MXPA05010233A

MXPA05010233A - Sistema y metodo para iluminar moduladores interferometricos utilizando retroiluminacion.

Info

Publication number: MXPA05010233A
Application number: MXPA05010233A
Authority: MX
Inventors: Clarence Chui
Original assignee: Idc Llc
Priority date: 2004-09-27
Filing date: 2005-09-23
Publication date: 2006-03-29
Also published as: JP5128762B2; KR20100116568A; KR101278523B1; SG121042A1; JP2006099056A; US8040588B2; TW200617452A; EP1640776A1; BRPI0503908A; KR20060091041A; US20120001962A1; US20060209384A1; CA2514346A1; US7349139B2; TWI403769B; JP2011039536A; AU2005203282A1; RU2005129957A; US7355780B2; CN102608755A

Abstract

Se describe un dispositivo de disposicion de moduladores interferometricos con retroiluminacion. El dispositivo de disposicion de moduladores interferometricos comprende una pluralidad de elementos de moduladores interferometricos en donde cada uno de los moduladores interferometricos comprende una cavidad optica. La disposicion de moduladores interferometricos incluye una region de abertura optica, y por lo menos un elemento de reflexion se coloca para recibir la luz que pasa a traves de la region de abertura optica y refleja por lo menos una porcion de la luz recibida en las cavidades de los elementos de moduladores interferometricos. En algunas modalidades, los elementos de moduladores interferometricos pueden separarse entre si de manera que una region de abertura optica se forme entre los elementos de moduladores interferometricos adyacentes.

Description

SISTEMA Y MÉTODO PARA ILUMINAR MODULADORES INTERFEROMÉTRICOS UTILIZANDO RETROILUMINACIÓN Campo de la Invención La invención se refiere generalmente a un sistema y método para iluminar una pantalla, y más particularmente a un sistema y método para iluminar una pantalla que utiliza retroiluminación y uno o más elementos de reflexión.

Antecedentes de la Invención Los sistemas microelectromecánicos ( EMS) incluyen elementos micromecánicos, activadores y electrónicos . Los elementos micromecánicos pueden crearse utilizando deposición, grabado al aguafuerte y/u otros procesos micromecánicos que graban al aguafuerte las partes de sustratos y/o capas del material depositado o que agregan capas para formar dispositivos eléctricos y electromecánicos. Un tipo de dispositivo de MEMS se llama modulador interferométrico . Un modulador interferométrico puede comprender un par de capas conductivas, una o ambas de las cuales pueden ser transparentes y/o reflectivas en todo o parte y tener capacidad de movimiento relativo con la aplicación de una señal eléctrica apropiada. Una placa puede comprender una capa estacionaria depositada en un sustrato, la otra placa puede comprender una membrana metálica separada de la capa estacionaria por un entrehierro. Tales dispositivos tienen un amplio rango de aplicaciones, y pueden ser benéficos en la técnica para utilizar y/o modificar las características de estos tipos de dispositivos, de manera que sus características puedan explotarse para mejorar productos existentes y crear nuevos productos que aún no se han desarrollado. Para ciertas aplicaciones, los dispositivos de moduladores interferométricos pueden acomodarse en una configuración de disposición para proporcionar un ensamble de pantalla que tiene características operacionales y de rendimiento ventajosas. Por ejemplo, estas pantallas pueden tener características ricas en color así como bajo consumo de energía. Los dispositivos de moduladores interferométricos en tales pantallas operan al reflejar la luz y producen interferencia óptica. Las disposiciones de modulares interferométricos pueden operar la luz ambiente modulada reflejada de la disposición. Cuando la luz ambiente no está disponible o es insuficiente, sin embargo, la iluminación auxiliar, tal como la proporcionada por la retroiluminación, es deseable. De este modo, sistemas y métodos para iluminar una disposición de moduladores interferométricos se necesitan.

SUMARIO DE LA INVENCIÓN El sistema, método y dispositivos de la invención, cada uno tiene varios aspectos, ninguno solo de los cuales es solamente responsable por sus atributos deseables. Sin limitar el alcance de esta invención, sus características más prominentes ahora se discutirán brevemente. Después de considerar esta discusión, y particularmente después de leer la sección titulada "Descripción Detallada de la Invención" uno entenderá cómo las características de esta invención proporcionan ventajas sobre otros dispositivos de pantalla. Una modalidad de la invención comprende un modulador de luz espacial que comprende medios para modular la luz . El medio de modulación de luz comprende primer medio para interactuar con la luz y segundo medio para interactuar con la luz . El primero y segundo medios de interacción de luz forman un medio para interferir la luz . El segundo medio de interacción de luz se puede mover con respecto al primer medio de interacción de luz. El modulador de luz espacial además comprende medios para soportar el primer y segundo medio de interacción de luz, medios para pasar la luz a través del medio de modulación de luz, y medios para reflejar la luz. El medio de reflexión de luz se forma entre el medio de soporte y el medio de modulación de luz y se configura para recibir la luz que pasa a través del medio de paso de luz para reflejar por lo menos una porción de la luz recibida al medio de interferencia. Otra modalidad de la invención comprende un método para fabricar un modulador de luz espacial. Este método comprende formar por lo menos un elemento de reflexión en un sustrato, y formar una pluralidad de elementos de modulación de luz arriba de por lo menos un elemento de reflexión sobre el sustrato para formar por lo menos una porción de una disposición de modulación de luz . Cada uno de los elementos de modulación de luz comprende primera y segunda superficies ópticas que definen una cavidad, donde la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica. La disposición de modulación de luz tiene por lo menos una región de abertura ópticamente transmisiva. Por lo menos un elemento de reflexión se configura para recibir la luz a través de por lo menos una región de abertura y reflejar por lo menos una porción de la luz recibida en la cavidad. Otra modalidad de la invención comprende un método de retroiluminación, una disposición de moduladores interferométricos . El método comprende activar una fuente de luz próxima a un primer lado de una pluralidad de elementos de modulación interferométricos que forman por lo menos una porción de la disposición de moduladores interferométricos . El método además comprende reflejar la luz de la fuente de luz a un segundo lado opuesto de la pluralidad de elementos de moduladores interferométricos con uno o más elementos de reflexión colocados entre un sustrato y la pluralidad de elementos de moduladores interferométricos formados en el sustrato. Aún otra modalidad incluye un dispositivo, que comprende una disposición de modulación de luz que comprende una pluralidad de elementos de modulación de luz, cada uno teniendo una cavidad definida por la primera y segunda superficies ópticas, la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica, por lo menos una región de abertura óptica en la disposición de modulación de luz, y por lo menos un elemento de reflexión formado entre un sustrato y la pluralidad de elementos de modulación de luz y configurado para recibir la luz que pasa a través de la región de abertura óptica y para reflejar por lo menos una porción de la luz recibida en la cavidad. Otra modalidad incluye una pantalla que comprende medios para modular la luz dispuestos en el sustrato, medios para producir luz próximos a un primer lado del medio para modular luz; y medios para reflejar la luz desde una posición entre un sustrato y el medio para modular la luz formada en el sustrato a un segundo lado opuesto del medio para modular luz.

BREVE DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS La Figura 1 es. una vista isométrica que representa una porción de una modalidad de una pantalla de moduladores interferométricos en la cual una capa reflectiva movible de un primer modulador interferométrico está en una posición liberada y una capa reflectiva móvil de un segundo modulador interferométrico está en una posición activada. La Figura 2 es un diagrama en bloque del sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que incorpora una pantalla de moduladores interferométricos de 3x3. La Figura 3 es un diagrama de la posición de espejo móvil versus voltaje aplicado para una modalidad ejemplar de un modulador interferométrico de la Figura 2. La Figura 4 es una ilustración de un conjunto de voltajes de filas y columnas que pueden utilizarse para impulsar una pantalla de moduladores interferométricos . Las Figuras 5A y 5B ilustran un diagrama de tiempos ejemplar para señales de filas y columnas que pueden utilizarse para describir un cuadro para desplegar datos en la pantalla de moduladores interferométricos de 3x3 de la Figura 2.

La Figura 6? es un corte transversal del dispositivo de la Figura 1. La Figura 6B es un corte transversal de una modalidad alternativa de un modulador interferométrico. La Figura 6C es un corte transversal de otra modalidad alternativa de un modulador interferométrico . La Figura 7 es una vista en planta de una disposición de moduladores interferométricos que muestra electrodos para impulsar moduladores interferométricos . La Figura 8A es una vista en planta de una modalidad de una disposición · de moduladores interferométricos que comprende una pluralidad de elementos de moduladores interferométricos separados por regiones de abertura . La Figura 8B es una vista en corte transversal de la disposición de moduladores interferométricos de la Figura 8A que muestra la iluminación de un elemento de retroiluminación . La Figura 9? es una vista en corte transversal de una modalidad de un elemento de reflexión que comprende más de un material. La Figura 9B es una vista en corte transversal de una modalidad de un elemento de reflexión convexo formado en una cavidad. La Figura 9C es una vista en corte transversal de una modalidad de un elemento de reflexión cóncavo formado en una cavidad. La Figura 10 es una vista en corte transversal de un elemento de reflexión y una máscara configurada para ocultar el elemento de reflexión del visualizador . La Figura 11 es una vista en planta de una disposición de moduladores interferométricos que muestra una capa de electrodo superior diseñada para formar una pluralidad de regiones de abertura óptica, para la transmisión de la luz a través de las mismas. Las Figura 12A y 12B son diagramas de bloque de sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo de pantalla visual que comprende una pluralidad de moduladores interferométricos .

DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LA INVENCIÓN Como se describe más completamente en lo siguiente, en ciertas modalidades preferidas, uno o más elementos de reflexión pueden integrarse en una pantalla para dirigir la iluminación de una retroiluminación para elementos moduladores interferométricos cercanos. Una disposición de moduladores interferométricos puede incluir una o más regiones de abertura a través de las cuales la iluminación de la fuente de retroiluminación se propaga. Las regiones de aberturas pueden localizarse por ejemplo entre los elementos de moduladores interferométricos adyacentes. Uno o más elementos de reflexión se forman entre un sustrato y la disposición de moduladores interferométricos . Los elementos de reflexión pueden colocarse para recibir la luz que pasa a través de las regiones de abertura y reflejar la luz recibida en cavidades ópticas de los moduladores interferométricos . Los elementos de reflexión pueden tener superficies curvadas o inclinadas que dirigen la luz como se desea. Los elementos de reflexión pueden contener materiales reflectivos tales como aluminio o plata. En ciertas modalidades, los elementos de reflexión pueden contener un material base tal como un material fotoresist y un material sobrepuesto reflectivo tal como aluminio o plata. Estos elementos de reflexión pueden formarse sobre o en el sustrato y pueden cubrirse por planarización. La eficiencia de la retroiluminación puede mejorarse con tales elementos de reflexión. Estos elementos de reflexión también pueden evitar fugas de luz a través de la parte frontal de la pantalla. La siguiente descripción detallada se dirige a ciertas modalidades especificas de la invención. Sin embargo, la invención puede representarse en una pluralidad de diferentes formas. En esta descripción, se hace referencia a los dibujos en donde partes similares se designan con números similares a través de las mismas. Como será aparente a partir de la siguiente descripción, la invención puede implementarse en cualquier dispositivo que se configure para desplegar una imagen, ya sea en movimiento (por ejemplo, video) , o estacionaria (por ejemplo, imagen fija), y ya sea con texto o con imágenes. Más particularmente, se contempla que la invención puede implementarse en, o asociarse con una variedad de dispositivos electrónicos, tales como, pero no limitados a teléfonos móviles, dispositivos inalámbricos, asistentes de datos personales (los PDA) , computadoras de bolsillo o portátiles, receptores/navegadores de GPS, cámaras, reproductores de MP3, videocámaras, consolas de juegos, relojes de muñecas, relojes, calculadoras, monitores de televisión, pantallas de panel plano, monitores de computadora, auto-pantalla (por ejemplo, pantalla de odómetro etc.), controles y/o pantallas de cabina, pantalla de vistas de cámara (por ejemplo, pantalla de una cámara de vista posterior en un vehículo) , fotografías electrónicas, anuncios o señales electrónicos, proyectores, estructuras arquitectónicas, empacado y estructuras estéticas, (por ejemplo, pantalla de imágenes en una pieza de joyería) . Los dispositivos de MEMS de estructura similar a aquellos descritos en la presente también pueden utilizarse en aplicaciones sin pantalla tal como en dispositivos electrónicos de conmutación. Una modalidad de pantalla de moduladores interferométricos, que comprende un elemento de pantalla de MEMS interferométrico se ilustra en la Figura 1. En estos dispositivos, los pixeles están ya sea en un estado luminoso u oscuro. En el estado luminoso ("encendido" o "abierto") , el elemento de pantalla refleja una porción grande de luz visible incidente a un usuario. Cuando está en el estado oscuro ("apagado" o "cerrado") el elemento de pantalla refleja poca luz visible incidente al usuario. Dependiendo de la modalidad, las propiedades de reflectancia de la luz de los estados de "encendido" y "apagado" pueden invertirse. Los pixeles de MEMS pueden configurarse para reflejar predominantemente en colores seleccionados, permitiendo una pantalla en color además de blanco y negro. La Figura 1 es una vista isométrica que representa dos pixeles adyacentes en una serie de pixeles de una pantalla visual, en donde cada pixel comprende un modulador interferométrico de MEMS. En algunas modalidades, una pantalla de moduladores interferométricos comprende una disposición de filas/columnas de estos moduladores interferométricos . Cada modulador interferométrico incluye un par de capas reflectivas colocadas a una distancia variable y controlable de uno al otro para formar una cavidad óptica resonante con al menos una dimensión variable. En una modalidad, una de las capas reflectivas puede moverse entre dos posiciones. En la primera posición, referida en la presente como el estado liberado, la capa móvil se coloca a una distancia relativamente larga desde una capa parcialmente reflectiva fija. En la segunda posición, la capa móvil se coloca más estrechamente adyacente a la capa parcialmente reflectiva . La luz incidente que se refleja de las dos capas interfiere constructiva o destructivamente dependiendo de la posición de la capa reflectiva móvil, produciendo ya sea un estado general reflectivo o no reflectivo para cada pixel. La porción representada por la disposición de pixeles en la Figura 1, incluye dos moduladores 12a y 12b interferométricos adyacentes. En el modulador 12a interferométrico a la izquierda, una capa 14a móvil y altamente reflectiva se ilustra en una posición liberada a una distancia predeterminada desde una capa 16a parcialmente reflectiva fija. En el modulador 12b interferométrico a la derecha, la capa 14b altamente reflectiva móvil se ilustra en una posición activada adyacente a la capa 16b parcialmente reflectiva fija. Las capas 16a, 16b fijas son eléctricamente conductivas, parcialmente transparentes y parcialmente reflectivas, y pueden fabricarse por ejemplo, al depositar una o más capas, cada una de cromo y de indio-estaño-óxido sobre un sustrato 20 transparente. Las capas se diseñan en tiras paralelas, y pueden formar electrodos de filas en un dispositivo de pantalla como se describe además en lo siguiente. Las capas 14a, 14b móviles pueden formarse como una serie de tiras paralelas de una capa o capas de metal depositado (ortogonales a los electrodos 16a, 16b de fila) depositadas en las partes superiores de los postes 18 y en un material de sacrificio de intervención depositado entre los postes 18. Cuando el material de sacrificio se graba al aguafuerte, las capas de metal deformable se separan de las capas de metal fijas mediante un entrehierro 19 definido. Un material altamente conductivo y reflectivo tal como aluminio, puede utilizarse para las capas deformables y estas tiras pueden formar electrodos de columnas en un dispositivo de pantalla. Sin voltaje aplicado, la cavidad 19 permanece entre las capas 14a, 16a y la capa deformable está en un estado mecánicamente relajado como se ilustra por el pixel 12a en la Figura 1. Sin embargo, cuando una diferencia de potencia se aplica a una fila y columna seleccionadas, el condensador formado en la intersección de los electrodos de filas y columnas en el pixel correspondiente, se cargan, y las fuerzas electrostáticas jalan los electrodos juntos. Si el voltaje es lo suficientemente elevado, la capa móvil se deforma y se fuerza contra la capa fija (un material dieléctrico el cual no se ilustra en esta Figura puede depositarse en la capa fija para evitar cortocircuito y controlar la distancia de separación) como se ilustra por el pixel 12b a la derecha de la Figura 1. El comportamiento es el mismo independientemente de la polaridad de la diferencia de potencia aplicada. De esta forma, la activación de filas/columnas que puede controlar los estados reflectivos versus no reflectivos de los pixeles es análoga de muchas formas a aquella utilizada en LCD convencional y otras tecnologías de pantalla. Las Figuras 2 a 5 ilustran un proceso y sistema ejemplar para utilizar una disposición de moduladores interferométricos en una aplicación de pantalla. La Figura 2 es un diagrama de bloque del sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que puede incorporar aspectos de la invención. En la modalidad ejemplar, el dispositivo electrónico incluye un procesador 21 el cual puede ser cualquier microprocesador de propósito general de uno solo o varios chips, tal como una ARM, Pentium®, Pentium II®, Pentium III®, Pentium IV®, Pentium® Pro, un 8051, una MPIS®, una Power PC®, una ALPHA®, o cualquier microprocesador de propósito especial tal como un procesador de señal digital, microcontrolador, una disposición de puerta programable. Como es convencional en la técnica, el procesador 21 puede configurarse para ejecutar uno o más módulos de software. Además de ejecutar un sistema operativo, un procesador puede configurarse para ejecutar una o más aplicaciones de software, incluyendo un navegador de red, una aplicación telefónica, un programa de correo electrónico, o cualquier otra aplicación de software . En una modalidad, el procesador 21 también se configura para comunicarse con un controlador 22 de disposición. En una modalidad, el controlador 22 de disposición incluye un circuito 24 impulsor de fila y un circuito 26 impulsor de columna que proporciona señales a una disposición 30 de pixeles. La sección transversal de la disposición ilustrada en la Figura 1 se muestra por las lineas 1-1 en la Figura 2. Para moduladores interferométricos de E S, el protocolo de activación de filas/columnas puede tener ventaja de una propiedad de histéresis de estos dispositivos ilustrados en la Figura 3. Puede requerir, por ejemplo, una diferencia de potencia de 10 voltios para provocar que una capa móvil se deforme del estado liberado al estado activado. Sin embargo, cuando el voltaje se reduce de ese valor, la capa movible mantiene su estado cuando el voltaje cae nuevamente por debajo de 10 voltios. En la modalidad ejemplar de la Figura 3, la capa móvil no se libera completamente hasta que el voltaje cae por debajo de 2 voltios. De este modo, existe un margen de voltaje, aproximadamente 3 a 7 V en el ejemplo ilustrado en la Figura 3, donde existe una ventana de voltaje aplicado dentro de la cual el dispositivo es estable ya sea en el estado liberado o activado. Esta se refiere en la presente, como la "ventana de histéresis" o "ventana de estabilidad". Para una dispositivo de pantalla que tiene las características de histéresis de la Figura 3, el protocolo de activación de filas/columnas, puede diseñarse de manera que durante la estroboscopia de filas, los pixeles en la fila con estroboscopia que van a activarse se exponen a una diferencia de voltaje de aproximadamente 10 voltios, y los voltajes que van a liberarse se exponen a una diferencia de voltaje de casi cero voltios. Después de la estroboscopia, los pixeles se exponen a una diferencia de voltaje de estado estable de aproximadamente 5 voltios de manera que pueden permanecer en cualquier estado en que los puso la estroboscopia de filas. Después de describirse, cada pixel ve una diferencia de potencia dentro de la "ventana de estabilidad" de 3-7 voltios en este ejemplo. Esta característica hace al diseño de pixeles ilustrado en la Figura 1 estable bajo las mismas condiciones de voltaje aplicado ya sea en un estado pre-existente activado o liberado. Puesto que cada pixel del modulador interferométrico ya sea en el estado activado o liberado, esencialmente es un condensador formado de las capas reflectivas fija y móvil, este estado estable puede mantenerse en un voltaje dentro de la ventana de istéresis con casi ninguna disipación de energía. Esencialmente, nada de corriente fluye en el pixel si el potencial aplicado es fijo . En aplicaciones típicas, un cuadro de pantalla puede crearse al ajustarse el conjunto de electrodos de columnas de acuerdo con el conjunto deseado de pixeles activados de la primera fila. Un impulso de fila entonces se aplica al electrodo de la fila 1, activando los pixeles que corresponden a las líneas de columna ajustada. El conjunto ajustado de los electrodos de columnas, entonces se cambia para corresponder al conjunto deseado de pixeles activados en la segunda fila. Entonces se aplica un impulso al electrodo de la fila 2, activando los pixeles apropiados en la fila 2 de acuerdo con los electrodos de columna ajustados. Los pixeles de la fila 1 no se afectan por el impulso de la fila 2, y permanecen en el estado en que se pusieron durante el impulso de la fila 1. Esto puede repetirse durante toda la serie de filas en una forma secuencial para producir el cuadro. Generalmente, los cuadros se renuevan y/o actualizan con nuevos datos de despliegue al repetir continuamente este proceso y cierto número deseado de cuadros por segundo. Una amplia variedad de protocolos para impulsar electrodos de filas y columnas de disposiciones de pixeles para producir cuadros de pantalla también se conocen bien y pueden utilizarse junto con la presente invención. Las Figuras 4 y 5 ilustran un protocolo de activación posible para crear un cuadro de pantalla en la pantalla 3x3 de la Figura 2. La Figura 4 ilustra un conjunto posible de niveles de voltaje de filas y columnas que pueden utilizarse para que los pixeles muestren las curvas de histéresis de la Figura 3. En la modalidad de la Figura 4r activar un pixel involucra establecer la columna apropiada en VpoiariZación y la fila apropiada en +??, lo cual puede corresponder a -5 voltios y a +5 voltios, respectivamente. Liberar el pixel se logra al establecer la columna apropiada en +Vpoiarización en el mismo +AV, produciendo una diferencia de potencia de cero voltios a través del pixel. En estas filas donde el voltaje de fila se mantiene el cero voltios, los pixeles son estables en cualquier estado en donde se pusieron originalmente, independientemente de si la columna está en +v"poiariZaci6n o -Vpolari.zaci.ori · La Figura 5B es un diagrama de tiempos que muestra una serie de señales de filas y columnas aplicadas a la disposición de 3x3 de la Figura 2 que resultará en la disposición de pantalla ilustrada en la Figura 5Ar donde los pixeles activados no son reflectivos. Antes de describir el cuadro ilustrado en la Figura 5A, los pixeles pueden estar en cualquier estado, y en este ejemplo, todos las filas están en cero voltios, y todas las columnas están en +5 voltios. Con estos voltajes aplicados, todos los pixeles son estables en sus estados existentes, activado o liberado . En el cuadro de la Figura 5A, los pixeles (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) y (3,3) se activan. Para lograr esto, durante un "tiempo de linea" para la fila 1, las columnas 1 y 2 se establecen en -5 voltios, y la columna 3 se establece en +5 voltios. Esto no cambia el estado de cualquiera de los pixeles de manera que todos los pixeles permanecen en la ventana de estabilidad de 3-7 voltios. La fila 1 entonces tiene estroboscopia con un impulso que va de 0 hasta 5 voltios, y nuevamente a cero. Esto activa los pixeles (1,1) y (1,2) y libera el pixel (1,3). Ningún otro pixel en la disposición se afecta. Para establecer la fila 2 como se desea, la columna 2 se establece en -5 voltios y las columnas 1 y 3 se establecen en +5 voltios. La misma estroboscopia aplicada a la fila 2 entonces activará el pixel (2,2) y liberará los pixeles (2,1) y (2,3). Nuevamente, ningún otro pixel de la disposición se afecta. La fila 3 se establece similarmente al establecer las columnas 2 y 3 en -5 voltios, y la columna 1 en +5 voltios.

La estroboscopia de la fila 3 establece los pixeles de la fila 3 como se muestra en la Figura 5A. Después de describir el cuadro, los potenciales de fila son cero, y los potenciales de columna pueden permanecer en cualquiera de +5 o -5 voltios, y la pantalla entonces es estable en la disposición de la Figura 5A. Se apreciará que el mismo procedimiento puede emplearse para disposiciones de docenas o cientos de filas y columnas. También se apreciará que el tiempo, secuencia y niveles de voltaje utilizados para realizar la activación de filas y columnas puede variarse ampliamente dentro de los principios generales representados en lo anterior, y el ejemplo anterior solamente es ejemplar, y cualquier método de voltaje activación puede utilizarse con la presente invención. Los detalles de la estructura de los moduladores interferométricos que operan de acuerdo con los principios establecidos en lo anterior, pueden variar ampliamente. Por ejemplo, las Figuras 6A-6C ilustran tres diferentes modalidades de la estructura de espejo móvil. La Figura 6A es un corte transversal de la modalidad de la Figura 1, en donde una tira de material 14 de metal se deposita en los soportes 18 que se extienden ortogonalmente . En la Figura 6B, el material 14 reflectivo móvil se une a los soportes en las esquinas solamente, en las correas 32. En la Figura 6C, el material 14 reflectivo móvil se suspende de una capa 34 deformable. Esta modalidad tiene beneficios debido a que el diseño y materiales estructurales utilizados para el material 14 reflectivo pueden optimizarse con respecto a las propiedades ópticas, y los diseños y materiales estructurales utilizados para la capa 34 deformable pueden optimizarse con respecto a las propiedades mecánicas deseadas. La producción de varios tipos de dispositivos interferométricos se describe en una variedad de documentos publicados, que incluyen por ejemplo, la Solicitud Publicada Norteamericana 2004/0051929. Una amplia variedad de técnicas bien conocidas pueden utilizarse para producir las estructuras antes descritas e involucra una serie de etapas de deposición, diseño y grabado al aguafuerte de material . Un "modulador interferométrico" tal como el que se incluye, por ejemplo, en una disposición de moduladores interferométricos que forma un modulador de luz espacial también puede referirse en la presente como "un elemento de modulador interferométrico" . La Figura 7 es una vista superior de una disposición 500 de moduladores interferométricos ejemplar en un sustrato 554 sustancialmente transparente, tal como vidrio. En un proceso tal como se describe en lo anterior, las capas de material se diseñan para formar columnas 550?-C de electrodo inferiores y filas 552A-C de electrodo superiores, como se ilustra en la Figura 7. Aunque no visibles en la Figura 7, las cavidades ópticas o etalones definidos por las superficies de espejo superior e inferior (no mostradas) se crean en la intersección de las filas 552A-C y columnas 554A-C de electrodos. En la modalidad ilustrada, tres columnas 550A-C de electrodos y tres filas 552A-C de electrodos que forman nueve elementos 525 de moduladores interferométricos se muestran, aunque dispositivos 500 más grandes o más pequeñas pueden contener más o menos moduladores interferométricos. Las configuraciones alternativas también son posibles. Por ejemplo, el elemento 525 de modulador interferométrico no necesita ser del mismo tamaño y forma y no necesita acomodarse en columnas verticales y filas horizontales. Alternativamente, el espacio ocupado por el elemento 525 de modulador interferométrico en una intersección dada de un electrodo de columna y un electrodo de fila puede comprender de hecho una pluralidad de elementos de moduladores interferométricos más pequeños en dimensión de aquellos ilustrados. Adicionalmente, la disposición 500 también puede fabricarse con distintos electrodos mecánicos superiores, por ejemplo, uno para cada modulador 525 interferométrico en lugar de un solo electrodo 552 que se extiende a través de una fila de moduladores interferométricos. Los electrodos mecánicos superiores discretos pueden ponerse en contacto eléctricamente, por ejemplo, a través de una capa separada. Adicionalmente, las porciones de los electrodos (por ejemplo, los electrodos 552 mecánicos superiores) que contienen moduladores 525 individuales una en fila pueden tener un ancho reducido. Tales porciones de electrodos de ancho reducido pueden proporcionar conexiones entre los moduladores 525 interferométricos más estrechos que en lo que se muestra en la Figura 7. Las porciones de electrodos estrechas que conectan moduladores individuales pueden localizarse, por ejemplo, en las esquinas del modulador 525 interferométrico en algunas modalidades como se discute más completamente en lo siguiente. Como se muestra en la Figura 7, cada columna 550A-C se conecta eléctricamente a la zona terminal 556A-C de contacto. Cada fila 552A-C también se conecta eléctricamente a una zona terminal 556D-F de contacto. Las señales de tiempo y datos pueden conectarse a las zonas terminales 556 de contacto para dirigir la disposición de moduladores interferométricos . Como se describe en lo anterior, sin embargo, la modalidad ilustrada es ejemplar en naturaleza, ya que otras configuraciones y diseños pueden emplearse, tal como disposiciones de moduladores interferométricos sin contactos eléctricos. En ciertas modalidades, la retroiluminación se utiliza para iluminar una pantalla que comprende por lo menos una disposición 500 de moduladores interferométricos tal como se muestra en la Figura 8A. En tales configuraciones, la disposición 500 de moduladores interferométricos puede diseñarse para recibir iluminación desde la parte posterior, o un lado de no visión desde la disposición de moduladores interferométricos . En la disposición 500 mostrada en la Figura 8A, separaciones 534 entre elementos 525 de moduladores interferométricos forman regiones de abertura óptica, como se ve desde un lado de no visión desde la disposición. La parte de los moduladores 525 interferométricos que se representa en la Figura 8A corresponde a la capa 570 mecánica gue soporta los espejos superiores (no mostrados) como se describe en lo anterior junto con las Figuras 1-6C. Esta disposición 500 se fabrica con porciones 570 distintas o separadas de los electrodos mecánicos superiores, por ejemplo, uno para cada modulador 525 interferométrico, en lugar de una sola tira de electrodo que se extiende a través de una fila de moduladores interferométricos como se muestra en la Figura 7. Estas porciones 570 de la capa mecánica se separan para formar las regiones de abertura ópticamente transmisivas o espacios 574 entre los mismos. Los electrodos 570 mecánicos superiores discretos pueden conectarse eléctricamente a través de una capa separada, por ejemplo, como se describe en lo anterior. En la modalidad ejemplar ilustrada en la Figura 8A, las porciones discretas de los electrodos 570 mecánicos superiores crean un espacio en forma de tipo rejilla entre los moduladores 525 interferométricos . Las regiones 574 de aberturas ópticamente transmisivas en la capa 570 del electrodo superior pueden estar sustancialmente desprovistas de material y/o estas regiones de aberturas ópticas pueden comprender material el cual es sustancialmente transmisivo en forma óptica. Los espacios o regiones de abertura en la disposición 500 de moduladores interferométricos no se limitan a aquellas formadas entre los pixeles en una pantalla y pueden incluir, por ejemplo, espacios entre una pluralidad de elementos de moduladores interferométricos que corresponden a los elementos de subpixeles dentro de un pixel. Estos subpixeles pueden utiÜ2arse para proporcionar un margen incrementado de color o de escala de grises en pantallas de multicolor o de escala de grises, respectivamente. En algunas modalidades, la disposición de moduladores interferométricos comprende una o más regiones de abertura ópticamente transmisivas en la capa mecánica y el espejo de uno o más elementos de moduladores interferométricos. Como se discute en lo anterior, una o más regiones de abertura ópticamente transmisivas pueden estar desprovistas sustancialmente de material y/o estas regiones de abertura óptica pueden comprender material el cual sustancialmente es transmisivo en forma óptica. En una modalidad, en la disposición de moduladores interferométricos puede comprender una o más regiones de abertura ópticamente transmisiva sustancialmente centrales. Ciertas modalidades de un dispositivo de moduladores interferométricos pueden comprender regiones de abertura ópticamente transmisiva en una combinación de ubicaciones y configuraciones antes descritas, tal como regiones de abertura ópticamente transmisivas ambas entre elementos de moduladores interferométricos adyacentes y en la capa mecánica y espejo de uno o más elementos de moduladores interferométricos . En una modalidad, las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva tienen un ancho w generalmente constante. El ancho w puede determinarse por las características mínimas de tamaño y otras reglas de diseño del proceso de fabricación. En general, el espacio 574 entre porciones adyacentes de la capa 570 mecánica para diferentes moduladores 525 interferométricos es tan pequeña como es posible para evitar desperdiciar cualquier área para pixel. El ancho w sin embargo, puede ser diferente dependiendo de, por ejemplo, del tamaño y diseño del dispositivo de pantalla u otros factores y no se limita por modalidades descritas e ilustradas en la presente. Por ejemplo, las regiones 574 de abertura óptica entre distintas porciones de la capa 570 mecánica pueden hacerse más grandes que el tamaño mínimo para poder incrementar la cantidad de luz que pasa a través de la región 574 de abertura óptica y que se inyecta en los elementos 525 de moduladores interferométricos . En varias modalidades, el ancho de las regiones 574 de abertura oscila de entre aproximadamente 2 um y 15 pm, aunque anchos fuera de este margen son posibles. Además, la longitud de las regiones 574 de abertura oscila de entre aproximadamente 10 um y 100 um, aunque longitudes fuera de este margen pueden emplearse. El ancho y longitudes de las regiones 574 de abertura no necesitan ser constantes y pueden variar a través de la disposición, por ejemplo, para controlar los niveles de luz en diferentes ubicaciones en la disposición 500. Por consiguiente, el tamaño y forma de los elementos 525 de los moduladores interferométricos y las porciones correspondientes de la capa 570 mecánica no necesitan ser uniformes y pueden variar. Por ejemplo, en ciertas modalidades, el tamaño de los elementos 525 de moduladores interferométricos para diferentes subpixeles dentro de un pixel son interpolados para proporcionar niveles incrementados de color o escala de grises. La Figura 8B es una vista en corte transversal de la disposición 500 .de moduladores interferométricos de la Figura 8A, tomada a lo largo de la linea 8B-8B. La Figura 8B muestra una modalidad donde una retroiluminación 575 se coloca próxima a un primer lado 577 sin visión de la disposición 500 de moduladores interferométricos . La fuente 575 de retroiluminación se configura para propagar la luz sobre las diferentes porciones de la capa 570 mecánica y a través de las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva. En ciertas modalidades, la fuente 575 de retroiluminación se alarga en una o más dimensiones. La fuente 575 de retroiluminación mostrada en la Figura 8B, sin embargo, es ejemplar, ya que otros tipos de fuentes de retroiluminación pueden utilizarse. En algunas modalidades, la fuente 575 de retroiluminación puede comprender, por ejemplo, fuentes de luz discreta tales como diodos emisores de luz. La fuente 575 de retroiluminación también puede comprender una combinación de uno o más emisores de luz y ópticos, tal como una guia de ondas, configurada para transferir o propagar la luz desde el emisor de luz hasta la disposición 500 de moduladores interferométricos . Por ejemplo, una capa ópticamente transmisiva que se extiende a través de la disposición 500 puede utilizarse como una guía de ondas para acoplar la luz a los moduladores 525 interferométricos . Los emisores pueden disponerse en el borde de esta guia de ondas para inyectar luz en la guia de ondas . Como se muestra en la Figura 8B, para poder dirigir la luz desde la fuente 575 de retroiluminación a las cavidades 584 ópticas, en los moduladores 525 interferométricos respectivos, uno o más elementos 572 de reflexión de luz se incluyen en la pantalla. El elemento 572 de reflexión se configura para reflejar la luz desde la fuente 575 de retroiluminación que pasa a través de las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva entre los elementos 525 de moduladores interferométricos . El elemento de reflexión tiene una superficie 573 de reflexión que dirige la luz a las cavidades 574 ópticas en los moduladores 525 interferométricos. El elemento 572 de reflexión de luz también puede referirse como un "elemento de difusión", donde el elemento 572 de reflexión además se configura para difundir o desviar la luz en las cavidades 574 ópticas para llenar las cavidades con la luz. El elemento 572 de reflexión puede comprender, por ejemplo, un elemento de reflexión tipo rejilla que se alinea con las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva entre columnas y filas de elementos 525 interferométricos ópticos. Esta estructura 572 unitaria por ejemplo, puede comprender secciones reflectivas columnares o alargadas alineadas en paralelo a las filas y columnas de los moduladores 525. La Figura 8B muestra un corte transversal de las secciones de reflexión columnares o alargadas que forman parte de tal elemento 572 de reflexión tipo rejilla. La Figura 8B muestra la superficie 573 de reflexión del elemento 572 de reflexión configurado para dirigir la luz en las cavidades ópticas de los moduladores 525 interferométricos .. Alternativamente, una pluralidad de elementos 572 de reflexión que comprende, por ejemplo, una pluralidad de estructuras discretas tales como secciones alargadas separadas o puntos, pueden utilizarse. Estas estructuras discretas pueden comprender, por ejemplo, resaltos, montículos, y rebordes que tienen una superficie reflectiva. Los elementos 572 de reflexión pueden colocarse en una disposición regular (uniforme) o irregular (por ejemplo, aleatoria) . Los elementos 572 de reflexión pueden tener formas más complejas o geométricas también. Por ejemplo, un diseño tipo rejilla puede segmentarse en formas diferentes a columnas y filas (por ejemplo, elementos en forma de o "L") . Aún otras formas son posibles que pueden o no formar juntas un diseño tipo rejilla. Como se describe en lo anterior, sin embargo, en algunas modalidades, pueden utilizarse elementos 572 de reflexión sencillos . Como se muestra en la Figura 8B, el elemento 572 de reflexión se dispone en un sustrato 554 entre el sustrato y los elementos 525 de moduladores interferométricos . El elemento 572 de reflexión puede tener secciones localizadas próximas a las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva entre diferentes porciones de la capa 570 mecánica. Por consiguiente, las secciones correspondientes de la superficie 573 de reflexión están próximas a las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva. En una modalidad, el elemento 572 de reflexión o secciones del mismo se alinean con las regiones 574 de abertura, y pueden ser visibles a través de las regiones de abertura que se ven desde el lado 577 sin visión como se muestra en la Figura 8A. El elemento 572 de reflexión se configura para recibir la luz desde la fuente 575 de retroiluminación, colocada próxima al primer lado o sin visión de la disposición 500 de moduladores interferométricos donde la capa 570 mecánica se localiza (señalada por la flecha 577) , a través de las regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva y para reflejar la luz recibida a un segundo lado 579 de la disposición de modulares interferométricos visible para un visualizado . Este segundo lado 579 de la disposición de moduladores interferométricos , el cual es visible para un visualizador, está opuesto al primer lado de la disposición de moduladores interferométricos donde la fuente 575 de retroiluminación se localiza. La Figura 8B muestra adicionalmente la cavidad 584 óptica en cada elemento 525 de modulador interferométrico que se forma entre un espejo 571a superior que se extiende desde la capa 570 mecánica y un espejo 571b inferior que comprende, por ejemplo, una capa 578 de metal formada sobre el sustrato 554. Como se describe en lo anterior, la forma de la superficie 573 de reflexión en el elemento 572 de reflexión se configura para reflejar y/o para difundir la luz en la cavidad 584 óptica. En la modalidad ilustrada en la Figura 8B, el elemento 572 de reflexión tiene un corte transversal sustancialmente convexo con respecto al sustrato 554. Por consiguiente, la sección transversal del elemento de reflexión se inclina en lados opuestos con porciones de la superficie 573 de reflexión inclinadas hacia la región 574 de abertura y confrontando adyacente a las cavidades 584 ópticas, la superficie 573 de reflexión mostrada es curvada. Sin embargo, la geometría de los elementos 572 de reflexión no se limita a aquella ilustrada y descrita en la presente ya que otras geometrías se contemplan. Por ejemplo, los elementos de reflexión pueden tener secciones llanas o planas que pueden o no ser inclinadas o en declive con respecto al sustrato 554. Por ejemplo, la sección transversal puede ser de forma triangular. Otras formas también son posibles. La sección transversal por ejemplo puede ser sustancialmente cóncava. Como se describe en lo anterior, las secciones del elemento de reflexión pueden ser alargadas. Alternativamente, las secciones no necesitan ser alargadas tal como en el caso de montículos, resaltos o puntos que en algunas modalidades pueden ser general y circularmente simétricas. Alternativamente, los elementos de reflexión pueden tener una geometría no uniforme . También, aunque la superficie 573 reflectiva se muestra como sustancialmente lisa, la superficie reflectiva puede ser rugosa. La superficie reflectiva puede ser escalonada o dentada.' Como se describe en lo anterior, la reflexión desde la superficie 573 reflectiva puede ser difusa o especular. Los elementos de reflexión también pueden tratarse superficialmente para incrementar la reflectividad y los atributos de difusión. Por ejemplo, la superficie 573 reflectiva puede micro-grabarse al aguafuerte para crear, por ejemplo, más área superficial, rugosidad y/o rebordes para incrementar la deflexión/difusión de la luz. Alternativamente, la superficie 573 reflectiva puede micro-grabarse al aguafuerte para alisar la superficie 573 reflectiva, incrementando con esto la concentración de luz y posiblemente mejorando la uniformidad de la retroiluminación de la disposición de moduladores interferométricos . En una modalidad, uno o más elementos de reflexión comprenden un material con una estructura sustancialmente llana o plana y micro-rugosidad, donde el material de elemento de reflexión puede depositarse y formarse en una o más capas mediante un proceso que incluye por ejemplo, grabado al aguafuerte, recosido térmico y/o curación radiada. La micro-rugosidad puede crearse por micro-grabado al aguafuerte, control de un proceso de deposición, y/o atributos del material. En otras modalidades, uno o más elementos 572 de reflexión comprenden un material sustancial y ópticamente transmisivo y una pluralidad de partículas reflectivas suspendidas en el material transmisivo. Las partículas reflectivas de preferencia comprenden un material configurado para reflejar y/o difundir la luz incidente. Como se discute en lo anterior, uno o más elementos de reflexión pueden tener una estructura unitaria tal como una capa continua y/o los elementos de reflexión pueden comprender una pluralidad de estructuras discretas. La capa reflectiva puede comprender un diseño sustancialmente tipo rejilla en ciertas modalidades. La posición y estructura (por ejemplo, forma) de los elementos 572 de reflexión pueden manipularse para optimizar su efectividad para dirigir la luz en las cavidades 584 de moduladores interferométricos . El elemento 572 de reflexión de luz puede colocarse directamente detrás de las regiones 574 de abertura óptica en algunas modalidades, aunque el elemento de reflexión puede localizarse en forma diferente también. En una modalidad, los elementos 572 de reflexión son lo suficientemente anchos y conformados de manera que sustancialmente toda luz de la retroiluminación 575 que pasa a través de las regiones 574 de abertura se reflejan en las cavidades 584 de los elementos 525 de la disposición de moduladores interferométricos . En algunas modalidades, el ancho del elemento 572 de reflexión puede variar basándose en el tamaño de la distribución angular de la luz desde la retroiluminación 575 que pasa a través de las regiones 574 de abertura. Para una fuente de retroiluminación no colimada (es decir, que viene a través de los orificios a través de un amplio margen de ángulos) , el tamaño del elemento 572 de reflexión puede ser una función de la distancia desde la región de abertura hasta el elemento 572 de reflexión. Esta distancia puede determinarse, por ejemplo, mediante el espesor del espejo 571 superior, el espacio entre el espejo 571 y el elemento 572 de reflexión. El ancho {w) de las regiones 574 de abertura también puede ser un factor al igual que el margen del ángulo de la luz entrante a través de la región de abertura. Cuando la luz viene a través de las aberturas 574 en un margen limitado de ángulos, el elemento de reflexión puede ser más pequeño. En una modalidad, los elementos 572 de reflexión tienen un ancho sustancialmente mayor que el ancho w de las regiones 574 de abertura, y de preferencia mayor que 3w. En una modalidad, el elemento 572 de reflexión se extiende a una distancia de por lo menos w más allá de cualquier lado de la región 574 de abertura correspondiente. Los elementos 572 de reflexión extremadamente anchos, aunque efectivos para bloquear la luz de dispersión, pueden reducir la cantidad de área de pixeles disponibles para el estado reflectivo. De este modo, existe un intercambio entre seleccionar los elementos de reflexión anchos para desviar más luz y el área de pixeles disponible para el estado reflectivo del elemento 525 de modulador interferométrico . Los elementos 572 de reflexión pueden tener un ancho de aproximadamente 1 um a aproximadamente 10 um. Los elementos 572 de reflexión pueden tener secciones transversales con anchos más grandes o más pequeños en otras modalidades. El elemento 572 de reflexión puede tener un alto de entre aproximadamente 200 Á y aproximadamente 1000 Á, aunque valores fuera de este margen son posibles. El alto también puede variar con diferentes secciones del elemento 572 de reflexión localizadas en diferentes posiciones sobre un modulador 525 interferométrico y en diferentes ubicaciones en la disposición 500 que tiene diferentes altos. El elemento 572 de reflexión de preferencia comprende uno o más materiales reflectivos que pueden incluir por ejemplo, por lo menos uno de aluminio, plata, titanio, oro, y cobre. Otros materiales pueden emplearse. Además, los elementos 572 de reflexión pueden ser elementos ópticos de reflexión ya sea especulares o difusos. Como se discute en lo anterior, el elemento 572 de reflexión se forma en el sustrato 554 entre el sustrato y los elementos 525 de moduladores interferométricos . El sustrato 554 puede tener un espesor de aproximadamente 200 um y aproximadamente 2 mm o aproximadamente 2 mm a aproximadamente 5 mm, por ejemplo, o puede ser más grande o más pequeño. Los elementos 572 de reflexión se cubren por una capa de material sustancial y ópticamente transmisiva tal como un material 582 de planarización . Esta capa puede tener un espesor de aproximadamente 1 um, por ejemplo. El espaciado entre el espejo 571 y el elemento 572 de reflexión, el cual se discute en lo anterior, se refiere al espesor del material 582 de planarización. Otros materiales pueden emplearse en modalidades alternativas. Uno o más elementos 525 de moduladores interferométricos, cada uno comprendiendo cavidades 584 ópticas, se forman arriba del material 582 de planarización. Estos elementos 525 de moduladores interferométricos comprenden una pila 583 óptica formada en el material 582 de planarización, donde la pila 583 óptica comprende una capa 580 de electrodo, una capa 578 de metal, tal como cromo, y una capa 576 dieléctrica o de óxido. La capa 580 de electrodo comprende un material conductivo, tal como indio-estaño-óxido (ITO) , u óxido de zinc (ZnO) , por ejemplo, y puede ser sustancial y ópticamente transmisiva o parcialmente transmisiva. La capa 578 de metal puede comprender un material que es reflectivo tal como cromo. Otros metales también pueden emplearse. En varias modalidades, la capa 580 de electrodo tiene un espesor suficiente para ser conductivo y la capa 578 de metal puede tener un espesor suficiente para ser parcialmente reflectivo. La capa 580 de electrodo y la capa 578 de metal por ejemplo pueden tener espesores de aproximadamente 100 Á a aproximadamente 1 um, y la capa 576 dieléctrica puede tener un espesor de aproximadamente 100 a 2000 A. La capa dieléctrica también puede comprende una película óptica dieléctrica de multicapa en algunas modalidades. Las configuraciones alternativas también son posibles. Por ejemplo, las capas pueden excluirse y las capas adicionales pueden emplearse. Además, los espesores pueden estar fuera de los márgenes en otras modalidades. Como se describe en lo anterior, la capa 570 mecánica soporta un espejo 571 sobre las capas 580, 578, 576 de electrodo de metal y dieléctrica para formar la cavidad 584. Otras configuraciones son posibles. En algunas modalidades, como se discute en lo anterior, la capa 570 mecánica y el espejo 571 comprenden una o más regiones de abertura ópticamente transmisiva configurada para permitir que la luz pase desde la fuente 575 de retroiluminación a través de la misma y en una cavidad de un elemento de modulador interferométrico correspondiente. También, el electrodo 580 y/o las capas 578 de metal pueden comprender un material sustancialmente transmisivo y/o pueden comprender una pluralidad de aberturas sustancialmente transmisivas para permitir la transmisión de luz que se refleja de uno o más elementos de reflexión en una cavidad de un elemento de modulador interferométrico. Estas características se discuten en mayor detalle en lo siguiente . Los elementos 572 de reflexión pueden formarse utilizando una pluralidad de métodos conocidos en la tecnología, y un número de métodos ejemplares se discute además después de esto en referencia a las Figuras 9A-9C, las cuales ilustran una pluralidad de estructuras de elemento de reflexión ejemplares y formaciones. En la modalidad ilustrada en la Figura 9A, el elemento 572 de reflexión comprende una característica conformada, por ejemplo, un resalto 702, formado de un material base tal como un polímero. Esta característica 702 conformada se cubre por una capa 704 de superposición que comprende un material de reflexión tal como aluminio. La capa 704 de aluminio puede reflejar la luz, por ejemplo con una longitud de onda en el margen visible. Un material reflectivo diferente al aluminio puede utilizarse, tal como por ejemplo, plata, titanio, oro o cobre. Una capa de material base puede depositarse y diseñarse para formar el resalto 702 u otra forma deseada. Una capa de material 704 reflectivo puede depositarse en el material base de polímero para formar la sobrecapa reflectiva. En la modalidad ilustrada en la Figura 9B, el sustrato 554 se graba al aguafuerte para formar una cavidad 706 con un corte transversal sustancialmente rectangular. Un elemento 572 de reflexión se forma en la cavidad 706 al depositar el material reflectivo tal como metal. Una geometría sustancialmente convexa, por ejemplo, puede formarse en la cavidad 706. En una modalidad, la cavidad tiene una superficie sustancialmente convexa en la misma, y una geometría sustancialmente convexa se forma al depositar un material reflexivo sobre la superficie convexa en la cavidad. Otras geometrías son posibles. En la modalidad ilustrada en la Figura 9C, una cavidad 708 sustancialmente cóncava se forma en el sustrato 554 y una capa de material de reflexión se deposita en la cavidad 708 para formar un elemento 572 de reflexión sustancialmente cóncavo. Alternativamente, las características de superficie cóncava o convexa pueden formarse en el sustrato que no está en una cavidad, por ejemplo, al grabar al aguafuerte el sustrato y el material de reflexión puede depositarse en esta característica de superficie conformada. Como se observa en lo anterior, las estructuras de elemento de reflexión, geometrías, así como la posición ilustrada y discutida en la presente son ejemplares en naturaleza y otras estructuras, geometrías y posiciones no se excluirán. Los métodos ejemplares para formar un elemento de reflexión como se describe en lo anterior pueden comprender una deposición de un material, grabado al aguafuerte, recocido térmico, curación radiada y combinaciones de los mismos. Como se discute en referencia en la Figura 8B, los elementos 572 de reflexión pueden cubrirse por el material de planarización, el cual tiene un espesor de aproximadamente 1 um, por ejemplo. El material de planarización puede aplicarse utilizando un método tal como deposición en espín. Varios materiales de deposición en espín están disponibles que son ópticamente transmisivos . Muchos de estos materiales pueden "cocerse" para formar un material de óxido de silicio el cual es transparente. Tales materiales de deposición en espin están disponibles de Dow Corning, Inc. de Midland, MI y Clariant Life Sciences K, K de Tokio Japón. El material de planarización también puede ser un material tal como material fotoresist. Una vez que se forma el material de planarización, un proceso de planarización, tal como pulido mecánico químico (CMP) puede utilizarse para planarizar la superficie del material de planarización. Alternativamente, materiales diferentes al material de planarización pueden emplearse y múltiples capas también pueden utilizarse. La Figura 10 ilustra una modalidad de un elemento 572 reflectivo para una disposición de moduladores interferométricos donde una característica o máscara de encubrimiento se utiliza para ocultar el elemento 572 de reflexión de la vista. En una modalidad, un máscara 802 se forma sobre el sustrato 554 de vidrio y se cubre mediante una capa 804 sustancialmente transparente. El elemento 572 de reflexión entonces se forma sobre la máscara 802 transparente. De preferencia, la máscara 802 comprende un material configurado para encubrir la presencia visible del elemento 572 de reflexión. Esta máscara 802 puede ser opaca o semitransparente. La máscara 802 puede comprender un material de absorción, un material reflectivo, un material transmisivo, o una combinación de los mismos, y puede comprender materiales tales como cromo (Cr) , molibdeno (Mo) , negro de humo, tintes, etc. En ciertas modalidades, por ejemplo, la máscara 802 puede comprender materiales fotoresist (por ejemplo, espin resistente) , poliamidas, foto-amidas, polímeros inorgánicos, y/o materiales poliméricos que son ópticamente absorbentes o reflectivos inherente y sustancialmente o que tienen un material, tal como partículas de carbono (por ejemplo, negro de humo, partículas de metal, cargas y/o tintes, incorporados en el mismo de manera que la máscara 802 es sustancial y ópticamente absorbente o reflectiva en el espectro de luz visible. En ciertas modalidades, el o los materiales se seleccionan o incorporan en la máscara 892 en cantidades efectivas para proporcionar la estructura de soporte sustancial y ópticamente absorbente resultante con una apariencia oscura. Variaciones en el diseño son posibles. En una modalidad, la máscara 802 comprende un etalon o porción de un etalon. Específicamente, una modalidad de la máscara 802 comprende una primera capa parcialmente reflectiva/parcialmente transmisiva, tal como una capa de metal que comprende, por ejemplo, cromo y por lo menos una capa de material de cavidad o espaciado, tal como un material de óxido o de planarización, para formar un etalon que comprende la primera capa reflectiva (por ejemplo, de metal) y el elemento 572 de reflexión. En otra modalidad, la máscara 802 además comprende una segunda capa reflectiva entre el material de espaciado y el elemento 572 de reflexión, donde se forma un etalon mediante la primera y segunda capas reflectivas bajo el elemento 572 de reflexión. La primera y/o segunda capas reflectivas de etalon pueden comprender el mismo material que la capa 578 de metal en la pila 583 óptica. En ciertas modalidades, el etalon resulta en un color predeterminado en el lado visible o de pantalla de la disposición de moduladores interferométricos y las características de las máscaras que son indeseables para pantalla. Como se describe en lo anterior, la disposición 500 de moduladores interferométricos puede iluminarse eficientemente utilizando retroiluminación. En algunas modalidades, la luz se colima de manera que la luz que viene fuera de la fuente 575 de retroiluminación tiene un margen limitado de ángulos. De preferencia, la luz se dirige verticálmente entre las fuentes 575 de retroiluminación y la disposición 500. El margen de ángulos aceptables puede depender de la combinación de las dimensiones estructurales. Por ejemplo, si el ancho (w) de abertura es de 10 um, el ancho del elemento de reflexión es de 30 um, y la distancia entre los espejos 571 y los elementos 572 de reflexión es de 1 µp?, entonces los ángulos de escalonado (ángulos grandes con respecto al normal para el sustrato) de luz se bloquearán, y otra luz se reflejará.

La luz puede colimarse en varias formas, dependiendo de la selección de retroiluminación. Por ejemplo, algunas estructuras de retroiluminación pueden proporcionar que limitan la luz emitida dentro de un cierto margen de ángulos . Pueden emplearse lentes u otra óptica de colimación. La retroiluminación 575 también puede utilizar un filtro u otra película óptica para iluminar la luz en ángulos extremos . El elemento 572 de reflexión propagará la luz colimada desde la retroiluminación 575 hasta los moduladores interferométricos vecinos. Debido a que la luz se reflejará a una gran variedad de ángulos desde el elemento de reflexión, la luz se proporcionará a varios moduladores interferométricos desde un solo elemento de reflexión. La luz para un solo modulador interferométrico también puede venir de una pluralidad de elementos de reflexión. No es necesario, sin embargo, que la luz proporcionada por la retroiluminación comprenda luz colimada . Una imagen de ??? de otra modalidad de la disposición de moduladores interferométricos se muestra en la Figura 11. En esta disposición 500 de moduladores interferométricos, la capa 570 mecánica se diseña para formar una pluralidad de regiones 574 de abertura que rodean cada elemento 525 de modulador interferométrico. Las porciones estrechas de la capa 570 de electrodo en las esquinas de los elementos 525 de moduladores proporcionan conexión eléctrica entre los moduladores interferométricos, por ejemplo, a lo largo de una fila. Estas porciones estrechas de la capa 570 de electrodo se disponen próximas a las estructuras 599 de poste mostradas en la Figura 11. La pluralidad de regiones 574 de abertura ópticamente transmisiva permiten que la luz se propague al elemento de reflexión (no mostrado) tal como se describe en lo anterior. Las Figuras 12A y 12B son diagramas de bloque de sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo 2040 de pantalla. El dispositivo 2040 de pantalla puede ser, por ejemplo, un teléfono celular o móvil. Sin embargo, los mismos componentes del dispositivo 2040 de pantalla o pequeñas variaciones de los mismos también son ilustrativos de varios tipos de dispositivos de pantalla tales como televisiones y reproductores de medios portátiles. El dispositivo 2040 de pantalla incluye un alojamiento 2041, una pantalla 2030, una antena 2043, un altavoz 2045, un dispositivo 2048 de entrada, y un micrófono 2046. El alojamiento 2041 generalmente se forma de cualquiera de una variedad de procesos de fabricación como se conocen bien por aquellos con experiencia en la técnica, incluyendo moldeo por inyección y con formación al vacio. Además, el alojamiento 2041 puede formarse de cualquiera de una variedad de materiales, que incluyen pero no se limitan a plástico, metal, vidrio, caucho y cerámica, o una combinación de los mismos. En una modalidad, el alojamiento 2041 incluye porciones removibles (no mostradas) que pueden intercambiarse con otras porciones removibles de diferente color, o que contienen diferentes logotipos, imágenes o símbolos. La pantalla 2030 del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar puede ser cualquiera de una variedad de pantallas, que incluyen una pantalla biestable, como se describe en la presente. En otras modalidades, la pantalla 2030 incluye una pantalla de panel plano, tal como de plasma, EL, OLED, STN LCD o TFT LCD como se describe en lo anterior, o una pantalla de panel no plano, tal como una CRT u otro dispositivo tubular, como se conoce bien por aquellos con experiencia en la técnica. Sin embargo, para propósitos de describir la presente modalidad, la pantalla 2030 incluye una pantalla de moduladores interferométricos, como se describe en la presente. Los componentes de una modalidad del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar se ilustran esquemáticamente en la Figura 12B. El dispositivo 2040 de pantalla ejemplar ilustrado incluye un alojamiento 2041 y puede incluir componentes adicionales por lo menos parcialmente encerrados en el mismo. Por ejemplo, en una modalidad, el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar incluye una interfaz 2027 de red que incluye una antena 2043 la cual se acopla a un transceptor 2047. El transceptor 2047 se conecta al procesador 2021, el cual se conecta al hardware 2052 de acondicionamiento. El hardware 2052 de acondicionamiento puede configurarse para condicionar una señal (por ejemplo, filtrar una señal) . El hardware 2052 de acondicionamiento se conecta a un altavoz 2045 y un micrófono 2046. El procesador 2021 también se conecta al dispositivo 2048 de entrada y a un controlador 2029 impulsor. El controlador 2029 impulsor se acopla a una memoria temporal 2028 de cuadros y al impulsor 2022 de disposición, el cual a su vez se acopla a una disposición 2030 de pantalla. Un suministro 2050 de energia proporciona energía a todos los componentes cuando se requiere mediante el diseño del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar particular. La interfaz 2027 de red incluye la antena 2043 y el transceptor 2047 de manera que el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar pueda comunicarse con uno o más dispositivos en una red. En una modalidad, la interfaz 2027 de red también puede tener algunas capacidades de procesamiento para liberar requerimientos del procesador 2021. La antena 2043 es cualquier antena conocida por aquellos de experiencia en la técnica para transmitir y recibir señales. En una modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma IEEE 802.11, que incluye IEEE 802.11(a), (b) , o (g) . En otra modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma de BLUETOOTH. En el caso de un teléfono celular, la antena se diseña para recibir CDMA, GSM, AMPS u otras señales conocidas que se utilizan para comunicarse dentro de una red telefónica celular inalámbrica. El transceptor 2047 preprocesa las señales recibidas de la antena 2043 de manera que puedan recibirse por y además manipularse por el procesador 2021. El transceptor 2047 también procesa señales recibidas del procesador 2021 de manera que puedan transmitirse desde el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar mediante la antena 2043. En una modalidad alternativa, el transceptor 2047 puede reemplazarse por un receptor. En aún otra modalidad alternativa, la interfaz 2027 de red puede reemplazarse por una fuente de imágenes, en la cual puede almacenar o generar datos de imágenes para enviarse al procesador 2021. Por ejemplo, la fuente de imágenes puede ser un disco de video digital (DVD) , o una unidad de disco duro que contenga datos de imágenes o un módulo de software que genere datos de imágenes . El procesador 2021 generalmente controla la operación general del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El procesador 2021 recibe datos, tales como datos de imágenes comprimidos desde la xnterfaz 2027 de red o una fuente de imágenes, y procesa los datos en datos de imágenes en bruto o en un formato que se procesa fácilmente en datos de imágenes en bruto. El procesador 2021 entonces envía los datos procesados al controlador 2029 impulsor o a la memoria temporal 2028 de cuadros para su almacenaje. Los datos en bruto típicamente se refieren a la información que identifica a las características de la imagen en cada ubicación dentro de una imagen. Por ejemplo, tales características de imagen pueden incluir color, saturación y nivel de escala de grises. En una modalidad, el procesador 2021 incluye y un microcontrolador, CPU o unidad lógica para controlar la operación del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El hardware 2052 de acondicionamiento generalmente incluye amplificadores y filtros para transmitir señales al altavoz 2045 y para recibir señales desde el micrófono 2046. El hardware 2052 de acondicionamiento pueden ser componentes discretos dentro del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar, o puede incorporarse dentro del procesador 2021 u otros componentes . El controlador 2029 impulsor toma los datos de imágenes en bruto generados por el procesador 2021 ya sea directamente desde el procesador 2021 o desde la memoria temporal 2028 de cuadros y reformatea los datos de imágenes en bruto apropiadamente para la transmisión de alta velocidad al impulsor 2022 de disposición. Especificamente, el controlador 2029 impulsor reformatea los datos de imágenes en bruto en un flujo de datos que tiene un formato tipo reticular, de manera que tiene un orden de tiempo adecuado para explorar a través de la disposición 2030 de pantalla. Entonces, el controlador 2029 impulsor envía la información formateada al impulsor 2022 de disposición. Aunque un controlador 2029 impulsor, tal como un controlador de 1CD, con frecuencia se asocia con el procesador 2021 de sistema como un circuito integrado autónomo (IC) , tales controladores pueden implementarse de muchas formas. Pueden intercalarse en el procesador 2021 como hardware, intercalarse en el procesador 2021 como software, o integrarse completamente en hardware con el impulsor 2022 de disposición. Típicamente, el impulsor 2022 de disposición recibe la información formateada desde el controlador 2029 impulsor y reformatea los datos de video en un conjunto paralelo de formas de onda que se aplican muchas veces por segundo a las cientos y algunas veces miles de interlíneas que vienen de la matriz de pixeles x-y de la pantalla. En una modalidad, el controlador 2029 impulsor, el impulsor 2022 de disposición y la disposición 2030 de pantalla son apropiados para cualquiera de los tipos de pantallas descritos en la presente. Por ejemplo, en una modalidad, el controlador 2029 impulsor es un controlador de pantalla convencional o un controlador de pantalla biestable (por ejemplo, un controlador de moduladores interferométricos) . En otra modalidad, el impulsor 2022 de disposición es un impulsor convencional o un impulsor de pantalla biestable (por ejemplo una pantalla de moduladores interferométricos) . En una modalidad, un controlador 2029 impulsor es parte integral del impulsor 2022 de disposición. Tal modalidad es común en sistemas altamente integrados tales como teléfonos celulares, relojes de muñeca, y otras pantallas de área pequeña. En aún otra modalidad, la disposición 2030 de pantalla es una disposición de pantalla típica o una disposición de pantalla biestable (por ejemplo, una pantalla que incluye una disposición de moduladores interferométricos) . El dispositivo 2048 de entrada permite que un usuario controle la operación del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. En una modalidad, el dispositivo 2048 de entrada incluye un teclado, tal como un teclado QWERTY o un teclado telefónico, un botón, un conmutador, una pantalla sensible al tacto, o una membrana sensible a la presión o al calor. En una modalidad, el micrófono 2046 es un dispositivo de entrada para el dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. Cuando el micrófono 2046 se utiliza para ingresar datos al dispositivo, pueden proporcionarse comandos de voz por un usuario para controlar las operaciones del dispositivo 2040 de pantalla ejemplar. El suministro 2050 de energía puede incluir una variedad de dispositivos de almacenaje de energía como se conoce bien en la técnica. Por ejemplo, en una modalidad, el suministro 2050 de energía es una batería recargable, tal como una batería de níquel-cadmio o una batería de iones de litio. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía es una fuente de energía renovable, un condensador, una celda solar, que incluye una celda solar de plástico y pintura de celda solar. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía se configura para recibir energía desde un tomacorriente eléctrico. En algunas implementaciones, la programabilidad de control reside, como se describe en lo anterior, en un controlador impulsor que puede localizarse en varios lugares en el sistema de pantalla electrónico. En algunos casos, la programabilidad de control reside en el impulsor 2022 de disposición. Aquellos de experiencia en la técnica reconocerán que la optimización antes descrita puede implementarse en cualquier número de componentes de hardware y/o software y en varias configuraciones . Aunque moduladores de luz espaciales que comprenden disposiciones de elementos de . moduladores interferométricos se han descrito en lo anterior, en otras modalidades, otros tipos de elementos de modulación de luz que forman las disposiciones de modulación de luz pueden emplearse. Por ejemplo, otros tipos de estructuras de MEMS pueden emplearse en otras modalidades . Otros tipos de estructuras no basadas en la tecnología de MEMS también pueden utilizarse en ciertas modalidades. Como se describe en lo anterior, la invención incluye varias modalidades. Una modalidad de la invención comprende un modulador de luz espacial que comprende medios para modular la luz. El medio de modulación de luz comprende primer medio para interactuar con la luz y segundo medio para interactuar con la luz . El primer y segundo medios de interacción de luz forman un medio para interferir la luz. El segundo medio de interacción de luz se puede mover con respecto al primer medio de interacción de luz . El modulador de luz espacial además comprende medios para soportar el primer y segundo medios de interacción de luz, medios para pasar la luz a través del medio de modulación de luz, y medios para reflejar la luz. El medio de reflexión de luz se forma entre el medio de soporte y el medio de modulación de luz y se configura para recibir la luz que pasa a través del medio de paso de luz para reflejar por lo menos una porción de la luz recibida al medio de interferencia. Otra modalidad de la invención comprende un método para fabricar un modulador de luz espacial . Este método comprende formar por lo menos un elemento de reflexión en un sustrato, y formar una pluralidad de elementos de modulación de luz arriba de por lo menos un elemento de reflexión en el sustrato para formar por lo menos una porción de la disposición de modulación de luz. Cada uno de los elementos de modulación de luz comprende primera y segunda superficies ópticas que definen una cavidad, en donde la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica. La disposición de modulación de luz tiene por lo menos una región de abertura ópticamente transmisiva. Por lo menos un elemento de reflexión se configura para recibir - la luz a través de por lo menos una región de abertura y reflejar por lo menos una porción de la luz recibida en la cavidad. Formar por lo menos un elemento de reflexión puede comprender depositar por lo menos uno de aluminio, plata, titanio, oro y cobre, y formar por lo menos un elemento de reflexión puede comprender depositar uno o más materiales para formar una superficie sustancialmente inclinada, una geometría sustancialmente convexa, o una geometría sustancialmente cóncava. En algunas modalidades, formar por lo menos un elemento de reflexión comprende formar una estructura con base conformada en el sustrato, y depositar material de reflexión en la estructura de base conformada . El método además puede comprender formar una cavidad en el sustrato, y formar por lo menos un elemento de reflexión sustancialmente en la cavidad del sustrato. Formar por lo menos un elemento de reflexión puede comprender depositar una capa de material de reflexión en el sustrato y tratar superficialmente la capa para incrementar la reflectividad y/o difusión del material de reflexión. En algunas modalidades, el método además comprende formar una característica para encubrir en el sustrato alineado con por lo menos un elemento de reflexión para encubrir la presencia visible de por lo menos un elemento de reflexión. La característica para encubrir puede comprender una máscara de por lo menos uno de un material de absorción, un material reflectivo, y un material transmisivo. La característica para encubrir puede comprender una capa de máscara de por lo menos uno de material de negro de humo, un tinte, cromo y molibdeno. En algunas modalidades, la característica para encubrir comprende una película de metal para formar un etalon que comprende la película de metal y por lo menos un elemento de reflexión. El etalon puede configurarse para aparecer al visualizador como un color predeterminado. En una modalidad del método, formar por lo menos un elemento de reflexión comprende depositar un material compuesto en la superficie del sustrato, en donde el material compuesto comprende partículas reflectivas suspendidas en un material sustancialmente transparente . El material compuesto puede depositarse en lugares discretos en la superficie de sustrato para formar una pluralidad de elementos de reflexión, o el material compuesto puede depositarse en la superficie del sustrato como una capa continua, formando con esto una estructura de elemento de reflexión sencilla. En algunas modalidades, el elemento de modulación de luz comprende un elemento de modulador interferométrico y la disposición de modulación de luz comprende una disposición de moduladores interferométricos . En otras modalidades, sin embargo, otros tipos de moduladores de luz que incluyen otros tipos de estructuras de ME S pueden emplearse . Otra modalidad de la invención comprende un método de retroiluminación en una disposición de moduladores interferométricos . El método comprende activar una fuente de luz próxima a un primer lado de una pluralidad de elementos de modulación interferométricos que forman por lo menos una porción de la disposición de moduladores interferométricos . El método además comprende reflejar la luz desde la fuente de luz hasta un segundo lado opuesto de la pluralidad de elementos de moduladores interferométricos con uno o más elementos de reflexión colocados entre un sustrato y la pluralidad de elementos de moduladores interferométricos formados en el sustrato. Aún otra modalidad incluye un dispositivo, que comprende una disposición de modulación de luz que comprende una pluralidad de elementos de modulación de luz cada uno teniendo una cavidad definida por la primera y segunda superficies ópticas, la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica, por lo menos una región de abertura óptica en la disposición de modulación de luz, y por lo menos un elemento de reflexión formado entre el sustrato y la pluralidad de elementos de modulación de luz y configurado para recibir la luz que pasa a través de la región de abertura óptica y para reflejar por lo menos una porción de la luz recibida a la cavidad. Otra modalidad incluye una pantalla que comprende medios para modular la luz dispuestos en un sustrato, medios para producir la luz próximos a un primer lado del medio para modular la luz; y medios para reflejar la luz desde una posición entre un sustrato y el medio para modular la luz formado en el sustrato hasta un segundo lado opuesto del medio para modular luz . Se entenderá por aquellos de experiencia en la técnica que varias y numerosas modificaciones pueden hacerse sin apartarse del espíritu de la presente invención. Por lo tanto, se debe entender claramente que las formas de la presente invención son ilustrativas solamente y no se pretenden para limitar el alcance de la presente invención.

Claims

NOVEDAD DE LA INVENCIÓN Habiendo descrito la presente invención se considera como novedad y por lo tanto se reclama como propiedad lo descrito en las siguientes reivindicaciones.
REIVINDICACIONES 1. Un modulador de luz espacial, caracterizado porque comprende : medios para modular luz que comprende: primer medio para interactuar con la luz; y segundo medio para interactuar con la luz, el primer y segundo medios de interacción de luz forman un medio para interferir con la luz, y el segundo medio de interacción de luz se puede mover con respecto al primer medio de interacción de luz; medios para soportar el primer y segundo medios de interacción de luz; medios para pasar la luz a través del medio de r modulación de luz; y medios para reflejar la luz formados entre el medio de soporte y el medio de modulación de luz y configurados para recibir la luz que pasa a través del medio de paso de luz para reflejar por lo menos una porción de la luz recibida al medio de interferencia de luz. 2. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el medio de modulación de luz comprende una pluralidad de elementos de modulación de luz .
3. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque la pluralidad de elementos de modulación de luz comprende moduladores interferométricos .
4. El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1, 2 ó 3, caracterizado porque el primer y segundo medios de interacción de luz comprenden primera y segunda superficies ópticas.
5. El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1, 2, 3 ó 4, caracterizado porque el medio de interacción de luz comprende una cavidad óptica.
6. El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicación 1, 2, 3, 4 ó 5, caracterizado porque el medio que pasa la luz comprende por lo menos una región de abertura óptica en la pluralidad de elementos de modulación de luz.
7. El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1, 2, 3, 4, 5 ó 6, caracterizado porque el medio de soporte comprende un sustrato.
8. El modulador de luz espacial de conformidad con las reivindicaciones 1, 2, 3, 4, 5, 6 ó 7, caracterizado porque el medio de reflexión de luz comprende por lo menos un elemento de reflexión.
9. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 6, caracterizado porque por lo menos una región de abertura óptica se coloca en una ubicación sustancialmente central en la pluralidad de elementos de modulación de luz .
10. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión comprende por lo menos uno de aluminio, plata, titanio, oro y cobre.
11. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión tiene una superficie inclinada.
12. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión tiene una geometria sustancialmente convexa.
13. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión tiene una geometria sustancialmente cóncava.
14. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado además porque comprende una máscara alineada con por lo menos un elemento de reflexión para por lo menos obstruir parcialmente una vista de por lo menos un elemento de reflexión.
15. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 14, caracterizado porque la máscara comprende por lo menos una porción de un etalon.
16. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 15, caracterizado porque la porción del etalon comprende una o más capas de material parcialmente reflectivo, parcialmente transmisivo y una o más capas de espaciado.
17. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión comprende por lo menos una característica conformada y un material de reflexión sobre la característica conformada.
18. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque el sustrato comprende por lo menos una cavidad, y en donde por lo menos un elemento de reflexión se forma en la cavidad del sustrato.
19. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión comprende secciones interconectadas para formar una estructura unitaria continua que se extiende próxima a una pluralidad de elementos de modulación de luz .
20. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque la pluralidad de elementos de modulación de luz comprende una capa de metal, y en donde la capa de metal tiene una pluralidad de aberturas ópticamente transmisivas.
21. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque por lo menos algunos de los elementos de modulación de luz se separan entre si para formar una región de abertura óptica entre los mismos.
22. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque por lo menos un elemento de reflexión comprende un material reflectivo en forma sustancialmente de partículas suspendido en un material sustancialmente transparente.
23. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado además porque comprende : un procesador que está en comunicación eléctrica con la pluralidad de elementos de modulación de luz, el procesador se configura para procesar datos de imágenes; y un dispositivo de memoria en comunicación eléctrica con el procesador.
24. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado además porque comprende : un circuito impulsor configurado para enviar por lo menos una señal a la pluralidad de elementos de modulación de luz.
25. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 24, caracterizado además porque comprende : un controlador configurado para enviar por lo menos una porción de los datos de imagen al circuito impulso .
26. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 25, caracterizado además porque comprende : un módulo de fuente de imágenes configurado para enviar los datos de imágenes al procesador.
27. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 26, caracterizado porgue el módulo de fuentes de imágenes comprende por lo menos uno de un receptor, transceptor y transmisor.
28. El modulador de luz espacial de conformidad con la reivindicación 25, caracterizado además porque comprende : un dispositivo de entrada configurado para recibir datos de entrada y comunicar los datos de entrada al procesador.
29. Un método para fabricar un modulador de luz espacial, caracterizado porque comprende: formar por lo menos un elemento de reflexión en un sustrato; y formar una pluralidad de elementos de modulación de luz en el sustrato arriba de por lo menos un elemento de reflexión para formar por lo menos una porción de una disposición de modulación de luz, la disposición de modulación de luz tiene por lo menos una región de abertura ópticamente transmisiva, cada elemento de modulación de luz comprende primera y segunda superficies ópticas que definen una cavidad, la segunda superficie óptica se puede mover con respecto a la primera superficie óptica, en donde por lo menos un elemento de reflexión se configura para recibir la luz a través de por lo menos una región de abertura y reflejar por lo menos una porción de la luz de recibida en la cavidad.
30. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende depositar por lo menos uno de aluminio, plata, titanio, oro y cobre.
31. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende formar una superficie sustancialmente inclinada.
32. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porgue formar por lo menos un elemento de reflexión comprende formar una geometría sustancialmente convexa.
33. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende formar una geometría sustancialmente cóncava.
34. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porgue por lo menos un elemento de reflexión se forma en una capa de material formado en el sustrato.
35. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado además porque comprende formar una característica para encubrir en el sustrato alineado con por lo menos un elemento de reflexión para encubrir la presencia visible de por lo menos un elemento de reflexión.
36. El método de conformidad con la reivindicación 35, caracterizado porque la característica para encubrir comprende una máscara de por lo menos un material de absorción y un material reflectivo.
37. El método de conformidad con la reivindicación 35, caracterizado porque la característica para encubrir comprende una capa de máscara de por lo menos un material de negro de humo, un tinte, cromo y molibdeno.
38. El método de conformidad con la reivindicación 35, caracterizado porque la característica para encubrir comprende una película de metal para formar un etalon que comprende la película de metal y por lo menos un elemento reflectivo .
39. El método de conformidad con la reivindicación 38, caracterizado porque el etalon tiene un espesor que provoca que el etalon refleje un color.
40. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende formar una estructura con base conformada en el sustrato, y depositar un material de reflexión en la estructura con base conformada.
41. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado además porque comprende formar una cavidad en el sustrato, y formar por lo menos un elemento de reflexión sustancialmente en la cavidad del sustrato.
42. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende depositar una capa de material de reflexión en el sustrato y tratar superficialmente la capa.
43. El método de conformidad con la reivindicación 29, caracterizado porque formar por lo menos un elemento de reflexión comprende depositar un material compuesto en la superficie del sustrato, en donde el material compuesto comprende partículas reflectivas suspendidas en un material sustancialmente transparente.
44. El método de conformidad con la reivindicación 43, caracterizado porque el material compuesto se deposita en lugares discretos en la superficie del sustrato para formar una pluralidad de elementos de reflexión.
45. Un modulador de luz espacial caracterizado porque está fabricado por el método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 29 a 44.
46. Un método de retroiluminación en una disposición de moduladores interferométricos, caracterizado porque comprende : activar una fuente de luz próxima a un primer lado de una pluralidad de elementos de modulación interferométricos que forman por lo menos una porción de la disposición de moduladores interferométricos; y reflejar la luz de la fuente de luz en un segundo lado opuesto de la pluralidad de elementos de moduladores interferométricos con uno o más elementos de reflexión colocados entre el sustrato y la pluralidad de elementos de moduladores ínterferométrieos formados en el sustrato.
47. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con una pluralidad de elementos de reflexión discretos.
48. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con uno o más elementos de reflexión que tienen superficies inclinadas .
49. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con uno o más elementos de reflexión convexos .
50. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con uno o más elementos de reflexión cóncavos.
51. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con uno o más elementos de reflexión que comprenden por lo menos uno de aluminio, plata, titanio, oro y cobre.
52. El método de conformidad con la reivindicación 46, caracterizado porque la luz se refleja con uno o más elementos de reflexión, y en donde el método además comprende enmascarar uno más elementos de reflexión para ocultar el elemento de reflexión de la vista.
53. El método de conformidad con la reivindicación 52, caracterizado además porque comprende formar por lo menos una porción de un etalon entre uno o más elementos de reflexión y un visualizador para realizar el enmascaramiento.