JP6424337B2 - 波長可変光フィルタモジュール - Google Patents
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Description
<波長可変光フィルタモジュールの構成>
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は波長可変光フィルタモジュール1の断面図である。まず、波長可変光フィルタモジュール1の基本構造について説明する。
波長可変光フィルタ2は、図3に示すように、対向配置された2つの反射板12、13を有する。反射板12の端部は、枠体14で支持されている。反射板13の端部は梁15を介して枠体14に支持されている。
検出器3は、図4に示すように、電極21と電極22の間に焦電体層28が設けられた検出層29で形成されている。上述した波長可変光フィルタ2における枠体14の延長部分、つまり反射板12を構成するアモルファスシリコン層16と窒化シリコン層17と、反射板13を構成するアモルファスシリコン層18と窒化シリコン層19と、これらの間に配置される酸化シリコン層20からなる7層の構造体の表面に、検出層29は配置されている。
次にパッケージ5の内部構成について、図1を参照しながらさらに詳細に説明する。
次に、本発明の実施の形態における波長可変光フィルタモジュール1の製造方法について、図5A〜図6Cを参照しながら説明する。
まず、第1ブロック5aの製造方向について説明する。
次に、第2ブロック5bの製造方法について説明する。図6Aに示すように第2ブロック5bを構成するシリコンからなる基板30に対して、第2平面32に、ドライエッチにより内部空間6を構成する第2平面32と側壁部分が形成される。次に、図6Bに示すように、第2平面32にウエットエッチングにより凹部36を形成する。凹部36には、傾斜面37が形成される。続いて、図6Cに示すように、第2ブロック5bの表面(第2平面32傾斜面37など)に対して、金をスパッタリングや蒸着し、反射面38A、38Bを形成する。これにより第2ブロック5bが完成する。
2 波長可変光フィルタ
3 検出器
4 光路調整部
5 パッケージ
5a 第1ブロック
5b 第2ブロック
6 内部空間
7 光源
8 平行光線
9 測定対象物
10 透過光
11 バンドパスフィルタ
12,13 反射板
14 枠体
15 梁
16,18 アモルファスシリコン層
17,19 窒化シリコン層
20 酸化シリコン層
21,22 電極
23 圧電体層
24 駆動層
25 弾性絶縁層
26 金属層
27 振動部
28 焦電体層
29 検出層
31 第1平面
32 第2平面
35A,35B 開口部
36 凹部
37 傾斜面
38A,38B,38C 反射面
Claims (7)
- 内部に反射部を有するパッケージと、
前記パッケージの内部に配置され、互いに対向する第1及び第2の反射板を有し、前記第1の反射板と前記第2の反射板との間隔が可変する波長可変光フィルタと、
前記パッケージの内部に配置され、前記波長可変光フィルタを通過する光線を検出する検出器と、
を備え、
前記波長可変光フィルタは、前記第1の反射板と前記第2の反射板との間隔を可変させる圧電体層を有し、
前記検出器は、前記圧電体層と同じ材料で形成された、光線を検出する焦電体層を有し、
前記波長可変光フィルタと前記検出器は、前記反射部に対向する側に配置され、
前記波長可変光フィルタを介して前記パッケージ内部に入射する光線は、前記反射部を介して前記検出器に入射することを特徴とする波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージが、第1の領域と第2の領域とを含み、
前記第1の領域に前記波長可変光フィルタおよび前記検出器が配置され、
前記第2の領域に前記反射部が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記圧電体層及び前記焦電体層のいずれも
単結晶構造または一軸配向結晶構造の、ABO3で表される、
ペロブスカイト型酸化物である
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記波長可変光フィルタは、
前記第1の反射板を支持する枠体と、
前記枠体と前記第2の反射板とを接続する梁と、
をさらに備え、
前記梁の表面には、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間
に配置される前記圧電体層で構成される駆動層が配置される
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージは内部に複数の傾斜面を有し、
前記反射部が前記傾斜面の表面に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージ内部に凹部を有し、
前記複数の傾斜面は、前記凹部の側面の一部である
ことを特徴とする請求項5に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記凹部の底面にさらに反射部が設けられている
ことを特徴とする請求項6に記載の波長可変光フィルタモジュール。
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