JP2008276044A - 液晶表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造コストの上昇を最小限に抑制しつつ、バックライト光源からの照明光の利用率を向上する。
【解決手段】第1の透明基板101の液晶層130側には、複数の信号線と複数の走査線との交差部に画素電極128が形成され、第2の透明基板103の液晶層130側には、画素電極128に対応したカラーフィルタ134R,134G,134Bが形成され、このカラーフィルタ134R,134G,134Bに対応してダイクロイックハーフミラー113R,113G,113Bを形成する。
【選択図】図1

Description

本発明は、バックライト光源からの光の利用率を向上させた液晶表示装置に関する。
液晶表示装置において、カラー表示を実現する手段としての主流の方式は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の三原色カラーフィルタに対応させた画素を並置して、各画素の明るさを任意に調整して加法混色により色を表現する方式である。三原色の画素を並置して加法混色によりカラー表示を行う方式の場合、色鮮やかなカラー表示が可能な反面、カラーフィルタを透過する波長域以外の光はカラーフィルタにより吸収され損失となるため効率が低く十分な光量を確保しようとする場合に問題が生じる。
この問題を解決する方法の一つとして、下記特許文献1に記載のような、透過させるそれぞれの所定の色の光以外の可視域の光を反射する性質を有するフィルター(ダイクロイックフィルター、ダイクロイックミラー、ブロンズ現象を引き起こす顔料フィルター等)を備えた表示装置が知られている。このように、バックライト光源からの照明光のうち、透過させるそれぞれの所定の色の光以外の可視域の光を反射する性質を有するフィルターを備えていることにより、所定の色以外の色を減衰させてしまうカラーフィルタを備えた場合と比較して、カラーフィルタによる光量の減衰を最小限に抑えることができる。なぜならば、透過させるそれぞれの所定の色の光以外の可視域の光を反射する性質を有するフィルターによって反射された光は、バックライト光源に戻り反射されて再度画素に向かうことにより再利用されるためである。したがって、液晶表示装置におけるバックライト光源からの照明光の利用率を向上することができる。
特開2004−294699号公報
一般的なダイクロイックフィルターやダイクロイックミラーは、数10層の誘電体層の積層膜から構成されるため、製造コストが高いことが実用上の問題点として挙げられる。本発明は、製造コストの上昇を最小限に抑制しつつ、液晶表示装置におけるバックライト光源からの照明光の利用率の向上を目的とする。
本発明は、第1の透明基板(アクティブマトリクス基板)と、第2の透明基板(カラーフィルタ基板)と、その間の液晶層と、バックライト光源とを備えた液晶表示装置において、アクティブマトリクス基板とカラーフィルタ基板との間に、カラーフィルタに対応してダイクロイックハーフミラーを形成することを特徴とする。また、一般的なダイクロイックミラーの層数を削減して、ハーフミラーとすることを特徴とする。
以上、本発明によれば、ダイクロイックミラーをハーフミラーとすることで、製造コストの上昇を最小限に抑制しつつ、また、ダイクロイックハーフミラーを内蔵することで、バックライト光源からの照明光の利用率を高くすることができる。
以下、図面を用いて、本発明の実施例を説明する。
本実施例について、図1から図3を用いて説明する。図1及び図3は、本実施例の液晶表示装置の断面図である。図2は、本実施例の液晶表示装置の平面図である。また、図1は、図2に示すA−A’部の断面図で、図3は、図2に示すB−B’部の断面図である。
なお、図2は、図1に示す第1の透明基板101上に形成されたアクティブマトリクスを含むアクティブマトリクス基板のみを示し、図1に示す第2の透明基板103上に形成されたカラーフィルタ134を含むカラーフィルタ基板と液晶層130とバックライト光源160は省略されている。また、図2は、マトリクス状に並置されているR(赤色)、G(緑色)、B(青色)画素列の一部を図示したものである。
本実施例では、図1に示すように、バックライト光源160と、第1の透明基板101と第2の透明基板103との間に保持された液晶層130から構成される。第1の透明基板101のバックライト光源160側には偏光板等の光学フィルム102が貼付されている。
第1の透明基板101の液晶層130側には、高屈折率層111、113、115と低屈折率層112、114が交互に積層されて形成されているダイクロイックハーフミラー110と、図3に示すポリシリコン層121と、ゲート絶縁膜122と、ゲート電極を兼用する走査線123と、この走査線123と同一の層で形成された共通配線136と、信号線125と、この信号線125と同一の層で形成されたソース電極144と、走査線123や共通配線136と、信号線125やソース電極144とを電気的に分離するための層間絶縁膜124と、画素電極128と、走査線123と画素電極128とを電気的に分離するための層間絶縁膜126、127と、液晶層130を配向させるための配向膜129が形成されている。
各画素においては、図2に示す信号線125からの画像信号電圧を画素電極128に伝達するための第1のトランジスタ139と第2のトランジスタ140を備えている。信号線125とポリシリコン層121とはコンタクト142を介して電気的に接続されている。ポリシリコン層121とソース電極144とはコンタクト141を介して電気的に接続されている。ソース電極144と画素電極128とはコンタクト138を介して電気的に接続されている。
すなわち、信号線125には第1のトランジスタ139のドレイン電極が接続され、第1のトランジスタ139のソース電極と第2のトランジスタ140のドレイン電極とが接続され、第2のトランジスタ140のソース電極が画素電極128に接続されている。また、第1のトランジスタ139と第2のトランジスタ140のゲート電極は走査線123に接続されている。
図1に示す第2の透明基板103の液晶層130とは反対側には偏光板等の光学フィルム104が貼付されている。第2の透明基板103の液晶層130側には、遮光層135、カラーフィルタ134、保護層133、共通電極132、液晶層130を配向させるための配向膜131等が形成されている。
各画素は、図2に示すアクティブマトリクス基板の開口部137と図2には図示されていないカラーフィルタ基板の開口部との重なり部分においてバックライト光源160からの照明光を通過させる。その際、画素電極128に印加された電圧に応じて液晶層130が制御され、照明光の位相状態が変調されることにより偏光板等の光学フィルム104を透過する光量が変調され、明暗の表示状態が調整される。各画素の明暗の状態は各画素のトランジスタのオンオフの制御のタイミング及び信号線125を通じて伝達する画像信号電圧を制御することにより独立に制御され、画像が表示される。
本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110は、第1の透明基板101と、ポリシリコン層121より上層に形成される第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128を形成する層との間に形成されており、高屈折率材料からなる高屈折率層111、113、115と低屈折率材料からなる低屈折率層112、114とが交互に積層されて形成されている。本実施例では、高屈折率材料としては窒化シリコン膜、低屈折率材料としては酸化シリコン膜を使用した。
なお、ダイクロイックハーフミラー110を構成する材料としては窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜に限られるわけではなく、2種の材料が共に透明でかつ両者の屈折率差が窒化シリコンと酸化シリコンとの屈折率差と同程度に大きい組み合わせであれば、窒化シリコンと酸化シリコンの何れか一方ないし両方を他の材料に置き換えることも可能である。
本実施例において、窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜を選択している理由は、両材料が既存の液晶表示装置においても利用されており、追加設備投資をすることなく実施することができるためである。ダイクロイックハーフミラー110を構成する各層のうち、中心の高屈折率層113のみ対応する画素の色に応じて膜厚を制御している。他の高屈折率層111、115及び低屈折率層112、114の4層の膜厚は画素の色によらず同一としている。
G画素に対応する高屈折率層113Gの厚みに比べ、R画素に対応する高屈折率層113Rの厚みは厚く、B画素に対応する高屈折率層113Bの厚みは薄く形成されている。高屈折率113の膜厚を、対応する画素の色に応じて調整し、ダイクロイックハーフミラー110の透過光のピーク波長を対応する画素のカラーフィルタの分光特性との整合をとっている。対応する画素の色毎に膜厚を調整する層を高屈折率層113の1層のみとすることにより、ダイクロイックハーフミラー110を形成するためのコストの増加を最小限に抑制することができる。
本実施例では、ダイクロイックハーフミラー110を構成する各層の膜厚は、高屈折率層111、115については共に60nm、低屈折率層112、114については80nmとした。対応する画素の色に応じて膜厚を調整した高屈折率層113の膜厚については、R画素においては180nm、G画素においては140nm、B画素においては110nmとした。
図4は、本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110の反射率の分光特性図である。図4に示すR用、G用、B用は、夫々R画素、G画素、B画素に対応するダイクロイックハーフミラー110R、110G、110Bの分光特性である。
例えば、G用のダイクロイックハーフミラー110Gの分光特性について説明すると、B光領域に相当する460nm前後の反射率が50%程度、R光領域に相当する610nm前後の反射率が35%程度有り、G光領域に相当する530nm前後の反射率がほぼ0%であって、G光領域においては透過率がほぼ100%であることを示している。一方、B用のダイクロイックハーフミラー110Bの分光特性は、460nm前後において反射率がほぼ0%(透過率がほぼ100%)であり、R用のダイクロイックハーフミラー110Rの分光特性は、610nm前後において反射率がほぼ0%(透過率がほぼ100%)となるように設計されている。
このように、ダイクロイックハーフミラー110の膜厚の具体的な膜厚や図4に示す分光特性は、あくまで設計例であり、使用する材料の屈折率や目的とする色度特性を満足させるための透過光の波長の設定値に応じて、各層の膜厚を微調整する必要があることはいうまでもない。
図5を用いて、本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110の機能について説明する。バックライト光源160から出射した白色光161のうちG画素のダイクロイックハーフミラー110Gに入射した成分は、ダイクロイックハーフミラー110GによりR光とB光の一部が反射され、バックライト光源160に戻り再帰光162として再び照明光として寄与する。
例えば、ダイクロイックハーフミラー110Gにより反射されたR光の再帰光162のうちR画素に再度入射した成分は、表示に有効に作用する。また、ダイクロイックハーフミラー110Gを透過した透過光163には、G光の他にダイクロイックハーフミラー110Gで反射されなかったR光及びB光成分が含まれるが、このR光及びB光成分は、Gカラーフィルタ134Gにより吸収される。透過光163のうちG光成分がG画素において表示に有効に作用する。
次に、本実施例において、ダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101と液晶層130との間に形成した理由について説明する。ダイクロイックハーフミラー110によって反射された光が再利用されるためには、バックライト光源160に戻った光が、再度ダイクロイックハーフミラー110に向かう際に、反射された画素とは色の異なる画素に入射する必要がある。したがって、ダイクロイックハーフミラー110とバックライト光源160との距離が近いと、ある色の画素においてダイクロイックハーフミラー110で反射された光が、再び同じ色の画素に戻る可能性が高くなる。
そこで、ある色の画素において、ダイクロイックハーフミラー110で反射された光が、他の色の画素に向かう可能性を高めるためには、ダイクロイックハーフミラー110とバックライト光源160との距離を十分確保しておくとよい。すなわち、本実施例では、ダイクロイックハーフミラー110とバックライト光源160との間に第1の透明基板101があり、典型的な画素の短辺の寸法は25μmから50μmであるのに対して、第1の透明基板101の典型的な厚みは0.2mmから0.4mmであるから、約10:1のアスペクト比が確保されている。
また、ダイクロイックハーフミラー110を透過した透過光163は、全て夫々の色のカラーフィルタ134に到達することが効率の観点からは望ましいが、そのためには、ダイクロイックハーフミラー110とカラーフィルタ134との距離をできるだけ短くしておくことが望ましい。
そこで、本実施例では、ダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101とカラーフィルタ134との間に形成することにより、ダイクロイックハーフミラー110とカラーフィルタ134との距離を十分短くすることができ、ダイクロイックハーフミラー110の透過光163のほぼ全光束を夫々の色のカラーフィルタ134に到達させることができる。すなわち、ダイクロイックハーフミラー110とカラーフィルタ134との間の典型的な距離は5μmから10μmであり、典型的な画素の短辺の寸法である25μmから50μmに比べて十分短い。
また、ダイクロイックハーフミラー110により反射された光は、偏光板等の光学フィルム102を効率よく透過することが期待される。もしもダイクロイックハーフミラー110が、液晶層130と第2の透明基板103との間に形成されている場合には、ダイクロイックハーフミラー110による反射光の位相状態は、液晶層130の影響を受ける。液晶層130がダイクロイックハーフミラー110による反射光の位相状態に与える影響は、画素電極128の印加電圧により異なる。このことは、ダイクロイックハーフミラー110による光利用効率向上効果が、表示画像に依存することを示しており望ましくない。そこで、ダイクロイックハーフミラー110を、液晶層130と第1の透明基板101との間に形成することによって、この問題は解決できる。
また、偏光板等の光学フィルム102の実効的なリターデーションについても注意を要する。例えば、偏光板等の光学フィルム102が、偏光板と4分の1波長板とを互いの光学軸が45度ないし135度の角度をなすように配置されている場合には、偏光板等の光学フィルム102は、いわゆる円偏光板であり、ダイクロイックハーフミラー110による反射光は偏光板に吸収されてしまい再利用することができない。したがって、偏光板等の光学フィルム102の実効的なリターデーションは4分の1波長よりも小さくしておく必要がある。
また、本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101と、ポリシリコン層121より上層に形成される第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128を形成する層との間に形成しているが、その理由についても説明する。
まず、仮に、ダイクロイックハーフミラー110を、ポリシリコン層121よりも上層に形成した場合には、層間の電気的な接続をとるためにダイクロイックハーフミラー110全層を貫通するコンタクトホールを形成する必要がある。
しかし、本実施例のように、ダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101と、ポリシリコン層121より上層に形成される第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128を形成する層との間に形成した場合には、ダイクロイックハーフミラー110の上下の層間の電気的な接続を確保する必要がないため、コンタクトホール形成工程が不要である。
また、仮に、画素電極128と液晶層130との間にダイクロイックハーフミラー110を形成した場合には、ダイクロイックハーフミラー110を貫通するコンタクトホールの形成は不要であるが、液晶層130への印加電圧がダイクロイックハーフミラー110と液晶層130とで分圧されるため、実効的な液晶駆動電圧が上昇するという問題点が生じる。
ここで、本実施例のように、トランジスタの半導体層にポリシリコンを用いている場合には、支持基板からのイオン拡散を防止するための保護膜をポリシリコン層121と第1の透明基板101との間に形成しておくことが望ましい。具体的な構成としては、窒化シリコン層と酸化シリコン層との積層膜が考えられる。本実施例では、ダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101と、ポリシリコン121より上層に形成される第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128を形成する層との間に形成しているために、ダイクロイックミラー110は、第1の透明基板101からトランジスタへのイオン拡散を防止する保護膜としても機能している。
したがって、ダイクロイックミラー110の構成材料として、窒化シリコンと酸化シリコンとを選択することにより、既存のトランジスタ保護膜として、ダイクロイックミラー110の一部を流用することにより、追加する層数や工程数を最小限に抑制することができる。
以上の理由から、本実施例では、ダイクロイックハーフミラー110を、第1の透明基板101と、ポリシリコン121より上層に形成される第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128を形成する層との間に形成している。
図6は、本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110の形成方法についての説明図である。最終的には、図6(g)に示すように、R画素、G画素、B画素における高屈折率層113の膜厚を夫々dR、dG、dBとする。
図6(a)は、第1の透明基板101上に高屈折率層111、低屈折率層112、高屈折率層113が順に積層された状態である。この時点での高屈折率層113の膜厚は、dR−dGである。図6(b)は、R画素の位置する部分の高屈折率層113を残し、G画素及びB画素の位置する部分をフォトリソグラフィー工程により除去した状態である。図6(c)は、さらに高屈折率層113を追加で積層した状態であり、図6(b)におけるR画素の位置する部分の高屈折率層113の厚みが他の部分に比べて厚くなっている。追加で積層した高屈折率層113の膜厚はdG−dBである。図6(d)は、B画素の位置する部分の高屈折率層113をフォトリソグラフィー工程により除去した状態である。図6(e)は、さらに高屈折率層113を積層した状態(膜厚はdB)であり、R画素の位置する部分の高屈折率層113の厚み(dR)が最も厚く、次いでG画素の位置する部分の高屈折率層113の厚み(dG)が厚い。図6(f)、図6(g)は、さらに低屈折率層114、高屈折率層115を順に積層した状態を示しており、R、G、Bの各画素に対応したダイクロイックハーフミラー110R、110G、110Bが形成されている。図6(g)の構成の上に、さらにポリシコン層121以降のトランジスタを構成する層や画素電極128を順次形成し、アクティブマトリクス基板が形成される。
図7は、本実施例におけるダイクロイックハーフミラー110の他の形成方法についての説明図である。図7に示した形成方法と、図6のそれと異なっている点は、フォトリソグラフィー工程においてハーフトーンマスクを用い、高屈折率層113の画素毎の膜厚制御を一括で行い、また、図6で示した方法においては高屈折率層113を形成するために3回のデポジション工程を要していたのに対して、1回のデポジション工程に削減した点である。
図7(a)は、第1の透明基板101上に、高屈折率層111、低屈折率層112、高屈折率層113が順に積層された状態である。図6(a)とは異なり、高屈折率層113の膜厚はR画素に必要な膜厚(dR)を予めデポジション工程により形成してある。図7(b)は、ハーフトーンマスクを用いたフォトリソグラフィー工程により、G画素及びB画素の高屈折率層113の膜厚を夫々dG及びdBに調整している。本形成方法の場合、ハーフトーンマスクを用いたことに起因するナノメートルサイズの畝状の微細突起150、151が残留するが、dG、dBに比較して十分小さいため、ダイクロイックミラー110の機能への影響は無視できる。G画素の位置する部分にできる畝状の微細突起150とB画素の位置する部分にできる畝状の微細突起151のピッチは異なっており、B画素の位置する部分にできる畝状の微細突起151のピッチのほうが広い。これは、B画素の部分の高屈折率層113のエッチング量を多くするために、B画素の部分のハーフトーンマスクのピッチがG画素の部分のハーフトーンマスクのピッチに比べて広いためである。図7(c)、図7(d)は、さらに低屈折率層114、高屈折率層115を順に積層した状態を示しており、R、G、Bの各画素に対応したダイクロイックハーフミラー110R、110G、110Bが形成されている。図7(d)の構成の上に、さらにポリシコン層121以降のトランジスタを構成する層や画素電極128を順次形成し、アクティブマトリクス基板が形成される。
なお、ダイクロイックハーフミラー110の形成方法は、上記の方法に限定されない。なぜならば、本発明の本質は、ダイクロイックハーフミラー110の構成及び機能であり、形成方法には、必ずしも依存しないからである。
本実施例について、図8及び図9を用いて説明する。本実施例と実施例1との違いは、実施例1においては、ダイクロイックハーフミラー110を構成する層数が5層であったのに対して、本実施例においては、ダイクロイックハーフミラー110を構成する層数を7層とした点である。
図8は、実施例1との相違点を明確にするために、第1の透明基板101上に、ダイクロイックハーフミラー110を形成したところまでが図示されている。図8において、ダイクロイックハーフミラー110上に形成されるポリシリコン層121より上層の第1のトランジスタ139、第2のトランジスタ140及び画素電極128の構成は、実施例1と同様であるので、省略してある。
本実施例のダイクロイックハーフミラー110は、高屈折率層171、173、175、177と低屈折率層172、174、176が交互に積層されて形成されている。このうち中心の層である低屈折率層174のみ対応する画素の色に応じて膜厚が調整されている。
図9は、本実施例のダイクロイックハーフミラーの分光特性図である。本実施例においても、高屈折率材料としては、窒化シリコン、低屈折材料としては酸化シリコンを用い、各層の厚みは、高屈折率層171、173、175、177は何れも60nmとし、低屈折率層172、176は100nmとし、中心の低屈折率層174は、R画素においては240nm、G画素においては195nm、B画素においては150nmとした。
これらの膜厚や図9に示す分光特性はあくまで設計例であり、使用する材料の屈折率や目的とする色度特性を満足させるための透過光の波長の設定値に応じて、各層の膜厚を微調整する必要があることはいうまでもない。
本実施例について、図10を用いて説明する。本実施例と実施例1との違いは、三原色のR、G、Bに加えてW(白色)の画素が加わっている点である。W画素におけるカラーフィルタ134Wは、例えば、カラーレジストを配置しないことにより構成される。したがって、W画素においては、カラーフィルタによる吸収損失がないため他の画素に比べて透過率が高い。画像に応じて、適宜W画素の点灯状態を制御することにより、液晶表示装置の透過率を高める効果が期待できる。
図10に示したように、W画素におけるダイクロイックハーフミラー110Wの構成は、W画素の位置する領域においては高屈折率層111及び低屈折率層112のみを残し、高屈折率層113、低屈折率層114、高屈折率層115を除去した構成とした。他の画素における構成との連続性との関係から、この構成もW画素におけるダイクロイックハーフミラー110Wと呼称するが、ダイクロイックハーフミラー110Wは、ニュートラルな分光特性を示し、特定の可視光を反射しない分光特性を示す。なぜならば、W画素においては、カラーフィルタ134Wの吸収損失がないため、ダイクロイックハーフミラー110Wは、特定の可視光を反射して再帰させる必要がないためである。
本発明に係る液晶表示装置の図2に示すA−A’断面図 本発明に係る液晶表示装置の平面図 本発明に係る液晶表示装置の図2に示すB−B’断面図 ダイクロイックハーフミラー110の分光特性図 ダイクロイックハーフミラー110の機能の説明図 ダイクロイックハーフミラー110の形成方法の説明図 ダイクロイックハーフミラー110の他の形成方法の説明図 7層構成のダイクロイックハーフミラー110の断面図 7層構成のダイクロイックハーフミラーの分光特性図 本発明に係る他の液晶表示装置の断面図
符号の説明
101…第1の透明基板、102…偏光板等の光学フィルム、103…第2の透明基板、104…偏光板等の光学フィルム、110…ダイクロイックハーフミラー、111…高屈折率層、112…低屈折率層、113…高屈折率層、114…低屈折率層、115…高屈折率層、121…ポリシリコン層、122…ゲート絶縁膜、123…走査線、124…層間絶縁膜、125…信号線、126…層間絶縁膜、127…層間絶縁膜、128…画素電極、129…配向膜、130…液晶層、131…配向膜、132…共通電極、133…保護層、134…カラーフィルタ、135…遮光層、136…共通配線、137…開口部、138…コンタクト、139…第1のトランジスタ、140…第2のトランジスタ、141…コンタクト、142…コンタクト、144…ソース電極、150…微細突起、151…微細突起、160…バックライト光源、161…白色光、162…再帰光、163…透過光、171…高屈折率層、172…低屈折率層、173…高屈折率層、174…低屈折率層、175…高屈折率層、176…低屈折率層、177…高屈折率層

Claims (6)

  1. 第1の透明基板と、第2の透明基板と、液晶層と、バックライト光源とを備え、
    前記液晶層は前記第1の透明基板と第2の透明基板との間に配置され、前記バックライト光源は前記第1の透明基板の前記液晶層とは反対側に配置され、
    前記第1の透明基板の前記液晶層側には、複数の信号線と複数の走査線と、前記信号線と走査線との交差部に前記液晶層に画像信号電圧を伝達すためのトランジスタと画素電極を備えた画素とがマトリクス状に形成されており、
    前記第1の透明基板の前記バックライト光源側には、偏光板等の光学フィルムを備えており、
    前記第2の透明基板の前記液晶層側には、前記画素に対応したカラーフィルタを備えており、
    前記第2の透明基板の前記液晶層とは反対側には、偏光板等の光学フィルムを備えており、
    前記バックライト光源からの照明光を、前記液晶層を駆動することにより位相変調し、前記カラーフィルタとの組み合わせでカラー画像を表示する液晶表示装置において、
    前記第1の透明基板と前記第2の透明基板との間に、前記カラーフィルタに対応してダイクロイックハーフミラーを形成することを特徴とする液晶表示装置
  2. 請求項1の液晶表示装置において、
    前記ダイクロイックハーフミラーが、前記第1の透明基板と前記液晶層との間に形成されていることを特徴とする液晶表示装置
  3. 請求項2の液晶表示装置において、
    前記ダイクロイックハーフミラーが、前記第1の透明基板と前記トランジスタを形成する層との間に形成されていることを特徴とする液晶表示装置
  4. 請求項3の液晶表示装置において、
    前記ダイクロイックハーフミラーが、前記第1の透明基板から拡散するイオン性不純物の前記トランジスタへの影響を防止するための保護層でもあることを特徴とする液晶表示装置
  5. 請求項4の液晶表示装置において、
    前記ダイクロイックハーフミラーを構成する材料が、窒化シリコンと酸化シリコンであることを特徴とする液晶表示装置
  6. 請求項1の液晶表示装置において、
    前記ダイクロイックハーフミラーが、高屈折率材料からなる層と低屈折率材料からなる層とが交互に合計で5層連続的に積層されており、前記5層のうち3番目の層の膜厚が、前記カラーフィルタに対応して異なることを特徴とする液晶表示装置
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