JPWO2015098019A1 - 波長可変光フィルタモジュール - Google Patents
波長可変光フィルタモジュールInfo
- Publication number
- JPWO2015098019A1 JPWO2015098019A1 JP2015554525A JP2015554525A JPWO2015098019A1 JP WO2015098019 A1 JPWO2015098019 A1 JP WO2015098019A1 JP 2015554525 A JP2015554525 A JP 2015554525A JP 2015554525 A JP2015554525 A JP 2015554525A JP WO2015098019 A1 JPWO2015098019 A1 JP WO2015098019A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical filter
- tunable optical
- wavelength tunable
- filter module
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 102
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 210000002700 urine Anatomy 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
- G01J3/0259—Monolithic
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
<波長可変光フィルタモジュールの構成>
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は波長可変光フィルタモジュール1の断面図である。まず、波長可変光フィルタモジュール1の基本構造について説明する。
波長可変光フィルタ2は、図3に示すように、対向配置された2つの反射板12、13を有する。反射板12の端部は、枠体14で支持されている。反射板13の端部は梁15を介して枠体14に支持されている。
検出器3は、図4に示すように、電極21と電極22の間に焦電体層28が設けられた検出層29で形成されている。上述した波長可変光フィルタ2における枠体14の延長部分、つまり反射板12を構成するアモルファスシリコン層16と窒化シリコン層17と、反射板13を構成するアモルファスシリコン層18と窒化シリコン層19と、これらの間に配置される酸化シリコン層20からなる7層の構造体の表面に、検出層29は配置されている。
次にパッケージ5の内部構成について、図1を参照しながらさらに詳細に説明する。
次に、本発明の実施の形態における波長可変光フィルタモジュール1の製造方法について、図5A〜図6Cを参照しながら説明する。
まず、第1ブロック5aの製造方向について説明する。
次に、第2ブロック5bの製造方法について説明する。図6Aに示すように第2ブロック5bを構成するシリコンからなる基板30に対して、第2平面32に、ドライエッチにより内部空間6を構成する第2平面32と側壁部分が形成される。次に、図6Bに示すように、第2平面32にウエットエッチングにより凹部36を形成する。凹部36には、傾斜面37が形成される。続いて、図6Cに示すように、第2ブロック5bの表面(第2平面32傾斜面37など)に対して、金をスパッタリングや蒸着し、反射面38A、38Bを形成する。これにより第2ブロック5bが完成する。
2 波長可変光フィルタ
3 検出器
4 光路調整部
5 パッケージ
5a 第1ブロック
5b 第2ブロック
6 内部空間
7 光源
8 平行光線
9 測定対象物
10 透過光
11 バンドパスフィルタ
12,13 反射板
14 枠体
15 梁
16,18 アモルファスシリコン層
17,19 窒化シリコン層
20 酸化シリコン層
21,22 電極
23 圧電体層
24 駆動層
25 弾性絶縁層
26 金属層
27 振動部
28 焦電体層
29 検出層
31 第1平面
32 第2平面
35A,35B 開口部
36 凹部
37 傾斜面
38A,38B,38C 反射面
Claims (9)
- 内部に反射部を有するパッケージと、
前記パッケージの内部に配置され、互いに対向する第1及び第2の反射板を有し、前記第1の反射板と前記第2の反射板との間隔が可変する波長可変光フィルタと、
前記パッケージの内部に配置され、前記波長可変光フィルタを通過する光線を検出する検出器と、
を備え、
前記波長可変光フィルタと前記検出器は、前記反射部に対向する側に配置され、
前記波長可変光フィルタを介して前記パッケージ内部に入射する光線は、前記反射部を介して前記検出器に入射する
ことを特徴とする波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージが、第1の領域と第2の領域とを含み、
前記第1の領域に前記波長可変光フィルタおよび前記検出器が配置され、
前記第2の領域に前記反射部が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記波長可変光フィルタは、前記第1の反射板と前記第2の反射板との間隔を可変させる圧電体層を有し、
前記検出器は光線を検出する焦電体層を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記圧電体層と前記焦電体層は同じ材料で形成される
ことを特徴とする請求項3に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記圧電体層及び前記焦電体層のいずれも
単結晶構造または一軸配向結晶構造の、ABO3で表される、
ペロブスカイト型酸化物である
ことを特徴とする請求項3に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記波長可変光フィルタは、
前記第1の反射板を支持する枠体と、
前記枠体と前記第2の反射板とを接続する梁と、
第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極との間に配置される圧電体層で構成される駆動層と、
を更に備え、
前記駆動層は、前記梁の表面に配置される
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージは内部に複数の傾斜面を有し、
前記反射部が前記傾斜面の表面に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記パッケージ内部に凹部を有し、
前記複数の傾斜面は、前記凹部の側面の一部である
ことを特徴とする請求項7に記載の波長可変光フィルタモジュール。 - 前記凹部の底面にさらに反射部が設けられている
ことを特徴とする請求項8に記載の波長可変光フィルタモジュール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013271263 | 2013-12-27 | ||
JP2013271263 | 2013-12-27 | ||
PCT/JP2014/006190 WO2015098019A1 (ja) | 2013-12-27 | 2014-12-12 | 波長可変光フィルタモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015098019A1 true JPWO2015098019A1 (ja) | 2017-03-23 |
JP6424337B2 JP6424337B2 (ja) | 2018-11-21 |
Family
ID=53477925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015554525A Active JP6424337B2 (ja) | 2013-12-27 | 2014-12-12 | 波長可変光フィルタモジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9810576B2 (ja) |
JP (1) | JP6424337B2 (ja) |
WO (1) | WO2015098019A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092336A (ja) * | 2014-11-10 | 2016-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 焦電体、焦電素子、焦電素子の製造方法、熱電変換素子、熱電変換素子の製造方法、熱型光検出器、熱型光検出器の製造方法および電子機器 |
KR102328838B1 (ko) * | 2019-07-17 | 2021-11-22 | 모스탑주식회사 | 비분산 적외선 방식의 멀티 가스 검출 장치 및 이의 구동 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10511772A (ja) * | 1994-12-30 | 1998-11-10 | ハネウエル・インコーポレーテッド | フアブリ・ペローマイクロフィルタ検出器 |
JP2008151544A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
JP2009270959A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Canon Inc | 分光測色ユニット及びそれを用いた光学装置 |
US20100211333A1 (en) * | 2009-01-14 | 2010-08-19 | Integrated Process Resources, Inc. | Leak Detection and Identification System |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6763718B1 (en) * | 2001-06-26 | 2004-07-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Micro-electro-mechanical systems ultra-sensitive accelerometer with independent sensitivity adjustment |
US6618199B2 (en) * | 2001-06-05 | 2003-09-09 | Axsun Technologies, Inc. | Dual-band fabry-perot mirror coating |
US7145143B2 (en) * | 2002-03-18 | 2006-12-05 | Honeywell International Inc. | Tunable sensor |
US20040051763A1 (en) * | 2002-09-13 | 2004-03-18 | Shogo Matsubara | Piezoelectric thin film element, actuator, ink-jet head and ink-jet recording apparatus therefor |
JP4057871B2 (ja) * | 2002-09-19 | 2008-03-05 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | 液晶表示装置 |
US7420738B2 (en) * | 2003-12-22 | 2008-09-02 | Axsun Technologies, Inc. | Dual membrane single cavity Fabry-Perot MEMS filter |
US7342705B2 (en) * | 2004-02-03 | 2008-03-11 | Idc, Llc | Spatial light modulator with integrated optical compensation structure |
US20050224694A1 (en) * | 2004-04-08 | 2005-10-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | High efficiency microlens array |
US7564612B2 (en) * | 2004-09-27 | 2009-07-21 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US7355780B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-04-08 | Idc, Llc | System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting |
US20060132383A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-06-22 | Idc, Llc | System and method for illuminating interferometric modulator display |
US8115987B2 (en) * | 2007-02-01 | 2012-02-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Modulating the intensity of light from an interferometric reflector |
US7911623B2 (en) * | 2007-08-07 | 2011-03-22 | Xerox Corporation | Fabry-Perot piezoelectric tunable filter |
US8303151B2 (en) * | 2010-05-12 | 2012-11-06 | Apple Inc. | Microperforation illumination |
JP5774501B2 (ja) * | 2012-01-12 | 2015-09-09 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP5926456B2 (ja) * | 2012-06-06 | 2016-05-25 | ノースロップ グルマン システムズ コーポレーションNorthrop Grumman Systems Corporation | 光学式加速度計システム |
US20140002802A1 (en) * | 2012-06-27 | 2014-01-02 | Young Optics Inc. | Projection apparatus and projection lens thereof |
WO2014039765A1 (en) * | 2012-09-08 | 2014-03-13 | Carestream Health, Inc. | Indirect radiographic imaging systems including integrated beam detect |
US10502870B2 (en) * | 2012-10-04 | 2019-12-10 | North Inc. | Optical assembly |
JP6260080B2 (ja) * | 2013-01-07 | 2018-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、波長可変干渉フィルターの製造方法、光学モジュール、及び電子機器 |
US20140333998A1 (en) * | 2013-03-12 | 2014-11-13 | Board Of Trustees, Southern Illinois University | Micro-lens for high resolution microscopy |
KR102055840B1 (ko) * | 2014-02-20 | 2019-12-17 | 삼성전자 주식회사 | 이미지 센서 패키지 |
TW201546397A (zh) * | 2014-06-03 | 2015-12-16 | Coretronic Corp | 車用照明裝置 |
KR20160096368A (ko) * | 2015-02-05 | 2016-08-16 | 삼성전자주식회사 | 반사 방지 구조물 제조 장치 및 이를 이용한 반사 방지 구조물 제조 방법 |
US9518917B2 (en) * | 2015-03-09 | 2016-12-13 | California Institute Of Technology | Mid-infrared hyperspectral spectroscopy systems and methods therefor |
-
2014
- 2014-12-12 JP JP2015554525A patent/JP6424337B2/ja active Active
- 2014-12-12 WO PCT/JP2014/006190 patent/WO2015098019A1/ja active Application Filing
- 2014-12-12 US US15/026,989 patent/US9810576B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10511772A (ja) * | 1994-12-30 | 1998-11-10 | ハネウエル・インコーポレーテッド | フアブリ・ペローマイクロフィルタ検出器 |
JP2008151544A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
JP2009270959A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Canon Inc | 分光測色ユニット及びそれを用いた光学装置 |
US20100211333A1 (en) * | 2009-01-14 | 2010-08-19 | Integrated Process Resources, Inc. | Leak Detection and Identification System |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9810576B2 (en) | 2017-11-07 |
WO2015098019A1 (ja) | 2015-07-02 |
JP6424337B2 (ja) | 2018-11-21 |
US20160258812A1 (en) | 2016-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8648302B2 (en) | Thermal detector, thermal detection device, electronic instrument, and thermal detector manufacturing method | |
TWI662260B (zh) | 光學濾波器 | |
US9268144B2 (en) | Method for producing a mirror plate for Fabry-Perot interferometer, and a mirror plate produced by the method | |
US6147756A (en) | Microspectrometer with sacrificial layer integrated with integrated circuit on the same substrate | |
JP5816002B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP5707780B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
US20140042324A1 (en) | Detector and method of controlling the same | |
JP6862216B2 (ja) | 光検出装置 | |
US10495514B2 (en) | Mirror plate for a fabry-perot interferometer and a fabry-perot interferometer | |
JP6424337B2 (ja) | 波長可変光フィルタモジュール | |
JP2020521972A (ja) | 制御可能なスペクトル帯域幅及び解像度を有するスペクトルフィルタ | |
WO2015177974A1 (ja) | スペクトルセンサ | |
US11286158B2 (en) | MEMS-component | |
JP2004257885A (ja) | 多素子型赤外線検出器 | |
JP2011080854A (ja) | フーリエ変換分光器 | |
US8802217B2 (en) | Tilt structure | |
JP2015125381A (ja) | 波長可変光フィルタ | |
JPWO2021070820A1 (ja) | 光検出装置 | |
JP2012154685A (ja) | 熱型光検出器、熱型光検出装置、電子機器および熱型光検出器の製造方法 | |
JP2014211466A (ja) | 波長可変光フィルタ | |
JP2015143869A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
US20240175673A1 (en) | Piezoelectric interferometer | |
US20150248007A1 (en) | Method of manufacturing mirror device | |
JP6899974B1 (ja) | 光走査装置およびその製造方法ならびに測距装置 | |
JP7114766B2 (ja) | 光検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180924 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6424337 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |