KR20080027446A - 커넥터 조립체, 리셉터클형 커넥터 및 인터페이스 장치 - Google Patents

Abstract

범용성이 우수한 커넥터 조립체를 제공한다.

전기 케이블(7)을 테스트 헤드(4)에 전기적으로 접속하기 위한 커넥터 조립체는 전기 케이블(7)의 한쪽의 단부에 설치된 복수종의 케이블측 커넥터(8)와, 복수종의 케이블측 커넥터(8)가 착탈 가능하게 접속되는 중계 커넥터(6)를 구비하고, 중계 커넥터(6)는 모든 종류의 케이블측 커넥터(8)가 결합 가능한 형상을 갖는 제 1결합부(601)와, 테스트 헤드(4)의 핀 일렉트로닉스에 전기적으로 접속되어 있는 테스트 헤드측 커넥터(41)에 결합 가능한 출력 단자(602)를 갖고 있다.

커넥터, 리셉터클, 인터페이스

Description

커넥터 조립체, 리셉터클형 커넥터 및 인터페이스 장치{CONNECTOR ASSEMBLY, RECEPTACLE CONNECTOR AND INTERFACE APPARATUS}

본 발명은 전기 케이블을 회로기판에 전기적으로 접속하기 위한 커넥터 조립체, 상기 커넥터 조립체를 구성하는 리셉터클형 커넥터, 및 전자부품 시험장치에 서 테스트 헤드와 피시험 전자부품의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 인터페이스 장치에 관한 것이다.

반도체 집적회로 소자 등의 각종 전자부품(이하, 대표적으로 IC디바이스라 칭한다.)의 제조과정에서는, 웨이퍼 상에 조립된 상태나 패키징된 상태로 IC디바이스의 성능이나 기능을 시험하기 위하여 전자부품 시험장치가 사용되고 있다.

상기 전자부품 시험장치는 핸들러(Handler)나 프로버(Prober)를 사용해서 IC디바이스를 테스트 헤드에 전기적으로 접속하여 테스터(Tester)에 의해 시험을 실행한다. 테스트 헤드의 상부에는 IC디바이스와 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하기 위한 것으로 불리는 인터페이스 장치(이하, 간단히 하이픽스 또는 웨이퍼 마더 보드라 칭한다.)가 설치되어 있다.

종래의 하이픽스(5')는 도 22에 도시한 바와 같이 IC디바이스의 입출력 단자 에 전기적으로 접촉하는 콘택트핀을 다수 갖는 소켓(99)이 실장된 소켓 보드(98)를 최상부에 구비하고 있는 동시에, 전기 케이블(7)을 통해서 상기 소켓 보드(98)에 전기적으로 접속된 중계 기판(6')을 최하부에 구비하고 있고, 중계 기판(6')에 전기 케이블(7)의 단부가 직접 납땜되어 있다. 하이픽스(5')는 상기 중계 기판(6')을 통해 테스트 헤드(4)에 전기적으로 접속되어 있다.

테스트의 효율화를 도모하기 위하여, 1개의 하이픽스에는 다수(예컨대 32개, 64개 혹은 128개)의 소켓이 설치되어 있고, 게다가 각 소켓으로부터는 몇 가닥의 전기 케이블이 도출되어 있다.

이 때문에, 하이픽스를 제작할 때에 수천의 전기 케이블을 중계 기판에 납땜해야만 하고 많은 공수를 소비하는 동시에 숙련을 필요로 하며 하이픽스의 코스트 업의 한 요인이 되는 과제가 있다.

이와 같은 과제에 대하여 중계 기판을 착탈 가능한 커넥터 구조로 변경하는 것이 유효하게 생각된다. 그렇지만, 소켓 보드와 중계 기판을 전기적으로 접속하는 전기 케이블에는 예컨대 고속 신호를 전송하기 위한 동축 케이블이나, 전원 공급 혹은 저속 신호를 전송하기 위한 단선(單線) 등의 복수종의 케이블이 포함된다. 이 때문에 이들 모든 케이블에 대응된 복수종의 커넥터를 준비해야만 하고 하이픽스의 코스트 다운을 충분히 도모할 수가 없다.

본 발명은 범용성이 우수한 커넥터 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 전기 케이블의 한쪽 단부에 설치된 복수종의 케이블측 커넥터와, 상기 복수종의 케이블측 커넥터가 착탈 가능하게 접속되는 중계 커넥터를 구비하고, 상기 중계 커넥터는 상기 모든 종류의 케이블측 커넥터가 결합 가능한 형상을 갖는 제 1결합부를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체가 제공된다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 복수종의 케이블측 커넥터는, 신호선 및 그라운드선으로 이루어지는 동축 케이블의 한쪽 단부에 설치된 동축 커넥터와, 단선의 한쪽 단부에 설치된 단선 커넥터를 포함하고, 상기 중계 커넥터의 상기 제 1결합부는 상기 동축 커넥터가 결합 가능한 동시에 상기 단선 커넥터가 결합 가능한 형상을 갖는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 중계 커넥터는 복수의 상기 제 1결합부가 설치되어 있는 커넥터 본체를 갖는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 동축 케이블은 신호선 및 그라운드선으로 구성되고, 상기 동축 커넥터는 상기 신호선이 전기적으로 접속된 신호 단자와, 상기 그라운드선이 전기적으로 접속된 제 1 및 제 2그라운드 단자를 갖고 있고, 상기 단선 커넥터는 3개의 단선이 각각 전기적으로 접속된 제 1~제 3단선 단자를 갖는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1결합부는 제 1~제 3출력 단자를 갖고 있고, 상기 동축 커넥터가 상기 제 1결합부에 결합된 경우, 상기 신호 단자가 상기 제 1출력 단자에 전기적으로 접속되는 동시에 상기 제 1 및 제 2그라운드 단자가 상기 제 2 및 제 3출력 단자에 각각 전기적으로 접속되고, 상기 단선 커넥터가 상기 제 1결합부에 결합된 경우, 상기 제 1~제 3단선 단자가 상기 제 1~제 3출력 단자에 각각 전기적으로 접속되는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 제 1결합부는 상기 제 1결합부에 결합된 상기 동축 커넥터 또는 상기 단선 커넥터를 고정하기 위한 로크 수단을 갖고, 상기 동축 커넥터 및 상기 단선 커넥터는 상기 로크 수단이 걸어 맞춰지기 위한 결합 돌기를 갖는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 중계 커넥터의 상기 커넥터 본체는 상기 회로 기판에 전기적으로 접속되는 기판측 커넥터가 결합 가능한 제 2결합부를 갖는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 리셉터클형 커넥터는 동축 케이블이 접속된 동축 케이블용 플러그형 커넥터 및 복수의 단선이 접속된 단선용 플러그형 커넥터 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 리셉터클형 커넥터이다. 상기 리셉터클형 커넥터(이하, 단지 리셉터클이라 칭한다)는 동축 케이블용 플러그형 커넥터(이하, 단지 동축 케이블용 플러그라 칭한다)와 전기적 접속을 이루기 위한 제 1콘택트군 및 단선용 플러그형 커넥터(이하, 단지 단선용 플러그라 칭한다)와 전기적 접속을 이루기 위한 제 2콘 택트군을 구비하고 있다. 제 1콘택트군은 신호용 제 1콘택트 및 신호용 제 1콘택트군을 중심으로 하여 대칭으로 위치하는 한쌍의 그라운드용 콘택트를 포함하고 있다. 또한, 제 2콘택트군은 신호용 제 1콘택트 및 신호용 제 1콘택트로부터 등거리에 있는 2점에 각각 위치하는 한쌍의 신호용 제 2콘택트를 포함하고 있다. 또한, 본 발명의 리셉터클은 제 1콘택트군 및 제 2콘택트군을 지지하기 위한 절연 하우징을 구비하고 있다. 또한 본 발명의 리셉터클은 결합면에서 보아서 제 2콘택트군의 각 제 2신호용 콘택트가, 한쌍의 그라운드용 콘택트를 잇는 직선을 경계로 하여 어느 한쪽에 배치되어 있다.

여기에서, 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것이라도 수용할 수 있다는 것은 1개의 결합 오목부에 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 것을 의미한다. 동축 케이블용 플러그를 수용하는 결합 오목부와 단선용 플러그를 수용하는 결합 오목부를 별개로 구비하는 형태는 제외된다. 본 발명은 절연 하우징으로 결합 오목부를 형성할 수가 있고, 결합 오목부 어디라도 제 1콘택트군 및 제 2콘택트군을 배설함으로써 1개의 결합 오목부에 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것이라도 수용할 수가 있다.

본 발명의 리셉터클은 상기 구성을 채용함으로써 제 1콘택트군의 신호용 제 1콘택트가 제 2콘택트군에서의 1개의 신호용 콘택트를 겸하는 것이 된다. 결국 본 발명의 리셉터클은 1개의 결합 오목부에 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 구성의 요소로서, 제 1콘택트군과 제 2콘택트군에서 1개의 신호용 콘택트를 겸용하기 때문이다. 이와 같이 콘택트 수를 삭감함으 로써 결합 오목부에서의 상기 신호용 콘택트의 점유 면적을 작게 할 수 있다. 이것은 결합 오목부에 각 콘택트를 고밀도로 배치할 수 있는 것을 의미하고, 제 1콘택트군 및 제 2콘택트군으로 구성되는 1단위의 콘택트 유닛을 다수 배열하는 경우에 전체를 컴팩트하게 할 수 있는 잇점을 준다. 또한, 제 1콘택트군과 제 2콘택트군에서 신호용 콘택트를 겸용함으로써 상기 신호용 콘택트에 나란히 늘어서 있는 외부 접속용 콘택트를 1개로 할 수 있는 잇점이 있다. 이것도 리셉터클의 컴팩트화에 기여한다.

다음에, 동축 케이블용 플러그에 대응하는 제 1콘택트군에서 한쌍의 그라운드용 콘택트는 신호용 제 1콘택트를 중심으로 하여 각각 대칭의 위치에 배치된다. 제 1콘택트군에서 한쌍의 그라운드용 콘택트 및 신호용 콘택트를 이등변 삼각형의 정점에 각각 배치할 수도 있다. 그러나, 상기 배치는 동축 구조와는 거리가 멀기 때문에 동축 케이블간의 특성 임피던스의 정합이 이루어지기 어렵다. 따라서, 의사적인 동축 구조를 실현하기 위하여 한쌍의 그라운드용 콘택트를 신호용 제 1콘택트를 중심으로 하여 각각 대칭의 위치에 배치하는 것이다. 의사적인 동축 구조로서는 예컨대 한쌍의 그라운드용 콘택트를 서로 평행한 판상체로 할 수가 있다.

제 2콘택트군은 제 1콘택트군과 겸용의 신호용 제 1콘택트로부터 등거리에 각각 배치되는 2개의 제 2콘택트를 포함하고 있다. 단, 본 발명의 리셉터클에서 제 2콘택트군의 각각의 제 2신호용 콘택트가, 제 1콘택트군의 한쌍의 그라운드용 콘택트를 잇는 직선을 경계로 하여 어느 한쪽에 배치된다. 따라서, 제 2콘택트군에서 신호용 제 1콘택트와 한쌍의 제 2콘택트는 이등변 삼각형의 각 정점에 배치되는 것 이 된다. 한편 어느 한쪽에 배치되는가의 여부는 결합면에서 보아서 정해진다.

본 발명의 리셉터클에서 신호용 제 1콘택트 및 각각의 신호용 제 2콘택트는 서로 동일한 형상을 갖고 있는 것이 바람직하다. 단선용 플러그의 3개의 콘택트는 부품 갯수를 삭감하기 위하여 서로 동일 형상인 것이 바람직하다. 따라서, 접속 상대인 신호용 제 1콘택트 및 각각의 신호용 제 2콘택트도 서로 동일 형상인 것이 바람직하다.

여기에서, 제 1콘택트군을 구성하는 신호용 제 1콘택트와 한쌍의 그라운드용 콘택트는 서로 전기적으로 독립하여 있을 필요가 있다. 또한, 제 2콘택트군을 구성하는 신호용 제 1콘택트와 한쌍의 신호용 제 2콘택트는 서로 전기적으로 독립하여 있을 필요가 있다. 그러나, 제 1콘택트군의 그라운드용 콘택트와 제 2콘택트군의 신호용 제 2콘택트는 서로 전기적으로 접속되어 있더라도 지장은 없다. 여기에서, 본 발명의 리셉터클에서는 신호용 제 1콘택트에 대하여 동일측에 위치하는 그라운드용 콘택트와 신호용 제 2콘택트를 일체로 형성하는 것이 바람직하다. 각각 독립한 부재로 하는 것보다도 부품 갯수를 삭감할 수가 있기 때문에 콘택트 유닛을 고밀도로 구성할 수가 있다. 이 구성에 의해 후술하는 바와 같이 그라운드 루프의 영향을 작게 할 수 있다. 또한, 이와 같은 구성으로 함으로써 4개의 콘택트에 대한 외부 접속용 콘택트를 2개로 집약할 수가 있다. 상술한 신호용 콘택트를 겸용한 것에 따른 1개의 외부 접속용 콘택트를 합쳐서 도합 3개의 외부 접속용 콘택트로 충분하게 된다.

본 발명은 제 1콘택트군과 제 2콘택트군으로 구성되는 콘택트 유닛을 복수 구비한 리셉터클로 할 수도 있다. 이 경우 콘택트 유닛은 지그재그형 격자 모양으로 배열하는 것이 바람직하다. 차동 전송용 커넥터와 마찬가지로 그라운드용 콘택트와 신호용 콘택트가 교대로 배치되는 결과 고주파 특성의 저하를 억제할 수 있기 때문이다.

본 발명은 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 리셉터클과, 리셉터클과 전기적으로 접속된 동축 케이블용 플러그 또는 단선용 플러그의 커넥터 조립체로 하여 구현할 수도 있다. 상기 리셉터클은 상술한 어느 것의 구성도 채용할 수가 있다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 피시험 전자부품의 테스트를 수행하기 위한 테스트 헤드에 장착되어, 상기 피시험 전자부품과 상기 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 인터페이스 장치로서, 상기의 커넥터 조립체를 구비하고 있고, 상기 중계 커넥터가 상기 인터페이스 장치에서 상기 테스트 헤드에 인접하는 위치에 설치되고, 상기 전기 케이블의 타단이 상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속하는 계측 보드에 전기적으로 접속되고, 상기 기판측 커넥터는 상기 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인터페이스 장치가 제공된다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 중계 커넥터는 복수의 상기 제 1결합부를 갖고 있는 동시에 복수의 상기 제 2결합부를 갖고 있는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 복수의 상기 중계 커넥터를 구비 하고 있는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 중계 커넥터는 상기 테스트 헤드측 커넥터를 향하여 돌출되어 있는 위치 결정핀을 갖고, 상기 테스트 헤드측 커넥터는 상기 위치 결정핀에 대향하도록 위치 결정 구멍을 갖고 있는 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 피시험 전자부품은 패키징된 반도체 디바이스이고, 상기 계측 보드는 상기 반도체 디바이스에 전기적으로 접촉하는 소켓이 실장된 소켓 보드인 것이 바람직하다.

상기 발명에서는 특별히 한정되지 않지만, 상기 피시험 전자부품은 웨이퍼 상에 형성된 반도체 디바이스이고 상기 계측 보드는 상기 반도체 디바이스에 전기적으로 접촉하는 프로브침이 실장된 프로브 카드인 것이 바람직하다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 피시험 전자부품의 테스트를 수행하기 위한 전자부품 시험장치로서, 테스트시 상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속되는 테스트 헤드와, 상기 테스트 헤드에 장착되어 상기 피시험 전자부품과 상기 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 상기 인터페이스 장치를 구비한 전자부품 시험장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초해서 설명한다.

〈제 1실시 형태 〉

도 1은 본 실시 형태에 따른 전자부품 시험장치의 전체를 도시한 사시도, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 개략 단면도, 도 3은 도 1에 도시한 전자부품 시험장치의 배면도이다. 우선, 이들 도 1~도 3을 참조하여 본 실시 형태에 따른 전자부품 시험장치의 전체 구성을 개략적으로 설명한다.

본 실시 형태에 따른 전자부품 시험장치(1)는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 피시험 IC디바이스를 처리하기 위한 핸들러(10)와, 피시험 IC디바이스가 전기적으로 접속되는 테스트 헤드(4)와, 상기 테스트 헤드(4)에 시험 신호를 보내서 피시험 IC디바이스의 테스트를 실행하는 테스터(3)로 구성되어 있다.

핸들러(10)는 피시험 IC디바이스에 고온 또는 저온의 열스트레스를 인가한 상태로 IC디바이스를 테스트 헤드(4)에 공급하고, 시험이 완료되면 이 시험 결과에 기초해서 IC디바이스를 분류하는 장치이고, 저장부(200), 로더부(300), 챔버부(100) 및 언로더부(400)를 구비하고 있다.

피시험 IC디바이스를 다수 수용한 커스터머 트레이가 저장부(200)에 저장되어 있다. 로더부(300)에서 상기 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이(핸들러(10) 내를 순환 반송되는 트레이)에 시험전의 IC디바이스가 옮겨 적재된 후, 챔버부(100) 내에 상기 테스트 트레이가 반입된다. 챔버부(100)에서, IC디바이스에 소정의 열스트레스를 인가한 후에, 테스트 트레이에 탑재된 상태로 각 IC디바이스를 테스트 헤드(40)로 밀어 붙여서, 각 IC디바이스를 소켓(99)에 전기적으로 접촉시켜서 IC디바이스의 테스트를 실시한다. 시험 종료된 IC디바이스는 챔버부(100)로부터 언로더부(400)로 반출되어 시험 결과에 따라 커스터머 트레이에 옮겨 적재된다. 한편, 종래의 하이픽스와 마찬가지의 구성에 대해서는 동일 참조 부호를 부여한다.

저장부(200)에는 시험전의 IC디바이스를 수용한 커스터머 트레이를 저장하는 시험전 IC스토커(201)와, 시험 결과에 따라 분류된 IC디바이스를 수용한 커스터머 트레이를 저장하는 시험 종료 IC스토커(202)가 설치되어 있다.

시험전의 IC스토커(201) 및 시험 종료 IC스토커(202)는 트레이 지지틀(203)과, 상기 트레이 지지틀(203) 내를 승강 가능한 엘리베이터(204)를 갖고 있다. 트레이 지지틀(203)에는 도면 이외의 커스터머 트레이가 복수 적층되어 지지되어 있고, 이들 커스터머 트레이를 엘리베이터(204)로 상하 이동시키는 것이 가능하게 되어 있다.

시험전 IC스토커(201)는 시험전의 IC디바이스를 수용한 커스터머 트레이를 적층하여 홀드하고 있다. 이에 대해, 시험 종료 IC스토커(202)는 시험 종료된 IC디바이스를 시험 결과에 따라 수납하는 커스터머 트레이를 적층하여 홀드하고 있다.

시험전 IC스토커(201)에 저장되어 있는 커스터머 트레이는 로더부(300)로 운반되고, 상기 로더부(300)에서 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이에 시험전의 IC디바이스가 옮겨진다.

로더부(300)는 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이에 피시험 IC디바이스를 옮겨 적재하는 XY반송 장치(304)를 구비하고 있다. 상기 XY반송 장치(304)는 도 1에 도시한 바와 같이 메인 프레임(105) 상에 가설된 2개의 레일(301)과, 상기 2개의 레일(301)에 의해 커스터머 트레이와 테스트 트레이의 사이를 왕복 이동(이 방향을 Y 방향으로 한다) 가능한 가동암(302)과, 상기 가동암(302)에 의해 지지되어, 가동 암(302)을 따라 X방향으로 이동 가능한 가동 헤드(303)를 구비하고 있다.

상기 XY반송 장치(304)의 가동 헤드(303)에는 피시험 IC디바이스를 흡착 홀드하는 것이 가능한 흡착 헤드가 장착되어 있다. 흡착 헤드는 가동 헤드(303)에 대해서 예컨대 8개 정도 장착되어 있어 한번에 8개의 피시험 IC디바이스를 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이에 옮겨 적재하는 것이 가능하게 되어 있다.

로더부(300)의 메인 프레임(105)에는 상기 로더부(300)로 운반된 커스터머 트레이가 메인 프레임(105)의 윗면을 향하도록 배치되는 한쌍의 창부(306),(306)가 개설되어 있다. 도시는 생략하지만, 각 창부(306)에는 커스터머 트레이를 홀드하기 위하여 홀드용 후크가 설치되어 있어 커스터머 트레이의 윗면이 창부(306)를 통해서 메인 프레임(105)의 표면을 향하는 위치에서 커스터머 트레이가 흘드되도록 되어 있다.

또한, 각각의 창부(306)의 하측에는 커스터머 트레이를 승강시키기 위한 승강 테이블이 설치되어 있다. 상기 승강 테이블은 시험전의 IC디바이스가 옮겨 적재되어 비게 된 커스터머 트레이를 하강시켜서 트레이 이송암((205)으로 인도한다.

챔버부(100)는 테스트 트레이에 적재되어 들어온 피시험 IC디바이스에 목적으로 하는 고온 또는 저온의 온도 스트레스를 인가하는 항온조(101)와, 상기 항온조(101)에서 온도 스트레스가 부여된 상태에 있는 피시험 IC디바이스를 테스트 헤드(4)로 밀어 붙이는 테스트 챔버(102)와, 시험후의 IC디바이스로부터, 인가된 온도 스트레스를 제거하는 제열조(103)로 구성되어 있다.

항온조(101)에서 고온을 인가한 경우는 제열조(103)에서 피시험 IC디바이스를 송풍에 의해 냉각하여 실온으로 되돌린다. 또한, 항온조(101)에서 예컨대 -30℃ 정도의 저온을 인가한 경우는 제열조(103)에서 피시험 IC디바이스를 온풍 또는 히터 등으로 가열하여 결로를 발생하지 않을 정도의 온도까지 되돌린다. 그리고, 상기 제열된 피시험 IC디바이스는 언로더부(400)로 반출한다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 테스트 쳄버(102)의 저면을 구성하는 핸들러(10)의 베이스부(11)의 대략 중앙에 개구(11a)가 형성되어 있고, 상기 개구(11a) 내에 테스트 헤드(4)의 상부에 장착된 하이픽스(5A)가 연결되어 있다.

상기 하이픽스(5A)의 소켓(99) 상에 테스트 트레이가 운반되면, Z축 구동 장치(미도시)가 푸셔(미도시)를 통해 피시험 IC디바이스를 하이픽스(5A)로 밀어 붙여서 테스트 트레이 상의 다수의 피시험 IC디바이스의 입출력 단자를, 소켓(99)의 콘택트핀에 전기적으로 접촉시킨다. 그리고, 테스터(3)가 테스트 헤드(4)를 통하여 피시험 IC디바이스로 시험 신호를 보내서 피시험 IC디바이스의 테스트를 실행한다. 이 시험 결과는 예컨대 테스트 트레이에 부여된 식별 번호와, 테스트 트레이의 내부로 할당된 피시험 IC디바이스의 번호로 결정되는 어드레스에 기억된다. 시험이 종료된 테스트 트레이는 제열조(103)에서 IC디바이스의 온도가 실온으로 되돌린 후에 언로더부(400)로 반출된다.

언로더부(400)에도 로더부(300)에 설치된 XY반송 장치(304)와 동일 구조의 XY반송 장치(404)가 설치되어 있다. 상기 XY반송 장치(404)에 의해 언로더부(400)로 반출된 테스트 트레이로부터, 시험 종료된 IC디바이스가 커스터머 트레이로 옮겨 적재된다.

언로더부(400)의 메인 프레임(105)에는 상기 언로더부(400)로 운반된 커스터 머 트레이가 메인 프레임(105)의 윗면을 향하도록 배치되는 한쌍의 창부(406),(406)가 두쌍 개설되어 있다. 도시는 생략하지만, 각 창부(406)에 커스터머 트레이를 홀드하기 위한 홀드용 후크가 설치되어 있어 커스터머 트레이의 윗면이 창부(406)를 통하여 메인 프레임(105)의 표면을 향하는 위치로 커스터머 트레이가 홀드되도록 되어 있다.

또한, 각각의 창부(406)의 하측에는 커스터머 트레이를 승강시키기 위한 승강 테이블이 설치되어 있다. 상기 승강 테이블은 시험 종료된 IC디바이스로 가득차게 된 커스터머 트레이를 하강시켜 트레이 이송암(205)으로 인도한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 저장부(200)에는 스토커(201),(201) 상을 이동 가능한 트레이 이송암(205)이 설치되어 있어 로더부(300), 언로더부(400) 및 스토커(201),(202)의 사이에서 커스터머 트레이를 이송하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 4는 본 실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도, 도 5는 본 실시 형태에 따른 하이픽스를 하측에서 바라본 평면도, 도 6은 본 실시 형태에서의 디바이스측 커넥터, 중계 커넥터 및 테스트 헤드측 커넥터를 도시한 단면도, 도 7은 본 실시 형태에서의 중계 커넥터를 도시한 상부 평면도이다.

본 실시 형태에 따른 하이픽스(5A)는 도 4에 도시한 바와 같이 최상부의 소켓 보드(98)만을 교환함으로써 피시험 IC디바이스의 품종 교환에 대응하는 것이 가능한 SBC(Socket Board Change) 타입의 하이픽스이다. 상기 하이픽스(5A)는 동 도면에 도시한 바와 같이 테스트 헤드(4)의 상부에 설치된 테스트 헤드측 커넥터(41)(기판측 커넥터) 및 중계 커넥터(리셉터클)(6)를 통하여 테스트 헤드(4)의 상부에 장착되어 있다.

하이픽스(5A)는 도 5에 도시한 바와 같이 복수(도 5에 도시한 예에서는 28개)의 중계 커넥터(6)를 갖고 있다. 이들 중계 커넥터(6)는 하이픽스(5A)의 최하부에 위치하고 있고, 하이픽스(5A)의 깊이 방향을 따라 실질적으로 평행하게 늘어선 상태로 틀 형상의 프레임(52)에 고정되어 있다.

각 중계 커넥터(6)는 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같은 절연 재료로 이루어지는 대략 각봉(角棒) 형상의 하우징(61)을 갖고 있다. 각 중계 커넥터(6)의 하우징(61)의 윗면에는 전기 케이블(7)의 단부에 설치된 디바이스측 커넥터(8)가 결합하는 복수의 결합 구멍(601)이 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는 하이픽스(5A)의 깊이 방향을 따라 복수의 결합 구멍(601)이 2열로 늘어서 배치되어 있다.

하나의 중계 커넥터(6)에 복수의 결합 구멍(601)을 형성함으로써 프레임(52)에 설치되는 중계 커넥터(6)의 수를 줄일 수 있기 때문에 중계 커넥터(6)를 하이픽스(5A)의 프레임(52)에 설치하는 작업의 작업성이 향상된다. 또한, 중계 커넥터(6)의 유지 보수시의 작업성도 향상된다.

또한, 중계 커넥터(6)를 복수(도 5에 도시한 예에서는 28개)로 분할함으로써 모든 결합 구멍(601)을 하나의 중계 커넥터에 형성하는 경우와 비교하여 유지 보수의 대상이 되는 중계 커넥터(6)만을 빼는 등 할 수 있기 때문에 중계 커넥터(6)의 유지 보수 작업성이 향상된다.

본 실시 형태에서는 도 7에 도시한 바와 같이, 중계 커넥터(6) 1개당 복수의 결합 구멍(601)을 하이픽스(5A)의 깊이 방향 전역으로 뻗쳐 2열로 늘어서 격자 모 양으로 배열하고 있다. 한편, 본 발명에서는 특별히 이것에 한정되지 않지만, 예컨대 복수의 결합 구멍(601)을 하이픽스(5A)의 깊이 방향 전역으로 뻗쳐 1열 혹은 3열 이상으로 늘어서 배치하거나, 예컨대 m×n개의 결합 구멍(601)을 m행 n열로 배치하여도 좋다(단, m 및 n은 모두 자연수이고, 적어도 한쪽이 2 이상이다).

도 8은 본 실시 형태에서의 리셉터클(6)을 하방에서 바라본 사시도이다. 도시한 바와 같이, 리셉터클(중계 커넥터(6))의 하우징(61)은 하부 하우징(62)과 상부 하우징(63)으로 구성되어 있다. 리셉터클(6)은 동축 케이블이 접속된 동축 케이블용 플러그 및 3개의 단선이 접속된 단선용 플러그 중 어느 하나를 수용할 수가 있는 것이다.

리셉터클(6)의 각 콘택트는 하부 하우징(62)에 압입되어 지지된다. 또한, 상부 하우징(63)은 동축 케이블용 플러그(동축 커넥터)(81) 또는 단선용 플러그(단선 커넥터)(82)를 수용하기 위한 결합 오목부(601)를 구비한다.

도 9는 하부 하우징(62)의 내부를 도시한 부분 사시도, 도 10은 리셉터클(6)을 결합면측에서 바라본 부분 사시도이다.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 하부 하우징(62)은 바닥부(621)와, 그 주연으로부터 설치되는 측벽(622)을 구비하고, 바닥부(621)에 대향하는 면이 개방된 상자 모양의 형태를 갖고 있다. 또한, 하부 하우징(62)의 바닥부(621)의 하측에는 직사각형의 외부 접속용 콘택트 지지부(624)가 바닥부(621)의 길이 방향을 따라 형성되어 있다.

하부 하우징(62)에는 콘택트 유닛(64)을 구성하는 각 콘택트가 지지되어 있 다. 상기 콘택트 유닛(64)은 동축 케이블용 플러그 및 단선용 플러그 중 어느 것과도 결합하는데 필요한 복수의 콘택트의 집합 단위를 의미한다. 1개의 콘택트 유닛(64)은 신호용 제 1콘택트(641)(643c), 그라운드용 콘택트(642a),(642b), 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)의 합계 5개의 콘택트로 구성된다. 여기에서, 상세하게는 후술하지만, 신호용 제 1콘택트(641)(643c)는 1개의 콘택트 부재(65)로 구성되어 있다. 또한, 그라운드용 콘택트(642a)와 신호용 제 2콘택트(643a) 및 그라운드용 콘택트(642b)와 신호용 제 2콘택트(643b)는 각각이 일체의 콘택트 부재(66)로 구성되어 있고, 동일 형상으로 되어 있다. 따라서, 5개의 콘택트가 3개의 콘택트 부재로 구성된다. 상기 5개의 콘택트는 바닥부(621)로부터 소정의 높이까지 설치되어 있는 경계벽(623)으로 둘러싸여 있다. 상기 콘택트 유닛(64)은 후술하는 동축 케이블용 플러그(81) 및 단선용 플러그(82) 중 어느 것과도 결합이 가능하다. 동축 케이블용 플러그(81)는 신호용 제 1콘택트(641), 그라운드용 콘택트(642a),(642b)와 전기적으로 접속된다. 또한, 단선용 플러그(82)는 신호용 제 1콘택트(643c) 및 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)와 전기적으로 접속된다.

도 11에 신호용 제 1콘택트(641)(643c)를 구성하는 제 1콘택트 부재(65)의 사시도를 도시하고 있다. 제 1콘택트 부재(65)는 금속판을 펀칭 및 절곡함으로써 일체로 형성되어 있다.

제 1콘택트 부재(65)는 그 한쪽단에 신호용 제 1콘택트(641)(643c)로 이루어지는 한쌍의 탄성편(651),(652)을 구비하고 있다. 탄성편(651),(652)은 그 기부에 서 U자 모양의 연결부(653)에 의해 서로 접속되어 있다. 탄성편(651),(652)은 서로 다른쪽을 향해서 굴곡하는 부분을 갖고 있고, 클립 모양의 콘택트를 구성하고 있다. 탄성편(651),(652)의 사이에 상대측 콘택트가 삽입됨으로써 신호용 제 1콘택트(641)(643c)와 상대측 콘택트가 전기적으로 접속된다. 상기 상대측 콘택트는 후술하는 동축 케이블용 플러그(81)의 신호용 콘택트 또는 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트이다.

연결부(653)로부터 제 1콘택트 부재(65)의 다른쪽단을 향해서 연장부(654)가 형성되어 있다. 연장부(654)는 하부 하우징(62)의 바닥부(621)를 관통한다. 따라서, 바닥부(621)에는 연장부(654)가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 연결부(653)와 연장부(654)의 사이에 압입부(655)가 형성되어 있고, 이 압입부(655)가 상기 관통 구멍에 압입된다. 바닥부(621)를 관통한 연장부(654)는 외부 접속용 콘택트 지지부(624)를 따라 배치되고 이 일부가 외부 접속용 콘택트(644)를 구성한다.

도 12에 그라운드용 콘택트(642a)(642b)와 신호용 제 2콘택트(643a)(643b)를 구성하는 제 2콘택트 부재(66)의 사시도를 도시하고 있다. 제 2콘택트 부재(66)도 또한 금속판을 펀칭 및 절곡함으로써 일체로 형성되어 있다.

제 2콘택트 부재(66)는 그 한쪽단에 신호용 제 2콘택트(643a)(643b)로 이루어지는 한쌍의 탄성편(661),(662)을 구비하고 있다. 탄성편(661),(662)은 그 기부에서 U자 모양의 연결부(663)에 의해 서로 접속되어 있다. 탄성편(661),(662)은 서로 다른쪽을 향해서 굴곡하는 부분을 갖고 있고, 클립 모양의 콘택트를 구성하고 있다. 탄성편(661),(662)의 사이에 상대측 콘택트가 삽입됨으로써 신호용 제 2콘택 트(643a)(643b)와 상대측 콘택트가 전기적으로 접속된다. 상기 상대측 콘택트는 후술하는 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트이다. 한편, 신호용 제 2콘택트(643a)(643b)는 신호용 제 1콘택트(641)(643c)와 동일한 형상을 이루고 있다. 단선용 플러그(82)의 3개의 신호용 콘택트가 동일 형상인 것에 대응하고 있다.

제 2콘택트 부재(66)는 판상체(664)를 구비하고 있다. 판상체(664)는 제 2콘택트 부재(66)가 하부 하우징(62)에 지지된 상태로 그라운드용 콘택트(642a)(642b)를 구성한다. 판상체(664)에는 상대측 콘택트가 전기적으로 접속된다. 상기 상대측 콘택트는 후술하는 동축용 플러그(81)의 그라운드용 콘택트(812) 또는 그라운드용 콘택트(813)이다.

도 12에 도시한 바와 같이, 탄성편(661),(662)과 판상체(664)는 일체로 형성되어 있다. 따라서, 신호용 제 2콘택트(643a)(643b)와 그라운드용 콘택트(642a)(642b)는 리셉터클(6) 안에서 서로 전기적으로 접속되는 것이다.

판상체(664)로부터 제 2콘택트 부재(66)의 다른쪽단을 향해서 연장부(665)가 형성되어 있다. 연장부(665)는 하부 하우징(62)의 바닥부(621)을 관통한다. 따라서, 바닥부(621)에는 연장부(665)가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 연결부(663)와 연장부(665)의 사이에 압입부(666)가 형성되어 있고, 상기 압입부(666)가 상기 관통 구멍에 압입된다. 바닥부(621)을 관통한 연장부(665)는 외부 접속용 콘택트 지지부(624)를 따라 배치되고 그 일부가 외부 접속용 콘택트(645)를 구성한다.

도 9, 도 11 및 도 12로부터 밝혀진 바와 같이, 콘택트 유닛(64)은 1개의 제 1콘택트 부재(65) 및 2개의 제 2콘택트 부재(66)로 구성된다. 이와 같이, 리셉터클(6)은 콘택트 유닛(64)을 2종류의 콘택트 부재로 구성할 수 있기 때문에 부품 갯수를 삭감할 수 있다. 따라서, 콘택트 유닛(64) 내에 각 콘택트가 고밀도로 배치되어 리셉터클(6) 전체를 컴팩트하게 구성할 수가 있다. 또한, 부품 갯수의 삭감으로 코스트 저감도 기여한다.

제 1콘택트 부재(65)의 연장부(654) 및 제 2콘택트 부재(66)의 연장부(665)는 각각 하부 하우징(62)의 바닥부(621)를 관통하여 외부 접속용 콘택트 지지부(624)를 따라 배치된다. 도 8에 도시한 바와 같이, 제 1콘택트 부재(65)의 연장부(654)는 제 1외부 접속용 콘택트(644)를 구성한다. 또한, 제 2콘택트 부재(66)의 연장부(665)는 제 2외부 접속용 콘택트(645)를 구성한다. 콘택트 유닛(64)은 1개의 제 1외부 접속용 콘택트(644) 및 2개의 제 2외부 접속용 콘택트(645)를 구비하는 것이다. 또한, 제 1외부 접속용 콘택트(644)가 중심에 배치되고, 2개의 제 2외부 접속용 콘택트(645)는 제 1외부 접속용 콘택트(644)의 양측에 배치된다. 이들 외부 접속용 콘택트(644),(645),(646)에 의해 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍(42)에 결합하는 출력 단자(602)가 구성되어 있다. 5개(총 6개)의 콘택트에 대응하는 외부 접속용 콘택트가 3개로 충분하기 때문에 리셉터클(6)은 그 길이 방향으로 컴팩트하게 형성된다.

도 9에서 신호용 제 1콘택트(641)(643c)는 클립 모양의 콘택트 부분을 하우징(61)의 폭 방향으로 개폐하도록 배치되어 있다. 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)도 마찬가지이다. 하부 하우징(62)의 길이 방향으로 개폐하는 구성으로 하면 길이 방향의 치수를 크게 할 필요가 있다. 여기에서, 리셉터클(6)은 길이 방향의 치수를 작게 하기 위하여 클립 모양의 콘택트 부분을 하우징(61)의 폭 방향으로 개폐하도록 배치하였다. 클립 모양의 콘택트 부분이 열린 상태에서는 그 부분 스페이스를 필요로 하는 것을 고려한 것에 의한다.

그라운드용 콘택트(642a),(642b)는 서로 평행하게 배치되어 있다. 그리고, 그라운드용 콘택트(642a),(642b)는 그 평면이 하우징(61)의 폭 방향으로 평행하게 배치되어 있다. 그라운드용 콘택트(642a)와 그라운드용 콘택트(642b)의 사이의 중앙에 신호용 제 1콘택트(641)가 배치되어 있다.

도 10에 도시한 바와 같이, 상부 하우징(63)은 주위를 둘러싸는 측벽(631)을 구비하고, 대략 상자 모양의 형태를 하고 있다. 상부 하우징(63)은 그 길이 방향 및 폭 방향에 복수의 경계벽(632)이 형성되어 있다. 동축 케이블용 플러그(81) 또는 단선용 플러그(82)는 상기 경계벽(632)에 의해 결합 위치로 안내되고, 또한 구르는 것이 방지된다. 또한, 측벽(631) 및 경계벽(632)으로 둘러쌓임으로써 상부 하우징(63)은 직방체 모양의 공간으로 이루어지는 결합 오목부(601)를 복수 구비한다. 결합 오목부(601), 즉 각 콘택트 유닛(64)은 상부 하우징(63)에 지그재그형 격자 모양으로 배치된다. 1개의 결합 오목부(601)는 1개의 콘택트 유닛(64)에 대응하고 있다. 각 결합 오목부(601)에는 후술하는 동축 케이블용 플러그(81) 또는 단선용 플러그(82)가 삽입, 결합된다.

상부 하우징(63)은 바닥부(633)를 구비하고 있다. 바닥부(633)는 상기 직방체 모양의 공간과 하부 하우징(62)을 구획한다. 단, 바닥부(633)에는 관통 구 멍(633a)~(633c)가 형성되어 있다.

관통 구멍(633a)은 신호용 제 1콘택트(641)(643c)에 대응하고 있다. 신호용 제 1콘택트(641)(643c)의 상부 선단은 관통 구멍(633a) 내에 위치하고 있다. 동축 케이블용 플러그(81)의 신호용 콘택트(811)(도 14참조)는 상기 관통 구멍(633a)을 관통하여 리셉터클(6)의 신호용 제 콘택트(641)와 전기적으로 접속된다. 또한 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트(823)(도 16참조)는 상기 관통 구멍(633a)을 관통하여 리셉터클(6)의 신호용 제 1콘택트(643c)(641)와 전기적으로 접속된다.

관통 구멍(633b)은 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)에 대응하고 있다. 따라서, 관통 구멍(633b)은 1개의 결합 오목부(601)에 2개 형성되어 있다. 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)의 상부 선단은 관통 구멍(633b) 내에 위치하고 있다. 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트(821),(822)는 상기 관통 구멍(633b)을 관통하여 리셉터클(6)의 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)와 전기적으로 접속된다.

관통 구멍(633c)은 그라운드용 콘택트(642a),(642b)에 대응하고 있다. 따라서, 관통 구멍(633c)도 1개의 결합 오목부(601)에 2개 형성되어 있다. 그라운드용 콘택트(642a),(642b)의 상부 선단은 관통 구멍(633c) 내에 위치하고 있다. 동축 케이블용 플러그(81)의 그라운드용 콘택트(812),(813)는 상기 관통 구멍(633c)을 관통하여 리셉터클(6)의 그라운드용 콘택트(642a),(642b)와 전기적으로 접속된다.

상부 하우징(63)의 측벽(631)에는 결합 오목부(601)의 내부를 향해서 결합편(634)이 형성되어 있다. 이 결합편(643)은 후술하는 바와 같이 동축 케이블용 플러그(81) 또는 단선용 플러그(82)의 결합을 확실하게 하기 위한 것이다.

도 13은 1개의 콘택트 유닛(64)를 구성하고, 신호용 제 1콘택트(641)(643c), 그라운드용 콘택트(642a),(642b), 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)의 배치를 모식적으로 도시한 도면이다. 이 배치는 리셉터클(6)의 결합면측에서 바라본 것이다.

도 13에 도시한 바와 같이, 그라운드용 콘택트(642a),(642b)는 신호용 제 1콘택트(641)를 중심으로 하여 서로 대칭의 위치에 배치된다. 따라서, 신호용 제 1콘택트(641)(643c)와 그라운드용 콘택트(642a),(642b)(643c)는 직선상에 배치되는 것이 된다. 신호용 제 1콘택트(641) 및 그라운드용 콘택트(642a),(642b)는 동축 케이블용 플러그(81)에 전기적으로 접속되는 제 1콘택트군을 구성한다.

신호용 제 1콘택트(643c)(641) 및 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)는 단선용 플러그(82)에 전기적으로 접속되는 제 2콘택트군을 구성한다. 제 2콘택트군에서 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)는 신호용 제 1콘택트(643c)로부터 등거리에 있는 2점에 각각 위치한다. 따라서, 신호용 제 1콘택트(643c) 및 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)의 각각의 중심을 이으면, 이등변 삼각형을 그린다. 상기 이등변 삼각형은 정삼각형을 포함한다.

또한, 도 13에서 제 2콘택트군의 각 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)는 제 1콘택트군의 신호용 제 1콘택트(641) 및 각 그라운드용 콘택트(642a),(642b)를 잇는직선을 경계로 하여 어느 한쪽에 배치되어 있다. 이 요건은 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)가 신호용 제 1콘택트(641) 및 각 그라운드용 콘택트(642a),(642b)와 일직선 상에 배치되는 경우를 배제한다. 모든 콘택트가 일직선 상에 배치된다면 배치 방향의 길이가 지나치게 길어지기 때문이다. 또한, 이 요건은 신호용 제 2콘 택트(643a),(643b)가 신호용 제 1콘택트(641) 및 각 그라운드용 콘택트(642a),(642b)를 잇는 직선을 사이에 두도록 배치되는 경우를 배제한다. 그라운드용 콘택트(642b)와 신호용 제 2콘택트(643b)가 각각 일체의 콘택트 부재(66)로 구성되어 있기 때문에 이와 같은 배치로 할 수가 없기 때문이다.

신호용 제 1콘택트(641)(643c), 그라운드용 콘택트(642a),(642b), 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)를 이상과 같이 배치한 리셉터클(6)은 동축 케이블용 플러그(81) 및 단선용 플러그(82) 중 어느 것이라도 수용 가능하게 된다.

다음에, 도 13에 도시한 바와 같이 1개의 콘택트 유닛(64)은 그라운드용 콘택트(642a),(642b)를 잇는 직선과 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)를 잇는 직선이 평행하다. 또한, 그라운드용 콘택트(642a),(642b) 및 신호용 제 2콘택트(643a),(643b)는 직사각형의 정점에 있다. 결국, 콘택트 유닛(64)에는 직사각형의 영역내에 5개의 콘택트가 고밀도로 배치되어 있다.

리셉터클(6)은 제 1콘택트군과 제 2콘택트군이 신호용 제 1콘택트(641)(643c)를 겸용하고 있다. 물론, 신호용 제 1콘택트(641)와 신호용 제 1콘택트(643c)를 별개로 설치할 수도 있다. 그러나, 이것에서는 신호용 제 1콘택트(641)및 신호용 제 1콘택트(643c)가 점유하는 면적이 증가하여, 1개의 콘택트 유닛에 대하여 결합 오목부가 커져 버린다. 여기에서, 리셉터클(6)은 신호용 제 1콘택트(641) 및 신호용 제 1콘택트(643c)를 겸용함으로써 각 콘택트를 고밀도로 배치할 수가 있다. 또한, 이 겸용은 리셉터클(6)의 부품 갯수의 삭감에 기여하는 동시에 외부 접속용 콘택트를 1개로 합치는 것을 가능하게 하였다.

본 실시 형태에서의 전기 케이블(7)에는 고속 신호를 전송하기 위한 동축 케이블(71)과 전원 공급 혹은 저속 신호를 전송하기 위한 단선(72)이 포함된다.

도 14는 동축 케이블용 플러그(81)의 외관을 도시한 사시도이다. 또한, 도 15는 동축 케이블용(81)의 플러그 요부를 도시한 사시도이다.

도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이, 동축 케이블용 플러그(81)는 동축 케이블(71)에 설치되어 있다. 동축 케이블(71)은 잘 알려진 바와 같이 중심 도체(711)와, 중심 도체(711)의 주위를 둘러싸는 유전체(712)와, 유전체(712)의 주위를 둘러싸는 외부 도체(713)와, 외부 도체(713)를 둘러싸는 절연체 외피(714)로 구성되어 있다.

동축 케이블용 플러그(81)는 신호용 콘택트(811)와 한쌍의 그라운드용 콘택트(812),(813)를 구비하고 있다. 신호용 콘택트(811)와, 한쌍의 그라운드용 콘택트(812),(813)의 위치 관계는 리셉터클(6)의 상기 제 1콘택트군과 마찬가지이다. 결국, 그라운드용 콘택트(812),(813)는 신호용 콘택트(811)를 중심으로 하여 서로 대칭의 위치에 있다. 또한, 각각 판상체로 이루어지는 그라운드용 콘택트(812),(813)는 이 평면이 서로 평행하게 되도록 배치되어 있다. 그라운드용 콘택트(812),(813)를 이와 같이 각각 판상체로 하여, 또한 신호용 콘택트(811)를 사이에 두는 구조로 하는 것은 동축 케이블(71)과 특성 임피던스를 가능한 한 정합시키기 위하여, 동축 케이블용 플러그(81)를 동축 구조와 전기적으로 등가로 하는 것을 의도하고 있다. 리셉터클(6)도 그라운드용 콘택트(812),(813)에 대응하여 그라운드용 콘택트(642a),(642b)를 판상체로 하고 있다.

신호용 콘택트(811)와 한쌍의 그라운드용 콘택트(812),(813)는 절연 재료로 이루어지는 하우징(814)에 지지되어 있다. 하우징(814) 내부에는 신호용 콘택트(811) 등의 부재를 수용하는 공간이 설치되어 있다. 하우징(814)의 내부에서 이들 콘택트는 동축 케이블(71)과의 전기적인 접속이 확보되어 있다. 신호용 콘택트(811)는 이것과 전기적으로 접속되어 있는 중심 도체 접속편(815)을 통하여 동축 케이블(71)의 중심 도체(711)와 전기적으로 접속된다. 또한, 그라운드용 콘택트(812),(813)는 이것과 전기적으로 접속되어 있는 외부 도체 접속편(816)을 통하여 동축 케이블(71)의 외부 도체(713)와 전기적으로 접속된다. 외부 도체 접속편(816)은, 도면 중, 그 저부 및 정부(頂部)가 하우징(714) 내부의 상기 공간을 구획하는 벽에 맞닿음으로써 동축 케이블(71)이 뒤틀리더라도 이것에 추종하여 신호용 콘택트(811) 및 그라운드용 콘택트(812),(813)의 상대적인 위치가 이동하는 것을 방지한다.

동축 케이블용 플러그(81)는 외부 도체(713)가 2개의 그라운드용 콘택트(812),(813)로 분기한 구조로 되어 있다. 또한, 분기하여 있는 리셉터클(6)의 2개의 그라운드용 콘택트(642a),(642b)가 리셉터클(6)의 외부로서, 제 2외부 접속용 콘택트(645)의 앞에서 1개의 전기 경로에 집약되는 경우이다. 이 경우, 그라운드용 콘택트(812)와 그라운드용 콘택트(642a)가 또한 그라운드용 콘택트(813)와 그라운드용 콘택트(642b)가 전기적으로 접속되기 때문에 그라운드 루프가 형성된다. 리셉터클(6)은 상술한 바와 같이 콘택트 유닛(64) 내에서 각 콘택트를 고밀도로 배치하여, 보다 구체적으로는 그라운드용 콘택트(642a),(642b)의 간격을 작게 할 수가 있 기 때문에 그라운드 루프에 의한 노이즈를 저감할 수가 있다.

다음에, 도 16은 단선용 플러그(82)의 외관을 도시한 사시도이다. 또한, 도 17은 단선용 플러그(82)의 요부를 도시한 사시도이다.

도 16에 도시한 바와 같이, 단선용 플러그(82)는 3개의 단선(72)에 설치되어 있다. 단선(72)은 잘 알려진 바와 같이 신호 도체(721)와, 신호 도체(721)의 주위를 둘러싸는 절연체(722)로 구성되어 있다. 단선용 플러그(82)는 3개의 신호용 콘택트(821~823)를 구비하고 있다. 3개의 신호용 콘택트(821~823)의 위치 관계는 리셉터클(6)의 상기 제 2콘택트군과 마찬가지이다. 결국, 신호용 콘택트(821),(822)는 신호용 콘택트(823)으로부터 등거리에 있는 2점에 각각 위치한다. 따라서, 신호용 콘택트(821~823)의 각각의 중심을 이으면 결합면에서 볼 때에 이등변 삼각형을그린다.

신호용 콘택트(821~823)는 절연 재료로 이루어지는 하우징(824)에 지지되어 있다. 하우징(824)의 결합부는 동축 케이블용 플러그(81)의 하우징(814)의 결합부와 동일한 외형 형상을 갖고 있다. 리셉터클(6)이 동축 케이블용 플러그(81) 및 단선용 플러그(82) 중 어느 하나를 수용하기 위함이다. 단, 여기에서 의미하는 동일은 동축 케이블용 플러그(81) 및 단선용 플러그(82)가 결합 가능한 정도의 동일성을 의미하는 것으로서, 물리적으로 완전히 동일한 것까지를 요구하는 것은 아니다.

하우징(824)의 내부에서 이들 콘택트는 단선(72)과의 전기적인 접속이 확보되어 있다. 신호용 콘택트(821)(822,823)는 이것과 전기적으로 접속되어 있는 신호 도체 접속편(826)을 통하여 단선(72)의 신호 도체(721)와 전기적으로 접속된다. 신 호용 콘택트(821) 및 신호 도체 접속편(826)과 일체로 형성된 U자 모양의 절연체 지지부(827)에 의해 단선(72)의 절연체(722)를 조임으로써 신호용 콘택트(821)와 단선(72)을 견고하게 접합한다. 또한, 신호용 콘택트(821) 등과 일체로 형성된 U자 모양의 안정 부재(828)는 상술한 외부 도체 접속편(816)과 마찬가지로 하여 신호용 콘택트(821~823)의 상대적인 위치가 이동하는 것을 방지한다.

또한, 하우징(824)의 외주에는 결합 돌기(825)가 형성되어 있다. 이 결합 돌기(825)는 단선용 플러그(82)가 리셉터클(60)과 결합한 때에 상부 하우징(63)의 결합편(634)과 걸어 맞춰짐으로써 단선용 플러그(82)가 리셉터클(6)로부터 빠지는 것을 방지한다. 한편, 도시는 하지 않았지만 동축 케이블용 플러그(81)에도 단선용 플러그(82)와 마찬가지의 결합 돌기가 형성되어 있다.

이제, 리셉터클(6)에 동축 케이블용 플러그(81)를 결합하는 경우, 리셉터클(6)의 상부 하우징(63)에 의해 형성되어 있는 결합 오목부(601)에, 동축 케이블용 플러그(81)를 신호용 콘택트(811)와 한쌍의 그라운드용 콘택트(812),(813)가 형성된 쪽으로부터 삽입한다. 그러면, 리셉터클(6)의 신호용 제 1콘택트(641)와 동축 케이블용 플러그(81)의 신호용 콘택트(811)가 접촉한다. 또한, 리셉터클(6)의 그라운드용 콘택트(642a)와 동축 케이블용 플러그(81)의 그라운드용 콘택트(812)가 접촉하고, 리셉터클(6)의 그라운드용 콘택트(642b)와 동축 케이블용 플러그(81)의 그라운드용 콘택트(813)가 접촉한다.

한편, 리셉터클(6)에 단선용 플러그(82)를 결합하는 경우, 리셉터클(6)의 상부 하우징(63)에 의해 형성되어 있는 결합 오목부(601)에 단선용 플러그(82)를 신 호용 콘택트(821~823)가 형성된 쪽으로부터 삽입한다. 그러면, 리셉터클(6)의 신호용 제 1콘택트(643c)와 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트(823)가 접촉한다. 또한, 리셉터클(6)의 신호용 제 2콘택트(643a)와 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트(821)가 접촉하고, 리셉터클(6)의 신호용 제 2콘택트(643b)와 단선용 플러그(82)의 신호용 콘택트(822)가 접촉한다.

이상의 리셉터클(6)은 동축 케이블용 플러그(81)에 전기적으로 접속되는 제 1콘택트군과 단선용 플러그(82)에 전기적으로 접속되는 제 2콘택트군을 구비하고 있어 동축 케이블용 플러그(81)와 단선용 플러그(82) 중 어느 것이라도 수용할 수가 있다.

동축 케이블용 플러그(81)는 그라운드용 콘택트(812),(813)가 신호용 콘택트(811)를 중심으로 하여 서로 대칭의 위치에 있다. 한편, 리셉터클(6)은 그라운드용 콘택트(642a),(642b)가 신호용 제 1콘택트(641)를 중심으로 하여 서로 대칭의 위치에 있다. 게다가, 그라운드용 콘택트(812),(813) 및 그라운드용 콘택트(642a),(642b)가 소정의 표면적을 갖는 판상체로 구성되어 있다. 이상의 구성은 동축 케이블용 플러그(81) 및 리셉터클(6)과 동축 케이블(71)의 특성 임피던스의 정합에 기여한다.

리셉터클(6)은 신호용 제 1콘택트(641)와 신호용 제 1콘택트(643c)가 1개의 제 1콘택트 부재(65)로 구성되고, 또한 그라운드용 콘택트(642a),(642b)와 신호용 제 2콘택트(643a)(643b)가 1개의 제 2콘택트 부재(66)로 구성되어 있다. 이와 같이, 리셉터클(6)은 2종류의 콘택트 부재로 구성할 수가 있기 때문에 1개의 콘택트 유닛(64)을 구성하는 부품 숫자가 삭감된다. 따라서, 콘택트 유닛(64)을 구성하는 부품 갯수가 삭감된다. 따라서, 콘택트 유닛(64)를 구성하는 각 콘택트를 고밀도로 배치할 수가 있어 콘택트 유닛(64)을 다수 배치하는 경우에 리셉터클(6) 전체를 컴팩트하게 할 수가 있다.

또한, 리셉터클(6)은 1개의 제 1콘택트 부재(65)와 2개의 콘택트 부재(66)로 콘택트 유닛(64)을 구성하기 때문에 1개의 콘택트 유닛(64)에 대하여 외부 접속용 콘택트가 3개이면 충분하다. 이것도 리셉터클(6)의 컴팩트화에 기여한다.

또한, 리셉터클(6)은 콘택트 유닛(64)의 직사각형 영역내에 각 콘택트를 배치하고 있다. 따라서, 상기 콘택트 유닛(64)에 결합되는 동축 케이블용 플러그(81) 및 단선용 플러그(82)의 하우징(814),(824)을 이 결합부의 단면이 직사각형 모양으로 또는 동일 외형 형상으로 할 수가 있다.

또한, 리셉터클(6)은 각 콘택트 유닛(64)을 지그재그형 격자 모양으로 배열하고 있기 때문에 그라운드용 콘택트와 신호용 콘택트가 서로 배치되는 결과, 고주파 특성의 저하를 억제하는 효과도 있다.

한편, 본 실시 형태에서의 중계 커넥터(리셉터클)(6)의 결합 구멍(601)이 본 발명에서의 제 1결합부에 상당하고, 본 실시 형태에서의 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)가 본 발명에서의 제 2결합부에 상당한다.

이상과 같이 본 실시 형태에서는 중계 커넥터(6)의 제 1결합부(601)에 동축 케이블용 플러그(81)와 단선용 플러그(82)의 양쪽이 결합 가능하게 되어 있고, 복수종의 케이블에 대하여 1종류의 중계 커넥터(6)로 대응할 수가 있기 때문에 하이 픽스(5A)의 코스트 저감을 도모할 수가 있다.

또한, 중계 커넥터(6)의 제 1결합부(601)에 동축 케이블용 플러그(81)와 단선용 플러그(82)의 양쪽이 결합 가능하게 되어 있음으로써 종래의 중계 기판(6')에 전기 케이블(7)을 접속하는 작업의 부담이 현저하게 경감하는 동시에 동축 케이블과 단선을 일일이 구별하지 않고 중계 기판에 대한 접속 작업을 수행하는 것이 가능하게 된다.

도 6으로 돌아가서, 각 중계 커넥터(6)의 하우징(61)의 하측 양단부에는 하방을 향해 돌출되어 있는 가이드핀(603)이 설치되어 있다. 또한, 테스트 헤드(4)의 상부에 설치된 테스트 헤드측 커넥터(41)의 상측 양단부에도 가이드핀(603)에 대향하도록 가이드 구멍(43)이 형성되어 있다. 하이픽스(5A)를 테스트 헤드(4)에 장착할 때에 가이드핀(603)이 가이드 구멍(43)으로 안내됨으로써 테스트 헤드(4)에 대하여 하이픽스(5A)를 용이하게 위치 결정하는 것이 가능하게 되어 있다. 한편, 가이드 구멍을 중계 커넥터(6)에 설치하고, 가이드핀을 테스트 헤드측 커넥터(41)에 설치해도 좋다.

또한, 동 도면에 도시한 바와 같이 각 중계 커넥터(6)의 하우징(61)의 하측 양단부에는 하측 측면으로부터 상측 측면을 향하여 관통하고 있는 관통 구멍(604)이 형성되어 있고, 프레임(52)에서 상기 관통 구멍(604)에 대응하는 위치에도 고정 구멍(52b)이 형성되어 있다. 그리고, 관통 구멍(604)을 통하여 볼트(605)를 고정 구멍(52b)에 체결함으로써 각각의 중계 커넥터(6)를 프레임(52)에 고정하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 4로 돌아가서, 복수의 중계 커넥터(6)를 고정하고 있는 프레임(52)의 상부에는 Z축 방향을 따라 약간의 상하 움직임이 가능한 스페이스 기둥(52a)을 통하여 스페이싱 프레임(93)이 설치되어 있다.

상기 스페이싱 프레임(93)의 상부에는 서브 소켓 보드 스페이서(95)를 통해서 서브 소켓 보드(96)가 설치되어 있다. 또한, 상기 서브 소켓 보드(96)의 상부에는 소켓 보드 스페이서(97)를 통하여 소켓 보드(98)가 설치되어 있다.

그리고, 중계 커넥터(6)와 서브 소켓 보드(96)의 사이는 복수의 전기 케이블(7)로 접속되어 있다. 전기 케이블(7)의 하측의 단부에는 디바이스측 커넥터(8)가 설치되어 있다. 상기 디바이스측 커넥터(8)는 중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에 착탈 가능하게 접속하는 것이 가능하게 되어 있다. 한편, 전기 케이블(7)의 상측의 단부에는 서브 소켓 보드(96)에 납땜 등으로 직접 접속되어 있다.

도 18은 본 실시 형태에서의 디바이스측 커넥터, 중계 커넥터 및 테스트 헤드측 커넥터의 부분 사시도이다.

도 18에 도시한 바와 같이, 디바이스측 커넥터(8)가 중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에 결합하면 디바이스측 커넥터(8)의 각 단자가 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)에 전기적으로 접속되고, 또한 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)가 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍(42)에 결합하면 하이픽스(5A)와 테스트 헤드(4)가 전기적으로 접속된다. 한편, 테스트 헤드측 커넥터(41)는 특별히 도시하지 않았지만 테스트 헤드(4) 내에 수용되어 있는 핀 일렉트로닉스에 전기적으로 접속되어 있다.

본 실시 형태에서는 종래의 중계 기판(6')을 대신하여 중계 커넥터(6)를 채용하고 있기 때문에 전기 케이블(7)의 단부의 납땜 작업이 없어져서 하이픽스(5A)를 용이하게 제작하는 것이 가능하게 된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 서브 소켓 보드(96) 상에는 중계 터미널(961)이 설치되어 있고, 상기 중계 터미널(961)에 의해 서브 소켓 보드(96)와 소켓 보드(98)의 사이가 전기적으로 접속되어 있다.

한편, 설명의 편의를 위하여 도 4에는 2조의 소켓 보드(98) 만을 도시하고 있지만, 실제로는 예컨대 64개의 소켓 보드(98)가 4행 16열의 배열로 배치되어 있다.

각 소켓 보드(98)의 상부에는 복수의 콘택트핀(미도시)을 갖는 소켓(99)이 설치되어 있고, 상기 소켓(99)의 주위에 소켓 가이드(991)가 설치되어 있다. 한편, 소켓 가이드(991)는 피시험 IC디바이스를 소켓(99)의 콘택트핀에 전기적으로 접촉시킬 때에 상기 IC디바이스를 위치 결정하기 위한 가이드 수단으로 경우에 따라서는 생략할 수가 있다.

이상의 제 1실시 형태에서는 SBC 타입의 하이픽스에 본 발명을 적용한 예에 대해서 설명하였지만 특별히 이것에 한정되지 않고 아래와 같은 다양한 타입의 하이픽스에도 본 발명을 적용할 수가 있다.

<제 2실시 형태>

도 19는 본 발명의 제 2실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도이다.

본 실시 형태에 따른 하이픽스(5B)는 도 19에 도시한 바와 같이 최상부의 DSA(Device Specific Adapter)(90)를 교환함으로써 피시험 IC디바이스의 품종 교환에 대응하는 것이 가능한 CLS(Cable Less) 타입의 하이픽스이다. 상기 하이픽스 (5B)는 동 도면에 도시한 바와 같이 테스트 헤드(4)의 상부에 장착된 마더 보드(51)와 상기 마더 보드(51)에 장착된 DSA(90)로 구성되어 있다.

본 실시 형태에 따른 하이픽스(5B)는 소켓(99)으로부터 스페이싱 프레임(93)까지가 DSA(90)로서 일체로 구성되어 있고, DSA(90)가 커넥터(92)에 의해 마더 보드(51)로부터 착탈 가능하게 되어 있는 점에서 제 1실시 형태에 따른 하이픽스(5A)와 다르다.

DSA(90)는 퍼포먼스 보드(91)의 상부에 스페이싱 프레임(93)이 설치되고, 또한 이 상부에 소켓 보드 스페이스(97)를 통하여 소켓 보드(98)가 설치되어 구성되어 있다. 소켓 보드(98) 상에는 소켓(99)이 실장되어 있다.

퍼포먼스 보드(91)와 소켓 보드(98)의 사이는 커넥트 보드(94)로 접속되어 있다. 또한, 퍼포먼스 보드(91)에는 마더 보드(51)에 착탈 분리하기 위하여 쌍의 커넥터(92)가 복수 설치되어 있다. 상기 커넥터(92)의 한쪽은 전기 케이블(7)의 한쪽의 단부에 설치되어 있다.

제 1실시 형태와 마찬가지로 전기 케이블(7)의 다른쪽의 단부에 디바이스측 커넥터(8)가 설치되어 있다. 본 실시 형태에 따른 하이픽스(5B)의 최하부에는 제 1실시 형태에서 설명한 복수의 중계 커넥터(6)가 하이픽스(5B)의 깊이 방향을 따라서 실질적으로 평행하게 늘어선 상태로 설치되어 있다. 각 중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)은 디바이스측 커넥터(8)가 착탈 가능하게 접속하는 것이 가능하게 되어 있다.

중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에 디바이스측 커넥터(8)가 결합하면 디바이스측 커넥터(8)의 각 단자가 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)에 전기적으로 접속되고, 또한 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)가 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍(42)에 결합하면 하이픽스(5B)와 테스트 헤드(4)가 전기적으로 접속된다.

<제 3실시 형태>

도 20은 본 발명의 제 3실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도이다.

본 실시 형태에 따른 하이픽스(5C)는 도 20에 도시한 바와 같이 피시험 IC디바이스의 품종 교환의 때에 하이픽스(5C) 전체를 교환하는 CCN(Cable Connection) 타입의 하이픽스이다. 상기 하이픽스(5C)는 상기 하이픽스(5C)에서 분리 가능한 개소가 일체 없는 점에서 제 1실시 형태나 제 2실시 형태에 따른 하이픽스(5A),(5B)와 다르다.

상기 하이픽스(5C)의 최하부에는 제 1실시 형태에서 상술한 복수의 중계 커넥터(6)가 하이픽스(5C)의 깊이 방향을 따라 실질적으로 평행하게 늘어선 상태로 설치되어 있다. 각 중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에는 전기 케이블(7)의 단부에 설치된 디바이스측 커넥터(8)를 착탈 가능하게 접속하는 것이 가능하게 되어 있다.

전기 케이블(7)의 다른쪽의 단부는 납땜으로 소켓 보드(98)에 직접 접속되어 있다. 소켓 보드(98) 상에는 소켓(99)이 실장되어 있다. 본 실시 형태에서는 중계 커넥터(6)와 소켓 보드(98)를 직접 접속하고 있기 때문에 고품질의 시험 성능을 확보할 수가 있다.

중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에 디바이스측 커넥터(8)가 결합하면 디바이스측 커넥터(8)의 각 단자가 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)에 전기적으로 접속되고, 또한 중계 커넥터(6)의 출력 단자(602)가 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍(42)에 결합하면 하이픽스(5C)와 테스트 헤드(4)가 전기적으로 접속된다.

이상에 설명한 제 1~ 제 3실시 형태에서는 종래의 중계 기판(6')을 대신하여 중계 커넥터(6)를 채용함으로써 전기 케이블(7)의 단부의 납땜 작업이 없어지기 때문에 하이픽스(5A~5C)를 용이하게 제작하는 것이 가능하게 된다.

또한, 종래의 중계 기판(6')을 채용하는 경우에는 사전에 회로 배선을 설계하여 전용의 기판을 제작할 필요가 있다. 이에 대해, 본 실시 형태에서는 중계 커넥터(6)에 대하여 디바이스측 커넥터(8)를 선택적으로 접속함으로써 임의의 회로 배선을 짤 수가 있다.

또한, 종래의 중계 기판(6')을 수리나 교환하는 경우 납땜한 개소를 떼내야만 하고 작업성이 악화된다. 이에 대해, 본 실시 형태에서는 중계 커넥터(6)로부터 디바이스측 커넥터(8)를 착탈하는 것만으로 중계 커넥터(6)의 수리나 교환을 수행할 수가 있기 때문에 유지 보수성이 우수하다.

또한, 종래의 중계 기판(6')을 채용하는 경우에는 스루홀 등으로 임피던스의 부정합이 발생되어 고주파 신호의 전송 특성이 악화된다. 이에 대해, 본 실시 형태에서는 회로 기판을 사용하지 않기 때문에 임피던스의 부정합을 억제할 수가 있다.

또한, 중계 커넥터(6)의 제 1결합부(601)에 동축 케이블용 플러그(81)와 단선용 플러그(82)의 양쪽이 결합 가능하게 되어 있기 때문에 하이픽스(5A~5C)의 코스트 저감을 도모할 수가 있다.

이상의 제 1 ~ 제 3실시 형태에서는 패키징된 상태의 IC디바이스를 시험에사용되는 하이픽스에 본 발명을 적용한 예에 대해서 설명하였지만, 특별히 이것에 한정되는 것은 아니고 아래와 같은 웨이퍼 상에 조립된 IC디바이스를 시험 대상으로 한 시험에 사용되는 웨이퍼 마더 보드에 본 발명을 적용하여도 좋다.

<제 4 실시 형태>

도 21은 본 발명의 제 4실시 형태에 따른 웨이퍼 마더 보드 및 테스트 헤드를 도시한 단면도이다.

본 발명에서의 전자부품 시험장치는 웨이퍼(W) 상에 형성된 IC디바이스를 테스트하기 위한 장치이고, 테스터(미도시)에 케이블(미도시)을 통하여 전기적으로 접속된 테스트 헤드(4)와, 웨이퍼(W) 상의 피시험 IC디바이스에 전기적으로 접촉하는 프로브 카드(2000)와, 웨이퍼(W)를 프로브 카드(2000)로 밀어 붙이는 프로버(3000)를 구비하고 있다.

프로브 카드(2000)는 도 21에 도시한 바와 같이 웨이퍼 마더 보드(인터페이스 장치)(1000)를 통하여 테스트 헤드(4)에 전기적으로 접속되어 있다. 상기 프로브 카드(2000)는 웨이퍼(W) 상의 IC디바이스의 입출력 단자에 전기적으로 접촉하는 다수의 프로브침(2100)과, 상기 프로브침(2100)이 실장된 프린트 기판(2200)과, 프로브 카드(2000)를 웨이퍼 마더 보드(1000)와 전기적으로 접속하기 위한 ZIF(Zero Insertion Force) 커넥터(2300)와, 프로브 카드(2000)를 보강하기 위한 스티프너(2400)로 구성되어 있다.

상기 프로브 카드(200)는 도 21에 도시한 바와 같이 프로브침(2100)이 중앙 개부를 통하여 하방을 향하도록 고리 모양의 카드 홀더(3100)에 지지되어 있고, 또한 상기 카드 홀더(3100)는 고리 모양의 어댑터(3200)에 크램프되어 있다.

테스트 헤드(4)의 하부에는 웨이퍼 마더 보드(1000)가 장착되어 있고, 상기 웨이퍼 마더 보드(1000)의 최하부에 ZIF 커넥터(1200)가 설치되어 있다. ZIF 커넥터(1200)로부터는 복수의 전기 케이블(1100)이 도출되어 있고, 각 전기 케이블(1100) 상측의 단부에는 제 1실시 형태와 마찬가지로 디바이스측 커넥터(1300)가 설치되어 있다. 한편, 전기 케이블(1100)로서는 예컨대 고속 신호를 전송하기 위한 동축 케이블이나 전원 공급 혹은 저속 신호를 전송하기 위한 단선 등을 예시할 수가 있다.

웨이퍼 마더 보드(1000)의 최상부에는 제 1실시 형태에서 상술한 중계 커넥터(6)와 마찬가지의 복수의 중계 커넥터(1400)이 웨이퍼 마더 보드(1000)의 깊이 방향을 따라 실질적으로 평행하게 늘어선 상태로 설치되어 있다. 각 중계 커넥터(1400)의 결합 구멍에는 전기 케이블(1100)의 단부에 설치된 디바이스측 커넥터(1300)를 착탈 가능하게 접속하는 것이 가능하게 되어 있다.

본 실시 형태에서는 제 1~제 3실시 형태와 달리 각 중계 커넥터(1400)의 출력 단자(1500)는 테스트 헤드(4)의 최하부에 설치된 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍에 결합 가능하도록 상방을 향해서 돌출되어 있다.

디바이스측 커넥터(1300)가 중계 커넥터(1400)에 결합하면 디바이스측 커넥터(1300)의 각 단자가 중계 커넥터(1400)의 출력 단자(1500)에 전기적으로 접속되고, 또한 중계 커넥터(1400)의 출력 단자(1500)가 테스트 헤드측 커넥터(41)의 결합 구멍에 결합하면 웨이퍼 마더 보드(1000)와 테스트 헤드(4)가 전기적으로 접속된다.

이상에 설명한 제 4실시 형태에서는 중계 커넥터(1400)를 채용함으로써 전기 케이블(1100)의 단부의 납땜 작업이 없어지기 때문에 웨이퍼 마더 보드(1000)를 용이하게 제작하는 것이 가능하게 된다. 또한 중계 커넥터(1400)에 대하여 디바이스측 커넥터(1300)를 선택적으로 접속함으로써 임의의 회로 배선을 짤 수가 있다. 또한, 중계 커넥터(1400)로부터 디바이스측 커넥터(1300)를 착탈하는 것만으로 중계 커넥터(1400)의 수리나 교환을 수행할 수가 있기 때문에 유지 보수성이 우수하다. 또한, 본 실시 형태에서는 회로 기판을 사용하지 않기 때문에 임피던스의 부정합을 억제할 수가 있다. 또한, 중계 커넥터(1400)의 제 1결합부에 동축 케이블용 플러그와 단선용 플러그의 양쪽이 결합 가능하게 되어 있기 때문에 웨이퍼 마더 보드(1000)의 코스트 저감을 도모할 수가 있다.

한편, 이상 설명한 실시 형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다.

본 발명에서는 직접적 혹은 간접적을 묻지않고, 소켓 보드(98)와 전기 케이 블(7)이 전기적으로 접속되어 있으면 좋다. 예컨대, 제 1실시 형태의 SBC 타입이나 제 2실시 형태의 CLS 타입과 같이 소켓 보드(98)와 전기 케이블(7)의 사이에 중계 터미널(961)이나 커넥터(92)가 개재되어 소켓 보드(98)와 전기 케이블(7)이 간접적으로 접속되어 있어도 본 발명을 적용할 수가 있다. 또한, 제 3실시 형태의 CCN 타입과 같이 소켓 보드(98)와 전기 케이블(7)이 직접적으로 접속되어 있는 경우에도 본 발명을 적용할 수가 있다.

또한, 상술한 실시 형태에서는 디바이스측 커넥터(8)가 중계 커넥터(6)의 결합 구멍(601)에 삽입되도록 설명하였지만, 본 발명에서는 특별히 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 디바이스측 커넥터(8)에 결합 구멍을 설치하는 동시에 중계 커넥터(6)의 윗면에 돌출부를 설치하고 중계 커넥터(6)를 디바이스측 커넥터(8)에 삽입하도록 구성하여도 좋다.

마찬가지로, 상술한 실시 형태에서는 중계 커넥터(6)의 돌출된 출력 단자(602)가 테스트 헤드측 커넥턱(41)의 결합 구멍(42)에 삽입되도록 설명하였지만, 본 발명에서는 특별히 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 중계 커넥터(6)의 아랫면에 결합 구멍을 설치하는 동시에 테스트 헤드측 커넥터(41)에 돌출부를 설치하고 테스트 헤드측 커넥터(41)를 중계 커넥터(6)에 삽입하도록 구성하여도 좋다.

도 1은 본 발명의 제 1실시 형태에 따른 전자부품 시험장치의 전체를 도시한 사시도.

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 개략 단면도.

도 3은 도 1에 도시한 전자부품 시험장치의 배면도.

도 4는 본 발명의 제 1실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도.

도 5는 본 발명의 제 1실시 형태에 따른 하이픽스를 하측에서 바라본 평면도.

도 6은 본 발명의 제 1실시 형태에서의 디바이스측 커넥터, 중계 커넥터 및 테스트 헤드측 커넥터를 도시한 단면도.

도 7은 본 발명의 제 1실시 형태에서의 중계 커넥터를 도시한 상부 평면도.

도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클의 저면 방향에서의 사시도.

도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클의 하부 하우징을 도시한 부분 사시도.

도 10은 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클의 평면 방향에서의 부분 사시도.

도 11은 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클에 사용되는 콘택트 부재를 도시한 사시도.

도 12는 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클에 사용되는 콘택트 부재를 도 시한 사시도.

도 13은 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클의 콘택트의 배치를 도시한 도면.

도 14는 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클에 결합되는 동축 케이블용 플러그를 도시한 사시도.

도 15는 도 14에 도시한 동축 케이블용 플러그의 요부를 도시한 사시도.

도 16은 본 발명의 실시 형태에 따른 리셉터클에 결합되는 단선용 플러그를 도시한 사시도.

도 17은 도 10에 도시한 단선용 플러그의 요부를 도시한 사시도.

도 18은 본 발명의 제 1실시 형태에서의 디바이스측 커넥터, 중계 커넥터 및 테스트 헤드측 커넥터의 부분 사시도.

도 19는 본 발명의 제 2실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도.

도 20은 본 발명의 제 3실시 형태에 따른 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도.

도 21은 본 발명의 제 4실시 형태에 따른 웨이퍼 마더 보드 및 테스트 헤드를 도시한 단면도.

도 22는 종래의 하이픽스 및 테스트 헤드를 도시한 단면도.

부호의 설명

1…전자부품 시험장치

4…테스트 헤드

41…테스트 헤드측 커넥터

5A~5C…하이픽스

52…프레임

6…중계 커넥터(리셉터클)

601…결합 구멍

602…출력 단자

61…하우징

64…콘택트 유닛

641, 643c…신호용 제 1콘택트

642a, 642b…그라운드용 콘택트

643a, 643b…신호용 제 2콘택트

644…제 1외부 접속용 콘택트

645…제 2외부 접속용 콘택트

65…제 1콘택트 부재

66…제 2콘택트 부재

7…전기 케이블

71…동축 케이블

72…단선

8…디바이스측 커넥터(플러그)

81…동축 커넥터(동축 케이블용 플러그)

811…신호용 콘택트

812, 813…그라운드용 콘택트

814…하우징

82…단선 커넥터(단선용 플러그)

821~823…신호용 콘택트

824…하우징

98…소켓 보드

99…소켓

10…핸들러

Claims (16)

1. 전기 케이블의 한쪽 단부에 설치된 복수종의 케이블측 커넥터와,

   상기 복수종의 케이블측 커넥터가 착탈 가능하게 접속되는 중계 커넥터를 구비하고,

   상기 중계 커넥터는 상기 모든 종류의 케이블측 커넥터가 결합 가능한 형상을 갖는 제 1결합부를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 복수종의 케이블측 커넥터는,

   신호선 및 그라운드선으로 이루어지는 동축 케이블의 한쪽 단부에 설치된 동축 커넥터와,

   단선의 한쪽 단부에 설치된 단선 커넥터를 포함하고,

   상기 중계 커넥터의 상기 제 1결합부는 상기 동축 커넥터가 결합 가능한 동시에 상기 단선 커넥터가 결합 가능한 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 중계 커넥터는 복수의 상기 제 1결합부가 설치되어 있는 커넥터 본체를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 동축 케이블은 신호선 및 그라운드선으로 구성되고,

   상기 동축 커넥터는 상기 신호선이 전기적으로 접속된 신호 단자와, 상기 그라운드선이 전기적으로 접속된 제 1 및 제 2그라운드 단자를 갖고 있고,

   상기 단선 커넥터는 3개의 단선이 각각 전기적으로 접속된 제 1~제 3단선 단자를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 제 1결합부는 제 1~제 3출력 단자를 갖고 있고,

   상기 동축 커넥터가 상기 제 1결합부에 결합된 경우, 상기 신호 단자가 상기 제 1출력 단자에 전기적으로 접속되는 동시에 상기 제 1 및 제 2그라운드 단자가 상기 제 2 및 제 3출력 단자에 각각 전기적으로 접속되고,

   상기 단선 커넥터가 상기 제 1결합부에 결합된 경우, 상기 제 1~제 3단선 단자가 상기 제 1~제 3출력 단자에 각각 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
6. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 제 1결합부는 상기 제 1결합부에 결합된 상기 동축 커넥터 또는 상기 단선 커넥터를 고정하기 위한 로크 수단을 갖고,

   상기 동축 커넥터 및 상기 단선 커넥터는 상기 로크 수단이 걸어 맞춰지기 위한 결합 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
7. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 중계 커넥터의 상기 커넥터 본체는 회로 기판에 전기적으로 접속되는 기판측 커넥터가 결합 가능한 제 2결합부를 갖는 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
8. 피시험 전자부품의 테스트를 수행하기 위한 테스트 헤드에 장착되어, 상기 피시험 전자부품과 상기 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 인터페이스 장치로서,

   제 7항에 기재된 커넥터 조립체를 구비하고 있고,

   상기 중계 커넥터가 상기 인터페이스 장치에서 상기 테스트 헤드에 인접하는 위치에 설치되고,

   상기 전기 케이블의 타단이 상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속하는 계측 보드에 전기적으로 접속되고,

   상기 기판측 커넥터는 상기 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인터페이스 장치.
9. 동축 케이블이 접속된 동축 케이블용 플러그형 커넥터 및 복수의 단선이 접 속된 단선용 플러그형 커넥터 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 리셉터클형 커넥터로서 ,

   신호용 제 1콘택트 및 상기 신호용 제 1콘택트를 중심으로 하여 대칭에 위치하는 한쌍의 그라운드용 콘택트를 포함하고, 상기 동축 케이블용 플러그형 커넥터와 전기적 접속을 이루기 위한 제 1콘택트군과,

   상기 신호용 제 1콘택트 및 상기 신호용 제 1콘택트로부터 등거리에 있는 2점에 각각 위치하는 한쌍의 신호용 제 2콘택트를 포함하고, 상기 단선용 플러그형 커넥터와 전기적 접속을 이루기 위한 제 2콘택트군과,

   상기 제 1콘택트군 및 제 2콘택트군을 지지하기 위한 절연 하우징을 구비한 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
10. 제 9항에 있어서,

    결합면에서 보아서 상기 제 2콘택트군의 각 제 2신호용 콘택트가 상기 한쌍의 그라운드용 콘택트를 잇는 직선을 경계로 하여 어느 한쪽에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,

    상기 한쌍의 그라운드용 콘택트는 상기 신호용 제 1콘택트를 중심으로 하여 대칭으로 배치된, 서로 평행한 판상체인 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
12. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,

    상기 신호용 제 1콘택트 및 각 상기 신호용 제 2콘택트는 서로 동일한 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
13. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,

    상기 신호용 제 1콘택트에 대해서 동일측에 위치하는 한쌍의 상기 그라운드용 콘택트의 한쪽 및 한쌍의 상기 신호용 제 2콘택트의 한쪽은 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
14. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,

    상기 제 1콘택트군 및 제 2콘택트군으로 이루어지는 콘택트 유닛을 복수 구비한 것을 특징으로 하는 리셉터클형 커넥터.
15. 동축 케이블이 접속된 동축 케이블용 플러그형 커넥터 및 복수의 단선이 접속된 단선용 플러그형 커넥터 중 어느 것이라도 수용할 수 있는 리셉터클형 커넥터와, 상기 리셉터클형 커넥터와 전기적으로 접속된 상기 동축 케이블용 플러그형 커넥터 또는 상기 단선용 플러그형 커넥터의 커넥터 조립체로서,

    상기 리셉터클형 커넥터는,

    신호용 제 1콘택트 및 상기 신호용 제 1콘택트를 중심으로 하여 대칭에 위치하는 한쌍의 그라운드용 콘택트를 포함하고, 상기 동축 케이블용 플러그형 커넥터 를 전기적 접속을 이루기 위한 제 1콘택트군과,

    상기 신호용 제 1콘택트 및 상기 신호용 제 1콘택트로부터 등거리에 있는 2점에 각각 위치하는 한쌍의 신호용 제 2콘택트를 포함하고, 상기 단선용 플러그형 커넥터와 전기적 접속을 이루기 위한 제 2콘택트군과,

    상기 제 1콘택트군 및 상기 제 2콘택트군을 지지하기 위한 절연 하우징을 구비한 것을 특징으로 하는 커넥터 조립체.
16. 피시험 전자부품의 테스트를 수행하기 위한 테스트 헤드에 장착되어, 상기 피시험 전자부품과 상기 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 인터페이스 장치로서,

    제 15항에 기재된 커넥터 조립체를 구비하고 있고,

    상기 중계 커넥터가 상기 인터페이스 장치에서 상기 테스트 헤드에 인접하는 위치에 설치되고,

    상기 전기 케이블의 타단이 상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접촉하는 계측 보드에 전기적으로 접속되고,

    상기 기판측 커넥터는 상기 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 인터페이스 장치.

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