DE4006490A1 - Vorrichtung zur entnahme von hochreinen fluessigkeiten aus gebinden - Google Patents
Vorrichtung zur entnahme von hochreinen fluessigkeiten aus gebindenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Entnahme von
hochreinen Flüssigkeiten, insbesondere von hochreinen
flüssigen Chemikalien aus Gebinden unter weitgehender
Vermeidung von Partikelkontamination.
Bei der Entnahme von hochreinen Flüssigkeiten, wie
organische Lösemittel, Säuren und Laugen, die unter anderem
für die Herstellung von Arzneimitteln, polymeren optischen
Fasern, optischen Speichern oder hochintegrierten
Halbleiterbausteinen notwendig sind, aus Transportgebinden
darf die Qualität der hochreinen Flüssigkeit nicht in Frage
gestellt werden. Das heißt, neben der chemischen muß auch
die Partikelkontamination weitgehend ausgeschlossen werden.
Bei der Entnahmevorrichtung sind daher aufeinandergleitende
Teile, Totvolumina und die Zufuhr von kontaminierten
Belüftungsmedien zu vermeiden.
Die Erfindung löst die Aufgabe durch eine Vorrichtung, die
dadurch gekennzeichnet ist, daß die Vorrichtung besteht
- a) aus einer Anschlußplatte mit drei Bohrungen, von denen zwei Bohrungen jeweils einen Anschlußstutzen für Steigrohre durchdringen und
- b) einer Kopfplatte mit einem integrierten Ventilkörper zur Aufnahme von mindestens zwei Ventilköpfen, wobei die Kopfplatte drei zur Anschlußplatte kongruente Bohrungen aufweist, von der sich eine durch den Ventilkörper erstreckt und die beiden anderen Bohrungen einerseits enden in Rohrstutzen, die in die Bohrungen der Anschlußplatte hineinragen und andererseits in Kanälen für die hochreinen Flüssigkeiten, die im Ventilkörper angeordnet und durch die Ventilköpfe unterbrochen sind.
Eine der Bohrungen kann zentral und die beiden anderen
Bohrungen spiegelbildlich zur zentralen Bohrung angeordnet
sein.
Der Ventilkörper kann mit zwei weiteren Kanälen versehen
sein, die über zwei zusätzliche Ventilköpfe mit dem
Kanalsystem für die hochreinen Flüssigkeiten in Verbindung
stehen. Die Anschlußplatte kann als Matrize für die
Kopfplatte ausgebildet sein und beide Platten können
Einrichtungen zum Verbinden miteinander aufweisen. In den
mit Rohrstutzen versehenen Bohrungen der Kopfplatte können
Leiteinrichtungen wie Stifte oder Röhrchen angeordnet sein.
Die Vorteile der Erfindung sind im wesentlichen darin zu
sehen, daß beim Abnehmen der Kopfplatte die in den mit
Rohrstutzen versehenen Bohrungen zurückbleibenden kleinen
Flüssigkeitsvolumen zwangsläufig und vollständig in das
Gebinde zurücklaufen. Das Spülen des Entnahmesystems ist
ohne Trennen der Kopfplatte von der Anschlußplatte möglich.
Die Vorrichtung ist totvolumenarm; die Ausbildung von
Partikelnestern in den chemikalienführenden Leitungen und
Bohrungen wird verhindert. Die Konstruktion des
Ventilkörpers, der in der Kopfplatte integriert ist, in
Verbindung mit der Verwendung von Membranventilköpfen
ermöglicht Schaltvorgänge, die nur wenige Partikel
erzeugen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von lediglich einen
Ausführungsweg darstellenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 die Anschlußplatte in Draufsicht,
Fig. 2 die Entnahmevorrichtung teilweise geschnitten,
Fig. 3 eine Ansicht der Kopfplatte,
Fig. 4 den Schnitt III-III der Fig. 3 und
Fig. 5 den Schnitt IV-IV der Fig. 4.
Die Entnahmevorrichtung besteht aus einer Anschlußplatte 4,
die mit einer Überwurfmutter 21 oder dergleichen an der
Füll- und Entnahmeöffnung 1 eines Gebindes befestigt werden
kann. 22 deutet die Dichtung zwischen Anschlußplatte 4 und
Öffnung 1 an. Die Anschlußplatte 4 ist mit einer
durchgehenden zentralen Bohrung 7 versehen, zu der
spiegelbildlich zwei Bohrungen 5, 6 angeordnet sind, die
jeweils einen Anschlußstutzen 8 für die in das Gebinde
ragenden Steigrohre (nicht dargestellt) durchdringen. Die
Anschlußplatte 4 ist als Matrize für die Kopfplatte 9
ausgebildet. Sie kann Ausnehmungen 27, 28 aufweisen, die
konzentrisch (27) um die Zentralbohrung 7 bzw. (28) um die
Bohrungen 5, 6 angeordnet sind und die die Kopfplatte 9
mit den zylinderförmigen Bolzen 19, 20 aufnehmen. In die
Ausnehmungen 28 münden die Bohrungen 5, 6. Die Kopfplatte 9
weist einen integrierten Ventilkörper 23 auf, der mit
mindestens zwei Ventilsitzen 16, 17 zur Aufnahme von
Ventilköpfen 2, 3 versehen ist. Die Kopfplatte 9 weist eine
zentrale Bohrung 12 auf, die sich durch den Ventilkörper 23
erstreckt und mit der zentralen Bohrung 7 der
Anschlußplatte 4 die Be- und Entlüftungsleitung für das
Gebinde bildet. Zur zentralen Bohrung 12 sind
spiegelbildlich zwei denzentrale Bohrungen 10, 11
angeordnet, die einerseits enden in Rohrstutzen 29, 30, die
in die Bohrungen 5, 6 der Anschlußplatte 4 hineinragen, und
andererseits in Kanälen 31, 32, 33, 34 für die hochreinen
Flüssigkeiten, die im Ventilkörper 23 angeordnet und durch
die Ventilköpfe 2, 3 unterbrochen sind. Die Kopfplatte kann
gegen die Anschlußplatte mit Dichtungen 24, 25, 26
abgedichtet sein. Zum Spülen der Entnahmevorrichtung kann
der Ventilkörper 23 mit Kanälen 13, 14 zum Heranführen von
Spülflüssigkeiten versehen sein, die in zwei weiteren
Ventilsitzen 37, 38 enden und über zwei Ventilköpfe (nicht
dargestellt) mit den Kanälen 33, 34 in Verbindung stehen.
Die Kanäle 33, 34 sind mit Leitungsanschlüssen 35, 36
versehen. Die in die Bohrungen 5, 6 ragenden Enden der
Rohrstutzen 29, 30 können angeschrägt sein, was ein
Leerlaufen der Bohrungen 10, 11 beim Trennen von
Anschlußplatte 4 und Kopfplatte 9 beschleunigt. Eine
weitere Beschleunigung des Leerlaufens wird durch Anordnen
von Leiteinrichtungen 18, wie z. B. Stifte erreicht.
15 deutet den Überwurfring zum Verbinden von Kopf- und
Anschlußplatte, 39 die Nocken der Anschlußplatte 4 in die
der Überwurfring 15 eingreift und 40 Positioniernocken
für die Kopfplatte 9 an.
Claims (6)
1. Vorrichtung zur Entnahme von hochreinen Flüssigkeiten
aus Gebinden, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vorrichtung besteht
- a) aus einer Anschlußplatte (4) mit drei Bohrungen (5, 6, 7), von denen zwei Bohrungen (5, 6) jeweils einen Anschlußstutzen (8) für Steigrohre durchdringen und
- b) einer Kopfplatte (9) mit einem integrierten Ventilkörper (23) zur Aufnahme von mindestens zwei Ventilköpfen (2, 3), wobei die Kopfplatte (9) drei zur Anschlußplatte (4) kongruente Bohrungen (10, 11, 12) aufweist, von der sich eine (12) durch den Ventilkörper (23) erstreckt und die beiden anderen Bohrungen (10, 11) einerseits enden in Rohrstutzen (29, 30), die in die Bohrungen (5, 6) der Anschlußplatte (4) hineinragen, und andererseits in Kanälen (31, 32, 33, 34) für die hochreinen Flüssigkeiten, die im Ventilkörper (23) angeordnet und durch die Ventilköpfe (2, 3) unterbrochen sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
eine der Bohrungen (7, 12) zentral und die beiden
anderen Bohrungen (5, 6, 10, 11) spiegelbildlich zur
zentralen Bohrung angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (23) zwei weitere
Kanäle (13, 14) aufweist, die über zwei zusätzliche
Ventilköpfe mit dem Kanalsystem (33, 34) für die
hochreinen Flüssigkeiten in Verbindung stehen.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlußplatte (4) als Matrize
für die Kopfplatte (9) ausgebildet ist und beide Platten
Einrichtungen (15, 39) zum Verbinden miteinander
aufweisen.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß in den mit Rohrstutzen (29, 30)
versehenen Bohrungen (10, 11) der Kopfplatte (9)
Leiteinrichtungen (18) angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß als Ventilköpfe (2, 3)
Membranventilköpfe verwendet werden.
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