RU2503605C2 - Большая бочка для использования и для транспортировки высокочистых и ультравысокочистых химикалий - Google Patents
Большая бочка для использования и для транспортировки высокочистых и ультравысокочистых химикалий Download PDFInfo
- Publication number
- RU2503605C2 RU2503605C2 RU2010120439/12A RU2010120439A RU2503605C2 RU 2503605 C2 RU2503605 C2 RU 2503605C2 RU 2010120439/12 A RU2010120439/12 A RU 2010120439/12A RU 2010120439 A RU2010120439 A RU 2010120439A RU 2503605 C2 RU2503605 C2 RU 2503605C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- purity
- barrel
- compounds
- valve
- silicon
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D88/00—Large containers
- B65D88/02—Large containers rigid
- B65D88/12—Large containers rigid specially adapted for transport
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
- B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
- B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
- B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/70—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for materials not otherwise provided for
- B65D85/84—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for materials not otherwise provided for for corrosive chemicals
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/4673—Plural tanks or compartments with parallel flow
- Y10T137/4857—With manifold or grouped outlets
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86187—Plural tanks or compartments connected for serial flow
- Y10T137/86196—Separable with valved-connecting passage
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86558—Plural noncommunicating flow paths
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Stackable Containers (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к порожней бочке для чувствительных к воздуху и/или влажности соединений с присоединительным узлом и внутренним объемом, по меньшей мере, 300 литров, а также адаптером для присоединения порожней бочки, как и ее применению. Задачей изобретения является уменьшение риска производственного загрязнения ультра высокочистых соединений при смене бочек внутри текущего процесса. Бочка для высокочистых и ультра высокочистых, чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или способных к конденсации соединений кремния или германия имеет цилиндрический корпус и по обеим сторонам корпуса выпуклое днище и выпуклую верхнюю часть, опору, присоединительный узел. Вышеуказанный присоединительный узел имеет многоходовую систему с двумя или более запорными элементами. Причем присоединительный узел сообщается с по меньшей мере одним запорным элементом и выполнен с возможностью соединения с дистилляционной колонной. Многоходовая система сообщается с приемной трубкой. Запорный элемент представлен клапаном или краном. При этом бочка имеет внутренний объем, по меньшей мере, 300 литров и материал, из которого изготовлена бочка и присоединительный узел включает нержавеющую сталь, которая является электрополированной. Техническим результатом изобретения является уменьшение риска производственного загрязнения ультра высокочистых соединений при смене бочек внутри текущего процесса. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к порожней бочке для химикалий чувствительных к воздуху и/или влаге с присоединительным блоком и внутренним объемом, по меньшей мере, 300 литров, а также адаптером для присоединения этой бочки, как и ее применению.
К примеру, соединения кремния, применяющиеся в микроэлектронике, должны соответствовать особо высоким требованиям к их чистоте. Соответствующие соединения кремния среди прочего требуются для изготовления высокочистых пленок из кремния с помощью эпитаксии или нитрида кремния (SiN), оксида кремния (SiO), оксинитрида кремния (SiOH), оксикарбида кремния (SiOC) или карбида кремния (SiC). В этих областях применения наличие загрязнений исходных соединений даже в диапазоне от частей на миллиард частей до частей на триллион частей может привести к нежелательным изменениям свойств пленок, изготовленных из них. Названные соединения требуемой чистоты являются исходными соединениями, которые пользуются большим спросом в области электроники, производстве полупроводников, изготовлении солнечных батарей, а также в фармацевтической промышленности.
Правда, до сих пор для использования и транспортировки высокочистых или ультра высокочистых химикалий применяются бочки емкостью от 19 до примерно 240 литров. Для применения высокочистых или ультра высокочистых химикалий, в частности, в промышленности полупроводников, где ультра высокочистые или на уровне электроники соединения кремния и германия уже в настоящее время применяются сотнями тонн. Это, в частности, трихлорсилан, тетрахлорид кремния или тетраэтоксисиланы, которые применяются для изготовления эпитаксических кремниевых пленок на кремниевых платах или также для изготовления изолирующих пленок оксида кремния на электронных чипах.
До сих пор работа ведется с такими небольшими размерами бочек, чтобы минимизировать риски возможного загрязнения, например, при потреблении. В прошлом размер бочки, в основном, приспосабливался к следующему стадии процесса (этапу способа), чтобы бочка полностью опустошалась на этой стадии (этапе). Благодаря такому способу действия в значительной степени могло бы предотвращаться загрязнение, например, продуктами гидролиза, которые могли бы образовываться при многократном открытии и закрытии бочки.
В результате все возрастающего спроса к ультра высокочистым соединениям этот способ действия обуславливает в настоящее время применение большого числа этих бочек. Вытекающие из этого недостатки имеют разнообразный характер, во-первых, это сильно увеличивающееся количество бочек, причем каждая пустая бочка вызывает (причиняет) высокие расходы на приобретение (издержки на изготовление), к этому добавляется требование весьма интенсивных работ в части наполнения и использования. С этим связана также интенсивная очистка большого количества пустых бочек и вызванные этим затраты. При реализуемом сегодня, повышенном расходе на соответствующих производственных этапах, существенно возрастает риск производственного загрязнения ультра высокочистых соединений при смене бочек внутри текущего процесса.
Задачей настоящего изобретения была разработка порожней бочки, которая не имела бы названных недостатков и могла бы реализоваться по подходящей цене.
Задача решается с помощью порожней бочки для размещения чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или конденсируемых соединений с присоединительным узлом, которая имеет внутренний объем, по меньшей мере, 300 литров, причем присоединительному узлу придан, по меньшей мере, один запорный элемент.
Порожняя бочка, предложенная согласно изобретению с присоединительным узлом, включает емкость или контейнер для размещения жидких химикалий, в частности, чувствительных к воздуху и/или к влажности жидких или способных к конденсации соединений, причем порожняя бочка имеет внутренний объем, по меньшей мере, 300 литров (л) и присоединительному узлу придан, по меньшей мере, один запорный элемент, в частности, два или три мембранных клапана.
Из-за способности высокочистых или ультра высокочистых чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или конденсируемых соединений к поглощению, которые к тому же могут быть коррозионными и/или агрессивными, к исполнению предъявляются специальные требования, в части прочности на сжатие порожней бочки, а также к использованному материалу и к герметичности порожней бочки с присоединительным узлом.
Подобного рода высокочистые или ультра высокочистые соединения, не ограничиваясь этим, представляют, например, соединения кремния или германия, В качестве примера это может быть газообразный при комнатной температуре моносилан (SiH4), который под давлением может конденсироваться в порожней бочке. Это соединение имеет склонность к самовозгоранию и при контакте с кислородом воздуха реагирует с образованием диоксида кремния и воды. Тетрахлорид кремния, напротив, при комнатной температуре представляет соединение в виде жидкости, которая в присутствии влажного воздуха начинает дымить и гидролизирует. Другие высокочистые или ультра высокочистые соединения могут быть представлены трихлорсиланом, дихлорсиланом, монохлорсиланом, гексахлорсиланом, гексаметилдисиланом, тетраэтоксисиланом, метилетриэтоксисиланом, диметилдимэтоксисиланом, тетрахлоридом германия или моногерманом, с которыми нужно обращаться при исключении влажности и/или в атмосфере защитного газа.
Под высокочистыми или ультра высокочистыми соединениями должны пониматься соединения, степень загрязнения которых лежит в диапазоне частей на миллиард частей; при ультра высокой чистоте загрязнения присутствуют лишь в диапазоне частей на триллион частей и ниже. Загрязнение соединений кремния или германия другими соединениями металлов лежит от диапазона частей на миллиард частей до диапазона от частей на триллион частей, преимущественно в диапазоне частей на триллион частей. Требуемая чистота может проверяться с помощью глобального контроля, контроля в инфракрасных лучах, с помощью магнитно-ядерного резонанса, контрольной станции ионного циклотронного резонанса или с помощью измерения сопротивления или измерения плотности электрического тока после осаждения кремния или германия.
В целесообразных формах осуществления порожняя бочка имеет внутренний объем от, по меньшей мере, 300 литров, предпочтительно, по меньшей мере, 350 или 400 литров (л) или между 400 и 850 литрами, между 400 и 1130 литрами или между 400 и 20000 литров. Особо предпочтительно составляет внутренний объем примерно 850 литров, ИЗО или 20000 литров. Под порожней бочкой здесь понимается опорожненная емкость или контейнер, тогда как бочкой - порожняя бочка, заполненная соединением.
Форма порожней боки соответствует примерно цилиндрическому корпусу с выпуклым днищем и выпуклой верхней частью, причем присоединительный узел придан верхней части. Такая конструкция позволяет реализовать прочную на сжатие порожнюю бочку, в которой имеет место большая разность между внутренним и внешним давлением, например в случае соединений сконденсированных при повышенном давлении.
Для предотвращения коррозии или реакции загруженного соединения с материалом порожней бочки и/или присоединительного узла они изготавливаются из инертного материала, с помощью которого может достигаться желательная прочность на сжатие. Предпочтительно порожняя бочка, присоединительный узел и/или все части, которые контактируют с заполняющими соединениями, изготавливаются из нержавеющей стали, особенно предпочтительно из нержавеющей стали 316 L, причем нержавеющая сталь или нержавеющая сталь 316 L электрополированы.
Присоединительный узел для заполнения и опорожнения порожней бочки имеет многоходовую систему с двумя или более запорными элементами, в частности, присоединительный узел имеет трехходовую систему, которая имеет два или три запорных элемента. В качестве запорного элемента может применяться клапан или кран или запор, причем применение клапана предпочтительно. Особо предпочтительным в качестве клапана является мембранный клапан, шаровой клапан или сильфонный клапан.
К многоходовой системе, в частности, трехходовой системе с, по меньшей мере, двумя или тремя запорными элементами, присоединена приемная трубка. Приемная трубка может быть также изготовлена из нержавеющей стали, предпочтительно из стали 316 L, особенно предпочтительно она электрополирована и находится вблизи выпуклого днища. При этом предпочтительно осевое расположение приемной трубки, чтобы она могла находиться вблизи самой глубокой точки выпуклого днища. Это мероприятие допускает максимальное опорожнение бочки.
Чтобы еще больше снизить риски загрязнения присоединительный узел порожней бочки может соединяться с производственной установкой, в частности, с дистилляционной колонной. Это может происходить с помощью многоходовой системы присоединительного узла или с помощью подходящего адаптера. Таким образом, может, например, дистиллят направляться в порожнюю бочку. Установленная впереди система контроля процесса может позволить контроль чистоты дистиллята. Это может быть осуществлено непосредственно с помощью спектроскопического способа в подающих трубопроводах между колонной и порожней бочкой. Таким образом, предотвращается перелив и минимизируется риск загрязнения. Процесс соответствующим образом контролируется с помощью "Online-Analytik".
Для защиты от повреждения, например, во время транспортировки бочки или порожней бочки, присоединительный узел расположен в защитном приспособлении. Обычным образом защитное приспособление включает цилиндрический кожух и поворотную или откидную крышку и расположено на выпуклой верхней части вокруг присоединительного узла. Присоединительный узел предпочтительно полностью закрывается защитным приспособлением.
Для придания надежной устойчивости при заполнении, хранении, использовании или при транспортировке порожняя бочка и/или бочка может иметь опору со стороны выпуклого днища, которая может быть образована из расположенных круговых опор или цилиндрического корпуса. В качестве альтернативы порожняя бочка может располагаться на соответственно оформленном цоколе или в раме, преимущественно из металла.
К тому же порожняя бочка может предусматривать углубления или средства закрепления, которые позволяют осуществлять перегрузку с помощью крана. Это, в частности, предпочтительно, если бочка имеет емкость, начиная от 850 литров. Углубления или средства закрепления приданы предпочтительно цилиндрическому корпусу порожней бочки.
Далее предметом изобретения является адаптер для подключения порожней бочки с устройством для производства высокочистых или ультра высокочистых соединений, в частности для подключения порожней бочки к дистилляционной колонне. Предусмотренный на стороне заполнения адаптер располагает преимущественно многоходовой системой для продувки адаптера и соединенных с ним конструктивных элементов инертным газом, как также для откачивания газа.
Предметом изобретения является также предложенная согласно изобретению бочка, включающая порожнюю бочку, которая содержит высокочистые или ультра высокочистые соединения кремния или германия, как, в частности, тетрахлорид кремния, трихлорсилан, дихлорсилан, монохлорсилан, гексахлордисилан, моносилан, гексаметилдисилан, тетраэтоксисилан, метилтриэтоксисилан, диметилдиметоксисилан, тетрахлорид германия или моногерман. В частности, качество высокочистых или ультра высокочистых соединений изменяется во время использования, хранения и/или транспортировки не существенно. Под высокочистыми соединениями должны пониматься соединения, которые имеют загрязнение только в диапазоне частей на миллиард частей; под ультра высокой чистотой понимаются загрязнения в диапазоне частей на триллион частей и ниже. Это действительно, в частности, для загрязнения соединений кремния или германия другими соединениями металлов, которые максимум лежат в диапазоне частей на миллиард частей, предпочтительно в диапазоне частей на триллион частей.
Далее предметом изобретения является адаптер для подключения бочки к устройству для отбора и/или расхода высокочистых или ультра высокочистых соединений, в частности, для подключения бочки к производственной установке для преобразования высокочистых или ультра высокочистых соединений. Этот предусмотренный на стороне потребителя адаптер располагает преимущественно многоходовой системой для продувки адаптера и соединенных с ним конструктивных элементов инертным газом, также как и для откачивания газа.
Точно также предметом изобретения является применение преложенных согласно изобретению порожних бочек для хранения, использования и/или транспортировки высокочистых и ультра чистых соединений, в частности, химикалий, особо предпочтительно для хранения, использования и/или транспортировки высокочистых и ультра высокочистых соединений кремния и/или германия.
Предложенная согласно изобретению порожняя бочка и бочка позволяют существенное уменьшение количества бочек и частоты замены порожней бочки или бочки на установках производителя и/или потребителя. Эта замена является критической для высокочистых и ультра высокочистых соединений, как, например, при нанесении трихлорсилана или тетрахлорида кремния при изготовлении эпитаксиальных слоев кремния на кремниевых платах. Соответственно это относится к тетраэтоксисилану, который применяется для осаждения изолирующих слоев из оксида кремния.
Для трихлорсилана и тетрахлорсилана в настоящее время используются бочки вместимостью 200 или 240 литров, а для тетраэтоксисилана бочки, вмещающие 19, 39 и 200 литров. Только замена имеющихся в ходу в настоящее время бочек емкостью 19 литров на предложенные согласно изобретению бочки вместимостью 1130 литров уменьшает частоту замену порожних бочек или бочек на установках с 60 до одной замены. Замена 240 литровых бочек на 1130 литровые уменьшает частоту замены бочек с коэффициентом 5,5. Риск гидролиза или разложения благодаря этому может существенно уменьшаться.
Следующий ниже пример осуществления, приведенный на фигуре 1, более подробно поясняет предложенную согласно изобретению порожнюю бочку или бочку, не ограничивая изобретение этим примером.
Изображенная на фигуре 1 порожняя бочка (1) для размещения чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или способных к конденсации соединений имеет присоединительный узел (2) с запорным элементом (6), причем присоединительный узел может быть соединен с порожней бочкой с помощью фланцевого соединения. Фланцевому соединению могут быть приданы к тому же уплотнительное кольцо и запорные средства, чтобы обеспечить герметичное закрытие порожней бочки или бочки. Присоединительный узел имеет многоходовую систему клапанов, или общую многоходовую систему (5) с тремя запорными элементами (6a, 6b, 3c), которые соответствуют в этом варианте осуществления соответственно мембранному клапану. Соединение клапана (6c) с порожней бочкой осуществлено вблизи присоединительного узла непосредственно с порожней бочкой или бочкой, клапан (6b) расположен между обоими клапанами (6a и 6c). К тому же к многоходовой системе (5) присоединена приемная трубка (7), которая присоединена к мембранному клапану (6a). Порожняя бочка или бочка имеет цилиндрический корпус (3) и по обеим сторонам цилиндрического корпуса выпуклое днище (4a) и выпуклую верхнюю часть (4b). Все части, которые вступают в контакт с высокочистыми или ультра высокочистыми соединениями, изготовлены из электрополированной нержавеющей стали 316 L. Присоединительный узел (2) расположен в защитном приспособлении (8). Опора позволяет устанавливать бочку на ровных поверхностях.
Для продувки присоединительного узла (2), например, клапан (6c) соединен с устройством, снабжающим газом, например, источником гелия и находится в положении, в котором устройство снабжения газом соединено с клапаном (6b). Клапан (6a) соединяется с устройством для забора газа и точно также установлен в положении, в котором осуществляется связь между устройством для забора газа и клапаном (6b). Таким образом, с помощью подвода газа через клапан (6c) может продувочным газом, в частности инертным газом, продуваться присоединительный узел (2), в частности, многоходовая система (5). Если вместо устройства для забора газа к клапану (6а) присоединяется вакуумный насос, может попеременно осуществляться продувка и откачивание газа из присоединительного узла.
Чтобы осуществить продувку порожней бочки или бочки инертным газом, с помощью которой предотвращается гидролиз или разложение высокочистых или ультра высокочистых соединений, клапан (6a) находится в положении, в котором он соединен с устройством для забора газа и одновременно с внутренним объемом порожней бочки (1). Клапан (6b) находится в положении, в котором закрыто соединение клапанов (6a) и (6c). Клапан (6c) открыт внутрь порожней бочки и открыто соединен с устройства снабжения газом, например, источником гелия. Таким образом, газ, в частности гелий, проходит через внутренний объем порожней бочки (1), приемную трубку и присоединительный узел. С помощью попеременного открытия и закрытия клапана (6c) может попеременно осуществляться продувка и откачивание газа из порожней бочки, если к устройству отбора газа подключен вакуумный насос. Соответственно также газовая камера может промываться через жидкие соединения в бочках, если клапан (6c) соединяется с устройством для отбора газа и клапан (6a) соединен с устройством для снабжения газом. Для промывки газового пространства выше жидких соединений порожняя бочка или бочка имеет преимущественно другой клапан, который соединен с отверстием в выпуклой верхней части.
Для заполнения порожней бочки жидким соединением клапан (6b) находится в положении, которое препятствует соединению клапанов (6a и 6c). Через клапан (6a) с помощью подачи насосом, нагнетания или вливания выше геодезического уровня жидкость через приемную трубку подается в порожнюю бочку. Вытесняемый газ/инертный газ выходит через клапан (6c), который соединен с устройством для отбора газа.
При опорожнении бочки клапан (6b) остается в описанном выше положении, через открытый клапан (6c), который соединен с емкостью для запаса газа, инертный газ под давлением направляется в бочку. Клапан (6a) может быть соединен через адаптер или напрямую с потребителем. Жидкое соединение через приемную трубку и через открытый клапан (6a) выходит из бочки, которая таким образом опорожняется.
Claims (7)
1. Бочка (1) для высокочистых и ультравысокочистых, чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или способных к конденсации соединений кремния или германия, имеющая цилиндрический корпус (3) и по обеим сторонам корпуса выпуклое днище (4a) и выпуклую верхнюю часть (4b), опору (9), присоединительный узел (2), имеющий многоходовую систему (5) с двумя или более запорными элементами (6), причем присоединительный узел (2) сообщается с, по меньшей мере, одним запорным элементом (6) и выполнен с возможностью соединения с дистилляционной колонной, многоходовая система сообщается с приемной трубкой (7), запорный элемент представлен клапаном (6a, 6b или 6c) или краном, при этом бочка имеет внутренний объем, по меньшей мере, 300 л и материал, из которого изготовлена бочка и присоединительный узел (2), включает нержавеющую сталь, которая является электрополированной.
2. Бочка по п.1, отличающаяся тем, что она имеет внутренний объем примерно 800, 1130 или 20000 л.
3. Бочка по п.1, отличающаяся тем, что материалом является нержавеющая сталь 316 L.
4. Бочка по п.1, отличающаяся тем, что запорный элемент представлен мембранным клапаном.
5. Бочка по п.1, отличающаяся тем, что присоединительный узел расположен в защитном приспособлении (8).
6. Бочка по п.1, отличающаяся тем, что она содержит тетрахлорид кремния, трихлорсилан, дихлорсилан, монохлорсилан, гексахлордисилан, моносилан, гексаметилдисилазан, тетраэтоксисилан, метилтриэтоксисилан, диметилдиметоксисилан, тетрахлорид германия или моногерман.
7. Применение бочки по одному из пп.1-6 для хранения, пользования и/или транспортировки содержащихся в ней высокочистых и ультравысокочистых чувствительных к воздуху и/или влажности жидких или способных к конденсации соединений кремния и/или германия.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007050573.8 | 2007-10-23 | ||
DE200710050573 DE102007050573A1 (de) | 2007-10-23 | 2007-10-23 | Großgebinde zur Handhabung und für den Transport von hochreinen und ultra hochreinen Chemikalien |
PCT/EP2008/061017 WO2009053134A1 (de) | 2007-10-23 | 2008-08-22 | Grossgebinde zur handhabung und für den transport von hochreinen und ultra hochreinen chemikalien |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010120439A RU2010120439A (ru) | 2011-11-27 |
RU2503605C2 true RU2503605C2 (ru) | 2014-01-10 |
RU2503605C9 RU2503605C9 (ru) | 2014-07-20 |
Family
ID=40039824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010120439/12A RU2503605C9 (ru) | 2007-10-23 | 2008-08-22 | Большая бочка для использования и для транспортировки высокочистых и ультравысокочистых химикалий |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8485361B2 (ru) |
EP (1) | EP2195262B1 (ru) |
JP (1) | JP5877643B2 (ru) |
KR (1) | KR20100083154A (ru) |
CN (2) | CN101439786A (ru) |
BR (1) | BRPI0818114A2 (ru) |
CA (1) | CA2702622A1 (ru) |
DE (1) | DE102007050573A1 (ru) |
RU (1) | RU2503605C9 (ru) |
UA (1) | UA104577C2 (ru) |
WO (1) | WO2009053134A1 (ru) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005041137A1 (de) | 2005-08-30 | 2007-03-01 | Degussa Ag | Reaktor, Anlage und großtechnisches Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von hochreinem Siliciumtetrachlorid oder hochreinem Germaniumtetrachlorid |
DE102006003464A1 (de) * | 2006-01-25 | 2007-07-26 | Degussa Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer Siliciumschicht auf einer Substratoberfläche durch Gasphasenabscheidung |
DE102007007874A1 (de) | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Silane |
DE102007059170A1 (de) * | 2007-12-06 | 2009-06-10 | Evonik Degussa Gmbh | Katalysator und Verfahren zur Dismutierung von Wasserstoff enthaltenden Halogensilanen |
DE102008002537A1 (de) * | 2008-06-19 | 2009-12-24 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Entfernung von Bor enthaltenden Verunreinigungen aus Halogensilanen sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens |
DE102008054537A1 (de) * | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Evonik Degussa Gmbh | Entfernung von Fremdmetallen aus Siliciumverbindungen durch Adsorption und/oder Filtration |
DE102009027730A1 (de) | 2009-07-15 | 2011-01-27 | Evonik Degussa Gmbh | Verahren und Verwendung von aminofunktionellen Harzen zur Dismutierung von Halogensilanen und zur Entfernung von Fremdmetallen |
DE102009053804B3 (de) | 2009-11-18 | 2011-03-17 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen |
DE102010002342A1 (de) | 2010-02-25 | 2011-08-25 | Evonik Degussa GmbH, 45128 | Verwendung der spezifischen Widerstandsmessung zur indirekten Bestimmung der Reinheit von Silanen und Germanen und ein entsprechendes Verfahren |
US8590705B2 (en) * | 2010-06-11 | 2013-11-26 | Air Products And Chemicals, Inc. | Cylinder surface treated container for monochlorosilane |
DE102011004058A1 (de) | 2011-02-14 | 2012-08-16 | Evonik Degussa Gmbh | Monochlorsilan, Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung |
DE202011050795U1 (de) * | 2011-07-22 | 2011-09-12 | Holger Blum | Behälter für flüssige Chemikalien |
DE102012204902A1 (de) | 2012-03-27 | 2013-10-02 | Evonik Degussa Gmbh | Gebinde zur Handhabung und für den Transport von hochreinen und ultra hochreinen Chemikalien |
JP6353182B2 (ja) * | 2012-05-08 | 2018-07-04 | 株式会社日本触媒 | 密閉容器及び梱包体 |
JP6275373B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2018-02-07 | 株式会社日本触媒 | シリコン膜形成方法、およびシリコン膜形成装置 |
KR101565298B1 (ko) * | 2012-11-27 | 2015-11-03 | 주식회사 엘지화학 | 무기화합물의 제조장치 및 이를 사용한 무기화합물의 제조방법 |
EP2969096B1 (en) * | 2013-03-14 | 2022-11-16 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Bottle pressurization delivery system |
JP6153825B2 (ja) * | 2013-09-04 | 2017-06-28 | 株式会社日本触媒 | 水素化シラン化合物の保管方法 |
JP6163057B2 (ja) * | 2013-09-05 | 2017-07-12 | 株式会社日本触媒 | 水素化シラン化合物用装置の洗浄方法、およびこの方法により洗浄された水素化シラン化合物用装置 |
JP6420702B2 (ja) | 2015-03-25 | 2018-11-07 | 株式会社トクヤマ | 液状化学物質のためのタンク |
TWI663281B (zh) * | 2015-06-16 | 2019-06-21 | 美商慧盛材料美國責任有限公司 | 鹵代矽烷化合物的製備方法、組合物及含有其的容器 |
TWI734833B (zh) * | 2016-09-30 | 2021-08-01 | 日商迪愛生股份有限公司 | 液晶材料貯藏容器 |
DE202017005556U1 (de) | 2017-10-26 | 2018-01-19 | Evonik Degussa Gmbh | Gebinde aufweisend Abdichtmaterialien mit erhöhter Beständigkeit |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5356045A (en) * | 1992-02-24 | 1994-10-18 | Aeroquip Corporation | Fluid dispensing apparatus having tamper evident assemblies |
JPH0885548A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-02 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガス貯蔵容器 |
WO2000079170A1 (en) * | 1999-06-24 | 2000-12-28 | Provacon Acquisition Corporation | Emergency response transfer valve |
US20020020449A1 (en) * | 2000-08-21 | 2002-02-21 | Surpass Industry Co., Ltd. | Connector |
US6434783B1 (en) * | 1998-07-09 | 2002-08-20 | Mark Arnold | Vacuum system for pre-wash removal of food/grease materials in dishwasher facilities |
CN2557482Y (zh) * | 2002-07-24 | 2003-06-25 | 北京有色金属研究总院 | 一种运输储存容器 |
Family Cites Families (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US576936A (en) * | 1897-02-09 | Battery | ||
US664383A (en) * | 1897-03-01 | 1900-12-25 | Bruno Abdank Abakanowicz | Apparatus for storing and distributing acetylene gas. |
US777632A (en) * | 1904-02-23 | 1904-12-13 | Robert P Henry | Water-supply system. |
US2407124A (en) * | 1943-04-30 | 1946-09-03 | Utilities Distributors Inc | Casing for truck and freight car heaters |
US2572175A (en) * | 1944-01-14 | 1951-10-23 | Skinner Chuck Company | Valve operator |
US2977969A (en) * | 1958-07-30 | 1961-04-04 | William L Weikly | Angle cock or valve for air brake systems |
US3002894A (en) * | 1958-11-14 | 1961-10-03 | Vogelbusch Gmbh | Method and device for controlling the growth of microbial cultures |
US3144242A (en) * | 1963-01-10 | 1964-08-11 | William A Retzlaff | Method and means for storing, transporting and final mixing of cementitious material |
US3225953A (en) * | 1963-05-20 | 1965-12-28 | Dixie Mfg Company Inc | Tank structure |
US3776599A (en) * | 1966-01-03 | 1973-12-04 | Cons Eng Co | Self-purging, pneumatic conveying apparatus including fluid flow pumps on scales, with agitator, vacuum filled, with material dryer, and of varied means of sequential value operation |
US3566912A (en) * | 1968-09-16 | 1971-03-02 | Gpe Controls Inc | Magnetically biased valve device |
US3695449A (en) * | 1970-04-13 | 1972-10-03 | Paul J Scaglione | Regulating station valve |
US3727623A (en) * | 1970-11-27 | 1973-04-17 | Sybron Corp | Diaphragm valve |
US3878234A (en) * | 1973-07-30 | 1975-04-15 | Dow Corning | Preparation of hydrocarbon silanes from polysilanes |
US4084024A (en) * | 1975-11-10 | 1978-04-11 | J. C. Schumacher Co. | Process for the production of silicon of high purity |
US4582480A (en) * | 1984-08-02 | 1986-04-15 | At&T Technologies, Inc. | Methods of and apparatus for vapor delivery control in optical preform manufacture |
DE3544260A1 (de) | 1985-12-14 | 1987-06-19 | Merck Patent Gmbh | Behaelter fuer aggressive fluessigkeiten |
DE3711444A1 (de) | 1987-04-04 | 1988-10-13 | Huels Troisdorf | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dichlorsilan |
US4905855A (en) * | 1988-07-08 | 1990-03-06 | Troiano Joseph M | Propane carry safe |
DE3828549A1 (de) | 1988-08-23 | 1990-03-08 | Huels Chemische Werke Ag | Verfahren zur entfernung von silanverbindungen aus silanhaltigen abgasen |
DE4006490A1 (de) * | 1990-03-02 | 1991-09-05 | Hoechst Ag | Vorrichtung zur entnahme von hochreinen fluessigkeiten aus gebinden |
JPH05330591A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-14 | Furukawa Alum Co Ltd | 金属製液体コンテナ |
JPH06239384A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-08-30 | Japan Pionics Co Ltd | 特殊材料ガス用容器 |
US5465766A (en) * | 1993-04-28 | 1995-11-14 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Inc. | Chemical refill system for high purity chemicals |
EP0702017B1 (de) | 1994-09-14 | 2001-11-14 | Degussa AG | Verfahren zur Herstellung von chloridarmen bzw. chloridfreien aminofunktionellen Organosilanen |
DE19516386A1 (de) | 1995-05-04 | 1996-11-07 | Huels Chemische Werke Ag | Verfahren zur Herstellung von an chlorfunktionellen Organosilanen armen bzw. freien aminofunktionellen Organosilanen |
DE19520737C2 (de) | 1995-06-07 | 2003-04-24 | Degussa | Verfahren zur Herstellung von Alkylhydrogenchlorsilanen |
EP0766298A3 (en) * | 1995-09-27 | 1998-09-16 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method of and apparatus for determining residual damage to wafer edges |
DE19649023A1 (de) | 1996-11-27 | 1998-05-28 | Huels Chemische Werke Ag | Verfahren zur Entfernung von Restmengen an acidem Chlor in Carbonoyloxysilanen |
DE19746862A1 (de) | 1997-10-23 | 1999-04-29 | Huels Chemische Werke Ag | Vorrichtung und Verfahren für Probenahme und IR-spektroskopische Analyse von hochreinen, hygroskopischen Flüssigkeiten |
DE69916838T2 (de) * | 1998-06-30 | 2005-08-04 | Advanced Technology Materials, Inc., Danbury | System für die zufuhr von mehreren chemikalien zu einer prozessvorrichtung |
DE19847786A1 (de) | 1998-10-16 | 2000-04-20 | Degussa | Vorrichtung und Verfahren zum Befüllen und Entleeren eines mit brennbarem sowie aggressivem Gas beaufschlagten Behälters |
DE19849196A1 (de) | 1998-10-26 | 2000-04-27 | Degussa | Verfahren zur Neutralisation und Minderung von Resthalogengehalten in Alkoxysilanen oder Alkoxysilan-basierenden Zusammensetzungen |
EP0999214B1 (de) | 1998-11-06 | 2004-12-08 | Degussa AG | Verfahren zur Herstellung von chloridarmen oder chloridfreien Alkoxysilanen |
DE19918114C2 (de) | 1999-04-22 | 2002-01-03 | Degussa | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Vinylchlorsilanen |
DE19918115C2 (de) | 1999-04-22 | 2002-01-03 | Degussa | Verfahren zur Herstellung von Vinylchlorsilanen |
JP3631406B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2005-03-23 | 株式会社日本触媒 | 接触気相酸化反応用の多管式反応器 |
DE19963433A1 (de) | 1999-12-28 | 2001-07-12 | Degussa | Verfahren zur Abscheidung von Chlorsilanen aus Gasströmen |
DE10116007A1 (de) | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Degussa | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von im Wesentlichen halogenfreien Trialkoxysilanen |
JP2003166700A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Nippon Sanso Corp | 減圧機能付き容器弁 |
JP3821227B2 (ja) * | 2002-09-19 | 2006-09-13 | 信越化学工業株式会社 | 有機金属化合物の気化供給装置 |
US6889726B2 (en) * | 2002-10-25 | 2005-05-10 | Invacare Corporation | Method and apparatus for filling portable high pressure cylinders with respiratory oxygen |
DE10330022A1 (de) | 2003-07-03 | 2005-01-20 | Degussa Ag | Verfahren zur Herstellung von Iow-k dielektrischen Filmen |
DE102004053474B4 (de) * | 2003-11-21 | 2014-02-06 | Merck Patent Gmbh | Verfahren und System zum Abfüllen, Transportieren, Aufbewahren und Entnehmen von Flüssigkristallen |
JP2005226107A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Ion Engineering Research Institute Corp | ステンレスパイプ及び容器類における水素バリヤ被覆物品及びその製造方法 |
DE102004008442A1 (de) | 2004-02-19 | 2005-09-15 | Degussa Ag | Siliciumverbindungen für die Erzeugung von SIO2-haltigen Isolierschichten auf Chips |
DE102004025766A1 (de) | 2004-05-26 | 2005-12-22 | Degussa Ag | Herstellung von Organosilanestern |
DE102004037675A1 (de) | 2004-08-04 | 2006-03-16 | Degussa Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Wasserstoffverbindungen enthaltendem Siliciumtetrachlorid oder Germaniumtetrachlorid |
DE102005024210B3 (de) * | 2005-05-23 | 2007-02-08 | Dockweiler Ag | Sicherheitsbehälter |
DE102005041137A1 (de) | 2005-08-30 | 2007-03-01 | Degussa Ag | Reaktor, Anlage und großtechnisches Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von hochreinem Siliciumtetrachlorid oder hochreinem Germaniumtetrachlorid |
DE102006003464A1 (de) | 2006-01-25 | 2007-07-26 | Degussa Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer Siliciumschicht auf einer Substratoberfläche durch Gasphasenabscheidung |
DE102007023759A1 (de) | 2006-08-10 | 2008-02-14 | Evonik Degussa Gmbh | Anlage und Verfahren zur kontinuierlichen industriellen Herstellung von Fluoralkylchlorsilan |
US8518483B2 (en) * | 2007-01-29 | 2013-08-27 | Praxair Technology, Inc. | Diptube apparatus and method for delivering vapor phase reagent to a deposition chamber |
DE102007007874A1 (de) | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Silane |
DE102007059170A1 (de) | 2007-12-06 | 2009-06-10 | Evonik Degussa Gmbh | Katalysator und Verfahren zur Dismutierung von Wasserstoff enthaltenden Halogensilanen |
-
2007
- 2007-10-23 DE DE200710050573 patent/DE102007050573A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-08-22 BR BRPI0818114A patent/BRPI0818114A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2008-08-22 WO PCT/EP2008/061017 patent/WO2009053134A1/de active Application Filing
- 2008-08-22 US US12/738,799 patent/US8485361B2/en active Active
- 2008-08-22 JP JP2010530369A patent/JP5877643B2/ja not_active Ceased
- 2008-08-22 CA CA 2702622 patent/CA2702622A1/en not_active Abandoned
- 2008-08-22 EP EP08787418.6A patent/EP2195262B1/de active Active
- 2008-08-22 RU RU2010120439/12A patent/RU2503605C9/ru not_active IP Right Cessation
- 2008-08-22 UA UAA201006135A patent/UA104577C2/ru unknown
- 2008-08-22 KR KR1020107008780A patent/KR20100083154A/ko active Search and Examination
- 2008-10-22 CN CNA2008101714766A patent/CN101439786A/zh active Pending
- 2008-10-22 CN CN201410411005.3A patent/CN104289482A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5356045A (en) * | 1992-02-24 | 1994-10-18 | Aeroquip Corporation | Fluid dispensing apparatus having tamper evident assemblies |
JPH0885548A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-02 | Iwatani Internatl Corp | オゾンガス貯蔵容器 |
US6434783B1 (en) * | 1998-07-09 | 2002-08-20 | Mark Arnold | Vacuum system for pre-wash removal of food/grease materials in dishwasher facilities |
WO2000079170A1 (en) * | 1999-06-24 | 2000-12-28 | Provacon Acquisition Corporation | Emergency response transfer valve |
US20020020449A1 (en) * | 2000-08-21 | 2002-02-21 | Surpass Industry Co., Ltd. | Connector |
CN2557482Y (zh) * | 2002-07-24 | 2003-06-25 | 北京有色金属研究总院 | 一种运输储存容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2195262B1 (de) | 2015-11-18 |
JP2011500470A (ja) | 2011-01-06 |
CN104289482A (zh) | 2015-01-21 |
RU2010120439A (ru) | 2011-11-27 |
JP5877643B2 (ja) | 2016-03-08 |
CN101439786A (zh) | 2009-05-27 |
BRPI0818114A2 (pt) | 2015-09-08 |
UA104577C2 (ru) | 2014-02-25 |
US8485361B2 (en) | 2013-07-16 |
RU2503605C9 (ru) | 2014-07-20 |
KR20100083154A (ko) | 2010-07-21 |
US20100270296A1 (en) | 2010-10-28 |
EP2195262A1 (de) | 2010-06-16 |
WO2009053134A1 (de) | 2009-04-30 |
CA2702622A1 (en) | 2009-04-30 |
DE102007050573A1 (de) | 2009-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2503605C2 (ru) | Большая бочка для использования и для транспортировки высокочистых и ультравысокочистых химикалий | |
US20150102070A1 (en) | Container for handling and transporting of high-purity and ultra-high-purity chemicals | |
US7387663B2 (en) | Method and system for supplying high purity fluid | |
US6343627B1 (en) | Feed device for large amount of semiconductor process gas | |
US6938654B2 (en) | Monitoring of ultra-high purity product storage tanks during transportation | |
KR100879152B1 (ko) | 유체 저장 용기 내에 위치하고 그 안에서 조정될 수 있는조절기를 포함하는 가스 저장 및 분배 시스템 | |
US7954452B2 (en) | Film formation apparatus for semiconductor process and method for using the same | |
EP3019419A1 (en) | Apparatus and methods for filling and dispensing liquids | |
KR20100020913A (ko) | 클로로실란액의 수납 용기 및 이 수납 용기용 폐지 덮개 | |
TW571045B (en) | Transportation and storage of ultra-high purity products | |
JP5216421B2 (ja) | 腐食性ガス充填容器用バルブ | |
JP2001108199A (ja) | 残留物のパージが簡易な流体移送用配管装置及び流体供給装置、並びに配管装置中の残留物をパージする方法及び流体供給方法。 | |
US20220299170A1 (en) | Getter cartridge for toxic gases inside valves | |
US6557591B2 (en) | Bulk gas built-in purifier with dual valve bulk container | |
US6805848B2 (en) | Built-in purifier for horizontal liquefied gas cylinders | |
TW202303030A (zh) | 用於儲存及輸送試劑之容器及方法 | |
NO320352B1 (no) | Bunninnlopspumpesystem for kryogeniske vaesker, og fremgangsmate for pumping av en kryogenisk vaeske | |
JP2002343719A (ja) | 高純度液体物質の貯蔵容器 | |
FR3091744A1 (fr) | Robinet de distribution de gaz |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TH4A | Reissue of patent specification | ||
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150823 |