JP6420702B2 - 液状化学物質のためのタンク - Google Patents

Description

本発明は、タンク本体とこのタンク本体に付設された接続ユニットを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質供給源又は化学物質消費装置との組み合わせに関する。

周知の如く、エピタキシャルウエーハ製造装置には高純度トリクロロシランを供給することが必要であり、一般に、次のとおりの供給様式が採用されている。高純度トリクロロシラン製造装置において製造された液状高純度トリクロロシランをタンクに充填し、かかるタンクをエピタキシャルウエーハ製造装置が装備されている領域まで搬送し、タンク内に充填されている高純度トリクロロシランをエピタキシャル製造装置に供給する。タンク内の高純度トリクロロシランが消費されると、再利用のためにタンクをトリクロロシラン製造装置が装備されている領域まで返送し、再びタンクに高純度トリクロロシランを充填する。

高純度トリクロロシランの如き液状化学物質の上記のとおりの供給様式において使用されるタンクとしては、下記特許文献１に開示されているタンクを挙げることができる。かかるタンクはタンク本体とこのタンク本体に付設された接続ユニットとから構成されている。接続ユニットは、タンク本体内の高純度トリクロロシランの如き液状化学物質内に浸漬される浸漬部及びタンク本体から延出する延出部を有する化学物質流路とタンク本体に連通された片端から延出する気体流路とを含んでいる。化学物質流路中には開閉弁手段が配設され、気体流路中にも開閉弁手段が配設されている。更に、化学物質流路中の開閉弁手段と気体流路中の開閉弁手段とを連結する連結流路も配設され、この連結流路中にも開閉弁手段が配設されている。特許文献１には、接続ユニットをヘリウムの如き不活性気体で洗浄することも記載されている（しかしながら、洗浄様式については必ずしも明確に記載されていない）。

特公表２０１１−５００４７０号公報

而して、高純度トリクロロシランの如き化学物質は大気或いは水液等に接触して汚染されることが可及的に防止され高純度が維持されることが重要であるが、上記特許文献１に開示されているタンクにおいては、化学物質流路及び気体流路の各々には単一の開閉弁手段しか配設されておらず、汚染の防止が必ずしも充分ではない。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、特にそれに限定されるものではないが、高純度トリクロロシランの如き高純度の液状化学物質に関して好適に適用することができ、液状化化学物質の汚染が可及的に防止される改良された、タンク本体とこのタンク本体に付設された接続ユニットを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質供給源又は化学物質消費装置との組み合わせを提供することである。

本発明者等は、鋭意研究及び事件の結果、タンク本体に付設する接続ユニットを独特な形態にすると共に化学物質供給源又は化学物質消費装置に付設される接続アダプターを独特な形態にすることによって上記主たる技術的課題を解決することができることを見出した。

即ち、本発明の第一の局面によれば、上記主たる技術的課題を達成することができる、タンク本体とこのタンク本体に付設された接続ユニットを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質供給源との組み合わせとして、
タンク本体と該タンク本体に付設された接続ユニットとを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質供給源との組み合わせにして、
該接続ユニットは、該タンク本体内の化学物質に浸漬される浸漬部及び該タンク本体から延出する延出部を有する化学物質流路と、該タンク本体内に連通された片端から延出する気体流路と含み、
該化学物質流路の該延出部には、該タンク本体内への化学物質充填方向に見て下流側に位置する第一の開閉弁手段及び該化学物質充填方向に見て上流側に位置する第二の開閉弁手段が配設されており、
該気体流路には、該タンク本体への気体流入方向に見て下流側に位置する第三の開閉弁手段及び該気体流入方向に見て上流側に位置する第四の開閉弁手段が配設されており、
更に、該化学物質流路における該第一の開閉弁手段と該第二の開閉弁手段との間の部位と該気体流路における該第三の開閉弁手段と該第四の開閉弁手段との間の部位とを連結する連結流路を含み、該連結流路には第五の開閉弁手段が配設されており、
該接続アダプターの各々は、片端は化学物質供給源に接続され他端は該化学物質流路の延出端に接続される化学物質接続流路と、片端は除害手段を介して大気に連通され他端は該気体流路の延出端に接続される気体接続流路と、片端は該化学物質接続流路に接続され他端は気体供給源に接続されている第一の気体供給流路と、片端は該気体接続流路に接続され他端は該気体供給源に接続されている第二の気体供給流路とを含み、
該化学物質接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第六の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第七の開閉弁手段が配設されており、
該気体接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第八の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第九の開閉弁手段が配設されており、
該第一の気体供給流路には、第十の開閉弁手段が配設されており、
該第二の気体供給流路には、第十一の開閉弁手段が配設されている、
ことを特徴とする組み合わせが提供される。

本発明の第二の局面によれば、上記主たる技術的課題を達成することができる、タンク本体とこのタンク本体に付設された接続ユニットを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質消費装置との組み合わせとして、
タンク本体と該タンク本体に付設された接続ユニットとを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質消費装置との組み合わせにして、
該接続ユニットは、該タンク本体内の化学物質に浸漬される浸漬部及び該タンク本体から延出する延出部を有する化学物質流路と、該タンク本体内に連通された片端から延出する気体流路と含み、
該化学物質流路の該延出部には、該タンク本体内への化学物質充填方向に見て下流側に位置する第一の開閉弁手段及び該化学物質充填方向に見て上流側に位置する第二の開閉弁手段が配設されており、
該気体流路には、該タンク本体への気体流入方向に見て下流側に位置する第三の開閉弁手段及び該気体流入方向に見て上流側に位置する第四の開閉弁手段が配設されており、
更に、該化学物質流路における該第一の開閉弁手段と該第二の開閉弁手段との間の部位と該気体流路における該第三の開閉弁手段と該第四の開閉弁手段との間の部位とを連結する連結流路を含み、該連結流路には第五の開閉弁手段が配設されており、
該接続アダプターの各々は、片端は化学物質消費装置に接続され他端は該化学物質流路の延出端に接続される化学物質接続流路と、片端は除害手段を介して大気に連通され他端は該気体流路の延出端に接続される気体接続流路と、片端は該化学物質接続流路に接続され他端は気体供給源に接続されている第一の気体供給流路と、片端は該気体接続流路に接続され他端は該気体供給源に接続されている第二の気体供給流路とを含み、
該化学物質接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第六の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第七の開閉弁手段が配設されており、
該気体接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第八の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第九の開閉弁手段が配設されており、
該第一の気体供給流路には、第十の開閉弁手段が配設されており、
該第二の気体供給流路には、第十一の開閉弁手段が配設されている、
ことを特徴とする組み合わせが提供される。

本発明の組み合わせによれば、後の説明から明確に理解される如く、液状化学物質製造装置が装備されている領域においてタンク本体に液状化学物質を充填する際、液状化学物質が充填されたタンクを化学物質消費装置が装備されている領域迄タンクを搬送する際、化学物質消費装置が装備されている領域においてタンク本体の化学物質を化学物質消費装置に供給する際、及びタンク本体内の化学物質が消費されたタンクを化学物質製造装置が装備されている領域に返送する際のいずれにおいても、化学物質が汚染されてしまうことが充分確実に防止される。

本発明に従って構成された組み合わせにおけるタンクの好適実施形態を示す簡略図。 図１に図示するタンクの部分平面図。 図１に図示するタンクのタンク本体内に液状化学物質を充填する際の、タンク使用様式を説明するための簡略図。 図１図示するタンクのタンク本体内から化学物質消費装置に液状化学物質を供給する際の、タンク使用様式を説明するための簡略図。 図１に図示するタンクに適用される付加接続ユニットを示す簡略図。

以下、添付図面を参照して本発明に従って構成されたタンクについて更に詳細に説明する。

図１を参照して説明すると、本発明に従って構成された組み合わせに使用されるタンク２は、タンク本体４とこのタンク本体４に付設された接続ユニット６とから構成されている。ステンレス鋼の如き適宜の材料から構成することができるタンク本体４は、適宜の中空構造でよいが、図示の実施形態においては横方向（図１において左右方向）に細長く延在する円筒形状であり且つ両側面（図１において左側面及び右側面）は凸形状である。そして、かようなタンク本体４の上面に接続ユニット６が付設されている。

図１と共に図２を参照して説明を続けると、接続ユニット６は化学物質流路８、気体流路１０及び連結流路１２を含んでいる。

化学物質流路８はタンク本体４内に充填される液状化学物質（図示していない）に浸漬される浸漬部８ａとタンク本体４から延出する延出部８ｂとを有する。化学物質流路８の延出部８ｂには、タンク本体４への化学物質充填方向（図１において下向）に見て下流側に位置する開閉弁手段即ち第一の開閉弁手段１４と上記化学物質充填方向に見て上流側に位置する開閉弁手段即ち第二の開閉弁手段１６とが配設されている。図示の実施形態においては、第二の開閉弁手段１６は化学物質流路８の延出端に配設されている。かような化学物質流路８は、図２を参照することによって理解される如く、流路を規定する真直に延びる真直管部材及び略直角に湾曲されたエルボ管部材を、第一の開閉弁手段１４及び第二の開閉弁手段１６を構成する適宜の弁部材、図示の実施形態においては手動操作ハンドルを備えたボール弁部材、を所要とおりに介在せしめて連結することによって好都合に構成することができる。管部材間の相互連結は溶接の如き適宜の連結様式によって達成することができ、真直管部材及びエルボ管部材に対する弁部材の連結は、弁部材の端に配設されている連結フランジを管部材の端に配設されている連結フランジに適宜のパッキンを介在させてボルト及びナットの如き適宜の締結手段によって締結することによって達成することができる。タンク本体４との連結は、管部材の所要部位に付設されたフランジ１８（図２）をタンク本体４に形成された開口を気密に閉じる状態に連結することによって遂行することができる。

上記気体流路１０はタンク本体４内に連通された片端から延出している。かかる気体流路１０には、タンク本体４への気体流入方向（図１において下向）に見て下流側に位置する開閉弁手段即ち第三の開閉弁手段２０と上記気体流入方向に見て上流側に位置する開閉弁手段即ち第四の開閉弁手段２２とが配設されている。図示の実施形態においては、第四の開閉弁手段２２は気体流路１０の延出端に配設されている。かような気体流路１０も、上記化学物質流路８と同様に、流路を規定する真直に延びる真直管部材及び略直角に湾曲されたエルボ管部材を、第三の開閉弁手段２０及び第四の開閉弁手段２２を構成する適宜の弁部材、図示の実施形態においては手動操作ハンドルを備えたボール弁部材、を所要とおりに介在せしめて連結することによって好都合に構成することができる。タンク本体４との連結は、管部材の所要部位に付設されたフランジ２３（図２）をタンク本体４に形成されている開口を気密に閉じる状態に連結することによって遂行することができる。

上記連結流路１２は、上記化学物質流路８における第一の開閉弁手段１４と第二の開閉弁手段１６との間の部位と上記気体流路１０における上記第三の開閉弁手段２０と第四の開閉弁手段２２との間の部位とを連結している。そして、かかる連結流路１２には、開閉弁手段即ち第五の開閉弁手段２４が配設されている。かような連結流路１２は、図２に図示する如く、流路を規定する真直に延びる真直管部材を、第五の開閉弁手段２４を構成する適宜の弁部材、図示の実施形態においては手動操作ハンドルを備えたボール弁部材、を介在せしめて連結することによって好都合に構成することができる。連結流路１２の片端（図１において右端）は上記化学物質流路８の延出部８ｂに連通され、他端（図１において左端）は上記気体流路１０に連通されている。更に詳細には、図２に図示する如く、連結流路１２を構成する管部材の片端は上記化学物質流路８を構成する管部材の側面に形成されている接続部に接続されて上記化学物質流路８に連通され、連結流路１２を構成する他の管部材の片端は上記気体流路１０を構成する管部材の側面に形成されている接続部に接続されて上記気体流路１０に連通されている。

次に、上記のとおりタンク２と組み合わされる化学物質供給源２６、及びタンク２と化学物質供給源２６との組み合わせの使用様式について説明する。
［化学物質の充填］
図３を参照して説明すると、タンク２のタンク本体４内にトリクロロシランの如き液状化学物質を充填する際には、液状化学物質製造設備或いは液状化学物質貯留設備の如き化学物質供給源２６が存在する領域に搬入される。化学物質供給源２６には接続アダプター２８が付設されている。この接続アダプター２８は、化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２を含んでいる。化学物質接続流路３０の片端は化学物質供給源２６に接続されており、気体接続流路３２の片端は化学物質を無害化する適宜の除害手段（図示していない）を介して大気に開放されている。一方、化学物質接続流路３０の他端及び気体接続流路３２の他端は、タンク本体４内に液状化学物質を充填する際に、夫々、タンク２の接続ユニット６における化学物質流路８の延出端及び気体流路１０の延出端に接続される。接続アダプター２８は、更に、第一の気体供給流路３４及び第二の気体供給流路３６を含んでいる。第一の気体供給流路３４の片端は化学物質接続流路３０に接続され、第二の気体供給流路３６の片端は気体接続流路３２に接続されている。第一の気体供給流路３４の他端及び第二の気体供給流路３６の他端は、アルゴン、水素、窒素及びヘリウムの如き不活性ガスから構成されるシールガスを供給するための気体供給源３７に接続されている。上記化学物質接続流路３０には、タンク本体４内に向かう方向（図１において左向）に見て上記第一の気体供給流路３４の上記片端よりも下流側位置する開閉弁手段即ち第六の開閉弁手段３８とタンク本体４内に向かう方向に見て上記第一の気体供給流路３４の上記片端よりも上流側位置する開閉弁手段即ち第七の開閉弁手段４０が配設されている。上記気体接続流路３２には、タンク本体４内に向かう方向（図１において左向）に見て上記第二の気体供給流路３６の上記片端よりも下流側に位置する開閉弁手段即ち第八の開閉弁手段４２とタンク本体４内に向かう方向に見て上記第二の気体供給流路３６の上記片端よりも上流側位置する開閉弁手段即ち第九の開閉弁手段４４が配設されている。上記第一の空気供給流路３４及び第二の空気供給流路３６には、夫々、開閉弁手段即ち第十の開閉弁手段４６及び開閉弁手段即ち第十一の開閉弁手段４８が配設されている。上記化学物質接続流路３０、気体接続流路３２、第一の気体供給流路３４及び第二の気体供給流路３６は、適宜の管部材を所要開閉弁手段を介して適宜に連結することによって構成することができる。開閉弁手段は手動操作ハンドルを備えたボール弁から好都合に構成することができる。

タンク２の接続ユニット６と化学物質供給源２６に付設されている接続アダプター２８とを図３に示すとおりに接続した後には、次のとおりの工程が遂行される。
１．気密確認
第一乃至第十一の開閉弁手段１４、１６、２０、２２、２４、３８、４０、４２、４４、４６及び４８が閉である初期状態において、第六の開閉弁手段３８及び第八の開閉弁手段４２を開とし、そしてまた第十の開閉弁制御手段４６及び第十一の開閉弁手段４８を開とし、かくして化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２にシールガスを送給する。次いで、全設備において気密が確保されているか否か、換言すれば化学物質及びシールガスの漏れが発生していないか否か、を検査する。そして、気密が確保されていることが確認された後に、第十の開閉弁制御手段４６及び第十一の開閉弁手段４８を閉じる。

２．ガス置換
次に、第二の開閉弁手段１６、第四の開閉弁手段２２、第五の開閉弁手段２４及び第九の開閉弁手段４４を開き、そしてまた第十の開閉弁手段４６を開き、かくして化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２にシールガスを流動せしめて、化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２内に存在していた気体をパージする。しかる後に、第十の開閉弁手段４６を閉じ、第五の開閉弁手段２４を閉じる。

３．充填
次いで、第一の開閉弁手段１４、第三の開閉弁手段２０、及び第七の開閉弁手段４０を開き、かくして化学物質供給源２６から化学物質接続流路３０及び化学物質流路８を通してタンク本体４内に液状化学物質を流動せしめる。タンク本体４内への液状化学物質の充填量は、例えばタンク２の全体を適宜のシャーシ（図示していない）を介してロードセル（図示していない）上に載置し、タンク２の重量の変動を測定することによって認識することができる。或いは、化学物質流路８又は化学物質接続流路３０に配設した積算流量系で認識することもできる。所要量の液状化学物質がタンク本体４内に充填されると、第七の開閉弁手段４０を閉じて充填を停止すると共に、第十の開閉弁手段４６を開いてシールガスによって化学物質接続流路３０及び化学物質流路８内に滞留している液状化学物質をタンク本体４内に追い出す。

４．ガス加圧
第三の開閉弁手段２０を閉じてタンク本体４内にシールガスを流入させて１００ｋＰａＧ前後の圧力をかけ、しかる後に第一の開閉弁手段１４を閉じる。化学物質内にシールガスが吸収されることによって圧力が下がった場合には第一の開閉弁手段１４を開きシールガスを流入させて圧力を上昇させる。

５．ガス置換
しかる後に、第五の開閉弁手段２４を開き、化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２内の気体をシールガスによってパージする。

６．封止
次に、第四の開閉弁手段２２、第八の開閉弁手段４２及び第九の開閉弁手段４４を閉じ、そしてまた第十の開閉弁手段４６を閉じ、更に第六の開閉弁手段３８、第二の開閉制御弁１６及び第五の開閉制御弁２４を閉じる。この際には、第二の開閉弁手段１６から第五の開閉弁手段２４を介して第四の開閉弁手段２２に至る流路内にシールガスによる正圧力が生成されている状態にせしめるのが好適である。

７．脱圧
次いで、好ましくは、例えば化学物質接続流路３０におけるタンク本体４に向かう方向に見て第六の開閉弁手段３８よりも下流側に配設した脱圧用の開閉弁手段（図示していない）及び／又は気体接続流路３２におけるタンク本体４に向かう方向に見て第八の開閉弁手段４２よりも下流側に配設された開閉弁手段（図示していない）を開くことによって、化学物質接続流路３０及び／又は気体接続流路３２内の正圧力を解除する。しかる後に、化学物質接続流路３０及び気体接続流路３２を、夫々、タンク２の接続ユニット６における化学物質流路８及び気体流路１０から切り離す。従って、タンク２は化学物質供給源２６が装備されている領域から離隔した領域（後述する化学物質消費装置が装備されている領域）に搬送することが許容される。化学物質流路８の延出端及び気体流路１０の延出端には、被嵌キャップ或いは挿入栓の如き適宜の閉塞手段（図示していない）を着脱自在に装着するのが好都合である。

次に、上記のとおりタンク２と組み合わされる化学物質消費装置５０、及びタンク２と化学物質消費装置５０との組み合わせの使用様式について説明する。
［化学物質の供給］
図４を参照して説明すると、上述したとおりにしてタンク本体４内に所要量の液状化学物質が充填されたタンク２は、専用トラック車の如き適宜の搬送手段（図示していない）によって、エピタキシャルウエーハ製造装置の如き化学物質消費装置５０が装備されている領域に搬送される。化学物質消費装置５０には接続アダプター２８′が付設されている。この接続アダプター２８′は、図３に図示する接続アダプター２８、即ち化学物質供給源２６に付設されている接続アダプター２８、と実質上同一でよい。図４においては、接続アダプター２８′の各構成要素に、接続アダプター２８における対応する構成要素の番号に「′」を加えた番号を付している。説明の重複を避けるために接続アダプター２８′の構成については説明を省略する。

接続アダプター２８′における片端が化学物質消費装置に接続された化学物質接続流路３０′の他端及び片端は大気に開放された気体接続流路３２′の他端は、夫々、タンク２の接続ユニット４における化学物質流路８の延出端及び気体流路１０の延出端に接続され、かくしてタンク２の接続ユニット４に化学物質消費装置５０に付設されている接続アダプター２８′が接続される。しかる後に次のとおりの工程が遂行される。

１．気密確認及び２．ガス置換
最初に、上記化学物質の充填において遂行された１．気密確認及び２．ガス置換と同様にして、気密確認及びガス置換が遂行される。次いで、第九の開閉弁手段４４′を閉じる。

３．供給前処理
しかる後に、第十一の開閉弁手段４８′、第八の開閉弁手段４２′、第四の開閉弁手段２２及び第三の開閉弁手段２０を開き、シールガスによってタンク本体４内に所要正圧力にする。

４．供給
次いで、第一の開閉弁手段１４、第二の開閉弁手段１６、第六の開閉弁手段３８′及び第七の開閉弁手段４０′を開き、タンク本体４から排出される液状化学物質を化学物質流路及び化学物質接続流路３０′を通して化学物質消費装置５０に供給する。化学物質消費装置５０に対する液状化学物質の供給量、換言すればタンク本体４内の液状化学物質の残留量は、例えばタンク２の全体を適宜のシャーシ（図示していない）を介してロードセル（図示していない）上に載置し、タンク２の重量の変動を測定することによって認識すること ができる。

５．供給停止及び洗浄
タンク本体４内の液状化学物質の実質上全量が排出され、化学物質消費装置５０に供給されると、第七の開閉弁手段４０′を閉じて化学物質消費装置５０への液状化学物質の供給を停止すると共に、第十一の開閉弁手段４８′を閉じ、第九の開閉弁手段４４′を開いてタンク本体４内を脱圧する。そして、第十の開閉弁手段４６′を開いて、化学物質接続流路３０′及び化学物質流路８内に残留している液状化学物質をタンク本体４内に戻す。

６．ガス加圧７．ガス置換８．封止９．脱圧
しかる後に、上記化学物質の充填において遂行された４．ガス加圧、５．ガス置換、６．封止及び７．脱圧と同様にして、６．ガス加圧７．ガス置換、８．封止及び９．脱圧を遂行する。かくして、タンク２は化学物質消費装置５０が装備されている領域から離隔した化学物質供給源２６が装備されている領域に戻すことが許容される。この際にも、化学物質流路８の延出端及び気体流路１０の延出端には、被嵌キャップ或いは挿入栓の如き適宜の閉塞手段（図示していない）を着脱自在に装着するのが好都合である。

上述したとおりの液状化学物質の充填及び／又は液状化学物質の供給において、流路径の相異等に起因して、タンク２の接続ユニット４における化学物質流路８の延出端及び気体流路１０の延出端に対して接続ユニット２８（２８′）における化学物質接続流路３０（３０′）の上記他端及び気体接続流路３２（３２′）の上記他端との接続が困難な場合には、図５に図示する如く、補助接続アダプター５２を使用することができる。補助接続アダプター５２は、片端は化学物質流路８の延出端に接続するのに適し他端は化学物質接続流路３０（３０′）の上記他端に接続するのに適した化学物質補助接続流路５４と、片端は気体流路１０の延出端に接続するのに適し他端は気体接続流路３２（３２′）の上記他端に接続するのに適した気体補助接続流路５６とを含んでいる。化学物質補助接続流路５４及び補助接続流路５６には、夫々、第十二の開閉弁手段５８及び第十三の開閉弁手段６０が配設されている。かような補助アダプター５２が使用される場合には、第十二の開閉弁手段５８及び第十三の開閉弁手段６０は、夫々、第二の開閉弁手段１６及び第四の開閉弁手段２２の開閉に応じて開閉される。

２：タンク
４：タンク本体
６：接続ユニット
８：化学物質流路
１０：気体流路
１２：連結流路
１４：第一の開閉弁手段
１６：第二の開閉弁手段
２０：第三の開閉弁手段
２２：第四の開閉弁手段
２４：第五の開閉弁手段
２６：化学物質供給源
２８及び２８′：接続アダプター
３０及び３０′：化学物質接続流路
３２及び３２′：気体接続流路
３４及び３４′：第一の気体供給流路
３６及び３６′：第二の気体供給流路
３７及び３７′：気体供給源
３８及び３８′：第六の開閉弁手段
４０及び４０′：第七の開閉弁手段
４２及び４２′：第八の開閉弁手段
４４及び４４′：第九の開閉弁手段
４６及び４６′：第十の開閉弁手段
４８及び４８′：第十一の開閉弁手段
５０：化学物質消費装置
５２：補助接続アダプター
５４：化学物質補助接続流路
５６：気体補助接続流路
５８：第十二の開閉弁手段
６０：第十三の開閉弁手段

Claims (2)

1. タンク本体と該タンク本体に付設された接続ユニットとを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質供給源との組み合わせにして、
   該接続ユニットは、該タンク本体内の化学物質に浸漬される浸漬部及び該タンク本体から延出する延出部を有する化学物質流路と、該タンク本体内に連通された片端から延出する気体流路と含み、
   該化学物質流路の該延出部には、該タンク本体内への化学物質充填方向に見て下流側に位置する第一の開閉弁手段及び該化学物質充填方向に見て上流側に位置する第二の開閉弁手段が配設されており、
   該気体流路には、該タンク本体への気体流入方向に見て下流側に位置する第三の開閉弁手段及び該気体流入方向に見て上流側に位置する第四の開閉弁手段が配設されており、
   更に、該化学物質流路における該第一の開閉弁手段と該第二の開閉弁手段との間の部位と該気体流路における該第三の開閉弁手段と該第四の開閉弁手段との間の部位とを連結する連結流路を含み、該連結流路には第五の開閉弁手段が配設されており、
   該接続アダプターの各々は、片端は化学物質供給源に接続され他端は該化学物質流路の延出端に接続される化学物質接続流路と、片端は除害手段を介して大気に連通され他端は該気体流路の延出端に接続される気体接続流路と、片端は該化学物質接続流路に接続され他端は気体供給源に接続されている第一の気体供給流路と、片端は該気体接続流路に接続され他端は該気体供給源に接続されている第二の気体供給流路とを含み、
   該化学物質接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第六の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第七の開閉弁手段が配設されており、
   該気体接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第八の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第九の開閉弁手段が配設されており、
   該第一の気体供給流路には、第十の開閉弁手段が配設されており、
   該第二の気体供給流路には、第十一の開閉弁手段が配設されている、
   ことを特徴とする組み合わせ。
2. タンク本体と該タンク本体に付設された接続ユニットとを具備する液状化学物質のためのタンクと、接続アダプターが付設された化学物質消費装置との組み合わせにして、
   該接続ユニットは、該タンク本体内の化学物質に浸漬される浸漬部及び該タンク本体から延出する延出部を有する化学物質流路と、該タンク本体内に連通された片端から延出する気体流路と含み、
   該化学物質流路の該延出部には、該タンク本体内への化学物質充填方向に見て下流側に位置する第一の開閉弁手段及び該化学物質充填方向に見て上流側に位置する第二の開閉弁手段が配設されており、
   該気体流路には、該タンク本体への気体流入方向に見て下流側に位置する第三の開閉弁手段及び該気体流入方向に見て上流側に位置する第四の開閉弁手段が配設されており、
   更に、該化学物質流路における該第一の開閉弁手段と該第二の開閉弁手段との間の部位と該気体流路における該第三の開閉弁手段と該第四の開閉弁手段との間の部位とを連結する連結流路を含み、該連結流路には第五の開閉弁手段が配設されており、
   該接続アダプターの各々は、片端は化学物質消費装置に接続され他端は該化学物質流路の延出端に接続される化学物質接続流路と、片端は除害手段を介して大気に連通され他端は該気体流路の延出端に接続される気体接続流路と、片端は該化学物質接続流路に接続され他端は気体供給源に接続されている第一の気体供給流路と、片端は該気体接続流路に接続され他端は該気体供給源に接続されている第二の気体供給流路とを含み、
   該化学物質接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第六の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第一の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第七の開閉弁手段が配設されており、
   該気体接続流路には、該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも下流側に位置する第八の開閉弁手段及び該タンク本体内に向かう方向に見て該第二の気体供給流路の該片端よりも上流側に位置する第九の開閉弁手段が配設されており、
   該第一の気体供給流路には、第十の開閉弁手段が配設されており、
   該第二の気体供給流路には、第十一の開閉弁手段が配設されている、
   ことを特徴とする組み合わせ。