KR970706960A - 유리 피복 방법 및 이에 의해 피복된 유리(Glass Coating Method and Glass Coated Thereby) - Google Patents

유리 피복 방법 및 이에 의해 피복된 유리(Glass Coating Method and Glass Coated Thereby)

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Abstract

유리 기판(54)을 CVD에 의해 베이스, 중간 및 표면 층(58, 60 및 62) 각각을 포함하는 다층 피복물(56)로 피복시키고, 여기에서 상기 층은 실리카, 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물 및 실리카 복합체 등이다. 유리 기판 상의 실리카 함유 피복물의 CVD에서, 실란, 산소, 에틸렌과 같은 라디칼 스캐빈저 가스 및 캐리어 가스를 전구 혼합물로서 혼합시킨다.

Description

유리 피복 방법 및 이에 의해 피복된 유리(Glass Coating Method and Glass Coated Thereby)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 플로트 유리 방법을 실시하기 위한 및 본 발명에 따라 피복물 물질을 도포시키기 위하여 배치된 가스 분배기 빔을 포함하기 위한 장치의 개략적 종방향 수직 단면도, 제2도는 본 발명에 따라 제조된 피복된 유리 제품의 단편 단면도.

Claims (27)

  1. a) 피복물을 침착시키려는 표면을 갖는 유리 기판을 승온에서 제공하는 단계; b) 실란, 전구 기체의 점화를 방지시키고 혼합물의 반응 속도를 조절하기에 적합한 양으로 존재하는 라디칼 스캐빈저 가스, 산소 및 불활성 캐리어 가스를 포함하는 전부 혼합물을 피복시키려는 상기 표면을 향해 및 상기 표면을 따라 배향시키고, 상기 혼합물을 상기 표면에 또는 상기 표면 근처에 도달시켜 규소 함유 피복물을 형성시키는 단계; 및 c) 피복된 유리 기판을 주위 온도까지 냉각시키는 단계로 이루어지는, 규소 함유 피복물을 가열된 유리 기판 상에 침착시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 단계 b) 전에 표면 상에 규소, 금속성 산화물 또는 금속성 질화물의 피복물을 침착시키는 단계 d) 를 포함하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 단계 b) 후에 표면 상에 규소, 금속성 산화물 또는 금속성 질화물의 피복물을 침착시키는 단계 d) 를 포함하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 단계 d) 후에 표면 상에 규소, 금속성 산화물 또는 금속성 질화물의 피복물을 침착시키는 단계 e) 를 포함하는 방법.
  5. 제3항에 있어서, 규소, 금속성 산화물 또는 금속성 질화물의 층이 침착되는 단계 d) 후에 단계 b)를 반복시켜 제2규소 함유 피복물을 규소, 금속성 산화물 또는 금속성 질화물의 층 상에 침착시키는 단계 e)를 포함하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 전구 혼합물 중의 실란이 모노실란(SiH4)인 방법.
  7. 제1항에 있어서, 전구 혼합물 중의 라디칼 스캐빈저 가스가 에틸렌 및 프로필렌으로 이루어진 군으로부터 선택되는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 라디칼 스캐빈저 가스가 에틸렌인 방법.
  9. 제1항에 있어서, 실란이 모노실란(SiH4)이고 라디칼 스캐빈저가 에틸렌(C2H4)인 방법.
  10. 제9항에 있어서, 전구 혼합물 중의 실란 농도가 약 0.05 내지 3.0 부피%인 방법.
  11. 제9항에 있어서, 에틸렌/실란 비가 약 3 : 1 내지 17 : 1인 방법.
  12. 제9항에 있어서, 전구 혼합물 중의 산소 농도가 약 0.15 내지 9 부피 %인 방법.
  13. 제10항에 있어서, 에틸렌/실란 비가 약 3 : 1 내지 17 : 1이고 산소 농도가 약 0.15 내지 9 부피 %인 방법.
  14. 제13항에 있어서, 에틸렌/실란 비가 약 9 : 1인 방법.
  15. a) 유리 시트 기판을 비산화 대기에서 약 1,050℉(566℃) 이상의 온도에서 유지시키는 단계; b) 실란, 전구 기체의 점화를 방지시키고 혼합물의 반응 속도를 선택적으로 조절하기에 적합한 양으로 존재하는 라디칼 스캐빈저 가스, 산소 및 불활성 캐리어 가스를 포함하는 기체 전구 혼합물을 상기 유리 시트 기판의 한 표면을 향해 및 상기 표면을 따라 배향시키고, 상기 혼합물을 상기 한 표면에 또는 상기 표면 근처에서 반응시켜 실리카 함유 피복물을 형성시키는 단계; 및 c) 피복된 유리 기판을 비산화 대기로부터 제거하고 피복된 기판을 주위 온도까지 냉각시키는 단계로 이루어지는, 실리카 함유 피복물을 유리 시트 기판의 한 표면 상에 갖는 유리 시트 기판의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 단계 a)와 단계 b) 사이에 상기 한 표면 상에 규소, 금속성 산화물 및 금속성 질화물로 이루어지는 군으로부터 선택된 피복물을 침착시키는 단계를 포함하는 방법.
  17. 제15항에 있어서, 단계 b) 후에 상기 한 표면 상에 규소, 금속성 산화물 및 금속성 질화물로 이루어지는 군으로부터 선택된 피복물을 침착시키는 단계를 포함하는 방법.
  18. 제15항에 있어서, 상기 비산화 대기가 질소가 대부분인 질소 및 수소의 혼합물로 이루어지고, 상기 실란이 모노실란으로 이루어지고, 상기 라디칼 스캐빈저 가스가 에틸렌으로 이루어지고, 상기 불활성 캐리어 가스가 질소로 이루어지는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 모노실란 농도가 약 0.05 내지 3.0 부피%의 전구 가스이고, 산소 농도가 약 0.15 내지 9 부피%의 전구 가스이고, 에틸렌/실란 비가 약 3 : 1 내지 17 : 1인 방법.
  20. 제19항에 있어서, 모노실란 농도가 약 0.6 내지 1.0%이고, 산소 농도가 약 1.0 내지 7% 이고, 에틸렌/실란 비가 약 3 : 1 내지 12 : 1인 방법.
  21. a) 유리 기판을 승온에서 유지시키고; b) 실란, 라디칼 스캐빈저 가스, 산소 및 불활성 캐리어 가스를 포함하는 전구 혼합물을 상기 기판의 표면을 향해 및 상기 표면을 따라 배향시키고, 상기 혼합물을 상기 표면에 또는 상기 표면 근처에서 반응시켜 규소 함유 피복물을 상기 표면 상에 형성시키고; c) 상기 기판 및 상기 기판 상의 규소 함유 피복물의 온도를 주위 온도까지 냉각시킴으로써 형성된, 실리카 함유 피복물을 그 표면상에 갖는 유리 기판.
  22. 제21항에 있어서, 상기 규소 함유 피복물이 상기 표면 상의 또 다른 층 상에 배치된 다수의 피복물 층 중의 하나인 유리 기판.
  23. 제22항에 있어서, 상기 다수의 피복물 층이 규소, 금속성 산화물 및 금속성 질화물로 이루어지는 군으로부터 선택된 1개 이상의 층을 포함하는 유리 기판.
  24. 제22항에 있어서, 상기 실리카 함유 피복물이 상기 다수의 피복물 층 중의 1개를 포함하는 유리 기판.
  25. 제23항에 있어서, 규소, 금속성 산화물 및 금속성 질화물의 피복물 1개 이상에 의해 분리된 상기 규소 함유 피복물 2개 이상을 포함하는 유리 기판.
  26. 제21항에 있어서, 상기 승온이 약 600℉(316℃) 이상인 유리 기판.
  27. 제22항에 있어서, 상기 승온이 1,050℉(566℃) 이상인 유리 기판.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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