TWI336404B

TWI336404B -

Info

Publication number: TWI336404B
Application number: TW096125376A
Authority: TW
Inventors: Matsumura Shigeru; Takemasa Eiichiro; Osawa Kazutaka; Hama Hiroyuki; Izumi Yuichiro
Original assignee: Advantest Corp
Priority date: 2006-09-22
Filing date: 2007-07-12
Publication date: 2011-01-21
Also published as: TW200815778A; JP2008078048A; US7690944B2; KR20080027446A; JP4275163B2; US20080076298A1; CN101149395B; DE102007044208A1; CN101149395A; KR100941703B1

Description

1336404 如32個、64個或128個）插座，而且從各插座弓丨出报多條電氣電繞。 ' 因而，在製作Hi — Fix時，必須將好幾仟條的電氣電纜焊接於中繼基板，耗費很多工時而且需要熟練，具有亦成為Hi _ Fix之價格昂貴的原因之一之課題。對這種課題，想到將中繼基板變更成可拆裝之連接器構造係有效。可是’在用以將插座板和中繼基板以電性連接之電氣電纜’例如包括用以傳送高速信號之同軸電纜、或用以供給電源或傳送低速信E的單線等之複#文種電氣電魔”而’必須準備對應於這些全部之電氣電鐵的複數個連接器，而無法充分地降低H丨_ F i X之價格。發明内容】體本發明之目的在於提供一種泛用性優異的連接器組八的為了達成上述之目的，若依據本發明，提供一種 = 且合體，其特徵在於：包括：複數種電規側連接器 ^於電氣電纔之-方的端部…繼連接器，係可拆；合^接^複數種電_連接器，料繼連接器具有第―嵌係具有該全部之種類的電纜側連接器可嵌合的形的第發月將具有複數種電㈣連接H可嵌合之形狀广部設置於甲繼連接器。因❿，益可應付複數種雷缗 ^ Λ 接電纜’而可降低介面裝置的價格。

2247-8995-PF 6 1336404 在該發明雖未特別限定，包括1軸連接n，係被安h =複數種電_連接器 ^ π, e _ ' 、：由七號線及接地線所構成之冋軸_-方之端部；二線之-方的端部，該中繼丄 …係破女裝於早同軸連接器可嵌合而且具有係该在該發明雖未特別限宏^ θ 们七狀車乂佳。

vg . ，但疋該中繼連接器呈有执W 硬數個該第4合部的連接器本體較佳。 -有叹置在該發明雖未特別限及接地線所構成，吁π 仁疋該冋軸電纜係由信號線接地線所職，該㈣連接連接之信號端子、以及哼 / u〜線u電性所 -^ °亥接地線以電性所連接的楚一Η哲 —地端子；該單線連接器係具有3停單線各自連接之第-〜第三單線端子較佳。條早線各自以電性所在該發明雖未特別限定，但一〜第三輸出端子；兮 ^ —瓜合部係具有第的情況’該信號端子和帛“部嵌合 —姑 r别出端子以電性造姐 ^ 該第-及第二接地端子各自和丨連接’而且連接；該單線連接器係在㈣人—輪出端子以電性第…第三單線端子各：欺5部嵌合的情況，該接較佳。一輸出知子以電性連在該發明雖未特别限定，但是 ^ 以固定和該第一嵌合驭口部係具有用器的上鎖手段；該同轴軸連接盗或垓單線連接連接器及該單線遠鎖手段卡合所需之卡合㈣Μ。線連接㈣具有該上在該發《未㈣m定，但是_ 逆按益的該連接器

2247-8995-PF 7 1336404 本體係具有電路基板以電性所連接之基板側連接器可p 的第二嵌合部較佳。入σ 又，本發明之槽孔型連接器，係都可接受連接同轴電規之同軸電繞用插頭型連接器及連接多條單線頭型連接絲—者㈣孔料心。㈣孔料接器(= 下只無為槽孔）包括用以和同軸電欖用插頭型連接器（以下只稱為同轴電境用插頭)進行電性連接之第一接觸點群及用以和早__㈣接器（以下只稱為單線用插頭）進行電性連接的第二接觸點群。第—接觸點群包括信號用第一接觸點及位於以信號用第一接觸點為中心之對稱位置的一對接_接觸點。X ’第二接觸點群係包括該信號用第一接觸點及各自位於與該信號用第-接觸點等距離之2點的一對信號用第二接觸點。又’本發明之槽孔包括用以保持該第一接觸點群及第二接觸點群的絕緣外殼。此外，本發月之槽孔4敢合面看’第二接觸點群的各信號用第二接觸點係配置於以連接該一對接地用接觸點之直線為邊界的任一側。 •在此，都可接受同軸電麗用插頭型連接器及單線用插頭型連接器之任-者’係意指在一個嵌合凹部，都可接受同軸電纜用插頭型連接器及單線㈣頭型連接器之任一者。個別地包括接受同軸電繞用插頭之嵌合凹部和接受單線用插頭的嵌合凹部之形態除外。本發明藉由可利用絕緣外殼形成嵌合凹部，並在任一者嵌合凹部都配設第一接觸點群及第—接觸點群，而用一個嵌合凹部都可接受同轴電

2247-8995-PF 8 1336404 攬用插頭及單線用插頭。本發明之槽孔係藉由採用該構造，而兼具第一接觸點群之k號用帛一接觸.點兼具在帛二接觸點群之一個信號用接觸點即，本發明的槽孔係作為用一個嵌合凹部都可接受同軸電纜用插頭及單線用插頭之構造的元件，在第一接觸點群和第二接觸點群兼具一個信號用接觸點。如此，藉由減少接觸點數，而可使在嵌合凹部之該信號用接觸點的佔有面積變小。這意指可將接觸點高密度地配置於嵌合凹 P在排列複數個由第一接觸點群及第二接觸點群所構成之單位的接觸點單元之情況，提供可使整體變成小型的優..‘έ又，藉由在第一接觸點群和第二接觸點砰兼具信號用接觸點’而具有可使和該信號用接㈣連接之外部連接。用接觸點變成一個的優點。這亦有助於槽孔變得小型。其次，在對應於同軸電纜用插頭的第一接觸點群，— 對接地用接觸點各自配置於以信號用第一接觸點為中心之對稱的位置。在第一接觸點群’亦可將一對接地用接觸點及^用接觸點各自配置於等腰三角形之頂點。可是，因為此配置m離同軸構造’在和同軸電爨之間無法取得特性阻抗的匹配。因此，為了實現虛擬性同軸構造，而將 .接地用接觸點各自配置於以信號用第—接觸點為中心之對 =位置。作為虛擬性同轴構造’例如一對接地用接觸勢可知用彼此平行之板狀物。 .'、 $二接觸點群包括各自和與第_接觸點群兼用之作號用第-接觸點等距離地配置的2個第二接觸點。其中心

2247-8995-PF 9 丄本發明之槽孔，第二接觸點群 ^ ^ ^ 』蚤尨唬用第二接觸點係配 ;乂連接[㈣料之—料㈣接界之任-側。因此，在第二接觸點群，”用第：：邊和一對筮_拉雜_ ^ 1口现用第一接觸點接觸點配置於等腰三角形之頂點。此外，是否配置於任一側，係從嵌合面看而決定。在本發明之槽孔，信號用第— 接舖st a女t 接觸點及各信號用第二 ::上、有彼此相同的形狀較佳。為了減少零件用插頭之3個接觸點係具有彼 ' ^ u的形狀較佳。因此，接對象…用第一接觸點及各信係彼此相同的形狀較佳。接觸點亦在此，構成第一接觸點群之传 ^ ,, ^ L 吁< 琥用第一接觸點和一對接地用接觸點需要彼此在電氣上獨立。子點群之信號用第一接觸點和 =成第二接觸此在電氣上獨立。可是，第一接:就用第二接觸點需要彼第二接觸點群Μ 點群之接地用接觸點和 -妨。因此係彼此在電氣上連接亦 u此，在本發明之槽孔，對同一側之接地H 。谠用第一接觸點位於側之接地用接觸點和信號較佳。因為可比各自换用^ ,觸點係一體地形成可高密度地構成接觸黜萤-心 /零件數’所以可使接地迴路的影塑士後述所示，可將對4個接觸點之外部連用t種構造’而述之兼用信號用接觸點集中成2個。和上 3個夕Η遘接田部連接用接觸點相加，丘 3個外。Ρ連接用接觸點就夠了。 - 本發明亦可採用包括複數個由該第—接觸點群及第二

2247-8995-PF ⑴6404 接觸點群所構成之接觸點單元的槽孔單亓六奴a υ丨月’几接觸點乂’a 列成格子狀較佳。和差動傳送用連接器— π，因為交互配置接地用接觸點和信號用接觸點之結果，可抑制高頻特性的降低。本發明亦可作成都可接受連接同軸電纜之同轴電欖用碩型連接器及連接多條單線的單線用插頭 -者的槽孔型連接器、及和該槽孔型連接器以電性連= =轴電規用插頭型連接器或該單線用插頭型連接器的連裔組合體。此槽孔亦可採用上述之任一種構造。又，為了達成上述之目的，若依據本發明，提供二面裝置’其係安裝於用以進行被測試電子元件之測試的測试頭，並在該被測試電子、、連接的中繼之介面裝置電===之間進行電性 |田扳置其特徵在於：包括該連接器體；該中繼連接器係在該介面裂 D σ 的位置；該電氣電徵之另一丄㈣鄰見 < 另知係和與该被測試電子元件以電性接觸的量測板以雷，地；查姑L · — # > , 試頭以電性連接该基板側連接器係和該測在該發明雖未特別限定’但是該中繼連接器具有複數個邊第-嵌合部，而且具有複數個該第二嵌合部較佳。 …在該發明雖未特別限定’但是包括複數個該中繼連接器較佳。在該發明雖未特別限定，但是該中繼連接器具有朝向戎測試頭側連接器突出的定位銷·，該測試頭側連接器和該定位銷相對向之定位孔較佳。 /、

2247-8995-PF 11 在6亥發明雖未特別限定封裝的半導體亓丛彳~疋該被測試電子元件係已電性連接之插座的插絲較=已组裝和該半導體元件以在該發明雖未特別限定，但形成於晶圓上的半導體—疋該被測试電子元件係已體元件以電性連接之拍、丨，遠量測板係已組裝和該半導、、4接之_針的偵測卡較佳。為了達成上述之目的 μ 子元件測試裝置，其❹以：依據本發明，提供-種電的電子元件_置:、包：進元件之測試策藤，、#—、电性連接，及介面裝置，係安裝於該測值仃該被測试電子元件和該測試頭之間的電性連接之中繼。电丨逆【實施方式】以下’根據圖面說明本發明之實施形態。〈第1實施形態〉第1圖係表示本實施形態的電子元件測試裝置之整體的立體圖，第2圖係沿著第！圖之Π — π線的概略剖面圖，第3圖係第1圖所示之電子元件測試裝置的後視圖。首先，參照這些第1圖〜第3圖概略說明本實施形態的電子元件測試裝置之整體構造。本實施形態的電子元件測試裝置1如第1圖及第2圖所示，由以下之元件構成’處理器10，係用以處理被測試 IC元件；測試頭4，係以電性連接被測試I c元件；以及測 2247-8995-PF 12 1336404 试器3，向此測試頭件的測試。 4傳送測試信號，並執行被測試Ic元處理器10係在對被測試IC元件施加高溫或低溫之熱應力的狀態將ic元件供給測試頭4，並測試完了後根據1 測試結果將K元件分類的裝置，包括儲存部m、褒載部 300、室部1〇〇以及卸載部4〇〇。將收容複數個被測試1C元件的訂製托盤儲存於儲存部_。在裝載部議，將測試前之1(：元件從該訂製托盤換裝於測試用托盤（在處理器1〇内循環搬運的托盤）後，將該測試用托盤搬入室部100内。在室部1〇〇，在對ic元件施加即定之熱應力後，在被裝載於測試用牦盤的狀態將各 1C元件壓在測試頭4,並使各IC元件以電性接觸插座99, 並實施ic元件之測試。將已測試之Ic元件從室部1〇〇搬至卸載部400，並換裝於因應於測試結果的訂製托盤。此外，對於和以往之Hi — Fix相同之構造賦與相同的參照符號。在儲存部200設置：測試前ic儲存器2〇 1，係儲存己收容測試前之1C元件的訂製托盤；及已測試1C儲存器 202，係儲存己收容因應於測試結果所分類之Ic元件的訂製托盤。 ° 測試前1C儲存器201及已測試1C儲存器202具有托盤支持框203、及在此托盤支持框203内可昇降的升降機 204。在托盤支持框203，堆疊並支持圖外之複數個訂掣托盤’並可利用升降機204使這些訂製托盤進行上下動。 2247-8995-PF 13 測試前IC儲存器201將已製托盤疊層並保持…已前…件的訂試結果收容已測試之K；元件^儲存器202將因應於測比70件的訂製托盤疊層並保接。測試前1C儲存器201所儲、、 qnn 居存之叮製托盤被搬入奘 300，並在此裝載部3〇〇將測裝载邛裝於測試用托盤。 "序兀件從訂製托盤換裝載部繼包括Π搬運裝置咖，其係將被㈣K 疋Κ δ1· t & t㈣& _用托 •第i圖所示，包括：2支軌盤此XY搬運裝置州如又飢逼301，係架設於主機可動臂302，係可利用此2支軌 /、，用托盤之間往復移動(將此 01在4托盤和測試動(將此方向設為Υ方向）；以及可動頭 • 3 03 ’係利用該可動臂302支捭，卄叮 X方向移動。並可沿者可動臂302朝向二此XY搬運裝置304之可動頭303,安裝可吸附並保及 IC元件的吸附頭。對可動頭303安裝例如約8個 ·=: 一次可將8個被測試1C元件從訂製托盤換裝於測武用牦盤。 S載。p 300之主機架1〇5’鑽設一對窗部裏、細， -皮配置成被搬至該裝載部3gg的訂製托盤面臨主機架〇5的上面。雖省略圖示，在各窗部綱設置用以保持訂盤之保持用掛鉤’在訂製托盤之上面經由窗部306面仏主機架105之表面的位置保持訂製托盤。曰此外’在各個窗部306之下側，設置用以使訂製托盤降的幵降工作台。此昇降工作台使換裝測試前之工C元件

2247-8995-PF 1336404 而變成空的訂製托盤下降，並交給托盤移送臂205。至部1 00由以下之構件構成，恒溫槽丨〇 1，係對被裝入測5式用托盤的被測試IC元件施加目標之高溫或低溫的度應力’測试室1 〇 2，係將在此恒溫槽1 〇 1被施加溫度應力之狀態的被測試IC元件壓在測試頭4;以及除熱槽 1 〇3，係從測試後之1(：元件除去所施加的溫度應力。在恒溫槽101施加高溫的情況，在除熱槽1〇3利用送風而冷卻被測試1C元件，使其回到室溫。又，在恒溫槽 1 01施加例如約一 301之低溫的情況，在除熱槽丨以暖風或加熱器等將被測試IC元件加熱而回到至約不會發生結露的溫度為止。然後，將該已除熱之被測試IC元件搬至卸載部400。如第2圖及第3圖所示，在構成測試室j 〇2之底面的處理器10之底部11的、約中央形成開π lla，在該開口 lla 内連結被安裝於測試頭4之上部的Hi_Fix5A。測試用托盤被搬至此Hi —Fix5A的插座99上時，2轴並使測試用托盤上之複數個被測試IC元件

驅動裝置（未圖示）經由推桿（未圖示）將被測試ic元件壓在Hi — Fix5A，並#測铽用虹般> a 。. 電性接觸插座99的接觸端子。然後，測試 4向被測試ΙΓ畀从# ^ ....... ... 2247-8995-PF 15 丄幻Μϋ4 载部40 0。在卸載。卩400 ’亦設置構造和設置於裝載部3〇〇之χγ 搬運裝置304相同的ΧΥ搬運裝置404。利用此ΧΥ搬運裝置4〇4將已測試之1C元件從被搬至卸載部400的測試用托盤換裝於訂製托盤。在卸載部400之主機架105，鑽設二對窗部406、406， /、被配置成被搬至該卸載部4〇〇的訂製托盤面臨主機架 1 05的上面。雖忠被㈤_ % ’略圖不，在各窗部4〇6設置用以保持訂製托盤之保持用掛鉤，在訂製托盤之上面經由窗部棚面臨主機架105之表面的位置保持訂製托盤。又，在各個窗部406之下側，設置用以使訂製托盤昇降的幵降工作台。此昇降卫作台使I滿已測試之！ C元件的訂製托盤下降，並交給托盤移送臂2〇5。如第1圖所示，在儲存部200設置可在儲存器2〇1、 202上移動的托盤移送臂205,在裝載部300、卸載部4〇〇以及各儲存器201、202之間可移送訂製托盤。第4圖係表示本實施形態的Hi_Fix及測試頭的剖面圖’第5圖係從下側看本實施形態的Hi _仏之平面圖，第6圖係表示本實施形態的元件侧連接器、中繼連接器以及測試頭側連接器之剖面圖，第7圖係表示本實施形態的中繼連接器之上部平面圖。本實施形態之Hi-Fix5A如第4圖所示，係、藉由僅交換最上部的插座板98，而可應付被測試κ元件之種類更

換的 SBC(Socket Board Change)型式者。此 Hi — Fix5Aw 2247-8995-PF 16 1336404 第4圖所示，經由設置於測試頭4之上部器41(基板側連接器）及中繼連接器（槽 f側連接 4之上部。女裝於測試頭如第5圖所示，具有複數個(在之例子為28個）中繼連接器6。這些不 —Flx5A之最下部，以>著Hi ρ. 接益6位於Hi 取广丨以/口者Ih —F1X5A之内側方向平行地排列的狀態固定於框形之機架52。、各中繼連接器6具有如第6圖及第7圖所示之由材料所構成的大致角棒形的外殼6卜在各中繼連接器6之 ΙΓ二上面:广皮安褒於電_7之端部的元；側連接益8嵌合之複數個嵌合孔6()1。在本實施形態…著『 —Flx5A之内侧方向排成2行地配置複數個嵌合孔1 藉由將複數個嵌合孔601形成於一個中繼連接琴6 :繼連接器6安裝於H卜Flx5A的機架52之作業的作業性提高。又’中繼連接器6之維修時的作業性亦提含。又:藉由將中繼連接器6分割成複數個（在第5圖:示之例子為28個），和將全部之嵌合孔6〇1形成於—個中繼連接器的情況相比，因為可僅拆下成為維修對象之中繼連接器6等，所以中繼連接器6之維修作業性提高。在本實施形態’如第7圖所示，在每一個中繼連接器 6’在Hi — Flx5A之内側整個區域排成2行地的 mxn 複數㈣合孔.在此，在本發明未特別限定二：如，亦可在Ih-FiX5A之内側整個區域排成"于或“于以上地配置複數個嵌合孔6(Π，或以"“行配置例如

2247-8995-PF 17 1336404 上)瓜。孔601 (其中，ffl及n都是自然數，至少—方係2以第8圖係從下方看本實施形態之槽孔6的立體圓。如第8圖所示，槽孔（中繼連接器）6之外殼61由下部外r 和上部外Μ β Q A、 ^ 「成b3構成。槽孔6係都可接受同軸電纜所連接同軸電纜用插頭& 3條單線所連接的單線用插頭之任〜曰孔6之各接觸點被壓入下部外殼62並被保持。又， j邛外殼63包括用以接受同軸電纜用插頭（同軸連接范）8i或單線用插頭（單線連接器）82之嵌合凹部6〇1。第9圖係表示下部外殼62之内部的部分立體圖，第 1 0圖係表不從嵌合面側看槽孔6的部分立體圖。如第8圖及第9圖所示’下部外殼62包括底床⑵、 :從其周邊所立設的㈣622 ’和底床621相對向的面具開放之箱形的形態。又，在下部外殼62之底床621的下 I:伴床621之長度方向形成矩形的外部連接用接觸點保持部624。在下=#62,保持構成接觸點單元64之接觸點。觸點早7L 64意指為了和同軸電纔用插頭及單線用插 :之任一者都嵌合所需的接觸點之集合單位。一個接觸點早το 64由信號用第一接觸點^ ^ ， ^ R/I0U 北）、接地用接觸點點檨成/信號用第二接觸點643a、643b之共5個接觸 :構成。在此，細節將後述’信號用第一接觸點64i(643c) 由-個接觸構件65構成。又’接地用接觸點6仏和信號

2247-8995-PF 18 用第二接觸點643a、及接妯田社細接觸點643b，各自利用—㉟點642b和仏號用第二间一泥业利用一體之接觸構件66構成，而成為 1 因此，5個接觸點利用利用3個接觸構件構成。迫5個接觸點由從底床621立又芏既疋之同度為止的間壁 6 23包圍。此接觸點單^ ^ ^ ^ ^ ^ 4 j和後述之同軸電纜用插頭81 早頭82之任-者都嵌合。同軸電纜用插頭81和 :號用第-接觸點64卜接地用接觸點6仏、6傷以電性 :接。又’早線用插頭82和信號用第-接觸點643c及信旒用第二接觸點643a、643b以電性連接。在第π圖表示構成信號用第一接觸點641 (643c)之第一接觸構件65的立體圖。第—接觸構件65係藉由將金屬板鑽孔及彎曲而一體地形成。第-接觸構件65在其—端包括成為信號用第一接觸點64U643C)之一對彈性片651、652。彈性片65卜652在其基部利用u字形之連結部653相連接。彈性片651、啦具有彼此朝向另-方彎曲的部分，而構成夾子狀的接觸 ”、占藉由在彈性» 651、652之間插入對方側之接觸點，而信號用第-接觸點641 (643c)和對方侧接觸點以電性連接此對方側接觸點係後述之同軸電纜用插頭81的信號用接觸點或單線用插頭82的信號用接觸點。從連結4 653往第一接觸構件65之另一端形成延長部 654。延長部654貫穿下部外殼62之底床621。因此，在底床621形成延長部654所貫穿之貫穿孔。在連結部653 和延長部654之間形成壓入部655，此壓入部655被壓入

2247-8995-PF 19 該貫穿孔。貫穿## β0 接觸^^ 之延長部654係沿著外部連接用觸”保持部6 2 4配置，而立一邛分爐忐^ 點644。而兵邠刀構成外部連接用接觸 —在第12圖表示構成接地用接觸點642a(642b)和信號用第二接觸點643a(643b)之第二接觸構件66的立體圖。第二接觸構件66錢藉由將金屬板鑽孔及彎曲而一體地形成。第-接觸構件66在其一端包括成為信號用第二接觸點643a(643b)之一對彈性片66卜662。彈性片661、662 在/、基邛利用U子形之連結部6 6 3相連接。彈性片6 6 j、 662具有彼此朝向另-方彎曲的部分’而構成夾子狀的接觸點:藉由在彈性片66卜662之間插入對方側之接觸點，而L號用第一接觸點3a(643b)和對方側接觸點以電性連接。此對方側接觸點係後述之單線用插頭82的信號用接觸點此外，心5虎用第二接觸點643a(643b)構成和信號用第一接觸點641 (643c)相同的形狀。和單線用插頭82之3個 L號用接觸點係同一形狀對應。第二接觸構件66包括板狀物664。板狀物664在由下部外殼62保持第二接觸構件66之狀態，構成接地用接觸點642a(642b)。對方側接觸點和板狀物664以電性連接。此對方側接觸點係後述之同軸電纜用插頭81的接地用接觸點812或接地用接觸點813。如第12圖所示，彈性片661、662和板狀物664 一體地形成。因此’信號用第二接觸點643a(643b)和接地用接

2247-8995-PF 20 丄 M04U4 觸點642a(642b)在槽孔6之中彼此以電性連接。從板狀物664往第二接觸構件66之另一端形成延阳。延長部665貫穿下部外殼62之底床62卜因此，在底床621形成延長部665所貫穿之貫穿孔。在連結部阳和延長部之間形成壓入部666，此塵入部666被壓入 =穿孔。貫穿底床621之延長部咖係沿著外部連接用點6^保持部624配置，而其一部分構成外部連接用接觸從第9圖、第1】圖以及第12圖得知，接觸點翠元64 由二固第一接觸構件65及2個第二接觸構件⑼構成。如、曰孔6因為能以2種接觸構件構成接觸點單元μ，所 :可：少零件數。因此，各接觸點高密度地配置於接觸點内，而可小型地構成槽整體…藉由件數，亦有助於降低價格。第一接觸構件65的延長部㈣及第二接觸構件 ==各自貫穿下部外殼62的底床，並沿著外部接觸點保持部624配置。如第8圖所示，第— =一65之延長部咖構成第一外部連接用接觸點⑷。又，構件^觸構件66之延長部665構成第二外部連接用接觸觸“。接觸點單元64變成包括一個第-外部連接用接觸點644及？彻铉_ , —外部連接觸構件645 °又，以第接用接觸構件!：‘ΓΓ 配置，將2個第二外部連側。利用這二=於第一外部連接用接觸.點644的兩二卜。p連接用接觸點644、645、645,構成和

2247-8995-PF 21 1JJ04U4 測試頭側連接器41之嵌八為认 D孔42嵌合的輸出端子602。因 5個（總共6個）接觸點之外部連接用接觸M 3個就夠了，所^^'丨遲接用接觸構件係了所以在長度方向小型地形成槽孔6。在第9圖，信號用第—接觸點接觸點部分配署A i日a uwc)將夾子狀之 h配置成朝向外殼61的寬度方向開閉。信一接觸點 643a、643b 亦一 'u 長度方向開閉之構造，需要使二62之而要使長度方向的尺寸變長。因此，

二了使長度方向的尺寸變短，而將夾子狀之接觸點部分配置成朝向外殼接觸點 ..^ , J見度方向開閉。廷是由於考慮到在夹子狀之接觸點部分打開的狀態，需要對應之空間：、接地用接觸點642a、642b配置成彼此平行。而且用接觸點642a、642b配置成其平面和外殼61之寬度方向平仃。在接地用接觸點642a和接地用接觸構件M2 間的中央’配置信號用第-接觸點641。〇圖所示，上部外殼63包括包圍周圍的侧壁冓成大致箱形之形態。上部外殼63朝向其長度方向及寬度方向形成複數個間壁632。同軸電纜用插頭8=或1 線用插頭82利用間壁632引導至嵌合位置，且防止倒；: 又’藉由以側壁631及間壁632包圍，而上部外殼63包括複數個由長方體之空間所構成的喪合凹部60 1。嵌合凹部 601，即各接觸點| & 64 α格子狀交錯地排列於上部外殼 63。個嵌合凹部601對應於一個接觸點單元64。在各爭合凹部601，插入並礙合後述之同轴電纜用插帛81或: 用插頭82 » 胃·

2247-8995-PF 22 1336404 上部外殼63包括底床633。底床633將該長方體之空間和下部外殼6 2隔開。其中，在底床6 3 3形成貫穿孔 633a〜633c 〇貫穿孔633a對應於信號用第—接觸點641 (643c)。信號用第一接觸點641 (643c)之上部前端位於貫穿孔633a 内。同軸電纜用插頭81之信號用接觸點811(參照第14圖）貫穿此貫穿孔633a並和槽孔6的信號用第一接觸點641以電性連接。又’單線用插頭82之信號用接觸點823(參照第16圖）貫穿此貫穿孔633a並和槽孔6的信號用第一接觸點6 4 3 c (6 41)以電性連接。貫穿孔633b對應於信號用第二接觸點643a(643b)。因此，在一個嵌合凹部601形成2個貫穿孔633b。信號用第一接觸點643a、643b之上部前端位於貫穿孔633b内。單線用插頭82之信號用接觸點821、822貫穿此貫穿孔633b 並和槽孔6的信號用第二接觸點643a、643b以電性連接。貫穿孔633c對應於接地用接觸點642a、642b。因此，在一個嵌合凹部601形成2個貫穿孔633c°接地用接觸點 642a、642b之上部前端位於貫穿孔633c内。同軸電纜用插頭81之接地用接觸點812、813貫穿此貫穿孔633c並和槽孔6的接地用接觸點642a、642b以電性連接。在上部外殼63之側壁631，朝向嵌合凹部6〇1的内部形成卡合爪6 3 4。此卡合爪6 3 4如後述所示，係用以使同軸電纜用插頭81或單線用插頭82之嵌合變得確實的。第1 3圖係在模式上表示構成一個接觸點單元6 4之信 2247-8995-PF 23 1336404 號用第一接觸點641 (643c)、接地用接觸點642a、642b、以及信號用第二接觸點643a、643b的配置圖。此配置係從槽孔6之嵌合面側看的。如第13圖所示，以信號用第一接觸點6 4丨為中心將接地用接觸點642a、642b配置於彼此對稱的位置。因此，信號用第一接觸點641 (643c)和接地用接觸點642a、 642b( 642c)配置於直線上。信號用第一接觸點641及接地用接觸點642a、642b構成和同軸電纜用插頭81以電性連接之第一接觸點群。信號用第一接觸點643c(641)及信號用第二接觸點 643a、643b構成和單線用插頭82以電性連接的第二接觸點群。在第二接觸點群，信號用第二接觸點643a、64訃各自位於與信號用第一接觸點643c等距離的2點。因此，連接信號用第一接觸點643c及信號用第二接觸點643a、643b 之各個的中心時，形成等腰三角形。此等腰三角形包括正三角形。又，在第13圖，第二接觸點群之各信號用第二接觸點 643a、643b配置於以連接第一接觸點群的信號用第一接觸點641及各接地用接觸點642a、642b之直線為邊界的任一側。此要件排除信號用第二接觸點643a、643b與信號用第一接觸點641及各接地用接觸點642a、642b配置於一直線上的情況。因為全部的接觸點配置於一直線上時，配置方向之長度變成過長。又，此要件排除信號用第二接觸點 643a、643b配置成隔著連接信號用第一接觸點641及各接

2247-8995-PF 24 1336404 地用接觸點642a ' 642b之直線的情況。因為接地用接觸點 642a和信號用第二接觸點643a、及接地用接觸構件642b 和信號用第二接觸點643b各自用一體的接觸構件66構成，所以無法採用那種配置。如以上所示配置信號用第一接觸點641 (643c)、接地用接觸點642a、642b、以及信號用第二接觸點643a、64扑之槽孔6，都可接受同軸電纜用插頭81及單線用插頭82 之任一者。其次，如第13圖所示，一個接觸點單元64之連接接地用接觸點642a、642b的直線和連接信號用第二接觸點 643a、643b之直線係平行。又’接地用接觸點642&、64肋及仏唬用第二接觸點643a、643b位於矩形的頂點。即，在接觸點單元64’將5個接觸點高密度地配置於矩形之區域内。槽孔6之第-接觸點群和第二接觸點群共用信號用第 -接觸點641 (643c〇。當然，亦可個別地設置信號用第一接觸點⑷和信號用第一接觸‘點643c。可是，這樣的話信號用第-接觸點641和信號用第一接觸點643c之佔有面積增加’而嵌合凹部對-個接觸點單元變大。因此，槽孔6 藉由共用信號用第-接觸點641和信號用第一接觸點 643c’而可高密度地配置各接觸點。又，此共用有助於減槽孔6之零件數而且可將外部連接用接觸構件合併成個。在本實施形態之電氣電冑7包括用以傳達高速信號的 2247-8995-PF 25 1336404 同軸電纜71、或用以供給電源或傳送低速信號的單線72 等。第14圖係表示同軸電纜用插頭81之外觀的立體圖。又’第15圖係表示同軸電纜用插頭81之主要部分的立體圖。如第14圖及第15圖所示，同軸電纜用插頭81安裝於同軸電纜71。同軸電纜71如周知般，由中心導體71丨、包圍中心導體711之周圍的電介質712、包圍電介質712之周圍的外部導體713、以及包圍外部導體713之絕緣體外皮714構成。同轴電纜用插頭81包括信號用接觸點81丨和一對接地用接觸點812、813。信號用接觸點811和一對接地用接觸點812、813的位置關係係和槽孔6之該第一接觸點群— 樣。即，以信號用接觸點8 U為中心將接地用接觸點8〗2、 813配置於彼此對稱的位置。又，各自由板狀物所構成之接地用接觸點812、813配置成其平面彼此平行。採用接地用接觸點812、813如此地各自設為板狀物，且夾住信號用接觸點811之構造’係為了使同軸電纜71和特性阻抗儘量 :配’而設法使同軸電纜用插頭81在電氣上和同軸構造等價。槽孔6亦對應於接地用接觸點812、813，而將接地用接觸點642a、642b設為板狀物。 <吕號用接觸點811和-對接地用接觸點812、813被由絕緣材料所構成之外殼814保持。在外殼814的内部，設置用以收容信號用接觸點811等之構件的空間。在外殼814

2247-8995-PF 26 1336404 的内部，這些接觸點確保和和冋軸電纜71之電性連接。信號用接觸點811經由盘盆以贲ω Α U電性連接之中心導體連接片815 和同軸電纜71之中心導體71 1 导體711以電性連接。又，接地用接觸點81 2、81 3經由與1以番ωt /、乂電性連接之外部導體連接片8 j 6 和同軸電纜71之外部導體71 & 13以電性連接。外部導體連接片816藉由圖中之並底都；泜邛及頂部和將外殼814内部之該空間隔開的壁抵接，而即使同軸氏Ν釉冤繞71彎曲，亦防止因追蹤之而產生的信號用接觸點811 ” 811及接地用接觸點812、81 3之相對位置的移動。同軸電纜用插頭81成為外部導體713分支成2個接地用接觸點⑴、813之構造。又，分支之槽孔6的2個接地用接觸點642a、642b有在係;I*# ^ + . π你你馉孔6之外部且在第二外部連接用接觸構件645的前面集中成-條電氣路徑之情況。在此情況，因為接地用接觸點812和接地用接觸點6—、及接地用接觸點813和接地用接觸構件_以電性連接，所以形成接地迴路。槽孔6如上述所示，將各接觸點高密声地配置於接觸點單元64内，更且體而一 m ^ 又 “ 體而吕，因為可使接地用

接觸點642a、642b之簡Ri»鐵I “之間隔紇小，所以可減少接地迴路所引起的雜訊。其次，第16圖係表示單線用插頭82之外觀的立體圖。又’第Π圖係表示單線用插頭82之主要部分的立體圖。如第16圖所示’單線用插頭82安裝於3條單線了2。單線72如周知般，由信號導體72卜包圍信號導體⑵之周圍的絕緣體722構成。單線用插頭82包括3個信號用接

2247-8995-PF 27 1336404 觸點82卜823。3個信號用接觸點82卜823的位置關係係和槽孔6之該第二接觸點群一樣。即，信號用接觸點8 21、 8 22各自位於與信號用接觸點823等距離的2點。因此，連接信號用接觸點821〜823之各個的中心，並從嵌合面看時形成等腰三角形。信號用接觸點8 21〜8 2 3被由絕緣材料所構成之外把 824保持。外威824的嵌合部具有和同軸電纟覽用插頭Μ之

外殼814的嵌合部相同之外形形狀。槽孔6係用以都接受同軸電纜用插頭81及單線用插頭82之任一者的。其中在此所指的相同，係同軸電纜用插頭81及單線用插頭Μ 可嵌合之程度的相同性，不是要求至物理上完全相同。在外殼824的内部，這些接觸點確保和單線72之電性連接。信號用接觸點821 (822、823)經由與其以電性連接之信號導體連接片826和單線72之信號導體721以電性連接。又’藉由利用信號用接觸點821及和信號導體連 826 -體地形成之υ字料絕緣體保持部m將單線7 絕緣體722填隙，而將信號用接觸點821和單線72堅固地接合。又，和信號用接觸點821等一體地形成之u 安定構件828和上述之外部導體連接片816 一樣，防號用接觸點821~823之相對位置的移動。 15 又’在外殼824之外周形成卡合突起82 起阳，在單線用插頭82和槽孔6嵌合時，藉由和1 = 殼63之卡合爪634卡合，而防卜 6。此外，雖未圖示，在同早線用插頭82脫離槽孔軸電纜用插頭81亦和單線用插

2247-8995-PF 28 1336404 頭82 —樣地形成卡合突起。而’在將同軸電纜用插頭81和槽孔6嵌合的情況，將同軸電纜用插頭81從已形成信號用接觸點81 i和一對接地用接觸點812、813之側插入槽孔6之利用上部外殼6 3所形成的嵌合凹部601。於是，槽孔6之信號用第一接觸點 641和同軸電纜用插頭81的信號用接觸點811接觸。又，槽孔6之接地用接觸點642a和同軸電纜用插頭81的接地用接觸點812接觸，且槽孔6之接地用接觸點642b和同軸電繞用插頭81的接地用接觸點813接觸。另一方面，在將單線用插頭82和槽孔6嵌合的情況，將單線用插頭82從已形成信號用接觸點821〜823之側插入槽孔6之利用上部外殼63所形成的嵌合凹部6〇1。於是，槽孔6之信號用第-接觸點643c和單線用插頭82的^號用接觸點823接觸。又，槽孔6之信號用第二接觸點643a 和單線用插頭82的信號用接觸點821接觸，且槽孔6之疒號用第二接觸點嶋和單線用插頭82的信號用接。接觸。以上之槽孔6包括和同軸電纜用插頭81以電性連接之第-接觸點群及和單線用_ 82以電性連接的第二接觸點群都可接受_電纜詩頭81和單線諸頭Μ之任一者。同轴電纜用插頭81以信號用桩艏赴A山接觸點811為中心使接地用接觸點812、813位於彼此對 6 r, ^ m 耵稱的位置。另一方面，槽孔 1口就用第一接觸點6 41為中、、伯拉上局中〜使接地用接觸點642a、

2247-8995-PF 29 1336404 _位於彼此對稱的位置。而且，接地用㈣點812、δ13 ::地用接觸點642a、642“具有既定之表面積的板狀物構成。以上之構造有助於同轴電纜用插頭81及槽孔軸電纜71之特性阻抗的匹配。同在槽孔6’健』第—接觸點641和信號用第一接觸點643c由-個第一接觸構件65構成，且接地用接觸點 642a(642b)和信號用第二接觸點⑷❿杨)由一個第觸構件66構成。如此，因為槽孔6可用2種接觸構件構成，所以可減少構成一個接觸點單元64之零件數。因此，可古密度地配置構成接觸點單元64之各接觸點，在配置複數；接觸點早兀64的情況’可使槽孔6整體變成小型。又’因為槽孔6利用-個第—接觸構件的和2個第二接觸構件66構成接觸點單& 64，所以對一個接觸點單元 “，3個外部連接用接觸構件就夠了。這亦有助於槽孔6 的小型化。又，槽孔6將各接觸點配置於接觸點單元“之矩形區域内H1此’可將和此接觸點單元64嵌合之同轴電纜用插頭81及單線用插頭82的外殼814、824設成該嵌合部之形狀係矩形且同一外形形狀。此外，因為槽孔6將各接觸點單元64交錯地排列成格狀又互配置接地用接觸點和信號用接觸點之結果，亦具有抑制高頻特性降低的效果。此外，在本實施形態之中繼連接器（槽孔）6的嵌合孔相田於在本發明之第一嵌合部，在本實施形態的中繼

2247-8995-PF 30 連接η ;、之輸出端子6〇2相當於在本發明之第二嵌合部。線用二所:餡在本實施形態，同軸電繅用插頭81和單嵌合、方和中繼連接3 δ的第-叙合部601可可降低H.n種巾繼連接器6應付複數種電镜，所以 T降低Hi —Fix5A的價格。和二！由同轴電纜用插頭81和單線用插頭82之雙方不甲繼連接器6 電氣第甘入σ邛601可肷合，而顯著減輕將且不、和以往之中繼基板6’連接的作業之負擔，而連接作業。軸電、€和單線，就可對中繼基板進行 u帛6圖在各中繼連接器6之外殼61的下側兩端。，設置朝向下方突出的導銷6G3。又，在設置於測試頭4 上部的測試頭側連接g 41之上側兩端部，亦以和導銷相對向之方式形成導孔43。在將Hi —MW安裝於測 δί頭4時’藉由將導銷603引導至導孔43，而可使 ”x5A易於對測試頭4定位。此外，亦可將導孔設置於中連接器6，並將導銷設置於測試頭側連接器4 ^ ^ =外，如該圖所示，在各中繼連接器6之外殼61的下側兩端部，形成從下側側面向上側側面貫穿之貫穿孔6〇4，在機架52之對應於此貫穿孔6〇4的位置亦形成固定孔 52b。而且，藉由經由貫穿孔6〇4將螺栓6〇5鎖在固定孔 52b，而可將各自之中繼連接器6固定於機架52。回到第4圖’在固定複數個中繼連接器6之機架“的上部’經由沿著Z軸方向可稍微上下動的間陳…，設

2247-8995-PF 31 丄336404 置間隔機架93。在此間隔機架93之上部，經由副插座板間隔κ m - | h y b 設置副插座板96。此外，在該副插座板96 〜外，經由插座板間隔片97設置插座板98。叩’在中繼連接器6和副插座板96之間，利田恭呶’連接。在電氣電纜7之下側的端部，安裝元件側器8。此元件側連接器8和中繼連接器6之嵌合拆裝地連接。另一方面，電氣 1可冤纜（之上側的端部，南丨田 ~接等和副插座板96直接連接。第18圖係表示在本實施形態之元件側連接器以及測試頭側連接器的部分立體圖。。繼連人如第18圖所示，元件側連接器8和中繼連接器6之々。孔601嵌合時’元件側連接 ^ 6的輸出端子602以電性連#，各W和中繼連接器接又’中繼連接芎6夕心山端子602和測試頭側連接器41 μ * 咬接益6之輸出㈣和測試頭4以電性連接的瓜合孔42嵌合時，Η卜雖未特別圖示，和被收容部^外’測試頭侧連接器4! 以電性連接。卩於㈣頭4内之端子電子元件繼連接器6並替代以往之 7之端部的焊接作業，可 96上設置尹繼端子961， 9 6和插座板9 8之間以電在本實施形態，因為採用中中繼基板6’ ’所以無電氣電覺易於製作Hi — Fix5A。如第4圖所示’在副插座板利用此中繼端子9 61將副插座板性連接。

2247-8995-PF 32 1336404 此外，為了便於說明，雖然在第4圖僅圖示2組插座板98,但是實際上例如以4列16行之排列配置64個插座板9 8 〇在各插座板98的上部，設置具有複數個接銷（未圖示）的插座99，在該插座99之周圍設置插座導件991。此外，插座導件991係在使被測試IC元件以電性接觸插座99的接觸銷時，用以將該1C元件定位的引導手段，根據情況可省略。在以上之第1貫施形態，雖然說明將本發明應用於SBC 型式的Hi — Fix之例子，但是未特別限定如此，亦可將本發明應用於以下所示之各種型式的Hi —Fix。〈第2實施形態〉第1 9圖係表示本發明之第2實施形態的η i — F i X及測试頭的剖面圖。本實施形態之H i — F i X 5 B如第1 9圖所示，係藉由更換最上部之DSA(Device Specific Adapter) 90而可應付被測試1C元件之種類更換的CLSCCable Less)型式之Hi-F ix。此Hi - Fix5B如第1 9圖所示，由安裝於測試頭4之上部的母板51和安裝於該母板51之DSA90構成。本實施形態之Hi — Fix5B從插座99至間隔架93為止作為DSA90 —體地構成，在DSA90利用連接器92可自母板 51拆裝上，和第1實施形態之Hi — Fix5A相異。 DSA90將間隔架93設置於性能板91之上部，又在其上部經由插座板間隔片97設置插座板98而構成。將插座 2247-8995-PF 33 99說裝於插座板98上。性能板91和插座板98之間利用連接板94連接。又，存十生 At 4· Λ 1 把板91，為了和母板51拆裝分離而設置多對成對的連接器92»此連接器92的一方安裝於電氣電纜7之—側的端部。 —和第1實施形態一樣，在電氣電纜7之另一側的端部 f裝元件側連接器8。在本實施形態之Hi —ηχ5Β的最下 :，以 '沿著Hi— Fix5B之内側方向實質上平行地排列的狀心》又置在第1實施形態已詳細說明之複數個中繼連接器 6在各中繼連接器6的嵌合孔601，可拆裝地連接元件側連接器8。元件側連接器8和中繼連接器6之嵌合孔6〇1嵌合 :夺，兀件側連接器8的各端子和中繼連接器6之輸出端子 2以電性連接’又中繼連接器6的輸出端子呢和測試頭側連接器41之嵌合孔42嵌合時，Η1 —Ρΐχ5Β和測試頭彳以電性連接。〈第3實施形態〉第20圖係表示本發明之第3實施形態的Hi — Fix及測 ό式頭的剖面圖。、本實施形態之Hi-Fix5C如第2G圖所示，係每次進行被測試IC元件之種類更換，就更換Hi〜Fix5c整體之 CCN(Cable Connection)型式之 Hi_Fix。此 — 在該Hi-Fix5C完全無可分離處上，…實施形二第2 實施形態的Hi — Fix5A、5B相異。

2247-8995-PF 34 I^304U4 士此Hi Fix5C之最下部’以沿著Hi_Fix5C之内側方向貫質上平行地排列的狀態設置在第】實施形態已詳細 :兒明之複數個中繼連接@ 6。在各中繼連接器6的嵌合孔可拆裝地連接被安裝於電氣電規7之端部的接器8。電a m之另—方的端部利用焊接和插座板98直接將插座99組裝於插座板98上。在本實施形態，因為直接連接中繼連接器6和插座板98,所以可確保高品質的測試性能。 *兀件側連接器8和中繼連接器6之嵌合孔601嵌合才几件側連接器8的各端子和中繼連接器6之輸出端子 6〇2以電性連接’又中繼連接器6的輸出端子6Q2和測試頭側連接器41之嵌合孔42嵌合時，Μ —Η祝和測以電性連接。 4在以上所說明之第1〜第3實施形態，因為藉由採用中㈣接益6並替代以往之中繼基板6，，而無電氣電纜7 之端的谭接作業，所以可易於製作Hi-Fix5A〜5C。又’在採用以往之中繼基板6’㈣況，需要預先設 :、配線並裝作專用的基板。❿’本實施形態，藉由對繼連接H 6選擇性地連接元件侧連接器8，意的電路配線。任又’在修理或更換以往之中繼基板6，的情況，必須 κ 焊接處，作業性變差。而在本實施形態，因為只疋從中繼連接11 6拆裝元件側連接器8，就可修理或更換

2247-8995-PF 35 丄幻6404 中繼連接器6，所以維修性優異。又’在採用以往之中繼基板6，㈣況，因為通孔等而發生阻抗的不匹配’所以高頻信號之傳達特性變差。而，

在本貫施形態，因為去伯田Φ ή匕、》_L 馬未使用電路板，所以可抑制阻抗的不匹配。又，因為同軸電纜用插頭81和單線用插碩Μ的雙方可和1^繼連接器6之第—嵌合部601嵌合，所以可降低Hi ~~ Fix5A〜5C的價格。在以上之第卜第3實施形態，雖然說明將本發明應用於用以測試已封裝之狀態的IC &件，但是未持別限定如此，亦可將本發明應用於用於以下所示之以被製入晶圓上的1C元件為測試對象之測試的晶圓母板。〈第4實施形態> 第21圖係表示本發明之第4實施形態的晶圓母板及測試頭的剖面圖。在本發明之電子元件測試裝置，係用以測試在晶圓w 上所形成之1C元件的裝置，包括：測試頭4，經由電纜（未圖示）和測試器（未圖示）以電性連接；偵測卡2〇〇〇，和 ' 曰曰圓W上之被測試I c元件以電性連接；以及偵測器3 〇〇〇，將晶圓W壓在偵測卡2 〇〇〇。偵測卡2 0 0 0如第21圖所示，經由晶圓母板（介面裝置）1 000和測試頭4以電性連接。此偵測卡20 〇〇包括：多支偵測針2100，和晶圓w上之1C元件的輸出入端子以電性連接；印刷基板2200，已組裝此偵測針2100 ;以及 2247-8995-PF 36 1336404 ZIF(Zer〇 Insertl〇n F〇rce)連接器 23〇〇,用以將摘測卡 2000和晶圓母板1000以電性連接：以及補強件2，用以將偵測卡2000補強。此情測卡2_如第21圖所示，由環形之卡保持器3100 保持成細針篇經由中央開口面臨下方，又此卡保持器3100被環形之轉接器3200夹緊。晶圓母板1〇〇〇安裝於測試頭4之下部，而zif連接器 uoo設置於此晶圓母板1 000的最下部。從21?連接写12〇〇引出多條電氣電欖11〇〇,在各電氣電纜11〇〇之上側的端部，和第i實施形態-樣，安裝於元件側連接器13〇〇。此外，作為電氣輯HG0,例如可列舉用以傳達高速信號的同軸電繞、或用以供給電源或傳送低速信號的單線等。在晶圓母板1 000之最上部，沿著晶圓母板1 000之内側方向以實質上平行地排列的狀態設置和在第i實施形能已詳細說明之t繼連接1 6 ―樣的複數個中繼連接^ 剛。在各中繼連接器刚之嵌合孔，可拆裝地連接被安裝於電氣電境iioQ的端部之元件側連接器m 在本實施形態，和第卜第3實施形態相異，各中繼連接器“00的輸出端子15〇〇以可和設置於測試頭*之部的測試頭側連接器41之嵌合孔嵌合的方式向上方突出。几件側連接器1 300和中繼連接器1400嵌合時，元侔侧連接盗130。的各端子和中繼連接器14〇〇之輸出端子議以電性連接，又中繼連接器1400的輸出端子15〇〇 ’則°式頭側連接器41嵌合時，晶圓母板1 000和測試頭4以

2247-8995-PF 37 1^^0404 電性連接。在以上所說明之第4實施形態，接器140Γ)，品包兩严和屯休用Τ繼連可易於赞竹電纔1100之端部的焊接作業，所以、1乍晶圓母板1 000。因又，藉由對中繼連接琴〗4ηη 選擇性地連接元件側連接器 ° 線。xm β j发入任意的電路配 13。0 :只疋從中繼連接器1400拆裝元件側連接器㈣或更財繼連接―韓修性此外在本Μ形態，因為未❹電路基板，所以二=不匹配。又’因為同軸電插頭和單線用插頭之 :圓：和中繼連接器14°°的第一嵌合部嵌合，所以可降低日日圓母板1000之費用。 & 此外’以上所說明之實施形態係為了易於理而記載者，不是用以限定本發明而記載的。因此，IL 之各貫施形態所揭示的各元件，係亦包括屬於本發明術性範圍的全部之設計變更或對等物。在本發明，不論直接或間接，只要插座板98 纔7以電性連接即可。例如，如第1實施形態之SBC型^ 或第2實施形態的CLS型式所示，即使在插座板⑽和電二電纜7之間插入中繼端子961或連接器92，而間接地連接插座板98和電氣電纜7,亦可應用本發明。&，如第施形態之⑽型式所示，在直接連接插座板98和電 7的情況亦可應用本發明。％又’在上述之實施形態，雖然說明元件側連接器入令繼連接II 6之嵌合孔6G1’但是在本發明切別限定。

2247-8995-PF 38 1336404 例如，亦以將嵌合孔設置於元件侧連接器s & 出部設置於尹繼連接钱益8，而且將突疋揉态6的上面，並將令元件侧連接器8之方式構成。 ’’連接裔6插入 -樣地’在上述之實施形態，雖之突出的輪出端早βΛΟ 兄月尹繼連接器6 知子602插入測試頭側連接 42，但是在本發明去# ^ β + 按态4】之嵌合孔 ⑨本發明切靠定。例如置於中繼連接器6之下面，而 :甘入口孔投

連接器41，並將心Β ^ U於測試頭側直將別試碩側連接器41插中方式構成。 ^繼連接态6之【圖式簡單說明】测試脖第1圖係表示本發明之第1實施形態的電子元件裝置之整體的立體圖。第2圖係沿著第1圖之Π — π線的概略剖面圖。第3圖係第1圖所示之電子元件測試裝置的後視圖。 ;第4圖係表示本發明之第i實施形態的試頭的剖面圖。第5圖係從下側看本發明之帛1實施形態的η i ρ i X 之平面圆。第6圖係表示本發明之第丨實施形態的元件側連接器中繼連接器以及測試頭側連接器之剖面圖。第7圖係表示本發明之第1實施形態的中繼連接器之上部平面圖。第8圖係表示本發明之實施形態的槽孔之從底面方向

2247-8995-PF 39 1336404 的立體圖。第9圖係表示本發明之實施形態的槽孔之下部外殼的部分立體圖。第1 〇圖係表示本發明之實施形態的槽孔之從平面方向的部分立體圖。第11圖係表示本發明之實施形態的槽孔所使用之接觸構件的立體圖。第12圖係表示本發明之實施形態的槽孔所使用之接觸構件的立體圖。圖係表示本發明之實施形態的槽孔之接觸點的配置圖。 1 A j 圖係表示和本發明之實施形態的槽孔嵌合之同軸電繞用插頭的立體圖。第15圖係表示第14圖所示之同軸電纜用插頭的主部分之立體圖。第1 6圖係表示和本發明之實施形態的槽孔嵌合之線用插頭的立體圖。第1 7圓係表示第1〇圖所示之單線用插頭的主要部分之立體圖。考圖係表示本發明之第1實施形態的元件側連接連接器以及測試頭侧連接器之部分立體圖。 x及測第1 9圖係表示本發明之第2實施形態的Hi〜Fi 试頭的剖面圖。 X及測第2〇圖係表示本發明之帛3實施形態的Hi — Fi

2247-8995-PF 40 1336404 試頭的剖面圖。第21圖係表示本發明之第4實施形態的晶圓母板及測試頭的剖面圖。第22圖係表示以往之Hi — Fix及測試頭的剖面圖。【主要元件符號說明】 1 電子元件測試裝置 4 測試頭 • 41測試頭側連接器 5 A~ 5C Hi— Fix 52 機架 6 中繼連接器（槽孔） 6 01嵌合孔 6 0 2輸出端子 61 外殼 64 接觸點單元 ® 641、643c信號用第一接觸點 642a、642b 接地用接觸點 643a ' 643b 信號用第二接觸點 644第一外部連接用接觸點 645第二外部連接用接觸點 65 第一接觸構件 66 第二接觸構件 7 電氣電纜 2247-8995-PF 41 1336404 71 同軸電纜 72 單線 8 元件側連接器（插頭） 81同軸連接器（同軸電纜用插頭） 811信號用接觸點 812、81 3 接地用接觸點 814外殼 82 單線連接器（單線用插頭） # 821~823信號用接觸點 824外殼 98 插座板 99 插座 10 處理器 42

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Claims

1336404 第096125376號中文申請專利範圍修正本修正曰期：99.10.4 十、申請專利範圍： 1. 一種連接器組合體，包括：同軸連接器，係被安裝於由信號線及接地線所構成之同軸電纜的一方之端部；單線連接器，係被安裝於單線之一方的端部；及中繼連接器’係可拆裝地連接該同軸連接器及該單線連接器；其中該中繼連接器具有第一嵌合部，其係具有該同轴 • 連接器及該單線連接器可選擇地嵌合的形狀；該同轴連接器係具有該信號線以電性所連接之信號端子、以及該接地線以電性所連接的第一及第二接地端子；該單線連接器係具有3條單線各自以電性所連接之第〜第二早線端子。 2·如申請專利範圍第1項之連接器組合體，其中該第一鼓合部係具有第一〜第三輸出端子；

該同軸連接器和該第一嵌合部嵌合的情況，該信號端子和該第-輸出端子以電性連接，而且該第一及第二接地端子各自和第一及第三輸出端子以電性連接； _該早線連接器和該第―嵌合部嵌合的情況，該第— 第三單線端子各自和該H三輸出端子以電性連接。 3·如申請專利範圍第i項之連接器組合體，其中該第 :嵌合部係具有用以固定和該第一嵌合部嵌合之該同軸連接器或該單線連接器的上鎖手段；該同軸連接器及該單線連接器係具有該上鎖手段卡合 2247-8995-PF1 43 1336404 :)正替換頁所需之卡合突起 4 ·如申請專利範圍第繼連接器具有用以m '之連接器組合體’其令該中體’·有用〜置複數個該第一嵌合部的連接器本該中繼連接器的該連技吳I * 其：+ u 接15本體係具有電性連接於雷踗基板之基板側連接器可钱合的第二嵌合部。、電路 5·種介面裝置，安裝於用以 _ 測試的測試頭’並在該被測試；式電子凡件之行電性連接的中繼， 70〜K頭之間進其特徵在於：包括申請專利範圍第4項之連接器組合體；該中繼連接器係設於該介鄰的位置，· "面裝置-置中和該測試頭相該電氣電纜之另一端係和與該被測試電子元件接觸的量測板以電性連接；電拴該基板側連接器係和該測試頭以電性連接。 6.種槽孔型連接器，可接受連接同抽電規之纜用插頭型連接器及連接多條軍電之任-者，早線的早線用插頭型連接器其特徵在於包括：第-接觸點群，係包括信號用第一接觸點及位於號用第-接觸點為中心之對稱位置的—對接地轉觸點7 用以和該同軸電纜用插頭型連接器以電性連接； ”，第二接觸點群’係包括該信號用第—接觸點及各自位 2247-8995-PF1 44 1336404 ___ 押年^日修(更)正替換頁 ^* ·< «^^*#· —.·· · - « « *· · —»·，一 _ . 於與該信號用第一接觸點等距離之2點的一對信號用第二接觸點’用以和該單線用插頭型連接器以電性連接；以及絕緣外殼，係用以保持該第一接觸點群及第二接觸點群。 7.如申請專利範圍第6項之槽孔型連接器，其中從嵌合面看’該第二接觸點群的各信號用第二接觸點係配置於以連接該一對接地用接觸點之直線為邊界的任一側。 ^ 8.如申請專利範圍第6或7項之槽孔型連接器，其中該一對接地用接觸點係以該信號用第一接觸點為中心對稱地配置之彼此平行的板狀物。 9.如申清專利範圍第6或7項之槽孔型連接器，其中該信號用第一接觸點及各信號用第二接觸點具有彼此相同的形狀。 10·如申請專利範圍第6或7項之槽孔型連接器，其中對該信號用第一接觸點位於同一側之一對該接地用接觸點 • 的一方及一對該信號用第二接觸點之一方係一體地形成。 11. 如申請專利範圍第6或7項之槽孔型連接器，其中包括複數個由該第一接觸點群及第二接觸點群所構成之接觸點單元。 12. -種連接器組合體，可接受連接同#電纜之同軸電鏡用插頭型連接器及連接多條單線的單線用插頭型連接器之任-者的槽孔型連接器、及和該槽孔型連接器以電性連接之該同轴電缓用插頭型連接器或該單線用插頭型連接器的連接器組合體， 2247-8995-PF1 45 UJ0404 其特徵在於包括： 0第一接觸點群，係包括信號用第-接觸點及位於以信號用第-接觸點為中心之對稱位置的一對接地用接觸點，用以和該同軸钱’頭型連接S以電性連接；第二接觸點群’係包括該信號用第一接觸點及各自位於與該信號用第-接觸點等距離之2點的一對，號用第二接觸點1以和該單線用插頭型連接器以電性連接；以及群。絕緣外殼’係用以保持該第一接觸點群及第二接觸點 .種"面裝置，安裝於用以進行被測試電子元件之測試的測試頭，並在該被測試電子元件和該測試頭之間進行電性連接的中繼，其特徵在於：包括如申請專利範圍帛12項之連接||組合體；該中繼連接器係設於該介面穿 ®衮置0又置中和該測試頭相

鄰的位置；該電氣電徵之另一端係和與該被測試電子元件以電性接觸的量測板以電性連接；該基板側連接器係和該測試頭以電性連接。 2247-8995-PF1 46