DE202017005556U1 - Gebinde aufweisend Abdichtmaterialien mit erhöhter Beständigkeit - Google Patents

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Abstract

Gebinde für den Transport und/oder die Aufbewahrung von halogenierten Silanen oder halogenierten Germanen, Oligo- und/oder Polysilanen, Oligo- und/oder Polygermanen, das zumindest eine Anschlusseinheit und/oder ein Absperrorgan aufweist, deren Abdichtung ein Material aufweist oder daraus besteht, das ausgewählt ist aus Polytetrafluorethylen oder Perfluoralkoxy-Polymere.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Gebinde für den Transport und/oder die Aufbewahrung von halogenierten Silanen oder halogenierten Germanen, dessen Anschlusseinheit und/oder Absperrorgan zumindest ein Abdichtmaterial aus Polytetrafluorethylen oder Perfluoralkoxy-Polymeren aufweist.
  • Gebinde für den Transport bzw. die Aufbewahrung von halogenierten Silanen, insbesondere chlorierten Silanen, Oligo- oder Polysilanen, beispielsweise in der Patentanmeldung DE 10 2007 050 573 A1 beschrieben, weisen gelegentlich Korrosionsschäden im Bereich der Ventile auf, die sich zumindest durch Undichtigkeiten bemerkbar machen. Leaktests der Armaturen an solchen Gebinden werden vor und nach Gebrauch und nach langer Lagerung der Gebinde nicht immer bestanden. Ventile müssen dann instand gesetzt werden, z. B. durch den Austausch der Ventilsitze oder sogar durch den Ersatz weiterer Teile des Ventils oder der Armatur. Ganz allgemein benötigen Armaturen an Gebinden halogenierter Silane regelmäßige Sichtkontrollen und intensive Kontrollen der Ventilsitze.
  • Die Aufgabe der Erfindung war es, weniger anfällige Armaturen oder Ventile für Gebinde chlorierter Silane bereit zu stellen.
  • Diese Aufgabe wird überraschend mit Ventilsitzen und Dichtungen gelöst, deren Material Polytetrafluorethylen oder Perfluoralkoxy-Polymere aufweist oder aus zumindest einem dieser Materialien besteht.
  • Der Vorteil solcher Ventilsitze bzw. Dichtungen besteht darin, dass mit diesen ausgestattete Armaturen oder Ventile eine große Zeitdauer mit chlorierten Silanen in Kontakt stehen dürfen, ohne Verschleiß- oder Zersetzungerscheinungen zu zeigen, die zu Undichtigkeiten führen.
  • Gegenstand der Erfindung ist demnach ein Gebinde für den Transport und/oder die Aufbewahrung von halogenierten Silanen oder halogenierten Germanen, Oligo- und/oder Polysilanen, Oligo- und/oder Polygermanen, das zumindest eine Anschlusseinheit und/oder ein Absperrorgan aufweist, deren Abdichtung ein Material aufweist oder daraus besteht, das ausgewählt ist aus Polytetrafluorethylen oder Perfluoralkoxy-Polymere.
  • Die Erfindung wird im Folgenden näher erläutert.
  • Im Rahmen der Erfindung wird der Begriff „Polytetrafluorethylen” mit „PCTFE” und der Begriff „Perfluoralkoxy-Polymere” mit „PFA” abgekürzt.
  • Die Anschlusseinheit des erfindungsgemäßen Gebindes kann ein Mehrwegesystem mit zwei oder mehr Absperrorganen aufweisen.
  • In einer weiteren Ausprägung der Erfindung kann oder können das Absperrorgan oder die Absperrorgane des Gebindes zumindest ein Ventil oder zumindest ein Hahn sein.
  • Das erfindungsgemäße Gebinde kann chlorierte Silane, chlorierte Oligo- und/oder chlorierte Polysilane enthalten.
  • Das Material der Abdichtung des erfindungsgemäßen Gebindes ist ausgewählt aus PCTFE oder PFA. Besonders bevorzugtes Material kann PCTFE sein.
  • Beispielsweise kann das erfindungsgemäße Gebinde zumindest einen Ventilsitz aus Swagelock DFX PFA oder Hamlet PCTFE aufweisen.
  • Die Erfindung wird im Folgenden durch ein Beispiel näher erläutert.
  • Beispiel: Ventilsitz Hamlet PCTFE.
  • Es wurde jeweils Trichlorsilan, Hexachlordisilan bzw. Decachlortetrasilan in einer Glove-Box in Probeflaschen abgefüllt, die zuvor mit Stickstoff gespült worden waren. In jede dieser befüllten Glasflaschen wurde je ein Hamlet Ventilsitz Material PCTFE eingebracht.
  • Im Laborabzug bei Normaltemperaturwurden diese Probeflaschen während 576 Stunden gelagert und in regelmäßigen Abständen visuell begutachtet.
  • Anschließend wurden die Ventilsitze in der Glovebox aus den Probenflaschen entnommen, abgetrocknet und mit Isopropanol gereinigt. Die weitere Lagerung erfolgte in Glasflaschen.
  • Die zeigt in den 3 linken Teilabbildungen die Vorderseite von jeweils 2 Ventilsitzen. Die drei rechten Teilabbildungen in der zeigen jeweils die Rückseite derselben Ventilsitze.
  • In jeder Teilabbildung ist der jeweils rechte Ventilsitz neu und ungebraucht. Der linke Ventilsitz stand jeweils mit Trichlorsilan, Hexachlordisilan bzw. Decachlortetrasilan in Kontakt. Die Beschriftung in der jeweiligen Teilabbildung bedeutet, dass der jeweils linke, erfindungsgemäße Ventilsitz mit Trichlorsilan (TZS), Hexachlordisilan (HCDS) bzw. Decachlortrisilan (DCTC) in Kontakt gebracht worden war.
  • Es wurde gefunden, dass der jeweils mit dem oder den Silanen in Kontakt gebrachte Ventilsitz gegenüber dem neuen und ungebrauchten Ventilsitz die gleiche Form und Flexibilität aufwies.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102007050573 A1 [0002]

Claims (4)

  1. Gebinde für den Transport und/oder die Aufbewahrung von halogenierten Silanen oder halogenierten Germanen, Oligo- und/oder Polysilanen, Oligo- und/oder Polygermanen, das zumindest eine Anschlusseinheit und/oder ein Absperrorgan aufweist, deren Abdichtung ein Material aufweist oder daraus besteht, das ausgewählt ist aus Polytetrafluorethylen oder Perfluoralkoxy-Polymere.
  2. Gebinde nach Anspruch 1, wobei die Anschlusseinheit ein Mehrwegesystem mit zwei oder mehr Absperrorganen aufweist.
  3. Gebinde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Absperrorgan oder die Absperrorgane zumindest ein Ventil oder zumindest ein Hahn ist oder sind.
  4. Gebinde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Gebinde chlorierte Silane, chlorierte Oligo- und/oder chlorierte Polysilane enthält.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007050573A1 (de) 2007-10-23 2009-04-30 Evonik Degussa Gmbh Großgebinde zur Handhabung und für den Transport von hochreinen und ultra hochreinen Chemikalien

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102007050573A1 (de) 2007-10-23 2009-04-30 Evonik Degussa Gmbh Großgebinde zur Handhabung und für den Transport von hochreinen und ultra hochreinen Chemikalien

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