JP2012194054A - 光学センサー及び電子機器 - Google Patents
光学センサー及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012194054A JP2012194054A JP2011058181A JP2011058181A JP2012194054A JP 2012194054 A JP2012194054 A JP 2012194054A JP 2011058181 A JP2011058181 A JP 2011058181A JP 2011058181 A JP2011058181 A JP 2011058181A JP 2012194054 A JP2012194054 A JP 2012194054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- light
- optical sensor
- angle limiting
- limiting filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 108
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 57
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 36
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 29
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 13
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 229930091371 Fructose Natural products 0.000 description 1
- RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N Fructose Chemical compound OC[C@H]1O[C@](O)(CO)[C@@H](O)[C@@H]1O RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 102000001554 Hemoglobins Human genes 0.000 description 1
- 108010054147 Hemoglobins Proteins 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229960002737 fructose Drugs 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/06—Restricting the angle of incident light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1213—Filters in general, e.g. dichroic, band
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
- G01J3/513—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters having fixed filter-detector pairs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】光学センサーは、受光素子(例えばフォトダイオード30)と、受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター40と、を含む。入射光の波長をλとし、角度制限フィルターの高さをRとし、角度制限フィルターの開口の幅をdとする場合に、d2/λR≧2を満たす。
【選択図】 図1
Description
図1(A)、図1(B)に本実施形態の分光センサー(広義には光学センサー)の構成例を示す。なお以下では、簡単のために本実施形態の構成を模式的に図示し、図中の寸法や比率は実際のものとは異なる。
60°>θ=tan−1(d/R) (1)
光バンドパスフィルター60は、角度制限フィルター40の上に積層された多層薄膜により形成される。後述するように、角度制限フィルター40により入射角度が制限されることで光バンドパスフィルター60の透過波長帯域が制限され、所望の波長分解能の分光特性を得ることができる。
d2/(λ×R)=3.642/(0.5×10)=2.65≧2 (3)
2.光到達率の開口幅特性
図4(A)に、開口幅dに対する光到達率特性を示す。図4(A)のE1には、λ=0.5μm、高さR=5μmにおける測定値を示す。E2には、λ=0.9μm、高さR=5μmにおける測定値を示す。
図5を用いて、d2/(λ×R)≧2の条件式について原理的に説明する。図5に示すように、半導体基板に向かう垂直方向をZ軸とし、開口の一辺に平行でZ軸に垂直な方向をx軸とし、角度制限フィルター内の任意の面内でx軸に平行な方向をx1軸とする。なお以下では簡単のため、2次元での計算を行い、角度制限フィルター側壁の影響は無いものと仮定する。また入射光は、Z軸に平行に伝搬する波数kの平面波であるものとする。
上式(1)に示す制限角度の上限θ<60°について、図8を用いて詳細に説明する。図8に示すように、角度制限フィルターが無く、強度Liの入射光が入射角度αでフォトダイオードに入射したとする。この場合、フォトダイオードの受光面における光強度Lpは下式(10)で表される。
上式(10)より、α=60°においてLp/Li=1/2であり、制限角度が60°であることに等しい。即ち、光到達率が1/2となる入射角度を制限角度θと定義する場合には、角度制限フィルターがなくても制限角度θ=60°となるため、角度制限フィルターの角度制御性を発揮させるためにはθ<60°に設定する必要がある。
上述した本実施形態の分光センサーの詳細な構成例について説明する。
される。後述するように、この傾斜構造体50は、例えばSiO2等の絶縁膜をエッチングまたはCMP、グレースケールリソグラフィー技術等により加工することで形成される。
度制限フィルターを形成できる。
上述のように、光バンドパスフィルターの透過波長帯域は、多層薄膜の傾斜角度と角度制限フィルターの制限角度により設定される。この点について、図11(A)、図11(B)を用いて具体的に説明する。なお、説明を簡単にするために、以下では光バンドパスフィルター61、62の多層薄膜の膜厚が同じ場合を例に説明するが、本実施形態では、光バンドパスフィルター61、62の多層薄膜の膜厚が傾斜角θ1、θ2に応じて異なってもよい。例えば、薄膜のデポジションにおいて、半導体基板に対して垂直な方向に薄膜を成長させた場合、光バンドパスフィルター61、62の多層薄膜の膜厚がcosθ1、cosθ2に比例してもよい。
図12〜図14を用いて、傾斜構造体を半導体プロセスにより形成する場合の本実施形態の分光センサーの製造方法の例について説明する。
iO2の異方性ドライエッチング、フォトレジスト剥離の工程により、絶縁膜の段差(S9’)または粗密パターン(S9”)を形成する。
図15を用いて、傾斜構造体を別部材で形成する第1の変形例の製造方法の例について説明する。
図16に、本実施形態の光学センサーを含む電子機器の構成例を示す。例えば、電子機器として、脈拍計、パルスオキシメーター、血糖値測定器、果実糖度計などが想定される。なお本実施形態は図16の構成に限定されず、例えばLED950を省略して仰角測定装置や照度計等に用いてもよい。
40,41,42 角度制限フィルター、50 傾斜構造体、
60,61,62 光バンドパスフィルター、70 多層薄膜、
900 光学センサー装置、910 光学センサー、920 フォトダイオード、
930 検出回路、940 A/D変換回路、950 LED、
960 LEDドライバー、970 マイクロコンピューター、980 記憶装置、
990 表示装置、
BW1,BW2 透過波長帯域、d 開口幅、HW 半値幅、k 波数、
Li 入射光強度、Lp 受光面光強度、r 距離、R1 第1の領域、
R2 第2の領域、α 入射角度、θ,Δθ 制限角度、θ1,θ2 傾斜角度、
λ 入射光波長、λ1,λ2 透過波長
Claims (16)
- 受光素子と、
前記受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルターと、
を含み、
前記入射光の波長をλとし、前記角度制限フィルターの高さをRとし、前記角度制限フィルターの開口の幅をdとする場合に、
d2/λR≧2
を満たすことを特徴とする光学センサー。 - 請求項1において、
前記角度制限フィルターは、
tan−1(d/R)<60°
を満たすことを特徴とする光学センサー。 - 請求項1又は2において、
前記受光素子は、
半導体基板上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域により形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項3において、
前記角度制限フィルターは、
前記フォトダイオード用の不純物領域の上に半導体プロセスによって形成された遮光物質によって形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項3又は4において、
前記角度制限フィルターは、
前記半導体基板の上に積層された絶縁膜に空けられたコンタクトホールの導電性プラグにより形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記受光素子の出力信号を処理する処理回路を含み、
前記角度制限フィルターは、
前記処理回路の配線を形成する配線形成工程により形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記入射光のうちの特定波長の光を透過する光バンドパスフィルターを含むことを特徴とする光学センサー。 - 請求項7において、
前記光バンドパスフィルターは、
前記受光素子の受光面に対して、透過波長に応じた角度で傾斜する多層薄膜により形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項8において、
前記光バンドパスフィルターは、
透過波長が異なる複数組の多層薄膜により形成され、
前記複数組の多層薄膜は、
前記受光面に対する傾斜角度が透過波長に応じて異なり、同時の薄膜形成工程で形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至9のいずれかにおいて、
前記角度制限フィルターを通って前記受光領域に到達する前記入射光の到達率特性は、
前記開口の幅に対する前記到達率特性の傾きが第1の傾きである第1の特性領域と、
前記開口の幅に対する前記到達率特性の傾きが前記第1の傾きよりも小さい第2の傾きである第2の特性領域と、
を有する場合に、
前記開口の幅は、
前記到達率特性が前記第1の傾きから前記第2の傾きに変化する変化点における開口の幅以上に形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至10のいずれかにおいて、
前記入射光を分光するための分光センサーであることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至10のいずれかにおいて、
前記入射光の照度を測定するための照度センサーであることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至10のいずれかにおいて、
光源の仰角を測定するための仰角センサーであることを特徴とする光学センサー。 - 受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルターを含み、
前記入射光の波長をλとし、前記角度制限フィルターの高さをRとし、前記角度制限フィルターの開口の幅をdとする場合に、
d2/λR≧2
を満たすことを特徴とする光学センサー。 - 受光素子と、
前記受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルターと、
を含み、
前記角度制限フィルターを通って前記受光領域に到達する前記入射光の到達率特性は、
前記開口の幅に対する前記到達率特性の傾きが第1の傾きである第1の特性領域と、
前記開口の幅に対する前記到達率特性の傾きが前記第1の傾きよりも小さい第2の傾きである第2の特性領域と、
を有する場合に、
前記開口の幅は、
前記到達率特性が前記第1の傾きから前記第2の傾きに変化する変化点における開口の幅以上に形成されることを特徴とする光学センサー。 - 請求項1乃至15のいずれかに記載の光学センサーを含むことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011058181A JP5862025B2 (ja) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | 光学センサー及び電子機器 |
US13/421,583 US8976357B2 (en) | 2011-03-16 | 2012-03-15 | Optical sensor and electronic apparatus utilizing an angle limiting filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011058181A JP5862025B2 (ja) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | 光学センサー及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012194054A true JP2012194054A (ja) | 2012-10-11 |
JP5862025B2 JP5862025B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=46828193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011058181A Active JP5862025B2 (ja) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | 光学センサー及び電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8976357B2 (ja) |
JP (1) | JP5862025B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013132852A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光学センサー及び電子機器 |
JP2013205228A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体センサ |
JP2014190919A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Seiko Epson Corp | 分光センサー及びその製造方法 |
JP2014196909A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 分光センサー及びその製造方法 |
JP2015038923A (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 株式会社豊田中央研究所 | 光電変換素子 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120051378A1 (en) | 2010-08-31 | 2012-03-01 | Aravinda Kar | Photodetection |
US9163984B2 (en) | 2011-03-17 | 2015-10-20 | Seiko Epson Corporation | Spectroscopic sensor and angle limiting filter |
JP5803419B2 (ja) * | 2011-08-19 | 2015-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 傾斜構造体、傾斜構造体の製造方法、及び分光センサー |
EP2783193A4 (en) | 2011-11-03 | 2015-08-26 | Verifood Ltd | COST-EFFECTIVE SPECTROMETRIC SYSTEM FOR USER-EATING FOOD ANALYSIS |
GB2543655B (en) | 2013-08-02 | 2017-11-01 | Verifood Ltd | Compact spectrometer comprising a diffuser, filter matrix, lens array and multiple sensor detector |
WO2015101992A2 (en) | 2014-01-03 | 2015-07-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
US11480463B2 (en) | 2014-06-09 | 2022-10-25 | Unm Rainforest Innovations | Integrated bound-mode spectral/angular sensors |
EP3209983A4 (en) | 2014-10-23 | 2018-06-27 | Verifood Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
WO2016125165A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
WO2016125164A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
WO2016162865A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Verifood, Ltd. | Detector for spectrometry system |
US20170176324A1 (en) * | 2015-04-15 | 2017-06-22 | Halliburton Energy Services, Inc. | Parallel Optical Measurement System With Broadband Angle Selective Filters |
BR112017019163A2 (pt) | 2015-04-15 | 2018-05-02 | Halliburton Energy Services Inc | dispositivo de computação óptica, método e sistema |
WO2016167757A1 (en) * | 2015-04-15 | 2016-10-20 | Halliburton Energy Services, Inc. | Optical computing devices comprising broadband angle-selective filters |
FR3035219A1 (ja) * | 2015-04-15 | 2016-10-21 | Halliburton Energy Services Inc | |
US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
US10254215B2 (en) | 2016-04-07 | 2019-04-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
DE102016208841B4 (de) * | 2016-05-23 | 2020-12-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Farbsensor mit winkelselektiven Strukturen |
WO2017210089A1 (en) | 2016-06-03 | 2017-12-07 | 3M Innovative Properties Company | Optical filters having spatially variant microreplicated layers |
WO2018015951A1 (en) | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
TWI612281B (zh) | 2016-09-26 | 2018-01-21 | 財團法人工業技術研究院 | 干涉分光元件封裝裝置 |
CN113167648A (zh) | 2018-10-08 | 2021-07-23 | 威利食品有限公司 | 一种用于光谱仪的附件 |
WO2022225589A1 (en) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | Unm Rainforest Innovations | Integrated bound-mode spectral/angular sensors |
WO2023106614A1 (ko) * | 2021-12-06 | 2023-06-15 | 삼성전자 주식회사 | 전자 장치에서 조도 측정의 정확도를 개선하기 위한 방법 및 장치 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61182533A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-15 | コミツサリア タ レナジー アトミツク | 基板内で一体化された独立コールドスクリーンを備えた光検出用マトリツクスデバイスおよびその製造方法 |
JPS61205827A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Nec Corp | 多素子形赤外線検出器の製造方法 |
JPH0894831A (ja) * | 1994-09-26 | 1996-04-12 | Olympus Optical Co Ltd | カラーフィルター |
JPH09318446A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Yokogawa Electric Corp | マイクロ分光分析器 |
JP2001267544A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007080918A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Seiko Epson Corp | 固体撮像素子 |
JP2007207789A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nara Institute Of Science & Technology | 固体撮像素子及び該素子を用いた撮像装置 |
JP2010225904A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Fujifilm Corp | 近接型撮像装置、及び撮像フィルタ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2713838B2 (ja) | 1992-10-15 | 1998-02-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光イメージングセンサ |
US6521882B1 (en) * | 1998-03-27 | 2003-02-18 | Denso Corporation | Optical sensor with directivity controlled |
US6362888B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-03-26 | Lj Laboratories, L.L.C. | Spectrometer assembly |
SG10201403905YA (en) * | 2003-04-15 | 2014-10-30 | Sensors For Med & Science Inc | System and method for attenuating the effect of ambient light on an optical sensor |
KR100541708B1 (ko) * | 2004-02-05 | 2006-01-10 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
US7935994B2 (en) | 2005-02-24 | 2011-05-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Light shield for CMOS imager |
JP4836498B2 (ja) | 2005-06-15 | 2011-12-14 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びカメラ |
US7751667B2 (en) * | 2005-12-21 | 2010-07-06 | Xerox Corporation | Microfabricated light collimating screen |
US7466002B2 (en) * | 2006-06-19 | 2008-12-16 | Mitutoyo Corporation | Incident light angle detector for light sensitive integrated circuit |
KR101633637B1 (ko) * | 2008-10-10 | 2016-06-27 | 코닌클리케 필립스 엔.브이. | 광 방향성 센서 |
JP5663900B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2015-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 分光センサー装置及び電子機器 |
-
2011
- 2011-03-16 JP JP2011058181A patent/JP5862025B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-15 US US13/421,583 patent/US8976357B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61182533A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-15 | コミツサリア タ レナジー アトミツク | 基板内で一体化された独立コールドスクリーンを備えた光検出用マトリツクスデバイスおよびその製造方法 |
JPS61205827A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Nec Corp | 多素子形赤外線検出器の製造方法 |
JPH0894831A (ja) * | 1994-09-26 | 1996-04-12 | Olympus Optical Co Ltd | カラーフィルター |
JPH09318446A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Yokogawa Electric Corp | マイクロ分光分析器 |
JP2001267544A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2007080918A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Seiko Epson Corp | 固体撮像素子 |
JP2007207789A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nara Institute Of Science & Technology | 固体撮像素子及び該素子を用いた撮像装置 |
JP2010225904A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Fujifilm Corp | 近接型撮像装置、及び撮像フィルタ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013132852A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 光学センサー及び電子機器 |
US9885604B2 (en) | 2012-03-07 | 2018-02-06 | Seiko Epson Corporation | Optical sensor and electronic apparatus |
JP2013205228A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体センサ |
JP2014190919A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Seiko Epson Corp | 分光センサー及びその製造方法 |
JP2014196909A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 分光センサー及びその製造方法 |
JP2015038923A (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 株式会社豊田中央研究所 | 光電変換素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5862025B2 (ja) | 2016-02-16 |
US8976357B2 (en) | 2015-03-10 |
US20120236297A1 (en) | 2012-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5862025B2 (ja) | 光学センサー及び電子機器 | |
JP6094652B2 (ja) | 光学センサー、電子機器及び脈拍計 | |
JP6015034B2 (ja) | 光学センサー及び電子機器 | |
JP5663900B2 (ja) | 分光センサー装置及び電子機器 | |
JP5999168B2 (ja) | 光学センサー及び電子機器 | |
US10989590B2 (en) | Integrated bound-mode spectral/angular sensors | |
JP5810565B2 (ja) | 光学センサー及び電子機器 | |
CN115698655A (zh) | 环境光感测 | |
JP5970685B2 (ja) | 光学センサー及び電子機器 | |
JP6112190B2 (ja) | 分光センサー及びパルスオキシメーター | |
JP5614339B2 (ja) | 分光センサー及び角度制限フィルター | |
JP5862754B2 (ja) | 脈拍センサー及び脈拍計 | |
JP5862753B2 (ja) | 分光センサー装置及び電子機器 | |
JP5821400B2 (ja) | 分光センサー及び角度制限フィルター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141021 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141218 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150831 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5862025 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |