KR970077411A - 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 - Google Patents
수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970077411A KR970077411A KR1019960015463A KR19960015463A KR970077411A KR 970077411 A KR970077411 A KR 970077411A KR 1019960015463 A KR1019960015463 A KR 1019960015463A KR 19960015463 A KR19960015463 A KR 19960015463A KR 970077411 A KR970077411 A KR 970077411A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- bare chip
- test apparatus
- lead frame
- chip test
- lower pedestal
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
Abstract
본 발명은 복수개의 본딩 패드를 갖는 베어 칩이 적어도 하나 이상 실장되며, 상기 본딩 패드들에 전기적으로 연결되는 리드들과 복수개의 가이드 홀을 갖는 리드 프레임과, 상기 리드 프레임이 적어도 하나 탑재되어 있고, 상기 리드들과 전기적으로 접촉되는 복수개의 접속 수단이 삽입 고정되어 있으며 상기 리드 프레임을 고정시키도록 상기 가이드 홀들에 대응되는 위치에 삽입되어 고정되어 있는 리드 프레임 고정핀들을 갖는 프린트 배선판과, 상기 프린트 배선판이 상부에 탑재된 하단 받침대와, 상기 하단 받침대의 양측 말단부에 기계적으로 결합되어 있으며 상방향으로 형성된 복수개의 안내홀을 갖는 안내 판낼들과, 상기 안내판들의 사이에 위치하는 연결봉들과, 일측이 상기 연결봉들의 양측 말단부와 체결되어 있으며, 상기 안내판을 관통하도록 끼워맞춤되어 있는 체결 수단과, 상기 체결 수단들의 다른 일측과 체결되어 있는 축들과, 상기 축들에 연결되도록 결합되어 있는 연결대와, 상기 연결대와 기계적으로 결합되어 있으며 상기 연결대를 수직 운동을 가능하게 해주는 구동 수단과, 상기 프린트 배선판과 전기적으로 연결되어 있는 외부 접속 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치를 제공함으로써, 테스트 가능한 프린트 배선판의 수량을 증가하기가 용이하며, 테스트 장치의 제작비용을 절감하며, 생산성을 향상시키는 효과를 나타내는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 베어 칩 테스트 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도.
Claims (13)
- 복수개의 본딩 패드를 갖는 베어 칩이 적어도 하나 이상 실장되며, 상기 본딩 패드들에 전기적으로 연결되는 리드들과, 복수개의 가이드 홀을 갖는 리드 프레임; 상기 리드 프레임이 적어도 하나 이상 탑재되어 있고, 상기 리드들과 전기적으로 접촉되는 복수개의 접속 수단이 삽입 고정되어 있으며, 상기 리드 프레임을 고정시키도록 상기 가이드 홀들에 대응되는 위치에 삽입되어 있는 리드 프레임 고정핀들을 갖는 프린트 배선판; 상기 프린트 배선파이 상부에 탑재된 하단 받침대; 상기 하단 받침대의 양측 말단부에 기계적으로 결합되어 있으며, 상방향으로 형성되어 있는 복수개의홀을 갖는 안내 판낼들; 상기 안내 판낼들의 사이에 위치하는 지지봉들; 일측이 상기 지지봉들의 양측 말단부와 체결되어 있으며, 상기 안내 판낼을 관통하도록 끼워맞춤되어 있는 체결 수단; 상기 체결 수단들의 다른 일측과 체결되어 있는 축들; 상기 축들에 연결되도록 결합되어 있는 연결대; 상기 연결대와 기계적으로 결합되어 있으며, 상기 연결대를 수직 운동을 가능하게 해주는 구동 수단; 상기 프린트 배선판과 전기적으로 연결되어 있는 외부 접속 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드 프레임은 하나의 베어칩이 실장된 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드 르레임은 복수개의 베어 칩이 실장된 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접속 수단이 포고 핀인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접속 수단인 U자 형상의 테스트 리드인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 하단 받침대가 유리 섬유인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드 프레임은 상기 리드가 상면과 하면에 모두 은도금되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 포고 핀 고정판은 폴리이미드 재질인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드 프레임은 베어칩의 수와 동일한 개수인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가압 고정판이 비전도성 금속 재질인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 안내홀의 형상이 수직 상방향에서 후방향으로 휘어진 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 구동 수단이 공압식 실린더인 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 하단 받침대의 상면에 가압 고정판의 말단부 위치에 완충 수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960015463A KR0175268B1 (ko) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 |
DE19718870A DE19718870B4 (de) | 1996-05-10 | 1997-05-03 | Prüfgerät für ungekapselte Halbleiterchips |
CN97104304A CN1103495C (zh) | 1996-05-10 | 1997-05-04 | 未封装半导体芯片的测试装置 |
JP9115798A JP3014338B2 (ja) | 1996-05-10 | 1997-05-06 | パッケージングされない半導体チップのテスト装置 |
US08/853,906 US5990692A (en) | 1996-05-10 | 1997-05-09 | Testing apparatus for non-packaged semiconductor chip |
TW086106157A TW455977B (en) | 1996-05-10 | 1997-07-22 | Testing apparatus for non-packaged semiconductor chip |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960015463A KR0175268B1 (ko) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970077411A true KR970077411A (ko) | 1997-12-12 |
KR0175268B1 KR0175268B1 (ko) | 1999-04-01 |
Family
ID=19458327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960015463A KR0175268B1 (ko) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5990692A (ko) |
JP (1) | JP3014338B2 (ko) |
KR (1) | KR0175268B1 (ko) |
CN (1) | CN1103495C (ko) |
DE (1) | DE19718870B4 (ko) |
TW (1) | TW455977B (ko) |
Families Citing this family (81)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6437586B1 (en) * | 1997-11-03 | 2002-08-20 | Micron Technology, Inc. | Load board socket adapter and interface method |
US6392427B1 (en) | 1998-12-21 | 2002-05-21 | Kaitech Engineering, Inc. | Testing electronic devices |
US6164984A (en) * | 1999-04-01 | 2000-12-26 | Schreiner Etiketten Und Selbstkelbetechnik Gmbh & Co. | Electrical connecting element |
US6560735B1 (en) * | 1999-08-03 | 2003-05-06 | Agere Systems Inc | Methods and apparatus for testing integrated circuits |
US6242933B1 (en) * | 1999-10-04 | 2001-06-05 | St Assembly Test Services | Device probe socket forming part of a test head, interfacing between test head and a probe handler, used for device strip testing |
EP1160579A1 (en) * | 2000-05-30 | 2001-12-05 | EMA Equipment Pte Ltd. | Containment device for burn-in boards, for testing integrated circuits and the like |
JP4716066B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2011-07-06 | 日本電気株式会社 | ピッチ送り機構 |
US20020199159A1 (en) * | 2001-06-22 | 2002-12-26 | Vinson Dong | Naked chip motherboard module |
US6783316B2 (en) * | 2001-06-26 | 2004-08-31 | Asm Assembly Automation Limited | Apparatus and method for testing semiconductor devices |
US6677770B2 (en) * | 2001-07-17 | 2004-01-13 | Infineon Technologies | Programmable test socket |
US6960923B2 (en) * | 2001-12-19 | 2005-11-01 | Formfactor, Inc. | Probe card covering system and method |
CN100339981C (zh) * | 2002-08-26 | 2007-09-26 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 具有凹凸侧边的封装基板 |
CN100388446C (zh) * | 2004-06-02 | 2008-05-14 | 鸿骐昶驎科技股份有限公司 | 用于芯片基板封装的具粘着定位技术的系统及方法 |
WO2006028812A1 (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Celadon Systems, Inc. | Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer |
US7371459B2 (en) | 2004-09-03 | 2008-05-13 | Tyco Electronics Corporation | Electrical devices having an oxygen barrier coating |
CN1328779C (zh) * | 2004-09-21 | 2007-07-25 | 威盛电子股份有限公司 | 芯片测试夹具及其上盖 |
CN100397962C (zh) * | 2004-10-26 | 2008-06-25 | 赵建铭 | 半导体元件的封装体及其封装方法 |
US7656173B1 (en) * | 2006-04-27 | 2010-02-02 | Utac Thai Limited | Strip socket having a recessed portions in the base to accept bottom surface of packaged semiconductor devices mounted on a leadframe for testing and burn-in |
US8461694B1 (en) | 2006-04-28 | 2013-06-11 | Utac Thai Limited | Lead frame ball grid array with traces under die having interlocking features |
US8460970B1 (en) | 2006-04-28 | 2013-06-11 | Utac Thai Limited | Lead frame ball grid array with traces under die having interlocking features |
US8492906B2 (en) | 2006-04-28 | 2013-07-23 | Utac Thai Limited | Lead frame ball grid array with traces under die |
US8487451B2 (en) | 2006-04-28 | 2013-07-16 | Utac Thai Limited | Lead frame land grid array with routing connector trace under unit |
US8310060B1 (en) * | 2006-04-28 | 2012-11-13 | Utac Thai Limited | Lead frame land grid array |
JP4458077B2 (ja) * | 2006-08-21 | 2010-04-28 | ヤマハ株式会社 | 検査用チップソケット |
US8013437B1 (en) | 2006-09-26 | 2011-09-06 | Utac Thai Limited | Package with heat transfer |
US8125077B2 (en) | 2006-09-26 | 2012-02-28 | Utac Thai Limited | Package with heat transfer |
KR100822281B1 (ko) * | 2006-11-29 | 2008-04-16 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어모듈 |
US9761435B1 (en) | 2006-12-14 | 2017-09-12 | Utac Thai Limited | Flip chip cavity package |
US9711343B1 (en) | 2006-12-14 | 2017-07-18 | Utac Thai Limited | Molded leadframe substrate semiconductor package |
US7790512B1 (en) | 2007-11-06 | 2010-09-07 | Utac Thai Limited | Molded leadframe substrate semiconductor package |
CN101452030B (zh) * | 2007-11-28 | 2012-07-04 | 京元电子股份有限公司 | 插座基板上具有开关元件的测试装置 |
US7857646B2 (en) * | 2008-05-02 | 2010-12-28 | Micron Technology, Inc. | Electrical testing apparatus having masked sockets and associated systems and methods |
US8063470B1 (en) | 2008-05-22 | 2011-11-22 | Utac Thai Limited | Method and apparatus for no lead semiconductor package |
JP2009294187A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 電子部品の試験装置用部品及び試験方法 |
JP5073599B2 (ja) * | 2008-07-08 | 2012-11-14 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体チップの検査用治具、検査装置および検査方法、ならびに半導体装置の製造方法 |
US9947605B2 (en) | 2008-09-04 | 2018-04-17 | UTAC Headquarters Pte. Ltd. | Flip chip cavity package |
JP2010151794A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Panasonic Corp | 電子部品試験装置 |
US8334764B1 (en) | 2008-12-17 | 2012-12-18 | Utac Thai Limited | Method and apparatus to prevent double semiconductor units in test socket |
US8367476B2 (en) | 2009-03-12 | 2013-02-05 | Utac Thai Limited | Metallic solderability preservation coating on metal part of semiconductor package to prevent oxide |
US9449900B2 (en) * | 2009-07-23 | 2016-09-20 | UTAC Headquarters Pte. Ltd. | Leadframe feature to minimize flip-chip semiconductor die collapse during flip-chip reflow |
US9355940B1 (en) | 2009-12-04 | 2016-05-31 | Utac Thai Limited | Auxiliary leadframe member for stabilizing the bond wire process |
US8368189B2 (en) | 2009-12-04 | 2013-02-05 | Utac Thai Limited | Auxiliary leadframe member for stabilizing the bond wire process |
US8575732B2 (en) | 2010-03-11 | 2013-11-05 | Utac Thai Limited | Leadframe based multi terminal IC package |
US8871571B2 (en) | 2010-04-02 | 2014-10-28 | Utac Thai Limited | Apparatus for and methods of attaching heat slugs to package tops |
KR100989673B1 (ko) | 2010-04-23 | 2010-10-26 | 지에프텍 주식회사 | 표면 실장형 집적회로 패키지용 테스트 소켓 |
CN101975921A (zh) * | 2010-09-29 | 2011-02-16 | 上海天臣威讯信息技术有限公司 | 芯片测试板及测试方法、dfn封装器件测试板及测试方法 |
CN102565652A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管封装结构检测装置及检测方法 |
JP5702701B2 (ja) * | 2011-04-20 | 2015-04-15 | 株式会社アドバンテスト | 試験用キャリア |
CN103326231B (zh) * | 2012-03-20 | 2015-06-24 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种半导体激光器老化方法及固定夹具 |
CN102650676A (zh) * | 2012-05-02 | 2012-08-29 | 威力盟电子(苏州)有限公司 | Led测试装置以及led测试方法 |
CN102654558A (zh) * | 2012-05-03 | 2012-09-05 | 威力盟电子(苏州)有限公司 | Led测试装置 |
US9029198B2 (en) | 2012-05-10 | 2015-05-12 | Utac Thai Limited | Methods of manufacturing semiconductor devices including terminals with internal routing interconnections |
US9449905B2 (en) | 2012-05-10 | 2016-09-20 | Utac Thai Limited | Plated terminals with routing interconnections semiconductor device |
US9397031B2 (en) | 2012-06-11 | 2016-07-19 | Utac Thai Limited | Post-mold for semiconductor package having exposed traces |
EP2677326A1 (de) * | 2012-06-18 | 2013-12-25 | Multitest elektronische Systeme GmbH | Vorrichtung zum Prüfen von elektronischen Bauteilelementen |
US9395404B2 (en) * | 2012-12-14 | 2016-07-19 | Infineon Technologies Ag | Method for testing semiconductor chips or semiconductor chip modules |
TWM461699U (zh) * | 2013-02-06 | 2013-09-11 | Jim Technology Co Ltd | 含氧感知器之訊號修訂裝置 |
CN103453924A (zh) * | 2013-09-18 | 2013-12-18 | 镇江艾科半导体有限公司 | 半导体芯片测试底板 |
US10242934B1 (en) | 2014-05-07 | 2019-03-26 | Utac Headquarters Pte Ltd. | Semiconductor package with full plating on contact side surfaces and methods thereof |
CN104464583B (zh) * | 2014-12-09 | 2018-05-25 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种点灯检测装置以及方法 |
US10269686B1 (en) | 2015-05-27 | 2019-04-23 | UTAC Headquarters PTE, LTD. | Method of improving adhesion between molding compounds and an apparatus thereof |
US9805955B1 (en) | 2015-11-10 | 2017-10-31 | UTAC Headquarters Pte. Ltd. | Semiconductor package with multiple molding routing layers and a method of manufacturing the same |
US10338131B2 (en) * | 2015-11-24 | 2019-07-02 | Texas Instruments Incorporated | System and method for high voltage stress testing plurality of parallel units |
CN105489544B (zh) * | 2016-01-12 | 2018-05-29 | 惠州Tcl移动通信有限公司 | 打胶集成电路再利用的方法及其所需的植锡夹具 |
DE102016001425B4 (de) | 2016-02-10 | 2019-08-14 | Tdk-Micronas Gmbh | Testmatrixadaptervorrichtung |
CN107300668A (zh) * | 2016-04-14 | 2017-10-27 | 深圳市三联光智能设备股份有限公司 | 贴片轻触开关测试机构和贴片轻触开关编带机 |
US10276477B1 (en) | 2016-05-20 | 2019-04-30 | UTAC Headquarters Pte. Ltd. | Semiconductor package with multiple stacked leadframes and a method of manufacturing the same |
CN107369632A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-11-21 | 欧阳慧琳 | 一种未封装功率器件芯片的可靠性测试方法和系统 |
CN107589279B (zh) * | 2017-08-11 | 2020-01-14 | 中国人民解放军63686部队 | 小间距接线座的测试转接器 |
CN111103444A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 三赢科技(深圳)有限公司 | 检测装置 |
CN109884502A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 芯片测试方法及装置、系统、控制设备及存储介质 |
JP7245721B2 (ja) | 2019-05-31 | 2023-03-24 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
KR102077471B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2020-02-14 | 장병철 | 표면 실장형 집적회로 패키지용 테스트 소켓 |
KR102088699B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2020-03-13 | 장병철 | 표면 실장형 집적회로 패키지를 테스트하는 방법 |
CN111696880B (zh) * | 2020-06-15 | 2021-08-20 | 西安微电子技术研究所 | 一种基于tsv硅晶圆重构的裸芯片kgd筛选方法 |
CN111696879B (zh) * | 2020-06-15 | 2021-08-31 | 西安微电子技术研究所 | 一种基于转接基板的裸芯片kgd筛选方法 |
JP7386190B2 (ja) | 2021-01-21 | 2023-11-24 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
JP7355773B2 (ja) | 2021-02-26 | 2023-10-03 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法およびプログラム |
CN113770068B (zh) * | 2021-11-11 | 2022-01-25 | 成都英思嘉半导体技术有限公司 | 一种高速射频芯片自动化测试装置及测试方法 |
CN114325001B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-04-18 | 苏州英世米半导体技术有限公司 | 一种新型的翻盖式芯片测试座 |
KR102568131B1 (ko) * | 2023-02-06 | 2023-08-18 | 주식회사 비이링크 | 소켓 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60195465A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-03 | Hitachi Ltd | 特性検査装置及び特性検査方法 |
US5006792A (en) * | 1989-03-30 | 1991-04-09 | Texas Instruments Incorporated | Flip-chip test socket adaptor and method |
US5559444A (en) * | 1991-06-04 | 1996-09-24 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing unpackaged semiconductor dice |
US5495179A (en) * | 1991-06-04 | 1996-02-27 | Micron Technology, Inc. | Carrier having interchangeable substrate used for testing of semiconductor dies |
US5227717A (en) * | 1991-12-03 | 1993-07-13 | Sym-Tek Systems, Inc. | Contact assembly for automatic test handler |
US5483174A (en) * | 1992-06-10 | 1996-01-09 | Micron Technology, Inc. | Temporary connection of semiconductor die using optical alignment techniques |
KR960000793B1 (ko) * | 1993-04-07 | 1996-01-12 | 삼성전자주식회사 | 노운 굳 다이 어레이 및 그 제조방법 |
KR960011265B1 (ko) * | 1993-06-25 | 1996-08-21 | 삼성전자 주식회사 | 노운 굳 다이 어레이용 테스트 소켓 |
US5633122A (en) * | 1993-08-16 | 1997-05-27 | Micron Technology, Inc. | Test fixture and method for producing a test fixture for testing unpackaged semiconductor die |
US5572140A (en) * | 1993-08-25 | 1996-11-05 | Sunright Limited | Reusable carrier for burn-in/testing on non packaged die |
JP2908747B2 (ja) * | 1996-01-10 | 1999-06-21 | 三菱電機株式会社 | Icソケット |
US5721496A (en) * | 1996-01-23 | 1998-02-24 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for leak checking unpackaged semiconductor dice |
-
1996
- 1996-05-10 KR KR1019960015463A patent/KR0175268B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-05-03 DE DE19718870A patent/DE19718870B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-04 CN CN97104304A patent/CN1103495C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-06 JP JP9115798A patent/JP3014338B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-09 US US08/853,906 patent/US5990692A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-07-22 TW TW086106157A patent/TW455977B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0175268B1 (ko) | 1999-04-01 |
TW455977B (en) | 2001-09-21 |
CN1103495C (zh) | 2003-03-19 |
JPH1090350A (ja) | 1998-04-10 |
US5990692A (en) | 1999-11-23 |
DE19718870A1 (de) | 1997-11-13 |
CN1165401A (zh) | 1997-11-19 |
DE19718870B4 (de) | 2005-07-07 |
JP3014338B2 (ja) | 2000-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR970077411A (ko) | 수평 하향식 접속 방식의 베어 칩 테스트 장치 | |
EP1879035B1 (en) | Probe Card | |
US5439161A (en) | Thermocompression bonding apparatus, thermocompression bonding method and process of manufacturing liquid crystal display device | |
CN110108909B (zh) | 一种ict测试治具 | |
KR101147573B1 (ko) | 반도체 시험 장치 | |
JPH0982853A (ja) | Icソケット | |
US6049214A (en) | Universal printed circuit board inspection apparatus, and method of using same | |
KR101322265B1 (ko) | 검사 탐침 장치 | |
KR20100089694A (ko) | 프로브 카드 | |
JPH0782032B2 (ja) | 表示パネル用プローブとその組み立て方法 | |
KR100331546B1 (ko) | 반도체 패키지 검사공정의 소켓핀 및 이를 이용한 소켓 | |
KR100773309B1 (ko) | 정션박스용 버스바 도통검사 장치 및 그 공정 | |
KR20030013810A (ko) | 프로브 카드 | |
KR100600701B1 (ko) | 평판표시패널 검사용 프로브 장치 | |
KR20070069276A (ko) | 프로브 카드 | |
KR100269953B1 (ko) | 반도체칩검사용소켓장치 | |
KR200408653Y1 (ko) | 디스플레이 패널 검사용 프로브 장치 | |
KR102312971B1 (ko) | 결합 구조를 간소화한 테스트 보드용 커넥터 | |
KR100926290B1 (ko) | 전기 검사 장치용 모듈 그리고 이를 포함하는 전기 검사장치 | |
CN213843442U (zh) | 器件老化测试用分光系统 | |
JP3421158B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
CN213581045U (zh) | 测试夹具 | |
JP2642535B2 (ja) | ガルリード部品の試験装置 | |
JPH0714927Y2 (ja) | 回路基板検査装置におけるピンボード構造 | |
KR101104289B1 (ko) | 테스트부 유닛, 테스트 헤드 및 전자부품 시험장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20081103 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |