JP4458077B2 - 検査用チップソケット - Google Patents
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Description
(検査用チップソケット)
図1は本発明による検査用チップソケットの一実施形態を示す図である。
図1A、図1B、図1Cに示すように、検査用チップソケット1はコンタクトブロック16、トレイ11、カバー12などからなる。コンタクトブロック16はテスタ基板28に固定される。検査対象チップ20が載置されるトレイ11はコンタクトブロック16に載置され、カバー12がコンタクトブロック16に結合することによって、コンタクトブロック16とカバー12とに挟まれた状態でコンタクトブロック16に固定される。
1.トレイ
図2A、図2B、図2Cに示すように、トレイ11は板状であり、例えば射出成形された樹脂からなる。トレイ11にはそれぞれに検査対象チップを1つ載置するための複数の載置区画29がある。トレイ11あたりの載置区画29の数は任意であるが、載置区画29の数が多いほど一度に検査可能な検査対象チップの数が増大する。
載置区画29を形成している凹部の底面には後述するプローブが貫通する通孔33が形成されている。
図3A、図3B、図3Cに示すように、コンタクトブロック16は、ベース上22、ベース下23、テーブル27等から構成されている。ベース下23とベース上22とは複数のねじ28によって結合され、通孔17に挿入される図示しないねじによってテスタ基板に固定される。テーブル27はねじ25によってベース上22に拘束され、ベース上22とテーブル27の間に設けられた複数のバネ26によってベース上22から離れた位置に支持されている。
図1A、図1B、図1Cに示すように、カバー12はコンタクトブロック16とともにトレイ11を挟み、トレイ11に載置されている複数の検査対象チップ20全てに被さる。カバー12にはガイドロッド13が挿入される通孔10が形成されている。カバー12は、ガイドロッド13が通孔10に挿入された状態で2つのツメ14によってコンタクトブロック16に掛け止められる。2つのツメ14はそれぞれシャフト18によってカバー12に保持され、ツメ14の先端部が互いに接近する方向にツメ14はバネ21によって押されている。ツメ14の先端部がベース上22の凸部に掛かると、バネ21の弾性力によってカバー12とコンタクトブロック16とが結合される。ツメ14の先端部をベース上22の凸部から外すと、コンタクトブロック16からカバー12が解放され、トレイ11をコンタクトブロック16から取り外せる状態になる。
図1C、図1Dおよび図3Cに示すように、複数のプローブ24がコンタクトブロック16によって保持されている。具体的には次の通りである。ベース下23、ベース上22、テーブル27にはそれぞれプローブ24が挿入される通孔が形成されている。ベース下23に形成されている通孔は下部が上部よりも小径である。テーブル27に形成されている通孔は上部が下部よりも小径である。プローブ24は両端が先細りしている棒状であるため、ベース下23とテーブル27とにそれぞれ形成されている通孔の内壁面の段部に掛け止められた状態でコンタクトブロック16に保持される。
図4は本発明による検査システムの一実施形態を示す図である。
検査システム2は、テスタ基板28、制御部36、バーコードリーダ40、メモリコントローラ38等からなる。テスタ基板28は制御部36から出力される制御信号に応じた検査信号を生成し、プローブ24を介して検査信号を検査対象チップに入力するためのプリント配線基板である。またテスタ基板28は検査対象チップ毎に出力される出力信号に基づいて検査対象チップの検査結果を載置区画毎に示す検査結果データを生成し、制御部36に出力する。データ取得手段としての制御部36は、コンピュータとして構成され、テスタ基板28を介して検査対象チップに検査信号を入力し検査結果データを取得する。バーコードリーダ40は、トレイ11を識別するためのバーコードからトレイ11の識別データとしてのトレイIDを読み取る。トレイ11を識別するためのバーコードは例えばバーコードラベル39をトレイ11に貼付することによりトレイ11に表示される。トレイ11を識別するための識別データはバーコードの他、磁気データとしてトレイ11に格納することもできる。制御部36は、トレイ11毎に、バーコードリーダ40から取得したトレイIDとテスタ基板28から取得した検査結果データとを関連づけ、メモリコントローラ38を介してトレイIDと検査結果データとをリムーバブルメモリ41に出力する。
図5は本発明による検査方法の一実施形態を示す図である。図5に示す検査方法は、磁気センサ、温度センサ、マルチプレクサ、AD変換回路、DA変換回路などを備えた磁気センサチップを検査対象チップとしてチップ状態で検査する方法である。
Claims (1)
- 検査対象磁気センサチップに備わる信号処理回路を検査するためのテスタ基板と、
前記テスタ基板に固定されるコンタクトブロックと、
複数の載置区画にそれぞれ前記検査対象磁気センサチップを位置決めするための凸部であって前記検査対象磁気センサチップの高さより高い凸部を上面に有するとともに前記凸部が嵌る凹部を下面に有する積み重ね可能な板状であって前記コンタクトブロックに載置される樹脂からなるトレイと、
前記コンタクトブロックに保持され前記テスタ基板と前記検査対象磁気センサチップとを接続するプローブであって、前記検査対象磁気センサチップが載置された前記トレイが前記コンタクトブロックに固定されると、前記載置区画毎に載置されている複数の前記検査対象磁気センサチップの端子に接触する複数のプローブと、
前記トレイの識別データを前記トレイから読み取るための読み取り手段と、
複数の前記検査対象磁気センサチップの検査結果を前記載置区画毎に示す検査結果データを前記テスタ基板を介して取得するデータ取得手段と、
前記検査結果データを前記識別データに関連づけて出力する出力手段と、
を備える検査システムを用いた方法であって、
複数の前記載置区画にそれぞれ前記検査対象磁気センサチップを載置し、
前記読み取り手段に前記識別データを読み取らせ、
前記検査対象磁気センサチップが載置された前記トレイを前記コンタクトブロックに固定した状態で磁場を発生させるとともに前記データ取得手段に前記検査結果データを取得させ、
前記載置区画毎に示す前記検査結果データを前記識別データに関連づけて前記出力手段に出力させ、
前記トレイを前記コンタクトブロックから取り外し、
前記出力手段から出力された前記識別データのうち前記コンタクトブロックから取り外された特定の前記トレイである対象トレイに表示されている前記識別データに関連づけられている前記検査結果データに基づいて、前記対象トレイの載置区画に載置された複数の前記検査対象磁気センサチップから良品の前記検査対象磁気センサチップを選別する、
ことを含む磁気センサチップ検査方法。
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