TW200301191A - Laminating film - Google Patents

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200301191 A7 ___B7 五、發明説明（1 ) 發明所屬之技術領域 本發明係關於層合薄膜’更詳細而言係關於適合使用 於乾式薄膜光阻之層合薄膜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 先前技術 印刷電路板爲電子產業領域中所使用之主要零件之一* 。印刷電路板係依據乾式薄膜光阻（以下，亦略稱爲「DFR 」），於基板上形成電路所製造。 以往，一般的DFR係將厚度爲15至50 # m之光硬化 性樹脂所形成之光阻層，以厚度爲1 0至25 # m之二軸延伸 聚酯薄膜所形成之基膜及厚度爲3 0至4 〇 μ m之聚鏈烯烴薄 膜所形成之保護薄膜夾住之三層構造。將此寬爲i m以上， 長爲120至150m者捲成捲筒狀之型態抽取使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 印刷電路板之製造中’由光阻層剝離保護薄膜，於光 阻層以層壓機熱壓著銅箔基板。之後，於基膜上密接印刷 電路之玻璃板，由此玻璃板側照射光於光阻層使之曝光， 接著剝離基膜，將乾式光阻層顯像。曝光係使用波長 3 6 5 n m附近之紫外線（以下，亦略稱爲「u V」）。因此， 基膜係使用高透明且紫外線透過性優異之二軸延伸聚酯薄 膜。另一方面，保護薄膜係保護光阻層以及防止將DFR捲 成捲筒狀時，基膜之內面及光阻層相粘著。因此，使用聚 鏈烯烴薄膜作爲保護薄膜。 近年，DFR捲筒之寬度逐漸變寬而使用寬度爲l.6m以 上之DFR。爲㊉女定地生產如此寬幅之DFR，基膜厚度爲 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

五、發明説明（2 ) 1 〇至25 // m是必須的。另外，通常基膜及保護薄膜之厚度 合計約爲50/z m，因爲愈薄可使DFR捲筒緊密，所以是適 宜的。 另外，DFR於印刷電路板之製造中，配合銅箔基板之 規格，具備保護薄膜下進行細縫處理。經細縫處理之保護 薄膜或基膜，不能再度使用，而作爲產業廢棄物處理。 因而檢討免去光阻層上以往就有的保護薄膜。若無保 護薄膜，就可省略剝離保護薄膜步驟，並可減少產業廢棄 物。 提出如此之薄膜，可於透明基膜之單側表面設光阻層 ’另一側表面，則設有對於光阻層具有離型性之聚鏈烯烴 所形成之離型層之無覆蓋薄膜。將捲成捲筒狀之光阻層， 以基膜內面之離型層保護之乾式薄膜光阻用薄膜係稱爲乾 式薄膜光阻無覆蓋薄膜。 爲賦予操作性於聚酯薄膜，有添加微細粒子之必要。 然而，添加微粒子時，定向薄膜聚合物時發生空隙，降低 薄膜的透明性。其結果爲於波長3 65 nm附近，無法保持高 的紫外線透過率。此時，曝光時所形成之模式並不能得到 高解像度，亦不能得到細密之電路模式。 發明內容 發明之揭不 本發明係以提供具備有透明性及高紫外線透過性，具 備有良好的光滑性及操作性之適合使用於.高解像度之乾式 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ^---II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -1% 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ⑽30li9i A7 B7 五、發明説明（3 ) 薄膜光阻無覆蓋薄膜之層合薄膜爲課題。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外’本發明進而以提供乾式薄膜光阻無覆蓋薄膜爲 課題。此乾式薄膜光阻無覆蓋薄膜係無需於光阻層上設保 護薄膜者。 亦即，本發明係 第1項 於聚酯薄膜之一側表面上設有離型層之層合薄膜 ，以層合薄膜於波長3 6 5 n m之光線透過率爲8 0 %以上爲特徵之層合薄膜。 第2項 如第1項之層合薄膜，其中聚酯係含有〇.〇1至 〇·1重量％之細孔容積爲0.5至2.0ml/g而且平均 粒徑爲〇. 1至5 // m之多孔質矽粒子， 第3項 如第2項之層合薄膜，其中多孔質矽粒子係平均 粒徑爲〇.〇1至0.1 // m之一次粒子之凝集體， 第4項 如第3項之層合薄膜，其中多孔質矽粒子中，5 0 μ m以上之粗大凝集粒子之個數係每lm2薄膜爲 1 〇個以下， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第5項 如第1項之層合薄膜，其中聚酯中之縮聚金屬觸 媒殘渣爲150ppm未滿，而且銻金屬量係相對於 聚酯之總二羧酸成份之15mmol%以下， 第6項 如第1項之層合薄膜，其中聚酯之固有粘度爲 0.52 至 1.50dl/g， 第7頁 如第1項之層合薄膜，其中離型層係含有至少1 種選自矽樹脂、氟樹脂、烯烴樹脂、鱲、聚乙烯 氨基甲酸及鉻錯合物所成群’ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（4 ) 第8項 如第1項之層合薄膜，其中層合薄膜之聚酯薄膜 表面Y及離型層表面R中之水接觸角滿足全部 的下述式（2) 、（4)及（5)， 20° ^ θ 90° ( 2 ) 60。$ 0 RS 150。 ( 4 ) 10° $ 0 R— 0 YS 130。 （ 5 ) (式（2) 、（4)及（5)中，0Υ係表示聚酯薄膜表面γ 之水接觸角，0 R係表示離型層表面R之水接觸角） 第9項 如第1項之層合薄膜，其中至少一側表面之中心 線平均租度（Ra)爲〇.〇〇5/zm以上’ 第10項 如第1項之層合薄膜，其厚度爲2至200 // m， 第1 1項 如第1項之層合薄膜，其霧度爲5%以下，以及 第1 2項 至少一側表面之如第1項之層合薄膜上.，設有光 阻層之乾式薄膜光阻無覆蓋薄膜。 以下，詳細說明本發明。 《聚酯薄膜》 〈聚酯〉 聚酯薄膜係由聚酯所構成之薄膜。聚酯係以聚對苯二 曱酸乙二醇酯爲宜。此可爲均聚物，亦可爲共聚物。聚對 苯二甲酸乙二醇酯之均聚物，因爲尤其是機械強度高，由 短波長側之可視光線至近紫外線之透過率高，所以特別適 合作爲DRF用。 聚酯若爲聚對苯二甲酸乙二醇酯之共聚物時，共聚物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ~ I _ II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 •着 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

五、發明説明（5 ) 之共聚成份，可以爲任何之二羧酸成份、二元醇成份及此 二者。 I-----^----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 二羧酸成份可舉例如異苯二甲酸及苯二甲酸之芳香族 二羧酸；己二酸、壬二酸、癸二酸及癸烷二羧酸之脂肪族 一羧酸；環己烷二羧酸之脂環族二羧酸。其中，就可得高 透明性及高抗扯裂強度而言，以異苯二甲酸爲宜。 二元醇可舉例如1，4 一丁二醇、1，6 —己二醇及二乙 二醇之脂肪族二元醇；1，4 一環己烷二甲醇之脂環族二元 醇；雙酚A之芳香族二元醇。 共聚成份可使用1種，亦可使用2種以上。 〈聚酯之融點〉 使用共聚物時，係使用其融點成爲24 5至2 5 8 °C (均聚 物之融點）之範圍之比率之共聚物。共聚物之融.點若爲245 °C未滿時，耐熱性差，而成爲熱收縮大之低平面性薄膜。 聚酯之融點係使用Du Pont Instruments 910 DSC，以 升溫速度爲20°C /分，求出融解波峰的方法，依此所測定之 値。試樣量爲2 0 m g。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〈聚酯之固有粘度〉 聚酯之固有粘度（鄰氯酚，3 5 °C )係以0.5 2至1 . 5 0爲 宜，以0.57至1.00尤佳，以0.60至0,80最好。固有粘度 若爲0.52未滿時，形成低抗扯裂強度之薄膜，並不適宜。 固有粘度若超過1.50時，於聚合物之製造步驟及薄膜之製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（6 ) 膜步驟，不能得到高生產性，並不適宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〈聚酯之製造方法〉 聚酯係可如下述之方法製造。 聚酯爲聚對苯二甲酸乙二醇酯之均聚物時，將對苯二 甲酸及乙二醇經酯化反應所得之反應生成物，進行縮聚反 應至目的之聚合度。或是，將對苯二甲酸二甲酯及乙二醇 經_交換反應所得之反應生成物，進行縮聚反應至目的之 聚合度。 聚酯爲聚對苯二甲酸乙二醇酯之共聚物時，將對苯二 甲酸、乙二醇及共聚成份經酯化反應所得之反應生成物， 進行縮聚反應至目的之聚合度。或是，將對苯二甲酸二甲 酯、乙二醇及共聚成份經酯交換反應所得之反應.生成物， 進行縮聚反應至目的之聚合度。 依據上述之溶融狀態之縮聚反應所得之聚酯，亦可於 固相狀態再施予進一步之聚合，而得更高聚合度之聚合物 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〈聚酯之縮聚觸媒〉 於聚酯之縮聚反應中，縮聚觸媒係以鈦化合物及鍺化 合物爲宜，以使用鍺化合物尤佳。 鈦化合物可舉例如鈦四丁醇（Tltanlum tetrabutoxide) 及乙酸鈦。 作爲鍺化合物’可使用氧化鍺。使用不定形氧化鍺或 本纸張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（2l〇X29^J-y -10-

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 微細結晶性氧化鍺均可。其次，這些於鹼金屬或鹼土類金 屬或其化合物之存在下，成爲溶解於甘油或水之溶液使用 亦可。 聚酯中所含有之縮聚金屬觸媒殘渣，係作爲金屬元素 里以l5〇ppm未滿爲且’以I20ppm未滿尤佳，以lOOppm 未滿最好。聚酯中所含有之縮聚金屬觸媒殘渣若爲l50ppm 以上時，於波長3 65 nm之紫外線下，難以得到80%以上之 透過率，並不適宜。爲使聚酯中所含有之縮聚金屬觸媒殘 渣爲1 5 Oppm未滿，所以聚合聚酯時必須不能使用銻類觸媒 。由聚酯之回收使用之觀點而言，不使用銻類觸媒亦適宜 的。 聚酯中所含有之銻化合物係以少量爲宜。聚酯中之銻 元素’相對於全部二羧酸成份係以15mmol%以下.爲宜，進 而以1 Ommol%以下尤佳，以5 m m ο 1 %以下最好。不使用銻 類觸媒所聚合之聚酯，所含有之銻元素不超過i 〇mm〇i%， 達成作爲DRF用薄膜用之高解像度，可以低成本製造。若 於聚合聚酯時使用鈦化合物或鍺化合物，更可提高此效果 〇 〈聚酯之添加劑〉 亦可於聚酯中加入添加劑。添加劑可舉例如氧化防止 劑、熱安定劑、粘度調整劑、可塑劑、色相改良劑、潤滑 劑及成核劑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 200301191 Μ _____Β7 五、發明説明（8 ) 〈聚酯薄膜之製膜方法〉 聚酯薄膜基本上係將後述之含有多孔質矽粒子之聚酉旨 組成物溶融製膜，以二軸延伸，再經熱處理而可製造。其 各步驟之方法及條件係可分別採用已知之方法及條件。 例如，首先溶融聚酯，由狹縫模頭壓成薄片狀，以鑄 塑轉筒冷卻固化，形成未延伸薄片，將此未延伸薄片，於 延伸溫度70至l2〇°C下，以延伸倍率3至5倍，分別於縱 向及橫向延伸，之後於200至25 0°C下熱處理，而可製造聚 酯薄膜。 《多孔質矽粒子》 〈多孔質矽粒子〉 構成聚酯薄膜之聚酯，以含有0.0 1至0 · 1重量％之細 孔容積0.5至2.0 ml/g，而且平均粒徑爲0.1至5// m之多 孔質矽粒子。該多孔質矽粒子係以平均粒徑爲0.0 1至〇 . 1 // m之一次粒子之凝集體爲宜。因此，多孔質矽粒子中之 5 〇 // m以上之粗大凝集粒子之個數係以每1 m2薄膜1 〇個以 下爲宜。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 再 社 印 製 若不使用多孔質矽粒子，而使用球形矽粒子或不定形 矽粒子時，延伸聚酯薄膜，定向分子時會發生空隙，不能 得到足以作爲乾式薄膜光阻使用之透明性，並不適宜。 〈多孔質矽粒子之一次粒子之平均粒徑〉 多孔質矽粒子爲一次粒子之凝集體。該一次粒子之平 -12- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200301191 A7 ____B7_ 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 均粒徑係以0.0 1至0.1// m爲宜。一次粒子之平均粒徑若爲 〇·〇1 // m未滿時，於淤漿階段分解粉碎，生成極細粒子，而 生成粗大凝集體，並不適宜。一次粒子之平均粒徑若超過 〇· 1 // m時，將失去粒子之多孔質性，失去與聚酯之親和性 ’易發生空隙並導致低透明性，並不適宜。 〈多孔質矽粒子之細孔容積〉 多孔質矽粒子之細孔容積係以0.5至2.0ml/g爲宜，以 0.6至1.8ml/g尤佳。細孔容積若爲〇.5ml/g未滿時，將失 去粒子之多孔性，易發生空隙並導致低透明性，並不適宜 。細孔容積若超過2.0 ml/g時，易引起分解粉碎及凝集，’不 易調整粒徑，並不適宜。 〈多孔質矽粒子之凝集粒子之平均粒徑〉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 多孔質矽粒子之平均粒徑，亦即凝集一次粒子成爲二 次粒子之多孔質矽粒子之平均粒徑係以0. 1至5 // m爲宜， 以〇. 3至3 // m尤佳。多孔質砂粒子之平均粒徑若爲〇. 1 // m 未滿時，造成薄膜之光滑性不足，並不適宜。平均粒徑若 超過5 // m時，薄膜表面變粗縫，不能得到與印刷電路玻璃 板足夠的密著性，發生不能得到高解像度之部份，並不適 宜。 〈多孔質矽粒子之添加量〉 多孔質矽粒子係相對於聚酯，以含有0.0 1至0.1重量 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -13- ^0301191 A7 B7 五、發明説明（10) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) %爲宜，以0.02至0.06重量％尤佳。含有量若爲0.01重 量％未滿時，將使薄膜之光滑性不足，頻頻發生製膜時之 切斷或刮傷，難以製膜，並不適宜。若超過0. 1重量％時， 透明性降低，亦不適宜。 〈粗大凝集粒子〉 存在於薄膜中之多孔質矽粒子中之粒徑爲5 0 // m以上 之粗大凝集粒子之個數，係每lm2薄膜，以10個以下爲 宜，以5個以下尤佳，以3個以下最好。每1 m2薄膜之5 0 β m以上之粗大凝集粒子之個數若超過1 0個時，於薄膜表 面產生不均勻突起，降低與印刷電路玻璃板之密著性，發 生不能得到高解像度之部份，並不適宜。另外，大小爲1 00 // m以上之粗大凝集粒子之個數，係每1 m2薄膜·，以2個 以下爲宜， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲使粗大凝集粒子之個數於1 〇個/rn2以下，係將薄膜 製膜時所使用之聚酯組成物以過濾器過濾爲宜。此時，過 濾器係以使用線徑爲1 5 // m以下之不銹鋼細線所形成之平 均網目以1 0至3 0 // m爲宜，以1 5至2 5 // m尤佳之不織布 型過濾器。過濾器之網目若超過3 0 // m時，不能得到減少 溶融聚合物中粗大粒子之效果。網目若爲1 〇 // m未滿時， 過濾時壓力變高，壓力上升變大，於工業上難以實際使用 。線徑若超過1 5 // m時，平均網目爲1 0至3 0 // m，不能捕 集粗大粒子。 作爲過濾器，若不使用不銹鋼細線所形成之不織布型 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 00301191 A7 B7 五、發明説明（11) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 過濾器，而使用其他之網狀構造物或燒結金屬，即使與上 述之平均網目相同，甚至更小之平均網目者，亦難以除去 多孔質矽粒子之粗大凝集粒子。認爲此乃因構成不織布型 過濾器之不銹鋼細線，不僅可捕集多孔質矽之粗大凝集粒 子，並且具有分解粉碎及分散粗大凝集粒子之效果。 〈多孔質矽粒子之添加方法〉 添加多孔質政粒子係於製造聚酯反應時，例如於酯交 換法時之酯交換反應中或縮聚反應中之任何時期，於直接 聚合法時之任何時期，以甘油中之淤漿狀添加於反應系統 爲宜。尤其係以於縮聚反應初期，例如至固有粘度約爲〇 . 3 之間，添加多孔質矽粒子於反應系統爲宜。 《離型層》 〈離型層〉 聚酯薄膜之一側表面設有離型層。該離型層係以具有 下述特徵爲宜。 (1) 對於光硬化性樹脂所形成之光阻層具有離型性。剝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 離力（180° ，低速剝離）係於1至100g/英吋之範圍。 (2) 剝離時之靜電發生少，不附著垃圾及異物等。 (3) 具有承受塗布光阻層後之乾燥處理之耐熱性或耐溶 劑性。耐熱性係以可承受如1 2 0 °C下1分鐘之乾燥處理爲宜 〇 (4) 以具有與基膜相同的可透過紫外線（UV光）之透明 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 2〇ύ3〇ϋ9ΐ Α7 Β7 五、發明説明（12) 性爲宜。 (5)以具有排除氣泡性爲宜，例如於離型層表面以具有 約0.1至10/zm之凹凸爲宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〈離型劑〉 離型層係由離型劑所形成。離型劑可舉例如矽樹脂、 氟樹脂、烯烴樹脂、蠟、聚乙烯氨基甲酸及鉻錯合物。 在不妨礙本發明之目的下，可配合已知之各種添加劑 於離型劑。此添加劑，可舉例如紫外線吸收劑、帶電防止 劑、顏料及消泡劑。 設置離型層之方法，例如可使用日本國特許第288295 3 號所記載之押出層合法以設置離型層方法，於聚酯薄膜製 膜時’塗布含有離型劑之塗液之設置離型層方法以及塗布 含有離型劑之溶液於二軸定向聚酯薄膜，加熱乾燥之設置 方法。 離型層係於製膜時之任何步驟設置均可，以轉筒鑄塑 後或轉筒鑄塑後之縱延伸後立即進行爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外’塗布含有離型劑之溶液於二軸定向聚酯薄膜， 設置離型層時，溶液之乾燥條件係以70至150°C，5至120 秒爲宜，以8 0至1 2 01：，1 0至6 0秒尤佳。 溶液之塗布方法，例如可使用橫條塗布法、逆輥塗布 法、刮刀法及照相凹版輥塗布法。 〈離型層厚度〉 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 200301191 A7 _B7 _ 五、發明説明（13 ) 離型層厚度係以0.01至〇.5//m爲宜，以0.02至0.2// (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) m尤佳。厚度若爲0.01 // m未滿時，不能得到足夠的剝離 力，並不適宜，若超過時，薄膜之霧度變高，亦不 適宜。 《薄膜特性》 〈層合薄膜表面之水接觸角〉 本 發 ：明 之層合薄膜，係未設離型層之表面 (此表面 稱 爲 厂 表 面 Y J )及離型層之表面 (此表面稱爲^ 表面R」 ) 中 之 水 接 觸 角 ，以滿足下述式（ 2)、（ 4)及（ 5 )爲宜。 20 0 Θ Yg 90° (2) 60 〇 Θ 150° (4) 10 0 Θ R- θ 130° (5 ) ( 式 ( 2 ) (4)及（5)中， 0 Υ係表示未設 有層合聚 酯 離型層之表面Y之水接觸角，0R係表示離型層表面R之 水接觸角） 層合薄膜若未同時滿足上述式（2 ) 、（ 4 )及（5 )時 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ，則層合光阻層於層合聚酯薄膜時，層合聚酯薄膜之表面 Y與離型層表面R之雙方表面不能密接光阻，難以得到層 合體，所以不宜。另外，捲取層合光阻層於層合聚酯薄膜 之表面Y之層合體成捲筒狀時，層合聚酯薄膜之離型層表 面R與光阻層表面密接，而難以捲出，並不適宜。另外， 0 R之下限係以70。爲宜。而0 R— 0 γ係以15。至丨30。 爲宜，以20°至130°尤佳。 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 200301191 Μ Β7 五、發明説明（14 ) 本發明中，爲同時滿足上述式（2) 、（4)及（5)， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 層合薄膜所使用之聚酯薄膜係以先經表面處理爲宜。該表 面處理係可以進行例如於聚酯薄膜之單側之未設有離型層 之表面Y，施以電暈處理，或是於前期設滿足式（2 )之層 於表面。 〈層合薄膜之粗度〉 至少1側表面之本發明之層合薄膜之中心線平均粗度 (Ra)係以0.005//m以上爲宜，以〇.〇15/zm以上尤佳。 尤其係以未設有離型層側之表面爲該中心線平均粗度爲宜 。中心線平均粗度於此範圍時，可成爲光滑性良好之層合 薄膜。 〈層合薄膜之厚度〉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之層合薄膜厚度係以2至200 # m爲宜，以8至 l〇〇//m尤佳，以10至25//m最好。厚度若超過200//m時 ，使用層合薄膜於乾式薄膜光阻用時，因解像度降低，所 以不適宜。厚度若爲2 // m未滿時則強度不足，尤其於剝離 作業時頻頻發生破裂，所以不適宜。 〈層合薄膜之光線透過率〉 本發明之層合薄膜爲提高解像度，於波長365 nm之光 線透過率，即紫外線透過率，係以80%以上爲宜，以85% 以上尤佳，以8 6 %以上更好，以8 7 %以上最好。紫外線透 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -18 - 200301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（15) 過率若爲80%未滿時，使用本發明之層合薄膜於乾式薄膜 光阻用時，光阻層之曝光、硬化步驟未能圓滿順利地完成 ’因此不能得到高解像度，並不適宜。 〈層合薄膜之霧度〉 本發明之層合薄膜之霧度係以5%以下爲宜，以4%以 下尤佳，以1 %以下最好。霧度若於此範圍時，使用層合薄 膜於乾式薄膜光阻用時之透明性優異，解像度亦變得良好 〇 〈層合薄膜之脫氣速度〉 本發明之層合薄膜之薄膜與薄膜間之脫氣速度係以1 0 至l2〇mmHg/hr爲宜。脫氣速度於此範圍時，薄膜之捲取性 良好。另外，薄膜與薄膜間之脫氣速度係預先將切成8cmx 5 cm之薄膜片，重疊20枚，下方之19枚，於中央開孔成 邊長爲2mm之三角形，使用電子BEKK平滑度試驗機（東 洋精機製），測定每單位時間降低多少mmHg所得之値。 〈層合薄膜之熱收縮率〉 本發明之層合薄膜於1 5 (TC所測定之縱向熱收縮率，係 以1.0至5.0%爲宜。抑制縱向熱收縮率於1.0%未滿時， 薄膜之平面性容易惡化，並且降低透明性，使用本發明之 層合薄膜於乾式薄膜光阻用時，造成於製造步驟或電子電 路步驟發生不良狀況的原因，並不適宜。縱向熱收縮率若 丨 一 7^^"裝 ^ 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -19- 2^301191 A7 B7 五、發明説明（16) 超過5 · 0 %時，因爲各步驟之熱或溶劑而容易發生收縮變形 ，並不適宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〈多層薄膜〉 本發明之層合薄膜可由1層構成，亦可由2層以上構 成。例如，特開平7— 333 S53號公報記載之由2層以上所 構成，於最外層則可使用含有多孔質矽粒子之聚酯。 《光阻用支持體》 〈光阻層〉 本發明之層合薄膜尤其是適合作爲乾式薄膜光阻無覆 室簿膜（光阻用支持體）使用。亦即，至少一側表面之本 .發明之層合薄膜上設有光阻層，可作爲乾式薄膜.光阻無覆 蓋薄膜。 四、實施方式 實施例 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以下係舉實施例更加說明本發明。另外，物性値及特 性係以下述方法測定並且定義之。 (1 )銻之定量分析 溶融成形聚酯薄膜，作成5 c m φ、厚度3 m m之片狀， 以螢光X線（理學電機製RIX3 000 )測定，定量分析之。 所使用之X線管球係使用鉻及錢。定量分析係預先以已知 之銻量作成檢量線（橫軸：銻量，縱軸：分析銻時之檢出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -- 200301191 A7 B7 五、發明説明（17) 量（單位cps ))，判定未知試樣中銻之檢出量（單位cps )° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (2 )固有粘度 於鄰氯酚溶液中，3 5 t下測定。 (3 )薄膜厚度 以外附測微計測定100點後，求其平均値爲薄膜之厚 度。 (4 )融點 使用 Du Pont Instruments 910 DSC ’ 以 20 °C/分之升溫 速度，求出融解波峰。試樣量爲20mg。 (5 )粒子之平均粒徑（實施例1至13及比較例1至9 ) (a) —次粒子 一次粒子之平均粒徑係將矽粉體撒出，儘可能各個粒 子不要重疊，以金屬濺射使該表面形成厚度爲200至3 00 埃之金屬蒸著膜，以掃描式電子顯微鏡，1 0000至3 0000倍 率下觀察，以日本Regulator (株）製LUZEX500，進行畫 面處理，由1 〇〇個粒子求出其平均粒徑。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (b) 二次粒子 爲一次粒子凝集體之二次粒子之平均粒徑，係以離心 沈降式粒度分佈測定裝置所測定之等價球形分佈中積分體 積分率爲50%之直徑爲平均粒徑。 (6 )粒子之平均粒徑（實施例1 4至31及比較例1 〇 至19) -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301191 A7 ___B7 _ 五、發明説明（18 ) (a) —次粒子 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一次粒子之平均粒徑係使用（株）島津製作所製CP 一 50 型離心粒子分析器（Centrifugal Particle Analyzer)測定 。依據基於所得之離心沈降曲線而算出各粒徑之粒子及其 殘存量之積算曲線，讀取相當50質量％之粒徑，以該値爲 上述之平均粒徑（「粒度測定技術」日刊工業新聞社發行 ，1 975年，參照242至247頁）。 (b )二次粒子 爲一次粒子凝集體之二次粒子之平均粒徑係將含有粒 子之薄膜由斷面方向切成厚度爲lOOnm之超薄切片，使用 透射式電子顯微鏡（曰本電子製JEM— 1200EX)，以1萬 倍左右的倍率觀察粒子，拍撮二次粒子。關於此照片中各 個粒子，使用畫像解析裝置等測定1 000個粒子之相當圓面 積之直徑，平均個數後之粒子徑爲平均二次粒子徑。另外 ，粒子種類之鑑定係可使用SEM (掃瞄式電子顯微鏡）-XMA及ICP (感應偶合電漿）之金屬元素之定量分析等進 行。 (7 )細孔容積 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以氮氣吸附脫附法測定之，以BET式計算。 (8 )薄膜中粗大粒子之大小及個數 使用萬能投影機，於透射照明下擴大20倍，計數最大 長徑爲5 0 // m以上之粒子數量。測定面積爲1 m2。 (9)中心線平均粗度（Ra) 依據JI SB 0 60 1，使用（株）小坂硏究所製之高精度表 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200301191 A7 ______B7_ 五、發明説明（19 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 面粗度計SE — 3FAT，探針之半徑爲2// m，負重30mg，擴 大倍率2〇萬倍，取樣長度爲8mm之條件下描畫圖形，從 粗度曲線在中心線的方向中，取其測定長度 L，而這部分 的中心線爲X軸，縱倍率之方向爲Y軸，粗度曲線係以y = f(x)表示，下述式中之値以//m單位表示。 1 L!

Ra = - $ | f ( X) I dx L L〇 (1 〇 )光阻薄膜特性 使用所得之光阻薄膜，作成印刷電路，評價其解像度 及電路缺陷。亦即，於含有玻璃纖維之環氧樹脂板上所設 有之銅板上，密接剝離保護層之光阻薄膜之光阻層，進而 於其上密接印刷電路之玻璃板，由玻璃板側進行紫外線曝 光後，剝離光阻薄膜，洗淨，進行鈾刻，製成電路，以目 測及顯微鏡觀察解像度及電路缺陷，以下述之基準評價。 (a )解像度 ◎:得到解像度非常高，鮮明的電路。 〇：得到解像度高，鮮明的電路。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 △:認爲有鮮明性略差，線條變粗等之現象。 X :鮮明性差，不能得到供予實際上使用之電路。 (b )電路缺陷 〇：認爲無電路缺陷。 △:認爲有部份電路缺陷。 X :電路缺陷過多，不得供予實際上使用。 - 23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 00301191 A7 ______B7 五、發明説明（20 ) (1〇光阻層剝離性 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 未施有聚酯薄膜離型層之另一側表面上，以聚甲基丙 烯酸甲酯爲接合劑，以三甲醇丙烷三丙烯酸酯爲交聯劑， 以蒽醌爲光聚合開始劑，以氫輥爲安定劑，以甲基紫爲著 色劑所形成之感光性組成物（光阻），於暗室中塗布 0.02mm之厚度。重合該薄片2枚，使離型面及光阻面接.合 ，以2kg之滾筒本身重量滾1次來回，加壓層合，而製成 評價剝離性用之試樣。關於層合後立即評價之試樣，係將 離型處理聚酯薄膜之離型處理面及光阻面以3 00mm/min之 速度，剝離1 80° ，剝離性如下述之基準評價。 〇：輕剝離力，聚酯薄膜上不殘留光阻。 △:.中剝離力，聚酯薄膜上殘留部份光阻。 X :重剝離力，聚酯薄膜上幾乎殘留所有的光阻。 (12)水接觸角（0Y及0R) 試樣之測定面朝上，安裝於接觸角測定裝置（Elmer社 製），於2 3 °C之溫度下，滴下水滴1分鐘後，讀取接觸角 而測定之。以3點之平均値爲測定値。 (1 3 )光滑性（操作性） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 包含製膜時之細縫處理之捲取步驟，經由上述製成光 阻薄膜之步驟，光滑性係以下述之3階段評價。 〇：薄膜未發生縐紋，無問題。 △:薄膜偶有縐紋。 X :通常爲薄膜的一部份，或是全面有縐紋。 (1 4 )捲出性 -24- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（21) 聚酯薄膜之單側之表面Y上，以聚甲基丙烯酸甲酯接 合劑，以三甲醇丙烷三丙烯酸酯爲交聯劑，以蒽醌爲光聚 合開始劑，以氫輥爲安定劑，以甲基紫爲著色劑所形成之 感光性組成物（光阻），於暗室中塗布0.02mm之厚度。將 所得之層合薄膜，使未層合光阻之表面X或層合聚酯薄膜 之離型層表面R與光阻層表面密接，捲取成捲筒狀。以 3〇Omm/min之速度捲出，目測其捲出性，以下述之基準評 價。 ◎:聚酯薄膜之表面X或離型層表面R與光阻層之界 面之剝離爲輕剝離，表面X或離型層表面R上幾乎未殘留 光阻。 〇：聚酯薄膜之表面X或離型層表面R與光阻層之界 面之剝離爲中剝離，表面X或離型層表面R上殘留部份光 阻。 X :聚酯薄膜之表面X或離型層表面R與光阻層之界 面之剝離爲重剝離，表面X或離型層表面R上幾乎殘留全 部光阻。 (1 5 )薄膜之脫氣速度 薄膜之捲取性係以重疊時之空氣脫氣時間表示。脫氣 速度係預先將切成8cmx5cm之薄膜片，重疊20枚，下方 之19枚’於中央開孔邊長爲2mm之三角形，使用電子 BEKK平滑度試驗機（東洋精機製），測定每單位時間降低 多少mmHg所得之値。 (1 6 )紫外線透過率 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0x 297公釐） I .---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 •線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 00301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22) 使用（株）島津製作所製之分光光度計MPC - 3100, 測定波長3 6 5 nm之光線透過率。 (1 7 )光線透過率 使用日本電色工業社製之霧度測定器（NDH — 20 )， 測定薄膜之霧度値。依據π S P - 8 1 1 6。 (1 8 )熱收縮率 設定爲l5〇°C之恆溫室中，將預先測定正確長度之薄膜 ，於無緊張狀態下放入，經3 0分鐘處理後取出，恢復成室 溫後’讀取其尺寸之變化。熱處理前之長度爲Lq及熱處理 後之長度爲，以下式求出熱收縮率。 熱收縮率二（L。— LjxlOO/LoC%) 實施例1 (設矽系樹脂爲離型層之例） 將對苯二甲酸酯及乙二醇，添加乙酸錳爲酯交換觸媒 ’氧化鍺爲聚合觸媒，亞磷酸爲安定劑，進而添加0.01重 量％之平均粒徑爲0.02# m之一次粒子凝集體（二次粒子 )之細孔容積爲1.6 ml/g，平均粒徑爲1 . 5 // m之多孔質矽 粒子後，進行酯交換及縮聚反應，而得固有粘度（鄰氯酚 ，3 5°C )爲0.6 5 dl/g之聚對苯二甲酸乙二醇酯。 其次，將所得之聚對苯二甲酸乙二醇酯顆粒，於1 7 〇 t 下，乾燥3小時後，供給於押出機之料斗，以溶融溫度29〇 C溶融’以線徑爲1 3 // m之不銹鋼細線所形成之平均網目 爲24 // m之不織布型過濾器過濾，由狹縫模頭押出，完成 表面約爲0.3 s，於表面溫度爲2 〇艺之回轉冷卻轉筒鑄塑， I----，---：,¾衣------1T----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -26- 2ΰ^301ΐ9ι Α7 Β7 五、發明説明（23 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 形成未延伸薄膜。將如此所得之未延伸薄膜，預熱成75°C ，於低速滾筒與高速滾筒之間，其15mm上方，以1支表 面溫度爲800°C之紅外線加熱器加熱而得縱向延伸3.7倍之 縱延伸薄膜。 縱延伸終了後之薄膜之單側表面上，將離型層A塗布 用之下述塗液，以照相凹版輥塗布機塗布，使其於乾燥橫 延伸後爲〇. 1 // m。 〈形成離型層A之塗液〉（矽系樹脂） 將含有旭化成WACKER (株）製DEHESIVE3 9005VP ( 100重量份），同DEHESIVE3 9006VP ( 100重量份）及日 本UNI CAR (株）製A— 187(200重量份）之10%濃度水 溶液，供予喇叭器（stentor )，於1 1 0 °C下橫向延伸4.0倍 ，進而以23 5 °C，5秒鐘熱處理，而得薄膜厚度爲25 // m之 二軸定向層合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表1所示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施例2、3、比較例1、2 (改變聚酯中之多孔質矽粒子之 添加量之例） 除多孔質矽粒子之添加量如表1所示以外，與實施例i 同樣地進行，而得到薄膜厚度爲2 5 // m之二軸定向層合聚 酯薄膜。 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（24) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表1所示。 另外，實施例2中所使用之多孔質矽粒子之一次粒子 之平均粒徑、細孔容積、平均粒徑、聚酯薄膜中之銻（S b )量及觸媒殘渣濃度如表2所示。另外，使用實施例2所 得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表面上層合光阻層 ，製成印刷電路，評價其特性。其結果如表3所示。 實施例4 (設氟系樹脂層爲離型層之例） 除了 一次粒子之平均粒徑、多孔質矽粒子之細孔容積 、多孔質矽粒子之平均粒徑、銻量及觸媒殘渣如表2所示 ，縱延伸終了後之薄膜之單側表面上，將作爲離型層B之 旭玻璃（株）製Surflon S - 112之15%濃度水溶液，以輥 塗機塗布，使其於乾燥橫延伸後爲0.0 5 // m以外，與實施 •例2同樣地進行，而得到二軸定向層合聚酯薄膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表3所示。 實施例5 (塗設烯烴系樹脂層爲離型層之例） 一次粒子之平均粒徑、多孔質矽粒子之細孔容積、多 孔質矽粒子之平均粒徑、銻量及觸媒殘渣如表2所示，與 實施例2同樣地進行，將所得之聚對苯二甲酸乙二醇酯顆 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 〇〇 200301191 Μ Β7 五、發明説明（25) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 粒，於170°C下，乾燥3小時後，供給於押出機之料斗，以 ί谷㉚温度2 9 0 C丨谷融’以線徑爲1 3 // m之不绣鋼細線所形 成之平均網目爲24 // m之不織布型過濾器過瀘，由狹縫模 頭押出，完成表面約爲〇.3s，於表面溫度爲20 °C之回轉冷 卻轉筒鑄塑，形成未延伸薄膜。將如此所得之未延伸薄膜 ，預熱成75°C，於低速滾筒與高速滾筒之間，其i5mm上 方，以1支表面溫度爲8〇〇°C.之紅外線加熱器加熱使縱向延 伸3.7倍，而得縱延伸薄膜。其次，供予喇叭器，於no°c 下橫向4.0倍延伸，進而以2 3 5 °C，5秒鐘熱處理，而得薄 膜厚度爲25 // m之二軸定向層合聚酯薄膜。其次，供予喇 口八器，於1 1 〇 °C下橫向4. 〇倍延伸，進而以2 3 5 °c，5秒鐘 熱處理，而得薄膜厚度爲2 5 // m之二軸定向層合聚酯薄膜 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用所得之未層合離型層之二軸定向層合聚酯薄膜， 與日本國特許第2 8 8 2 9 5 3號之實施例2同樣地，於聚酯薄 膜之單側表面上，將聚乙抱亞胺烷基變性體（日本觸媒化 學（株）製PR — 10)溶解於甲基乙基甲酮/甲苯之混合溶劑 而成固形成份濃度爲1 %之離型劑塗液作爲離型層C，塗布 成10g/m2，乾燥之。離型層塗膜爲〇.1 # m。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表3所示。 實施例6 (設聚乙烯氨基甲酸類層爲離型層.之例） -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（26) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 除了 一次粒子之平均粒徑、多孔質矽粒子之細孔容積 、多孔質矽粒子之平均粒徑、銻量及觸媒殘渣如表2所示 ’縱延伸終了後之薄膜之單面上，將作爲離型層D之一方 社油脂工業（株）製PIROYL406之5%水溶液，以輥塗機 塗布，使其於乾燥橫延伸後爲0.0 5 // m以外，與實施例2 同樣地得到二軸定向層合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表3所示。 實施例7 (設蠟類層爲離型層之例） 除了 一次粒子之平均粒徑、多孔質矽粒子之細孔容積 、多孔質矽粒子之平均粒徑、銻量及觸媒殘渣如表2所示 ，縱延伸終了後之薄膜之單面上，將作爲離型層E之含有 中足油脂（株）製EV— 4(219重量份）及同Himicron G —2 7 0 ( 1 3 7重量份）之1 〇 %濃度水溶液，以輥塗機塗布， 使其於乾燥橫延伸後爲0.0 5 μ m以外，與實施例2同樣地 進行，而得到二軸定向層合聚酯薄膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表3所示。 實施例8 (以押出層合塗布烯烴系樹脂層爲離型層之例） 與竇施例5同樣地進行，所得之未層合離型層之二軸 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301191 A7 ___ B7 五、發明説明（27 ) 定向層合聚酯薄膜之單側表面，與日本國特許第28 82953 號之實施例1同樣地，以押出層合法，層合厚度1 5 // m之 中密度聚乙烯爲離型層F。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層’製成印刷電路，評價其特性。其結果如 表3所示。 實施例9至13、比較例3、5至9 除了 一次粒子之平均粒徑、多孔質矽粒子之細孔容積 、多孔質矽粒子之平均粒徑、銻量及觸媒殘渣如表2所示 以外，與實施例2同樣地得到二軸定向層合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其特性。.其結果如 表3所示。 比較例4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 與實施例5同樣地進行，所得之未層合離型層之二軸 定向層合聚酯薄膜之單側表面上，層合光阻層，製成印刷 電路，評價其特性。其結果如表3所示。 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（28 £ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光滑性 〇 〇 〇 〇 X 電路缺陷 〇 〇 〇 X 〇 解像度 〇 〇 〇 X 〇 粗大粒子個數 個/m2 τ-Η 寸 Ό 霧度 % 〇 m 卜 寸· 〇 卜· 卜 cn Ra β m 0.012 0.030 0.039 0.046 0.015 紫外線透過率 % 87.0 86.5 85.9 79.2 79.5 離型層 <ί < 添加量 重量％ 0.01 0.05 0.10 0.15 0.02 種類 多孔質 多孔質 多孔質 多孔質 球狀 實施例1 實施例2 實施例3 比較例1 比較例2 丨 · 裝 „ 訂 , (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 32- 200301191 A7 B7 五、發明説明（29 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I 離型層 C 壊 < U Q P-1 <ί C c < c < < < 金屬觸媒殘渣 ppm 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 100 140 200 銻元素量 mmol% ο ο ο ο ο ο ο ο ο ο o o o o o o o 二次粒子 平均粒徑 β m r—Η Η γ—1 1—Η t—H r-H r-H r-H r-H in r-H in 1—H r—H o 00 寸· T-H 1—H 二次粒子 細孔容積 ml/g CN r-H Ό ι—Η Ό Ό r*—1 Ό r—Η Ό r-H (N r-H m 〇· d r-H ϊ—H csi <N <N r-H <N 1—H (N T-H (N r—H 一次粒子 平均粒徑 β m 0.005 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.12 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 比較例3 比較例4 實施例2 實施例4 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 比較例5 比較例6 實施例9 實施例i〇 ! 比較例7 實施例11 ! 實施例12 比較例8 實施例13 比較例9 I----：------------IT——---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 33 - ΰ030119ί Α7 Β7

五、發明説明（3Q £ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光阻剝離性 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 光滑性 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 電路缺陷 < 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X 〇 〇 X 〇 〇 X 〇 X 解像度 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X 〇 〇 X 〇 〇 X 〇 X 粗大粒子個數 個/m2 卜 CN <N (N r-H (N (N 寸 寸 (N VO r-H 寸 cn m o o 霧度 % 卜 (N 〇\ csi 〇 cn 〇 cn cn cn G\ (SI H cn <N IT) ^T) Ο 寸 卜 <N in <N (N r-H 00 寸 <N iT) r-H 3.2 Ra // m 0.030 0.028 0.030 0.031 0.029 0.030 0.032 0.031 0.035 0.032 0.031 0.028 0.027 0.012 0.043 0.043 0.030 0.031 紫外線透過率 % 1 79.8 84.4 86.5 86.0 85.2 84.7 86.6 85.9 78.9 78.7 85.0 86.0 79.7 00 85.7 78.7 Τ-Ή vd 00 ! 78.3 比較例3 | 比較例4 實施例2 實施例4 1 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 比較例5 比較例6 實施例9 實施例10 比較例7 實施例11 實施例12 比較例8 實施例13 比較例9 I----；------Ί--IT----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -34-

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（31) 另外，表1及表2之離型層欄之略稱係表示設有下述 之離型層。 A :層合離型層A。 B :層合離型層B。 C :層合離型層C。 D :層合離型層D。 β :層合離型層E 〇 F :層合離型層F。 無：未層合離型層。 由表1至3所示之結果顯示，本發明之層合薄膜係具 有優異之光層剝離性、紫外線透過性及光阻薄膜特性。 實施例1 4 (設矽系樹脂爲離型層之例） 將對苯二甲酸酯及乙二醇，添加乙酸錳爲酯交換觸媒 ’氧化鍺爲聚合觸媒，亞磷酸爲安定劑，進而添加相對於 #合物爲0.0 6 6重量％之凝集粒子（二次粒子）之平均粒徑 爲1 · 7 // m多孔質矽粒子爲潤滑劑，依據常法聚合，而得固 有粘度（鄰氯酚，35°C )爲〇.65 dl/g之聚對苯二甲酸乙二 醇酯。將此聚對苯二甲酸乙二醇酯顆粒，於1 70。(：下，乾燥 3小時後，供給於押出機，以溶融溫度29 5 °C溶融，以線徑 爲1 3 // m之不銹鋼細線所形成之平均網目爲2 4 // m之不織 布型過濾器過濾，由平口模押出，完成表面約爲0.3 s，於 表面溫度爲20 °C之回轉冷卻轉筒鑄塑，而得厚度爲225 // m 之未延伸薄膜。將如此所得之未延伸薄膜.，預熱成7 5 °C， I----,------Ί--IT—I--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 35- 200301191 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（32) 於低速滾筒與高速滾筒之間，其1 5 m m上方，以1支表面 溫度爲8 0 0 °C之紅外線加熱器加熱，使縱向延伸3.6倍，急 速冷卻而得縱延伸薄膜。 縱延伸終了後之薄膜之單側表面上，將作爲離型層A 之下述塗液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫延伸後爲0. 1 // m 〇 〈形成離型層A之塗液〉（矽系樹脂） 將含有旭化成WACKER (株）製DEHESIVE39005VP( 100重量份），同DEHESIVE3 9006VP ( 100重量份）及日 本UNICAR (株）製A — 1 87 ( 200重量份）之5%濃度水溶 液，供予喇叭器（stentor )，於1 2 0 °C下橫向延伸3.9倍。 所得之二軸定向薄膜以205 °C之溫度，5秒鐘熱固定，而得 厚度爲1 6 // m之層合聚酯薄膜。構成此薄膜之聚酯固有粘 度（鄰氯酚，35艺）爲0.61 dl/g。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例15 (改變聚酯之固有粘度及厚度之例） 除了溶融押出係使用固有粘度爲0.60 dl/g之聚對苯二 甲酸乙二醇酯，.未延伸薄膜之厚度爲3 23 // m以外，依據實 施例1，可得由構成薄膜聚酯之固有粘度0.5 6dl/g之聚對苯 二甲酸乙二醇酯所形成之厚度爲23 // m之層合聚酯薄膜。 I-----·---7^^-裝----Ί. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T MW. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 200301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（33) 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層’製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例1 6 (改變聚酯中銻濃度之例） 除了添加如表4之量之三氧化銻爲觸媒以外，與實施 例1 4同樣地進行’而得到厚度爲1 6 # m之二軸定向聚酯薄 膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例1 7 (設氟系樹脂層爲離型層之例） 與實施例1 4同樣地進行，所得到之縱延伸薄膜之單側 表面上，將作爲離型層B’之旭玻璃（株）製Surfl〇nS — 1 1 2之1 0 %濃度水溶液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫延 伸後爲〇. 〇 5 // m以外，與實施例1 4同樣地進行，而得到層 合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例1 8 (塗設烯烴系樹脂層爲離型層之例） 於縱延伸薄膜上不塗布塗液，與實施例1 4同樣地進行 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37- I * 裝 ^ 訂 . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 200301191 A7 _B7 五、發明説明（34 ) ，而得到兩側表面未層合離型層之厚度爲1 6 // m之二軸定 向聚酯薄膜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用所得之二軸定向聚酯薄膜，與日本國特許第 28 8 295 3號之實施例2同樣地，於聚酯薄膜之單側表面上， 將聚乙抱亞胺烷基變性體（日本觸媒化學（株）製PR - 1 0 )溶解於曱基乙基甲酮/甲苯之混合溶劑而成固形成份濃度 爲1%之離型劑塗液作爲離型層C，塗布成10g/m2，乾燥之 。離型層塗膜爲0.1# m。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例19 (設聚乙烯氨基甲酸類層爲離型層之例） 與實施例1 4同樣地進行，所得到之縱延伸薄膜之單側 表面上，將作爲離型層D之一方社油脂工業（株）製 PIROYL406之5%水溶液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫 延伸後爲〇. 〇 5 // m以外，與實施例1 4同樣地進行，而得到 層合聚酯薄膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例2 0 (設鱲類層爲離型層之例） 與實施例1 4同樣地進行，所得到之縱延伸薄膜之單側 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（35) 表面上，將作爲離型層E之含有中京油脂（株）製EV - 4 (219重量份）及同Hi micro nG— 270 ( 137重量份）之ι〇 %濃度水溶液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫延伸後爲 0.05// m以外，與實施例14同樣地進行，而得到層合聚酯 薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例2 1 (以押出層合塗布烯烴系樹脂層爲離型層之例） 與實施例1 8同樣地進行，所得到兩側表面未層合離型 層之二軸定向層合聚酯薄膜之單側表面上，與日本國特許 第2S 8295 3號之實施例14同樣地，以押出層合法.，層合厚 度爲1 5 // m之中密度聚乙烯。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 實施例22及23 (改變潤滑劑之添加量之例） 除了潤滑劑之添加量如表4以外，與實施例14同樣地 進行，而得到層合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ gg I ^ ^ I „II. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 200301191 A7 B7 五、發明説明（36) 另外，雖未記載於表中，實施例14至23之薄膜之脫 氣速度爲30至100mmHg/hr之範圍內，另外，熱收縮率亦 於1.0%至5.0%之範圍內，係適合的。 比較例1 0 除了溶融押出係使用固有粘度爲〇.55dl/g之聚對苯二 甲酸乙二醇酯，未延伸薄膜之厚度爲1 1 2 // m以外，依據實 施例14，而得到由構成薄膜聚酯之固有粘度爲0.50dl/g之 聚對苯二甲酸乙二醇酯所形成之厚度爲8 // m之層合聚酯薄 膜。 比較例1〇之薄膜，與光阻剝離時常發生破裂，不能製 造層合聚酯薄膜。 比較例1 1 除了添加如表4之量之三氧化銻爲聚合觸媒以外，與 實施例1 4同樣地進行，而得到厚度爲1 6 // m之層合聚酯薄 膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 比較例12 與實施例1 8同樣地進行，而得到於兩側表面上未層合 離型層之二軸定向聚酯薄膜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 40 I-----：--7^^— — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T .囔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 200301191 A7 .___B7 五、發明説明（37 ) 使用如此所得之層合聚酯薄膜單側表面上層合光阻層 ’製成印刷電路，評價其光阻特性。另外，於所得之層合 聚酯薄膜之另一側表面上層合光阻層，進行光阻剝離性之 評價。其結果及薄膜單體特性如表4所示。 比較例13至1 5 除了如表4所示之三氧化銻添加量、添加潤滑劑之種 類、平均粒徑及添加量以外，與實施例1 4同樣地進行，而 得到厚度爲16//m之層合聚酯薄膜。 使用如此所得之層合聚酯薄膜，於未層合離型層之表 面上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性。其結 果及薄膜單體特性如表4所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200301191 A7 B7 五、發明説明（38 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光阻 剝離性 1 〇 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 光阻薄膜 電路缺點 1 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X 0 解像度 1 ◎ 〇 〇 X 〇 ◎ 〇 〇 ◎ 〇 ◎ 〇 X X X 紫外線 透過率 % 1_ (N 〇〇 00 00 m Ό* 00 Ό· 00 (Ν 00 ο 卜· 00 m Ό* 00 寸 IT) 00 ο Ό ό' 00 (N 00 〇\ οο 00 00 ο 霧度 % 1_ 〇 y—i cn CN 00 csi <Ν 寸 csi 寸 (Ν’ IT) csi r- (Ni 00 (Ν· Ό CN 卜 csi 寸 r-H 〇\ <N CN to ΓΟ r*H iri 厚度 μχη 1_ 00 Ό r—H Ό Ό r-H Ό r-H VO r-H Ό 1—Η Ό γ-Η r-H m Ό r-H Ό 1—1 Ό r-H Ό Ό r-H 離型層 <ί <； < c 壊 PQ 〇 Q <ί <ί < <ί c 潤滑劑 添加量 重量％ 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.066 0.030 0.085 0.120 0.066 0.066 卜 r-H 卜 τ—< 卜 τ-Η 卜 r-H 卜 r-H 卜 r—Η r-H 卜 r-H 卜 τ-Η 卜 r-H 卜 r-H 卜 r-H 卜 卜 1—Η (Μ 卜 r-H 種類 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 1多孔質矽1 1多孔質矽1 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 1多孔質矽1 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 多孔質矽 球狀石夕 画袈5 〇 r-H ο Ό Ο s ο r-H VO ο τ-Η Ό 〇 r-H Ό O’ r-H o’ f-H Ό Ο s o’ r-H Ό O’ s o r-H ο r-H Ό Ο Η Ό Ο 〇 薄膜中的 觸媒殘渣 ppm 〇 T-H ο r—Η Ο r—ί ο r-H ο 〇 Τ-Η o r—H o r-H Ο Η ο τ-Η 〇 o r—H ο τ-Η Ο 宕 Ο (Ν 〇 薄膜中 的銻量 mmol% Ο Ο Ο Ο r—1 Ό Ο 〇 〇 Ο Ο 〇 o ο Ό Τ-Η Ό τ—Η 1-H 比較例10 實施例14 實施例15 實施例16 比較例11 比較例12 實施例17 實施例18 實施例19 實施例20 實施例21 實施例22 實施例23 比較例13 比較例14 比較例15 I ^ 7^^"裝 „ 訂 ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42-

五、發明説明（39) 另外’表4之離型層欄之略稱係表示設有以下之離型 層。 A ··層合離型層a。 B :層合離型層B。 C :層合離型層C。 D :層合離型層D。 E :層合離型層E。 F :層合離型層F。 無：未層合離型層。 由表4所示之結果顯示，本發明之層合薄膜係具有優 異之光層剝離性、紫外線透過性及光阻薄膜特性。 實施例24 (設矽系樹脂爲離型層之例） 將對苯二甲酸酯及乙二醇，添加乙酸錳爲酯交換觸媒 ’氧化鍺爲聚合觸媒，亞磷酸爲安定劑，進而添加相對於 聚合物爲〇 . 〇 6 6重量％之凝集粒子（二次粒子）之平均粒徑 爲1 · 7 // m多孔質矽粒子爲潤滑劑，依據常法聚合，而得固 有粘度（鄰氯酚，351 )爲0.65 dl/g之聚對苯二曱酸乙二 醇酯。將此聚對苯二甲酸乙二醇酯顆粒，於17(TC下，乾燥 3小時後，供給於押出機，以溶融溫度295t溶融，以線徑 爲1 3 // m之不銹鋼細線所形成之平均網目爲24 // m之不織 布型過濾器過濾，由平口模押出，完成表面約爲0.3 s，於 表面溫度爲20 °C之回轉冷卻轉筒鑄塑，而得厚度爲225 // m 之未延伸薄膜。將所得之未延伸薄膜，預熱成7 5 °C，於低 I-----.——I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -43 - 200301191 A7 B7 五、發明説明（4Q) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 速滾筒與高速滾筒之間，其15mm上方，以1支表面溫度 爲8 0 0 °C之紅外線加熱器加熱使縱向延伸3.6倍，急速冷卻 而得縱延伸薄膜。 縱延伸終了後之薄膜之單側表面（表面X )上，將作 爲離型層A之下述塗液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫延 伸後爲〇 . 〇 5 /z m。 〈離型層A塗布用之塗液〉（矽系樹脂） 將含有旭化成WACKER (株）製DEHESIVE3 9005VP ( 1〇〇重量份），同DEHESIVE39006VP(100重量份）及曰 本UNICAR (株）製A — 1 87 ( 200重量份）之10%濃度水 溶液。 接著，供予喇叭器，於1 20 °C下橫向延伸3.9 .倍。所得 之二軸定向薄膜以2〇 5 °C之溫度，5秒鐘熱固定，捲取成捲 筒狀，而得厚度爲2〇//m，具有層合離型層A之表面R及 未經任何層合處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜之薄 膜捲筒。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如此所得之二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒於常溫 、常濕下放置1週後，於表面Y上層合光阻層，製成印刷 電路，評價其光阻薄膜特性及捲出性。其結果及薄膜單體 特性如表5所示。 實施例2 5 (於未設離型層表面上施予電暈處理之例） 與實施例2 4同樣地進行，所得到二軸定向層合聚酯薄 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） __ 200301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（41) 膜之表面Y上，進行電暈處理，而得具有層合離型層A之 表面R及經電暈處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜之 薄膜捲筒。所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置i週後， 於表面Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜 特性及捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 實施例26 (設氟系樹脂層爲離型層之例） 與實施例24同樣地進行，所得到之縱延伸薄膜之單側 表面（表面X)上，將作爲離型層B塗布用之旭玻璃（株 )製Surflon S — 112之15%濃度水溶液，以輥塗機塗布， 使其於乾燥橫延伸後爲0.0 5 // m以外，與實施例1同樣地 進行，而得到具有層合離型層B之表面R及未經任何層合 處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲.筒。所得 之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面γ上層合 光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及捲出性。 其結果及薄膜單體特性如表5所示。 實施例27 (塗設烯烴系樹脂層爲離型層之例） 除了於縱延伸薄膜上不塗布塗液以外，與實施例24同 樣地進行，而得到於兩側表面未層合離型層之厚度爲2 0 // m之二軸定向聚酯薄膜。使用所得之二軸定向聚酯薄膜 ，與日本國特許第2 8 8 2 9 5 3號之實施例2同樣地，於聚酯 薄膜之表面X上，將聚乙抱亞胺烷基變性體（日本觸媒化 學（株）製PR - 1 0 )溶解於甲基乙基甲酮./曱苯之混合溶劑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） T2 ^ 裝 ^ 訂I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2ϋ〇30119| 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __—____B7 五、發明説明（42 ) 而成固形成份濃度爲1 %之離型劑塗液作爲離型層c，塗布 成l〇g/m2，乾燥後捲成捲筒狀，而得具有層合塗膜厚度爲 之離型層C之表面R及未經任何層合處理之表面γ 之二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 如此所得之層合聚酯薄膜之薄膜捲筒於常溫、常濕下 放置1週後，於表面Y上層合光阻層，製成印刷電路，評 價其光阻薄膜特性及捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5 所示。 實施例28 (設聚乙烯氨基甲酸類層爲離型層之例） 與實施例24同樣地進行，所得之縱延伸薄膜之單側日 表面（表面X)上，將作爲離型層D塗布用之一方社油脂 工業（株）製PIROYL406之5%水溶液，以輥塗機塗布， 使其於乾燥橫延伸後爲〇.〇5 // m以外，與實施例1同樣地 進行，而得到具有層合離型層D之表面R及未經任何層合 處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面 Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及 捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 實施例29 (設鱲類層爲離型層之例） 與實施例24同樣地得到之縱延伸薄膜之單面上（表面 X)，將作爲離型層E塗布用之含有中京油脂（株）製EV —4(219重量份）及同HimicronG— 270 ( 137重量份）之 — ^ 裝 ^ 訂 . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ·奶- 200301191 五、發明説明（43) 1 〇 %濃度水溶液，以輥塗機塗布，使其於乾燥橫延伸後爲 0.0 5 // m以外，與實施例24同樣地進行，而得到具有層合 離型層E之表面R及未經任何層合處理之表面Y之二軸定 向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面 Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及 捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 實施例3 0 (以押出層合塗設烯烴系樹脂層爲離型層之例） 將與實施例27同樣地進行，所得之兩側表面未經任何 層合處理之二軸定向層合聚酯薄膜之表面Y上，與日本國 特許第28 829 5 3號所記載之實施例1同樣地，以，押出層合 法，層合厚度15//Π1之中密度聚乙烯爲離型層F，而得具 有層合離型層F之表面R及未經任何層合處理之表面γ之 二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面 Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及 捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 實施例31 除了添加如表4之量之三氧化銻爲觸媒以外，與實施 例2 4同樣地進行，而得到厚度爲2 0 // m，具有層合離型層 A之表面R及未經任何層合處理之表面γ之二軸定向層合 聚酯薄膜之薄膜捲筒。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝----^---訂--.— 费 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -47- 20030119 Β7 五、發明説明（44 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 所得之二軸定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒於常溫、常 濕下放置1週後，於表面Y上層合光阻層，製成印刷電路 ，評價其光阻薄膜特性及捲出性。其結果及薄膜單體特性 如表5所示。 比較例1 6 依據實施例1所得之具有層合離型層A之表面R及未 經任何層合處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜之表面 Y上，依據實施例27，將聚乙抱亞胺烷基變性體（日本觸 媒化學（株）製PR— 10 )溶解於甲基乙基甲酮/甲苯之混合 溶劑而成固形成份濃度爲1 %之離型劑塗液作爲離型層C， 塗布成10g/m2，乾燥後而得具有層合塗膜厚度爲〇.丨# m之 離型層A之表面R及層合離型層c之表面Y之二軸定向層 合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 所得之層合聚酯薄膜之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置i 週後，於表面Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光 阻薄膜特性及捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 比較例1 7 除了於縱延伸薄膜不塗布塗液以外，與實施例24同樣 地進行’而得到兩面未層合離型層之厚度爲2〇// m之二軸 定向層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。此聚酯薄膜之薄膜捲筒於 常溫、常濕下放置1週後，於單側表面上層合光阻層，製 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 200301191 A7 ___ B7 五、發明説明（45 ) 成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及捲出性。其結果及薄 膜單體特性如表5所示。 I-----Ί — 裝！ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 比較例1 2 除了添加凝集粒子之平均粒徑爲1.7 // m之多孔質矽粒 子作爲潤滑劑，使其相對於聚合物爲0. 1 2 0重量％以外，與 實施例2 4同樣地進行，而得到厚度爲2 0 // m之具有層合離 型層A之表面R及未經任何層合處理之表面γ之二軸定向 層合聚酯薄膜之薄膜捲筒。 所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面 Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻特性及捲出 性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 比較例1 9 豐 除了使用三氧化銻爲縮聚觸媒以外，與實施例24同樣 地進行，而得到厚度爲2〇//m之具有層合離型層a之表面 R及未經任何層合處理之表面Y之二軸定向層合聚酯薄膜 之薄膜捲筒。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所得之薄膜捲筒於常溫、常濕下放置1週後，於表面 Y上層合光阻層，製成印刷電路，評價其光阻薄膜特性及 捲出性。其結果及薄膜單體特性如表5所示。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -49- 200301191

A B 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（46 ) 捲出性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 1 X ◎ ◎ 光阻薄膜特性 電路缺點 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X 解像度 ◎ 〇 〇 〇 〇 ◎ 〇 〇 〇 〇 X X 霧度値 % 00 CS· Os <si 00 <N On 04 G\ csi 卜 <N 〇\ <si ο cn 寸 <si <Ν csi 紫外線 透過率 % 86.5 86.4 86.1 85.3 84.6 86.7 85.8 86.2 86.0 84.5 79.2 79.0 厚度 β m cn cn 劍 m m ^ it鑛1 鹞驩 & 100 100 100 ο 100 100 100 140 100 100 100 200 聚酯薄膜 中之銻量 mmol% 〇 〇 〇 ο ο 〇 ο ο ο ο ο 水接觸角(° ) 9 g 00 00 00 104 ro Pd 110 110 <N S 109 105 105 110 110 CO 110 110 薄膜表面 表面Y 1 鹿 電暈 璀 鹿 鹿 壊 壊 壊 u 壊 壊 璀 表面R < PQ υ Q c <ί 裢 C <ί 實施例24 實施例25 實施例26 實施例27 實施例28 實施例29 實施例30 實施例31 比較例16 比較例17 比較例18 比較例19 I-----C-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 50- 200301191 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Μ Β7 五、發明説明（47 ) 另外，於表5之薄膜表面欄，各略稱係表示薄膜表面 爲下述之狀態。 A :層合離型層A B :層合離型層B C :層合離型層C D :層合離型層D E :層合離型層E F :層合離型層F 電暈：施予電暈處理 無：未層合離型層，亦未施予電暈處理 發明效果 依據本發明，可提供容易製造及操作’有效地作爲高 解像度之乾式薄膜光阻用之層合薄膜。 本發明所提供之層合薄膜，因爲具有透明性及UV透過 性，並具備良好的光滑性及操作性，所以可適合於作爲高 解像度之乾式薄膜光阻無覆蓋層合薄膜使用° 本發明之乾式薄膜光阻無覆蓋層合薄膜’尤其可有效 地使用於印刷電路板之製造。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 51 - I----·--裝------訂------·線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 200301191 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍1 1. 一種層合薄膜，其特徵爲，於聚酯薄膜之單側表面上 設有離型層之層合薄膜，層合薄膜於波長3 65 nm之光線透 過率爲80%以上。 2. 如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其中聚酯係含有 〇.〇1至0. 1重量％之0 5〜2 0ml/g細孔容積，而且平均粒徑 爲〇.1至5//m之多孔質矽粒子。 3 .如申請專利範圍第2項之層合薄膜，其中多孔質矽粒 子係平均粒徑爲0 · 〇 1至〇 . 1 # m之一次粒子之凝集體。 4.如申請專利範圍第3項之層合薄膜，其中多孔質矽粒 子中’ 50 // m以上尺寸之粗大凝集粒子之個數係每im2薄 膜爲1 〇個以下。 5 .如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其中聚酯中之縮 聚金屬觸媒殘渣爲1 5 〇 p p m未滿，而且銻元素相對於聚酯之 總二羧酸成份爲15mmol%以下。 6 .如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其中聚酯之固有 粘度爲 0.52 至 1.50dl/g。 7.如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其中離型層係含 有至少1種選自矽樹脂、氟樹脂、烯烴樹脂、蠟、聚乙烯 胺基甲酸及鉻錯合物所成群。 8 ·如申i靑專利軔圍第1項之層合薄膜’其中層合薄膜之 聚酯薄膜表面Y及離型層表面R中之水接觸角滿足全部的 下述式（2) 、（ 4)及（5)， 20° ^ θ 90。 ( 2 ) 60° £ Θ 150° ( 4 ) I--¾-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 _#線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52- 200301191 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍2 10。S Θ R— Θ YS 130。 （ 5 ) (式（· 2 ) ' ( 4 )及（5)中’0¥係表示聚酯薄膜表 面Y之水接觸角，0R係表示離型層表面R之水接觸角） 〇 9.如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其中至少一側表 面之中心線平均粗度（Ra )爲0.0〇5 // m以上。 1 0 .如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其厚度爲2至 2 00 // m 〇 1 1 .如申請專利範圍第1項之層合薄膜，其霧度爲5 % 以下。 1 2 · —種乾式薄膜光阻無覆蓋薄膜，其特徵爲，至少一 側表面之如申請專利範圍第1項之層合薄膜上設有光阻層 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 _線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53 - 2 Ο Ο 3 0119 ί 陸、（一）、本案指定代表圖爲：無 (二）、本代表圖之元件代表符號簡單說明：無 柒、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的 化學式：無