底床62卜因此，在底床621形成延長部654所貫穿之貫穿孔。在連結部和延長部654之間形成壓入部655，此壓入部655被壓入

2247-8995-PF 19 200815778 :貫穿孔。貫穿底“21之延長部654係沿著外部連接月點=保持冑624配置’而其—部分構成外部連接用接淘在第12圖表示構成接地用接觸點642a(6伽和㈣々用第二接觸點643伽)之第二接觸構件Μ的立體圖: :成接觸構件66 #係藉由將金屬板鑽孔及彎曲而一體地第二接觸構件66在其-端包括成為信號用第二接觸點643a(643b)之-對彈性片66卜662。彈性片661、662 在其基部制u字形之連結部663相連接。彈性片66卜 662具有彼此朝向另一方彎曲的部分，而構成夾子狀的接觸點。藉由在彈性片661、662之間插入對方側之接觸點，而h號用第二接觸點643a(643b)和對方側接觸點以電性連接。此對方側接觸點係後述之單線用插頭82的信號用接觸點。此外，信號用第二接觸點643a(643b)構成和信號用第一接觸點641 (643c)相同的形狀。和單線用插頭82之3個 "fa號用接觸點係同一形狀對應。第二接觸構件6 6包括板狀物6 6 4。板狀物6 6 4在由下部外殼6 2保持第二接觸構件6 6之狀態，構成接地用接觸點642a(642b)。對方侧接觸點和板狀物664以電性連接。此對方側接觸點係後述之同軸電鐵用插頭81的接地用接觸點812或接地用接觸點813。如第12圖所示，彈性片661、662和板狀物664 —體地形成。因此，信號用第二接觸點643a( 643b)和接地用接 2247-8995-PF 20 200815778 觸點642a(642b)在槽孔6之中彼此以電性連接。從板狀物664往第二接觸構件66之另一端形成 665。延長部665貫穿下部外殼62之底床62卜因此广在底床621形成延長部665所貫穿之貫穿孔。在連結部咖和延長部咖之間形成壓入部666，此壓入部咖被壓入該貫穿孔。貫穿底床621之延長部665係沿著外部連接接觸點保持部624配置’而其一部分構成外接點645。牧閑徒第9®帛π圖以及第12圖得知，接觸點單元μ 由一個第-接觸構件65及2個第二接觸構件⑽構成。如此，槽孔6因為能以2種接觸構件構成接觸點單元6 :可::零件數。因此，各接觸點高密度地配置於接觸點 I:: 古而可小型地構成槽孔6整體。又，藉由減少零件數，亦有助於降低價袼。第-接觸構件65的延長部咖及第 =長部叫自貫穿下部外殼62的底床621，並^著: ::用接觸點保持部624配置。如第8圖所觸接之延長部654構成第一外部連接用接觸點⑷。又觸構件645。=^之延長部665構成第二外部連接用接觸觸點644及2 /早^ 64變成包括一個第一外部連接用接一外部連接用^舖弟二外部連接用接觸構件⑽。又，以第接用接觸構件為中心配置’將2個第二外部連側。利用這^ ==於第一外部連接用接觸點⑷的兩二卜連接用接觸·點…、645、645,構成和

2247-8995-PF 21 200815778 > 測4頭側連接器41之嵌合孔42嵌合的輸出端子6〇2。因為對應於5個（總共6個）接觸點之外部連接用接觸構件係 3個就夠了，所以在長度方向小型地形成槽孔6。在第9圖，信號用第一接觸點641 (643c)將夾子狀之接觸點部分配置成朝向外61 &寬度方向開閉。信號用第二接觸點643a、643b亦一樣。若採用朝向下部外殼62之長度方向開閉之構造，需要使長度方向的尺寸變長。因此，槽孔6為了使長度方向的尺寸變短，而將夹子狀之接觸點部分配置成朝向外殼61的寬度方向開閉。這是由於考慮到在夾子狀之接觸點部分打開的狀態，需要對應之空間。接地用接觸點642a、642b配置成彼此平行。而且，接地用接觸點642a、642b配置成其平面和外殼61之寬度方向平行。在接地用接觸點642a和接地用接觸構件642b之間的中央，配置信號用第一接觸點641。如第10圖所示，上部外殼63包括包圍周圍的側壁儀 631，構成大致箱形之形態。上部外殼63朝向其長度方向及寬度方向形成複數個間壁632。同軸電纜用插頭81或單線用插頭82利用間壁632引導至嵌合位置，且防止倒下。又，藉由以側壁631及間壁632包圍，而上部外殼63包括複數個由長方體之空間所構成的嵌合凹部6 〇丨。嵌合凹部 601，即各接觸點單元64以格子狀交錯地排列於上部外殼 63。一個嵌合凹部6〇1對應於一個接觸點單元64。在各嵌合凹部6 01 ’插入並嵌合後述之同軸電纜用插頭8〗或單線用插頭82。 '

2247-8995-PF 22 200815778 上部外殼63包括底床633。底床633將該長方體之空間和下部外殼62隔開。其中，在底床633形成貫穿孔 633a〜633c。貫穿孔633a對應於信號用第一接觸點641 (643c)。信號用第一接觸點641 (643c)之上部前端位於貫穿孔633a 内。同軸電纜用插頭81之信號用接觸點811(參照第14圖）貫穿此貫穿孔633a並和槽孔6的信號用第一接觸點641以電性連接。又，單線用插頭82之信號用接觸點823(參照第16圖）貫穿此貫穿孔63 3a並和槽孔6的信號用第一接觸點643c(641)以電性連接。貫穿孔633b對應於信號用第二接觸點643a(643b)。因此，在一個嵌合凹部601形成2個貫穿孔633b。信號用第二接觸點643a、643b之上部前端位於貫穿孔633b内。單線用插頭82之信號用接觸點821、822貫穿此貫穿孔633b 並和槽孔6的信號用第二接觸點643a、643b以電性連接。 _ 貫穿孔633c對應於接地用接觸點642a、642b。因此，在一個嵌合凹部601形成2個貫穿孔633c。接地用接觸點 642a、642b之上部前端位於貫穿孔633c内。同軸電纜用插頭81之接地用接觸點812、813貫穿此貫穿孔633c並和槽孔6的接地用接觸點642a、642b以電性連接。在上部外殼63之侧壁631，朝向嵌合凹部6〇1的内部形成卡合爪634。此卡合爪634如後述所示，係用以使同軸電纜用插頭81或單線用插頭82之嵌合變得確實的。第13圖係在模式上表示構成一個接觸點單元μ之信

2247-8995-PF 23 200815778 號用第一接觸點641(643c)、接地用接觸點642a、642b、以及仏號用苐一接觸點6 4 3 a、6 4 3 b的配置圖。此配置係從槽孔6之嵌合面侧看的。如第13圖所示，以信號用第一接觸點64丨為中心將接地用接觸點642a、642b配置於彼此對稱的位置。因此，信號用第一接觸點641 (643c)和接地用接觸點642a、 642b(642c)配置於直線上。信號用第一接觸點641及接地用接觸點642a、642b構成和同軸電纜用插頭81以電性連 _ 接之第一接觸點群。 #號用第一接觸點643c(641)及信號用第二接觸點 643a、643b構成和單線用插頭82以電性連接的第二接觸點群。在第二接觸點群，信號用第二接觸點643a、643b各自位於與信號用第一接觸點643c等距離的2點。因此，連接信號用第一接觸點643c及信號用第二接觸點643a、643b 之各個的中心時，形成等腰三角形。此等腰三角形包括正三角形。又，在第13圖，第二接觸點群之各信號用第二接觸點 643a、643b配置於以連接第一接觸點群的信號用第一接觸點641及各接地用接觸點642a、642b之直線為邊界的任一側。此要件排除信號用第二接觸點643a、643b與信號用第一接觸點641及各接地用接觸點642a、642b配置於一直線上的情況。因為全部的接觸點配置於一直線上時，配置方向之長度變成過長。又，此要件排除信號用第二接觸點 643a、643b配置成隔著連接信號用第一接觸點641及各接 2247-8995-PF 24 200815778 地用接觸點642a、642b之直線的情況。因為接地用接觸點 642a和L號用第一接觸點643a、及接地用接觸構件“zb 和信號用第二接觸點643b各自用一體的接觸構件66構成，所以無法採用那種配置。如以上所示配置信號用第一接觸點641 (643c)、接地用接觸點642a、642b、以及信號用第二接觸點643a、643b 之槽孔6，都可接受同軸電纜用插頭8i及單線用插頭82 之任一者。 m 其次，如第13圖所示，一個接觸點單元64之連接接地用接觸點642a、642b的直線和連接信號用第二接觸點 643a、643b之直線係平行。又，接地用接觸點642a、642b 及#號用第二接觸點6 4 3 a、6 4 3 b位於矩形的頂點。即，在接觸點單元6 4 ’將5個接觸點高密度地配置於矩形之區域内。槽孔6之第一接觸點群和第二接觸點群共用信號用第 _ 一接觸點641 (643c)。當然，亦可個別地設置信號用第一接觸點641和信號用第一接觸點643c。可是，這樣的話信號用第一接觸點641和信號用第一接觸點643c之佔有面積增加，而嵌合凹部對一個接觸點單元變大。因此，槽孔6 藉由共用信號用第一接觸點641和信號用第一接觸點 643c，而可高密度地配置各接觸點。又，此共用有助於減少槽孔6之零件數，而且可將外部連接用接觸構件合併成一個。在本實施形態之電氣電纜7包括用以傳達高速信號的 2247-8995- PF 25 200815778 同軸魏7卜或“供給電源或傳送低速㈣的單線72 等。第14圖係表示同軸電纜用插頭81之外觀的立體圖。又’第15圖係表示同軸電㈣插頭81之主要部分的立體圖。如第14圖及第15圖所示，同轴電繞用插頭81安裳於同軸電纜71。同軸電纜71如周知般，由中心導體7ι卜包圍中心導冑711之周圍的電介質712、包圍電介質712之周圍的外部導體713、以及包圍外部導體713之絕緣體外皮714構成。同轴電纜用插頭81包括信號用接觸點811和

用接觸點812、813。信號用接觸點811和-對接地用接觸點812、813的位置關係係和槽孔6之該第一接觸點群一樣。即，以信號用接觸點811為中心將接地用接觸點“I 813配置於彼此對稱的位置。又，各自由板狀物所構成之接地用接觸點812、813配置成其平面彼此平行。採用接地用接觸點812、813如此地各自設為板狀物，且夾住信號用接觸點811之構造，係為了使同軸電㈣和特性阻抗儘量匹配’而設法使同軸電纜用插頭81在電氣上和同軸構造等價。槽孔6亦對應於接地用接觸點812、813，而將接地用接觸點642a、642b設為板狀物。

4唬用接觸點811和一對接地用接觸點812、813被由絕緣材料所構成之外殼814保持。在外殼814的内部，設置用以收容信號用接觸點811等之構件的空間。在外殼814 2247-8995-PF 26 200815778 的内部，這些接觸點確保和同軸電規71之電性連接。信號用接觸點川經由與其以電性連接之“導體連接片^ 和同軸電親71之中心導體711以電性連接。又，接地用接觸點812、813經由與其以電性連接之外部導體連接片816 和同軸電纜7!之外部導體713以電性連接。外部導體連接片816藉由圖中之其底部及頂部和將外般814内部之該* 間隔開的壁抵接，而即使同軸電纜71彎曲，亦防止因追：之而產生的信號用接觸點811及接地用接觸點M2、8 相對位置的移動。同軸電㈣插頭81成為外部導體713分支成2個接地 2觸點812、813之構造。又，分支之槽孔6的2個接地用接觸點642a、642b右总梯7丨λ 扎有在係槽孔6之外部且在第二外部遠接用接觸構件645的前面集中成一條電氣路徑之情況。在此情況’因為接地用接觸點812和接地用接觸點6.、及接地用接觸點813和接地用接觸構件6傷以電 :形成接地迴路。槽孔6如上述所示，將各接觸點高J 地配置於接觸點單元64内，更具體而言，起的雜訊。之門k小，所以可減少接地迴路所弓i 又，m16圖係表示單線用插頭82之外觀的立體圖。如第=係表示單線用插頭82之主要部分的立體圖。單線72 μΓΓ，早線㈣頭82安裝於3條單線72。早綠U如周知般，由信號導周圍的絕緣體722構成1 圍㈣導體721之體722構成。早線用插頭82包括3個信號用接

2247-8995-PF 27 200815778 觸點821〜823。3個信號用接觸點821〜823的位置關係係和槽孔6之該第二接觸點群一樣。即，信號用接觸點821、 822各自位於與信號用接觸點823等距離的2點。因此，連接信號用接觸點821〜823之各個的中心，並從嵌合面看時形成等腰三角形。

信號用接觸點821〜823被由絕緣材料所構成之外殼 824保持。外殼824的嵌合部具有和同軸電纜用插頭81之外殼814的嵌合部相同之外形形狀。槽孔6係用以都接受同軸電纜用插頭81及單線用插頭82之任一者的。其中，在此所指的相同，係同軸電纜用插頭81及單線用插頭Μ 可嵌合之程度的相同性，不是要求至物理上完全相同。在外殼824的内部，這些接觸點確保和單線72之電性連接。偵號用接觸點821 (822、823)經由與其以電性連接之信號導體連接片826和單線72之信號導體721以電性連接。又，藉由利用信號用接觸·點821及和信號導體連接片 826 -體地形成之^字形的絕緣體保持部827將單線^之絕緣體722填隙，而將信號用接觸點821和單線72堅固地接合。又，和信號用接觸點821等_體地形成之口字形的安定構件828和上述之外部導體連接片816 _樣，防:作號用接觸點821〜823之相對位置的移動。 " 又，在外殼824之外周形成卡合突起〇 CD 〇政匕- 起825，在單線用插頭82和槽口 j “扎b肷合時，藉由殼63之卡合爪634卡合， " 防止早線用插碩82脫離榍 6。此外’雖未圖示，在同軸電縵用插帛81亦和單線用

2247-8995-PF 28 200815778 頭82 —樣地形成卡合突起。而，在將同軸電纜用插頭81和槽孔6嵌合的情況，將同軸電纜用插頭81從已形成信號用接觸點81丨和一對接地用接觸點812、813之側插入槽孔6之利用上部外殼6 3所形成的嵌合凹部601。於是，槽孔6之信號用第一接觸點 641和同轴電纜用插頭81的信號用接觸點811接觸。又，槽孔6之接地用接觸點642a和同軸電纜用插頭81的接地用接觸點812接觸，且槽孔6之接地用接觸點642b和同軸 ® 電纜用插頭81的接地用接觸點813接觸。另一方面，在將單線用插頭82和槽孔6嵌合的情況，將單線用插頭82從已形成信號用接觸點821〜823之側插入槽孔6之利用上部外殼6 3所形成的嵌合凹部6 〇 1。於是，槽孔6之信號用第一接觸點643c和單線用插頭82的信號用接觸點823接觸。又，槽孔6之信號用第二接觸點643a 和單線用插頭82的信號用接觸點821接觸，且槽孔6之信號用第二接觸點643b和單線用插頭82的信號用接觸點822 攀接觸。以上之槽孔6包括和同軸電纜用插頭81以電性連接之第一接觸點群及和單線用插頭8 2以電性連接的第二接觸點群都可接受同軸電纜用插頭81和單線用插頭之任一者。同軸電纜用插頭81以信號用接觸點811為中心使接地用接觸點812、813位於彼此對稱的位置。另一方面，槽孔 6以信號用第一接觸點641為中心使接地用接觸點642a、

2247-8995-PF 29 200815778 642b位於彼此對稱的位置。而且，接地用接觸點8i2、8i3 及接地用接觸點642a、642b由具有既定之表面積的板狀物構成。以上之構造有助於同軸電纜用插頭81及槽孔6和同軸電纜71之特性阻抗的匹配。在槽孔6，信號用第一接觸點641和信號用第一接觸點643c由一個第一接觸構件65構成，且接地用接觸點 642a(642b)和信號用第二接觸點643a(643b)由一個第二接觸構件66構成。如此，因為槽孔6可用2種接觸構件構成，所以可減少構成一個接觸點單元64之零件數。因此，可高被度地配置構成接觸點單元64之各接觸點，在配置複數個接觸點單元64的情況，可使槽孔6整體變成小型。又，因為槽孔6利用一個第一接觸構件65和2個第二接觸構件66構成接觸點單元64，所以對一個接觸點單元 64, 3個外部連接用接觸構件就夠了。這亦有助於槽孔6 的小型化。 § 又，槽孔6將各接觸點配置於接觸點單元64之矩形區域内目此’可將和此接觸點單元64嵌合之同軸電纜用插頭81及單線用插頭82的外般814、824設成㈣合部之形狀係矩形且同一外形形狀。料，因為槽孔6將各接觸點單元64交錯地排列成格狀又互配置接地用接觸點和信號用接觸點之結果，亦具有抑制高頻特性降低的效果。此外，在本實施形態之中繼連接器（槽孔）6的嵌合孔相田於在本發明之第一嵌合部，在本實施形態的中繼

2247-8995-PF 30 200815778 連接=之輸出端子6G2相當於在本發明之第二嵌合部。 _ =上所示，在本實施形態，插頭81和單線用插碩82之雙方和中繼連壙《"早爭人，m 連接器6的第-嵌合部601可可降低—㈣的價格，6應付-數種魏，所以 :’藉由同_用插頭81和單線用插頭82之雙方和中繼連接器6的第一嵌合部6〇1 電_ 7和以往之中繼基板6,：，而顯著減輕將日χ ν、基板6連接的作業之負擔，而連接作業。早線就可對中繼基板進行 ,回到第6圖’在各中繼連接器6之外殼61的下側兩端 I -置朝向下方突出的導銷6〇3。又，在設置於測試頭4 之上部的測試頭侧連接1 41之上側兩端部，亦以和導銷

_相對向之方式形成導孔43。在將Hi —Fix5^裝於測试頭4時，藉由將導銷6〇3引導至導孔43,而可使η — Fix5A易於對測試頭4定位。此外’亦可將導孔設置於中繼連接器6，並將導銷設置於測試頭側連接器41。此外，如該圖所示，在各中繼連接器6之外殼61的下側兩端部，形成從下側側面向上側側面貫穿之貫穿孔6〇4，在機架5 2之對應於此貫穿孔⑽4的位置亦形成固定孔 52b。而且，藉由經由貫穿孔6〇4將螺栓鎖在固定孔 52b，而可將各自之中繼連接器6固定於機架52。回到第4圖，在固定複數個中繼連接器6之機架52的上部，經由沿著z軸方向可稍微上下動的間隔柱52a，設

2247-8995-PF 31 200815778 置間隔機架93。在此間隔機架93之上部，經由副插座板間隔片95 ^ 置副插座板96。此外，在該副插座板96之上部，γ 1叹一，上卟，經由插座板間隔片97設置插座板98。而’在中繼連接器6和副插座板96之間，利用電氣電 f 7連接。在電氣電纜7之下侧的端部，安裝元件側=接态8。此元件側連接器8和中繼連接器6之嵌合孔。拆裝地連接。另一方面，電氣電纔7之上侧的端部，利^ 焊接等和副插座板9 6直接連接。第18圖係表不在本實施形態之元件側連接器、中繼連接器以及測試頭側連接器的部分立體圖。如第18圖所示，元件側連接器8和中繼連接器6之嵌合孔601拔合時，元件侧連接器8之各端子和中繼連接甘器 6的輸出端子602以電性連接，χ，中繼連接器6之輪^ 端子602和測試頭側連接器41的嵌合孔42嵌合時，Hi〜

Fix5A和測試頭4以雷性彳束技。+ 尾性連接此外，測試頭側連接器41 雖未特別圖示，和被收客邱俽叹合邛於測斌碩4内之端子電子元件以電性連接。在本實施形態，因為採用中繼連接器6並替代以往之 t繼基板6’ ，所以盔電裔雷声7 > ”、、电孔冤繞7之端部的焊接作業，易於製作H i ~ F i X 5 A。如第4圖所示，.在副插庙4 j棚尾扳96上設置t繼端子961，利用此中繼端子961將副插丁 η面座扳96和插座板98之間以電

性連接。 2247-8995-PF 32 200815778 此外，為了便於說明，雖然在第4圖僅圖示2組插座板98,但是實際上例如以4列16行之排列配置64個插座板9 8 〇在各插座板98的上部，設置具有複數個接銷（未圖示）的插座99 ’在該插座99之周圍設置插座導件991。此外，插座導件991係在使被測試IC元件以電性接觸插座99的接觸銷時，用以將該1C元件定位的引導手段，根據情況可省略。 _ 、在以上之第1實施形恶，雖然說明將本發明應用於Μ。型式的Hi — Fix之例子，但是未特別限定如此，亦可將本發明應用於以下所示之各種型式的Hi — Fix。〈第2實施形態〉第19圖係表示本發明之第2實施形態的Hi — Fix及測试頭的剖面圖。本實施形態之Hi —Fix5B如第19圖所示，係藉由更換 _ 最上部之DSA(DeVice Specific Adapter)9〇而可應付被測試ic元件之種類更換的CLS(Cable Less)型式之— Fix。此Hi —Fix5B如第19圖所示，由安裝於測試頭4之上部的母板51和安裝於該母板51之DSA90構成。本實施形態之Hi — F i x5B從插座99至間隔架93為止作為DSA90 —體地構成，在DSA90利用連接器92可自母板 51拆裝上，和第1實施形態之Hi —Fix5A相異。 DSA90將間隔架93設置於性能板91之上部，又在其上部經由插座板間隔片97設置插座板98而構成。將插座 2247-8995-PF 33 200815778 99組裝於插座板98上。性處板91和插座板9 8之在性能板91，為了和母板51 連接器92。此連接器92的一的端部。間利用連接板9 4連接。又，拆裝分離而設置多對成對的方安裝於電氣電纜7之_側和第1實施形態一休 —壯一 … 側的端部女裝兀件侧連接器8。在本實施形態之Hi —ηχ5Β的最下

:’以沿著Hi-Fix5B之内侧方向實f上平行地排列=狀態設置在第1實施形態已詳細說明之複數個中繼連接器 6。在各中繼連接器6的嵌合孔60卜可拆裝地連接元件侧連接器8。元件側連接器8和中繼連接器6之嵌合孔6〇1嵌合時，7G件侧連接器8的各端子和中繼連接器6之輸出端子 602以電性連接，又中繼連接器6的輸出端子6〇2和測試頭側連接器41之傲合孔42嵌合時，Hi —Fix5B和測試頭4

以電性連接。〈第3實施形態〉第20圖係表示本發明之第3實施形態的Hi_Fix及測試頭的剖面圖。本實施形態之Hi —Fix5C如第20圖所示，係每次進行被測試ic元件之種類更換，就更換Hi —Fix5C整體之 CCN(Cable Connection)型式之 Hi — Fix。此 Hi —pix5c 在該Hi —Fix5C完全無可分離處上，和第1實施形態或第2 實施形態的Hi —Fix5A、5B相異。 2247-8995-PF 34 200815778 在此Hi-Fix5C之最下部，以沿著Hi —仏5(：之内侧方向實質上平行地排列的狀態設置在帛i實施形態已詳細說明之複數個中繼連接器6。在各中繼連接器6的嵌合孔 6〇1’可拆裝地連接被安裝於電氣電繞7之端部的元件側連接器8。電氣㈣的端部制焊接和插座板98直接連接。將插座99組裝於插座板98上。在本實施形態，因為直接連接中繼連接器6和插座板98，所以可確保高品質的測試性能。 ' 凡件侧連接器8和中繼連接器6之嵌合孔6〇1嵌人時’元件側連接器8的各端子和中繼連接器6之輸出端； 602以電性連接，又巾繼連接器6的輸出端子602和測試頭側連接器41之嵌合孔42後合時，Hi —ηχ5(：和測試頭4 以電性連接。在以上所說明之第卜第3實施形態’因為藉由採用中繼連接器6並替代以往之中繼基板6，，而無電氣電麗？之端部的焊接作業，所以可易於製作Hi_Fix5A5c。 …又，在採用以往之中繼基板6，㈣況，需要預先設计電路配線並製作專用的基板。❿，本實施形態，藉由對中繼連接6選擇性地連接元件側連接器8，而可裝入任意的電路配線。又，在修理或更換以往之中繼基板6，的情況，必須 T下已桿接處，作業性變差。而，在本實施形態，因為只疋攸中繼連接H 6拆裝元件側連接器8，就可修理或更換

2247-8995-PF 35 200815778 中繼連接器6，所以維修性優異。又’在採用以往之中繼基板6,的情況，因為通孔等而發生阻抗的不匹配，所以高頻信號之傳達特性變差。而，在本實施形悲，因為未使用電路板，所以可抑制阻抗的不匹配。又，因為同軸電纜用插頭81和單線用插頭82的雔方可和中繼連接器6之第—後合部6G1嵌合，所以可降低又^ 一 Fix5A〜5C的價袼。在以上之第1〜第3實施形態，雖然說明將本發明應用於用以測試已封裝之狀態的IC元件，但是未持別限定如此，亦可將本發明應用於用於以下所示之以被製入晶圓上的IC元件為測試對象之測試的晶圓母板。〈第4實施形態〉第21圖係表示本發明之第4實施形態的晶圓母板及測試頭的剖面圖。藝在本發明之電子元件測試裝置，係用以測試在晶圓f 上所形成之1C元件的裝置，包括··測試頭4，經由電纜（未圖不）和測試器（未圖示）以電性連接；偵測卡2000，和晶圓W上之被測試Ic元件以電性連接；以及偵測器⑽㈣，將晶圓W壓在偵測卡2000。偵測卡2000如第21圖所示，經由晶圓母板（介面装置）1 000和測試頭4以電性連接。此偵測卡2〇〇〇包括：多支偵測針21 〇〇，和晶圓w上之I c元件的輸出入端子以電性連接；印刷基板2200，已組裝此偵測針21 〇〇 ;以及

2247-8995-PF 36 200815778 ZIFUero Insertion Force)連接器23〇〇，用以將偵測卡 2000和晶圓母板i 000以電性連接；以及補強件24〇〇，用以將偵測卡2000補強。 ’由環形之卡保持器3100 口面臨下方，又此卡保持此偵測卡2000如第21圖所示保持成使镇測針21 0 0經由中央開器3100被環形之轉接器3200夹緊。

晶圓母板1000安裝於測試頭4之下部，而ZIF連接器 1200設置於此晶圓母板1000的最下部。從zif連接器12〇〇引出多條電氣電纜11 〇〇，在各電氣電纜丨丨〇〇之上侧的端部，和第1實施形態-樣，安震於元件侧連接器13〇〇。此外，作為電氣電鐵11GG，例如可列舉用以傳達高速信號的同軸電纜、或用以供給電源或傳送低速信號的單線等。在晶圓母板1_之最上部，沿著晶圓母板ig〇〇之内侧方向以實質上平行地排列的狀態設置和在第！實施形離已詳細說明之中繼連接H 6 —樣的複數個中繼連接器 1400。在各中繼連接器14〇〇之嵌合孔，可拆裝地連接被安裝於電氣電纜1100的端部之元件側連接器13〇〇。在本實施形態，和第卜第3實施形態相異，各中繼連接器1400的輸出端子15〇〇以可和設置於測試頭4之最下部的測試頭側連接器41之嵌合孔嵌合的方式向上方突出。兀件側連接器1300和中繼連接器1400嵌合時，元件側連接器1300的各端子和中繼連接器14〇〇之輸出端子 1500以電性連接，又中繼連接器14〇〇的輸出端子和測試頭側連接器41嵌合時，晶圓母板！刚和測試頭4以

2247-8995-PF 37 200815778 電性連接。在以上所說明之第4實施形態，因為藉由採用中繼連接益1400’而無電氣電纜11〇〇之端部的焊接作業，所以可易於製作晶圓母板1W。因又，藉由對中繼連接器應選擇性地連接S件側連接器測，而可裳人任意的電路配線。又，因為只是從中繼連接器14〇〇拆裝元件側連接器 1 300,就可修理或更換中繼連接器14Q()，所以維修性優显。

此外，在本實施形態’因為未使用電路基板，所以可抑制阻抗的不匹配。又’因為同軸電纜用插頭和單線用插頭之雙方可和中繼連接器剛的第—嵌合部嵌合，所以可降低晶圓母板1 0 〇〇之費用。 ;此外’以上所說明之實施形態係為了易於理解本發明而記載者，不是用以限定本發明而記載的。因此，在上述之各實施形態所揭示的各元件’係、亦包括屬於本發明之技術性範圍的全部之設計變更或對等物。在本發明’不論直接或間接’只要插座板98和電氣電 7以電性連接即可。例如’如帛i實施形態之sbc型式或第2實施形態的CLS型式所示，即使在插座才反98和電^ 電緵7之間插人中繼端子961或連接器92，而間接地連接插座板98和電氣電繞7,亦可應用本發明。又，如第3實施形恶之CCN型式所示，在直接連接插座板98和電氣電纜 7的情況亦可應用本發明。 f 入户…、5凡7L什1則運接琴 8 ^ 中繼連接器6之傲合孔601，但是在本發明未特別限定 2247-8995-PF 38 200815778 例如’亦能以將嵌合孔設置於元件側連接器8，而且將突出4 "又置於中繼連接器6的上面，並將中繼連接器6插入元件側連接器8之方式構成。樣地’在上述之實施形態，雖然說明中繼連接器6 之突出的輸出端子6〇2插入測試頭側連接器41之嵌合孔 42 ’但疋在本發明未特別限定。例如，亦能以將嵌合孔設置於中繼連接器6之下面，而且將突出部設置於測試頭侧連接益41，並將測試頭侧連接器41插入中繼連接器6之響方式構成。【圖式簡單說明】第1圖係表示本發明之第1實施形態的電子元件測試裝置之整體的立體圖。第2圖係沿著第i圖之II _ n線的概略剖面圖。第3圖係第丨圖所示之電子元件測試裝置的後視圖。第4圖係表示本發明之第j實施形態的Hi —及測 5式頭的剖面圖。第5圖係從下側看本發明之第i實施形態的Hi — f“ 之平面圖。圖係表示本發明之第i實

’〜尔 1 貝咬《V 器中繼連接器以及測試頭側連接器之剖面圖。第7圖係表示本發明之第i實施形態的中繼連接上部平面圖。 ° < 弟8圖係表示本發明之實施形態的槽孔之從底面方u 向

2247-8995-PF 39 200815778 的立體圖。第9圖係表示本發明之實施形態的槽孔之下部外殼的部分立體圖。第10圖係表示本發明之實施形態的槽孔之從平面方向的部分立體圖。第11圖係表示本發明之實施形態的槽孔所使用之接觸構件的立體圖。第12圖係表示本發明之實施形態的槽孔所使用之接觸構件的立體圖。第13圖係表示本發明之實施形態的槽孔之接觸點的配置圖。第14圖係表示和本發明之實施形態的槽孔嵌合之同軸電纟覽用插頭的立體圖。第15圖係表示第14圖所示之同軸電纜用插頭的主要部分之立體圖。第16圖係表示和本發明之實施形態的槽孔嵌合之單線用插頭的立體圖。、卜 ®係表示第1 〇圖所示之單線用插頭的主要部分之立體圖。第1 8圖係表示本發明之第1實施形態的元件侧連接器中、連接器以及測試頭側連接器之部分立體圖。第19圖係表示本發明之第2實施形態的Hi — Fix及測試頭的剖面圖。第2 0圖係砉+ 士於nn 表不本餐明之第3實施形態的Hi —Fix及測

2247-8995-PF 40 200815778 試頭的剖面圖。 4實施形態的晶圓母板及测第21圖係表示本發明之第試頭的剖面圖。第2 2圖係表示以往之

Hi — Fix及測試頭的剖面圖【主要元件符號說明】 1 電子元件測試裝置 4 測試頭 41測試頭側連接器 5A-5C Hi- Fix 52機架 6 中繼連接器（槽孔） 6 01嵌合孔 6〇2輸出端子 61外殼 64 接觸點單元 641、643c信號用第一接觸點 642a、642b接地用接觸點 643a、643b信號用第二接觸點 644第一外部連接用接觸點 645第二外部連接用接觸點 65 第一接觸構件 66 第二接觸構件 7 電氣電纜

2247-8995-PF 41 200815778 71 同軸電纜 72 單線 8 元件側連接器（插頭） 81同軸連接器（同軸電纜用插頭） 811信號用接觸點 812、813 接地用接觸點 814外殼 82 單線連接器（單線用插頭） 821 -823 信號用接觸點 824外殼 98 插座板 99 插座 10 處理器

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2247-8995-PF

Claims

200815778 十、申請專利範圍·· 包括：係文裝於電氣電纜*之一方的端 1 · 種連接器組合體複數種電纜側連接器部；及種電纜側連接器中繼連接器，係可拆裝地連接該複數其特徵在於：該中繼連接器具有第類的電纜側連接器可嵌合 2 ·如申請專利範圍第數種電纜侧連接器包括：

一嵌合部，其係具有該全部之種的形狀。 1項之連接器組合體，其中該複線及接地線所構成一方的端部；之同軸連接器，係被安裝於由信號同軸電纔的一方之端部；及單線連接器，係被安裝於單線之其特徵在於：該中繼連接器之該第一敗部具有係該同軸連接器可嵌合而且該單線連接器可嵌合的形狀。 3·如申請專利範圍第2項之i卓技哭4人逑接态組合體，其中該中繼連接器具有用以設置複數個該第一矛肷合部的連接器本體。 4.如申請專利範圍第2或3項之連接器組合體，其中該同軸電缆係由信號線及接地線所構成· 該同軸連接器係具有該信號線以電性所連接之信號端子、以及該接地線以電性所連接的第_及第二接地端子^ 該單線連接器係具有3條單線各自以電性所連接之第 2247-8995-PF 43 200815778 弟二單線端子 -人邱：叫專利乾圍第4項之連接器組合體，其中該第一肷合部係具有第…第三輪出端子；早$ = i冑接益和該第-嵌合部嵌合的情況，該信號端端子各自和第—及第一二連接，而且該第-及第二接地 w弟—及弟二輪出端子以電性連接；該單線連接# 笛一口口始山 "〜弟一甘欠合部嵌合的情況，該第一〜弟二早線鳊子各自和一— • β ^ 弟〜弟二輸出端子以電性連接。 • °申請專利範圍第2或3項該第-嵌合部係呈右田、， υ 口體八中 ,,χ '…、固定和該第一嵌合部嵌合之該同軸連接盗或該單線連接器的上鎖手段；該同軸連接器及該單绫所需之卡合突起。Λ連接^具有該上鎖手段卡合請專利範圍第2或3項之連接^合體，其中 ά亥中、、k連接器的該連接器 ^ A,g ,gl,, 本體係具有電性連接於電路基板 •之基板側連接器可敌合的第二欲合部。 8. —種介面裝詈，史文裝於用以進行被測試電子元件之測試的測試頭，並在該被之 ^ ^ i* ^ d, 4八電子7^件和該測試頭之間進灯電性連接的中繼，其特徵在於：包括申請專利範圍第7項之連接器组合體；该中繼連接器係設於該介鄰的位置；，丨面裝置-置中和該測試頭相該電氣電欖之另-端係和與該被測試電子元件以電性 2247-8995-PF 44 200815778 接觸的量測板以電性連接該基板側連接器係和 9 · 一種槽孔型連接器纜用插頭型連接器及連接之任一者，該测試頭以電性連接。，可接受連接同軸電纜夕條單線的單線用插頭之同軸電型連接器其特徵在於包括：第一接觸點群，係包括传 1 就用弟一接觸點及位於以作號用第一接觸點為中心之對 ° 對％位置的一對接地用接觸點，用以㈣同軸㈣諸頭料接器以電性連接；* 第二接觸點群，係包括該作杯衰k唬用第一接觸點及各自位於與該信號用第一接觸點等距離之2點的一對信號用第二接觸=，帛以和該單、㈣插頭型連接H以電性連接；以及、'、、巴緣外喊’係用以保持該第—接觸點群及第二接觸點群0 10·如申^請專利範圍第9項之槽孔型連接器，其中從嵌合面看，該第二接觸點群的各信號帛第二接觸點係配置於以連接該一對接地用接觸點之直線為邊界的任一側。 U •如申請專利範圍第9或1 0項之槽孔型連接器，其中該一對接地用接觸點係以該信號用第一接觸點為中心對稱地配置之彼此平行的板狀物。 1 2·如申請專利範圍第9或1 0項之槽孔型連接器，其中該信號用第一接觸點及各信號用第二接觸點具有彼此相同的形狀。 1 3.如申請專利範圍第9或1 0項之槽孔型連接器，其 2247-8995-PF 45 200815778 中對該信號用第一接觸點位於同一側之一對該接地用接觸點的一方及一對該信號用第二接觸點之一方係一體地形成。 14·如申請專利範圍第9或10項之槽孔型連接器，其中包括複數個由該第一接觸點群及第二接觸點群所構成之接觸點單元。 15·—種連接器組合體，可接受連接同軸電纜之同軸電纜用插頭型連接器及連接多條單線的單線用插頭型連接器之任一者的槽孔型連接器、及和該槽孔型連接器以電性連接之該同軸電纜用插頭型連接器或該單線用插頭型連接器的連接器組合體，其特徵在於包括第一接觸點群，號用弟一接觸點為中係包括信號用第一接觸點及位於以信心之對稱位置的一對接地用接觸點，用以和該同軸電纜用插頭型連接器以電性連接；

第二接觸點群，係包括該作发乜疏用弟一接觸點及各自位於與該信號用第一接觸點等距接觸a，“ 離之2點的一對信號用第二接觸點用以和該單線用插頭型連接器以電性連接；以及絕緣外殼，係用以仅姑#〜人久群。、^弟一接觸點群及第二接觸點進行被測試電子元件之元件和該測試頭之間進 16· —種介面裝置，安裝於用以測試的测試頭，並在該被测試電子行電性連接的中繼，其特徵在於： 2247-8995-PF 46 200815778 包括如申請專利範圍第1 5項之連接器組合體；該中繼連接器係設於該介面裝置設置中和該測試頭才目元件以電性 3電氣電纜之另一端係和與該被測試電子接觸的量測板以電性連接；該基板侧連接器係和該測試頭以電性連接。

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