EP1136435A1

EP1136435A1 - Fassadaptersystem

Info

Publication number: EP1136435A1
Application number: EP01105988A
Authority: EP
Inventors: Hans-Ulrich Hahn; Axel Schiemann
Original assignee: Honeywell Specialty Chemicals Seelze GmbH
Current assignee: Honeywell Specialty Chemicals Seelze GmbH
Priority date: 2000-03-24
Filing date: 2001-03-10
Publication date: 2001-09-26
Also published as: DE10014647A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Adaptersystem zum sicheren Verbinden eines vorzugsweise fassförmigen Transport- und Lagerungsgebindes zur Aufbewahrung von Chemikalien, insbesondere von flüssigen Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie mit einem geeigneten Entnahmesystem der Chemikalie und ein System zur Entnahme einer Chemikalie, insbesondere einer flüssigen Hochreinchemikalie aus einem Transport- und Lagerungsgebinde, umfassend mindestens die folgenden Elemente: a) mindestens ein geeignetes Entnahmesystem, b) mindestens ein Adaptersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum sicheren Verbinden des Transport- und Lagerungsgebindes mit dem Entnahmesystem. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein Adaptersystem zum sicheren Verbinden eines Transport- und Lagerungsgebindes, vorzugsweise eines Fasses, zur Aufbewahrung von Chemikalien, insbesondere von flüssigen Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie mit einem geeigneten Entnahmesystem der Chemikalie.

Bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen werden in vielen Fällen flüssige Chemikalien benötigt, an deren Reinheit hohe Ansprüche gestellt werden. Besonders bei der Herstellung hochintegrierter Mikrochips ist ein hoher Reinheitsgrad erforderlich. Neben der Herstellung der Chemikalien in der geforderten Reinheit, muß darüber hinaus auch darauf geachtet werden, daß beim Transport, während der Lagerung und der Entnahme des entsprechenden Produktes aus dem Transport- oder dem Lagerungsbehältnisses keine Verunreinigungen mehr in das Produkt gelangen. Gleichzeitig muß auch die Transport-, Lager- und Entnahmesicherheit gewährleistet sein, da einige Chemikalien toxikologisch nicht unbedenklich oder aufgrund ihrer chemischen Eigenschaften schädlich sind. Ein unbeabsichtigtes Ausfließen, beispielsweise aufgrund von Undichtigkeiten bei der Entnahme der Chemikalien muß mit höchstmöglicher Sicherheit ausgeschlossen werden.

Kontaminationen durch äußere Umgebungseinflüsse machen den Einsatz geschlossener Entnahmesysteme notwendig. Das am Markt führende System basiert auf Entnahmeeinheiten, die vorwiegend aus dem Werkstoff PFA gefertigt sind. Bedingt durch die Rohstoffkosten sind diese Systeme aber sehr kostenaufwendig und somit nur für Mehrwegverpackungen geeignet.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es somit ein Adaptersystem bereitzustellen, das den Anschluß bzw. das Verbinden des marktführenden Entnahmesystems an handelsübliche, preiswerte Chemiaklienfässer ermöglicht. Dichtwerkstoffe dürfen dabei die Chemikalienqualität nicht beeinflussen. Ein Nachtropfen bzw. ein Nachlaufen von Chemikalien muß beim Abkoppeln bzw. Trennen des Entnahmesystems konstruktiv verhindert werden. Dafür eingesetzte Rückschlagventile dürfen keine metallischen Komponenten enthalten. Zudem ist eine hohe Druchflußrate zu gewährleisten, vorzugsweise eine Druchflußrate von mindestens 20 l/min, um Abfüll- bzw. Entleerungsvorgänge wirtschaftlich durchzuführen. Die Chemikalien-Codierung muß durch ein einfaches System erfolgen.

Gelöst wird die Aufgabe durch das erfindungsgemäße Adaptersystem gemäß dem unabhängigen Anspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den entsprechenden Unteransprüchen angegeben.

Demgemäß wird erfindungsgemäß ein Adaptersystem zum sicheren Verbinden eines, vorzugsweise fassförmigen Transport- und Lagerungsgebindes zur Aufbewahrung von Chemikalien, insbesondere von flüssigen Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie mit einem geeigneten Entnahmesystem der Chemikalie bereitsgestellt.

Das erfindungsgemäße Adaptersystem besteht aus mindestens einem Vollkunststoff, wobei der Vollkunststoff besonders bevorzugt ausgewählt wird aus der Gruppe, bestehend aus unstabilisierten HD-Polyethylenen. Insbesondere werden dabei HD-Polyethylene mit einer spezifischen Dichte von 0,940 - 0,970 g/cm³, insbesondere von 0,942 - 0,961 g/cm³ verwendet. Hierzu gehören insbesondere Polyethylene, die im Handel unter dem Warenzeichen Lupolen vertrieben werden. Darunter seien genannt Lupolen® 6021D, Lupolen® 5021D, Lupolen® 4261AQ149 und Lupolen® 4261AQ135. Vorzugsweise handelt es sich bei den stabilisatorfreien HD-PE um Polyethylene, die sowohl im Kontakt mit basischen, neutralen und sauren, hochreinen Chemikalien mindestens eine der folgenden ionischen Verunreinigungen wie folgt abgeben:

Al ≤ 60 ng/g,

Ca ≤ 60 ng/g,

Fe ≤ 63 ng/g,

Mg ≤ 16 ng/g,

Ti ≤ 4 ng/g,

Zn ≤ 6 ng/g,

Mn ≤ 0,3 ng/g,

Cu ≤ 1,5 ng/g.

Die unstabilisierten HD-PEs zeichnen sich ferner durch einen niedrigen Gehalt an Katalysatorresten aus, was bewirkt, daß von diesen Werkstoffen sowohl im Kontakt mit basischen als auch mit sauren, hochreinen Chemikalien besonders geringe Mengen ionischer Verunreinigungen abgegeben werden. Darüber hinaus werden vergleichsweise wenige Partikel durch irgendeine Wechselwirkung zwischen den zu lagernden oder zu transportierenden Chemikalien und dem Werkstoff erzeugt. Darüber hinaus können auch PVDF, PTFE, TFM, ECTFE oder PEEK eingesetzt werden.

Ferner lasssen sich aber auch HD-PEs aus der Gruppe Lupolen® 5261D, Lupolen® 4261AQ135, Hostalen® GM 6255, Hostalen® GUR, Fina® 47100, Borealis® 8214, Stamylan® 7731 und 7890, Daplen® AH 5493 oder ein Gemisch aus zwei oder mehr der HD-PE dieser Gruppe verwenden.

Eine bevorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist mindestens die folgenden Element auf:

mindestens eine Anschlußeinheit zum Anschluß des Entnahmesystems,

mindestens eine Anschlußeinheit zum Anschluß des Transport- und Lagerungsgebindes, vorzugsweise eines Fasses,

mindestens eine Einheit, die beim Durchlaufen der Chemikalie von dem Transport- und Lagerungsgebinde durch die Vorrichtung zum Entnahmesystem einen abrupten Abbruch des Durchlaufs der Chemikalie gewährleistet,

mindestens eine Belüftungseinheit.

Die Anschlußeinheit zum Anschluß des Entnahmesystems ist dabei so ausgestaltet, daß ein spielfreier, sicherer Abstand des Entnahmesystems sichergestellt ist, so daß insbesondere beim Entnehmen von flüssigen Hochreinchemikalien keine Gefahr des Auslaufens besteht.

In einer anderen bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist die Einheit unter c) ein Rückschlagventil, insbesondere ein Rückschlagventil ohne metallische Komponenten, besonders bevorzugt ein Rückschlagventil aus Vollkunststoff auf. Hierdurch wird sichergestellt, daß beim Abkoppeln bzw. Abtrennen des Entnahmesystems kein Nachtropfen bzw. Nachlaufen der entnommenen Chemikalie auftritt. Dies ist vor allem unter dem Gesichtspunkt wichtig, daß viele der zu entnehmenden Chemikalien toxisch sind und somit eine Gefahr für jeden darstellen, der mit ihnen in Kontakt kommt. Zudem sind die Hochreinchemikalien meist sehr kostspielig, was einen möglichst geringen bzw. keinen Verlust der Chemikalien bei der Entnahme erforderlich macht.

Dadurch, daß das Rückschlagventil als Teil des Gesamtadaptersystems ebenso wie das gesamte erfindungsgemäße Adaptersystem vorzugsweise aus Vollkunststoff besteht, weist es keinerlei Komponenten, insbesondere keine metallischen Komponenten auf, die eine Kontamination der zu entnehmenden Chemikalien verursachen könnten. Durch Verdrehen der Rückschlagventils um 180° kann die Strömungsrichtung der Flüssigkeit geändert werden.

Vorzugsweise sind alle Dichtungen aus universell chemikalienbeständigen Werkstoffen gefertigt. Dabei verwendet man besonders bevorzugt Perfluorelastomerdichtungen, insbesondere Kalvez® oder Ch.

Eine andere bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Adaptersystems gemäß der vorliegenden Erfindung weist mindestens eine Überwurfmutter auf. Diese Überwurfmutter ist auf der Seite des erfindungsgemäßen Adaptersystems angeordnet, an der das Chemiefaß, in dem die zu entnehmende Chemikalie gelagert wird, an das erfindungsgemäße Adaptersystem angeschlossen wird. Mittels der Überwurfmutter ist es möglich, eine sehr dichte, spielfreie Verbindung zwischen dem Faß und dem erfindungsgemäßen Adaptersystem herzustellen. Somit kann hier keine Chemikalie und kein Gas bei der Entnahme entweichen. Zudem lassen sich mittels der Überwurfmutter Fässer mit unterschiedlichen Dimensionen an ihrem Ausgang an das erfindungsgemäße Adaptersystem anschließen, d.h. man braucht nicht für jedes Faß einen gesonderten Adapter zur Entnahme der Chemikalie. Das Faß bzw. das fassförmige Transportgebinde ist mit einem entsprechenden Tauchrohradapter und einem entsprechenden Steigrohr ausgestattet, wobei das mit dem vorzugsweise mit dem Tauchrohradapter verbundene Steigrohr bei fertiger Montage in der Regel bis zum Boden des Transportgebindes hineinreicht. Vorzugsweise ist ein Innenabschnitt des Tauchrohradapters mit einem Innengewinde versehen, in welches die ein Außengewinde aufweisende Überwurfmutter so eingreifen kann, daß das Adaptersystem mit dem Tauchrohradapter zuverlässig und dichtend verbunden werden kann. Die Überwurfmutter ist lose verschieblich auf einem zylindrischen Abschnitt des Adaptersystems angeordnet und eine Ringscheibe ist auf einem zylindrischen Abschnitt oberhalb des sie durchgreifenden Außengewindeabschnitts der Überwurfmutter verschieblich und lose angeordnet. Die Überwurfmutter ist bevorzugt aus PVDF gefertigt. Zur besseren Handhabung ist die Überwurfmutter mit waagrechten Stiften ausgerüstet.

Ein weiteres Adaptersystem gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt mindestens eine Einheit zur Verhinderung einer Verwechslungsgefahr der zu entnehmenden Chemikalie. Es handelt sich dabei vorzugsweise um ein Codiersystem. Vorzugsweise basiert das Codier-System auf einem Stift/Loch-Mechanismus. Das erfindungsgemäße Adaptersystem ist mittels dieses Stiftcodiersystems mit dem Tauchrohradapter des Fasses verriegelbar und durch die Überwurfmutter daran dichtend anschließbar. Durch das spezielle Stiftcodiersystem, welches vorzugsweise als separates Bauteil für das vorzugsweise modulartig ausgebildete Adaptersystem vorgesehen ist, wird einerseits eine Verwechslungsgefahr von Chemikalien aus Sicherheitsgründen und aus Gründen der Verunreinigung derselben ausgeschlossen und andererseits ist das Adaptersystem in seinem Aufbau und seinen Abmessungen für verschiedenste unterschiedliche Chemikalien identisch ausführbar mit dem einzigen Unterschied, daß das eigentliche Stiftcodiersystem für den jeweiligen Anwendungsfall speziell auszubilden ist. Dadurch ist es möglich, derartige Adaptersysteme, welche die kontaminationsminimierte Entnahme einer speziellen Chemikalie sicherstellen, dennoch kostengünstig herzustellen. Das Stiftcodiersystem weist dabei vorzugsweise Codierstifte und dazu passende Codierausnehmungen auf, wobei die Codierstifte an einem ersten Sicherungsteil und die Codierausnehmungen an einem zweiten Sicherungsteil angebracht sind, wobei vorzugsweise eines der Sicherungsteile als Ringscheibe angebracht ist, welches separat auf das vorzugsweise modulartig ausgebildete Adaptersystem abstreifgesichert lose montierbar ist und das andere der Sicherungsteile in dem Tauchrohradapter des Fasses integriert ist. In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Adaptersystems ist die Ringscheibe als eine Stiftscheibe ausgebildet, d.h. an ihr sind die Codierstifte angebracht und so angeordnet, daß sie in dem Tauchrohradapter vorgesehene Codierausnehmungen eingreifen, welche entsprechend der Anordnung der Stifte im Tauchrohradapter umfangsmäßig verteilt vorgesehen sind. Das bedeutet, daß das erste Sicherungsteil in Form der Ringscheibe ausgebildet ist und das zweite Sicherungsteil in den Tauchrohradapter integriert ist. Selbstverständlich ist es auch möglich, daß die Ringscheibe als Lochscheibe ausgebildet ist und der Tauchrohradapter entsprechende Stifte, welche in einer Verriegelungsposition zu den Ausnehmungen in der Ringscheibe passen, ausgebildet sein kann. Mit einem solchen Stiftcodiersystem ist somit eine Verwechslungsgefahr beim Anschließen des Adaptersystems an ein entsprechendes Transportgebinde ausgeschlossen. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Adaptersystems sind die Codierstifte als Zylinderstifte und als Kreisringsegmentstifte ausgebildet, welche spiegelbildlich und formkongruent zu den entsprechend geformten, im Tauchrohradapter umfangsmäßig angeordneten Codierausnehmungen sind. Die Kreisringsegmentstifte dienen vorzugsweise auch als Arretierhilfe.

Mittels dieses Codiersystems wird auf sehr einfache und schnelle überschaubare Art und Weise eine Verwechslung der Chemikalien bei der Montage verhindert.

Vorzugsweise weist die Anschlußeinheit des erfindungsgemäßen Adaptersystems zum Anschluß des Fasses an seiner dem Tauchrohradapter des Fasses zugewandten Seite einen Flansch auf, welcher einen ersten O-Ring zur Abdichtung der Anschlußeinheit mit dem Tauchrohradapter trägt. Dieser O-Ring ist dabei so an dem Flansch angeordnet, daß im verspannten Zustand, d.h. in dem Zustand, in welchem die Überwurfmutter fest und dichtend in den abgesenkten Innengewindeabschnitt des Tauchrohradapters eingeschraubt ist, die Anschlußeinheit dichtend mit dem Tauchrohradapter verbunden ist.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Adaptersystems sind eine Belüftung mittels der Belüftungseinheit und eine Entnahme der Chemikalie gleichzeitig möglich. Dadurch können die Chemikalien wesentlich rascher entnommen werden, da sich innerhalb des gesamten Systems kein Vakuum aufbaut, was die zügige Entnahme erschweren würde. Durch eine gleichzeitige Belüftung ist es nicht nötig, bei der Entnahme innerhalb des Systems einen zusätzlichen Druck aufzubauen, um die zu entnehmende Chemikalie vom Faß zum Entnahmesystem zu bringen. Vorzugsweise ist dabei das erfindungsgemäße Adaptersystem mit einem zylindrischen Rohrabschnitt versehen, welcher in einen zylindrischen Teil des Tauchrohradapters des Fasses, welcher das Steigrohr trägt, hineinragt. Dieser zylindrische Rohrabschnitt des erfindungsgemäßen Adaptersystems hat einen geringeren Durchmesser als der zylindrische Teil des Tauchrohradapters und ragt bei montierter Anschlußeinheit tiefer in den zylindrischen Teil des Tauchrohradapters hinein als eine darin angeordnete Belüftungsöffnung. Dieser zylindrische Rohrabschnitt weist des weiteren einen Dichtungsring auf, welcher sich bei montierter Anschlußeinheit unterhalb der Belüftungsöffnung in dem zylindrischen Teil des Tauchrohradapters befindet und welcher einen solchen Außendurchmesser hat, daß bei in den Tauchrohradapter eingesetztem Adaptersystem diese ebenfalls vorzugsweise als O-Ring ausgebildete Dichtung im Innern des zylindrischen Teils zuverlässig abdichtet. Vorzugsweise ist dieser zweite O-Ring in einer Nut des zylindrischen Rohrabschnitts getragen und sitzt u.a. zur Verbesserung der Dichtwirkung bei montiertem und mittels der Überwurfsmutter festgezogenem Adaptersystem auf einem durchmesserreduzierten Abschnitt im Innern des zylindrischen Teils des Tauchrohradapters, welcher durch eine Ringschulter unterhalb der Belüftungsöffnung begrenzt ist. In diesem Abschnitt liegt der zweite O-Ring dichtend an. Dadurch wird eine Entlüftungskanalführung von der Belüftungsöffnung in das Adaptersystem geschaffen. Um eine Belüftung durch das Adaptersystem zu einer Belüftungsöffnung nach außen zu führen, ist der zylindrische Abschnitt in das Adaptersystem hinein verlängert und bildet zwischen seiner Außenfläche und der Innenfläche des Gesamtadaptersystems einen zu der daran angebrachten Belüftungsanschlußleitung führenden Raum. Dadurch ermöglicht das erfindungsgemäße Adaptersystem die gleichzeitige Flüssigkeitsentnahme und Belüftung. Dabei wird das Gas gefiltert. Vorteilhafterweise wird durch diese Vorgehensweise eine Flüssigkeitsentnahme durch Überdruck möglich.

Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein System zur Entnahme einer Chemikalie, insbesondere einer flüssigen Hochreinchemikalie aus einem Transport- und Lagerungsgebinde, vorzugsweise aus einem Fass, das mindestens die folgenden Elemente umfaßt:

mindesten ein geeignetes Entnahmesystem,

mindestens ein erfindungsgemäßes Adaptersystem zum sicheren Verbinden des Transport- und Lagerungsgebindes mit dem Entnahmesystem.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Systems ist das mindestens eine geeignete Entnahmesystem aus PFA.

PFA hat den Vorteil, daß es universell chemikalienbeständig ist und spritztechnisch gut verarbeitbar.

Weitere Vorteile und Ausführungsformen der Erfindung sollen im Folgenden anhand des folgenden Beispiels im Zusammenhang mit der Figur aufgezeigt werden.

Figur 1 Schematische Darstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung

Figur 1 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Adaptersystems 1 zum sicheren Verbinden bzw. zum sicheren Anschluß eines Fasses zur Aufbewahrung von Chemikalien, insbesondere von flüssigen Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie an ein geeignetes Entnahmesystem der Chemikalie. Das erfindungsgemäße Adaptersystem 1 ist vorzugsweise aus einem Vollkunststoff gefertigt und enthält keine metallischen Komponenten. Das Adaptersystem 1 weist eine Ansschlußeinheit 2 zum Anschluß des Entnahmesystems auf und eine Anschlußeinheit 3 zum entsprechenden Anschluß des Fasses, in dem die zu entnehmende Chemikalie gelagert und/oder transportiert wird. Das erfindungsgemäße Adaptersystem weist einen zylindrischen Abschnitt 4 auf, auf welchem verschieblich eine Überwurfmutter 5 angeordnet ist. Diese Überwurfmutter 5 besitzt einen Gewindeabschnitt 6, welcher passend zu dem im hier nicht gezeigten Tauchrohradapter des Fasses abgesenkten Innengwindeabschnitt ist, so daß die Überwurfmutter 5 zur Befestigung des Adaptersystems 1 in dem Tauchrohradapter in den abgesenkten Innengewindeabschnitt einschraubbar ist. Der Kopf der Überwurfmutter 5 ist flanschartig ausgebildet und stützt eine Ringscheibe 7 mit der Innenstirnfläche eines Flansches ab. Die Ringscheibe 7 ist lose und verschieblich auf einem gewindefreien Abschnitt der Überwurfmutter 5 angeordnet, wobei der Gewindeabschnitt 6 die Ringscheibe 7 zentral durchgreift. Die Ringscheibe 7 weist Codierstifte 8 auf, so daß die Ringscheibe 7 als Stiftscheibe ausgebildet ist. Die Codierstifte 8 der Stiftscheibe sind so angeordnet, daß sie spiegelbildlich formkongruent auf der nach außen weisenden Stirnfläche des hier nicht gezeigten Tauchrohradapters des Fasses zugewandten Fläche der Ringscheibe 7 angeordnet sind und zu den Codierausnehmungen passen.

Die die Stiftscheibe tragende Überwurfmutter 5 ist auf dem zylindrischen Teil 4 des Adaptersystems 1 gegen Abstreifen gesichert, so daß sie nach der Montage auf diesem zylindrischen Teil 4 des ansonsten für unterschiedliche Chemikalien vollkommen gleich ausgebildeten Adaptersystems 1 von diesem zylindrischen Teil 4 nicht mehr ohne weiteres entfernbar ist.

An der Anschlußseite des Entnahmesystems befindet sich ferner eine Belüftungseinheit 9. Vorzugsweise kann das erfindungsgemäße Adaptersystem 1 gleichzeitig zur Entnahme der zu entnehmenden Chemikalie belüftet werden. Dadurch wird die Entnahme der Chemikalie wesentlich erleichtert und beschleunigt.

Das Rückschlagventil 10 verhindert ein Nachtropfen bzw. Nachlaufen der entnommenen Chemikalie nachdem bzw. während das Entnahmesystem abgetrennt wird von dem Adaptersystem 1. Da das Rückschlagventil 10 ebenso wie das gesamte erfindungsgemäße Adaptersystem 1 vorzugsweise aus Vollkunststoff ist, umfaßt es keine Komponenten, die eine eventuelle Kontamination der zu entnehmenden Chemikalie bewirken könnten, insbesondere keine metallischen Komponenten.

Mittels der Überwurfmutter 5 wird ein sicherer, spielfreier Anschluß des Fasses an das erfindungsgemäße Adaptersystem 1 gewährleistet. Zudem ist es mittels der Überwurfmutter 5 möglich, das erfindungsgmäße Adaptersystem 1 zum Anschluß von Fässern zu verwenden, die einen unterschiedlich großen bzw. breiten Ausgang haben. Die Ringscheibe bzw. die Codierscheibe 7 verhindert, wie bereits erläutert, bei der Montage des erfindungsgemäßen Adaptersystems 1 an das Fass eine Verwechslungsgefahr der Chemikalie.

Wenn das erfindungsgemäße Adaptersystem 1 mit dem Tauchrohradapter des Fasses verbunden werden soll, wobei entsprechend dem Stiftcodiersystem nur eine codierte Anordnung von zylinderförmigen und kreisringsegmentförmigen Stiften zu den entsprechend geformten Ausnehmungen paßt, so wird zunächst das Adaptersystem 1 mit seinem zylindrischen Rohrabschnitt in den Tauchrohradapter bis in den Bereich des zylindrischen Teils des Tauchrohradapters eingesteckt. Anschließend wird die Stiftscheibe 7 so gedreht, daß ihre Codierstifte 8 zu den entsprechenden Codierausnehmungen passen und mit diesen Stiften in diese Codierausnehmungen eingesetzt, bis die Stiftscheibe 7 auf der äußeren Stirnfläche des Tauchrohradapters aufliegt. Anschließend wird die mit ihrem Gewindeabschnitt 6 den zentralen Bereich der Stiftscheibe 7 durchgreifende Überwurfmutter 5 in den Innengewindeabschnitt des Tauchrohradapters eingeschraubt bis das Adaptersystem 1 fest mit dem Tauchrohradapter verbunden ist. Damit die Überwurfmutter 5 mit der Stiftscheibe 7 nicht von dem zylindrischen Teil 4 des Adaptersystems 1 entfernbar ist, besitzt letzteres am Ende des zylindrischen Abschnitts 4 einen Anschlagflansch 11. An der Stirnseite dieses Anschlagflansches 11 ist ein in einer Nut angeordneter O-Ring 12 vorgesehen, welcher in montierten Zustand eine Dichtung des Adaptersystems 1 im Tauchrohradapter des Fasses schafft.

Claims

Adaptersystem zum sicheren Verbinden eines vorzugsweise fassförmigen Transport- und Lagerungsgebindes zur Aufbewahrung von Chemikalien, insbesondere von flüssigen Hochreinchemikalien für die Elektronikindustrie mit einem geeigneten Entnahmesystem der Chemikalie.
Adaptersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Adaptersystem aus mindestens einem Vollkunststoff besteht, wobei der Vollkunststoff vorzugsweise gewählt ist aus der Gruppe, bestehend aus PE-HD, PVDF, ECTFE, PEEK, PTFE, TFM.
Adaptersystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Adaptersystem mindestens die folgenden Elemente aufweist:

a) mindestens eine Anschlußeinheit zum Anschluß des Entnahmesystems,

b) mindestens eine Anschlußeinheit zum Anschluß des Transport- und Lagerungsgebindes,

c) mindestens eine Einheit, die beim Durchlaufen der Chemikalie von dem Transport- und Lagerungsgebinde durch das Adaptersystem zum Entnahmesystem einen abrupten Abbruch des Durchlaufs der Chemikalie gewährleistet,

d) mindestens eine Belüftungseinheit.
Adaptersystem nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Einheit unter c) ein Rückschlagventil, insbesondere ein Rückschlagventil ohne metallische Komponenten, besonders bevorzugt ein Rückschlagventil aus Vollkunststoff aufweist.
Adaptersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Adaptersystem mindestens eine Überwurfmutter aufweist.
Adaptersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Adaptersystem mindestens eine Einheit zur Verhinderung einer Verwechslungsgefahr der zu entnehmenden Chemikalie umfaßt.
Adaptersystem nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Einheit zur Verhinderung einer Verwechslungsgefahr der zu entnehmenden Chemikalie eine Codierscheibe, insbesondere eine Codierscheibe, basierend auf einem Stift/Loch-System ist.
Adaptersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Belüftung und eine Entnahme der Chemikalie gleichzeitig möglich sind.
System zur Entnahme einer Chemikalie, insbesondere einer flüssigen Hochreinchemikalie aus einem Transport- und Lagerungsgebinde, umfassend mindestens die folgenden Elemente:

a) mindestens ein geeignetes Entnahmesystem,

b) mindestens ein Adaptersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum sicheren Verbinden des Transport- und Lagerungsgebindes mit dem Entnahmesystem.
System nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine geeignete Entnahmesystem aus PFA ist.