KR970067748A - 면위치검출방법 및 동방법을 사용하는 스캔노광 방법 - Google Patents

면위치검출방법 및 동방법을 사용하는 스캔노광 방법 Download PDF

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Abstract

피검출면을 상대주사하면서 면높이와 불규칙한 이 피검출면의 면위치를 검출하는 면위치검출방법이 기재되어 있다, 이 방법은 상기 피검출면을 상대주사하면서 상기 피검출면상의 복수의 측정위치에서 표면상태에 관련된 특성데이터를 검출하는 단계와, 후속하는 면위치검출공정에 있어서, 상기 표면위치의 측정을 위한 측정위치를 결정하기 위하여 상기 측정위치에 관련된 상기 검출된 특성데이터를 처리하는 단계를 포함한다.

Description

면위치검출방법 및 동방법을 사용하는 스캔노광 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 도1의 장치에 있어서의 웨이퍼의 반입으로부터 웨이퍼의 반출까지의 시퀸스의 개요를 설명하는 로우챠트.

Claims (16)

  1. 피검출면을 상대주사하면서 면높이가 불규칙한 이 피검출면의 면위치를 검출하는 면위치검출방법에 있어서, 상기 피검출면을 상대주사하면서 이 피검출면상의 복수의 측정위치에서 면상태에 관련된 특성데이터를 검출하는 단계와, 후속하는 면위치검출공정에 있어서 상기 피검출면위치의 측정용 측정위치를 결정하기 위하여 상기 측정위치에 관련된 상기 검출된 특성데이터를 처리하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 면위치검출방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 특성 데이터검출단계에 있어서, 면위치데이터와 검출신호의 형상을 나타내는 특성량을 검출하는 것을 특징으로 하는 면위치검출방법.
  3. 원형과 기판을 상대주사하면서 상기 원형의 패턴을 상기 기판상에 프린트하는 스캔노광방법에 있어서, 상기 기판 표면을 상대주사하면서, 상기 기판표면상의 복수의 측정위치에서 면상태에 관련된 특성데이터를 검출하는 단계와; 스캔노광시의 면위치검출에 있어서, 상기 기판표면에 대한 상기 면위치의 측정용 측정위치를 결정하기 위하여 상기 측정위치에 관련된 상기 검출된 특성데이터를 처리하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 특성데이터검출단계에 있어서, 면위치데이터와 검출신호의 형상을 나타내는 특성량을 검출하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  5. 제3항에 있어서, 특성데이터검출단계는, 상기 스캔노광시의 주사속도 보다 낮은 주사속도로 상대주사를 행하면서 특성데이터를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  6. 제3항에 있어서, 상기 측정위치의 결정은 상기 스캔노광시의 주사속도에 따라서 사기 기판표면의 면위치의 특정을 위한 측정위치의 결정을 포함하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  7. 제3항에 있어서, 상기 기판은 패턴이 형성되어 있는 웨이퍼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 웨이퍼의 패턴과 같은 패턴을 가진 복수의 웨이퍼에 관련된 특성데이타를 검출하는 단계와, 상기 특성데이터에 의거해서 결정된 측정위치정보를 기억하는 단계와, 상기 기억된 측정위치중의 적어도 하나에 의거해서 상기 복수의 웨이퍼의 각각에 면위치 측정을 행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  9. 기판의 면위치를 설정하는 면위치설정방법에 있어서, 측정위치에 대해 기판표면을 상대주사하면서 상기 측정위치에서 상기 기판표면의 면위치를 특정하는 측정단계와, 측정위치를 통과한 기판상의 소정위치가 주사방향으로 소정위치에 놓일 때, 상기 측정단계에서 얻어진 측정치에 의거해서 목표치를 설정하고, 상기 기판의 면위치가 상기 목표치와 정확히 일치하도록 상기 기판을 이동시키는 구동단계와, 상기 구동단계에서의 목표치를 변경하기 위한 시간 간격을 상기 측정단계에서의 측정시간 간격보다 짧게 설정하는 설정단계와; 특정위치전후에 측정위치에 관련된 측정치에 의거해서, 상기 기판상의 여러 측정위치들 사이의 측정위치에 대한 목표치를 결정하는 결정단계; 로 구성된 것을 특징으로 하는 면위치설정방법.
  10. 제9항에 있어서, 결정단계에 있어서, 상기 틀정위치에 대한 목표치가, 상기 특정위치전후에 상기 특정위치에 관련된 측정치의 보간에 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 면위치설정방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 보간은 직선보간 및 다차근사보간중의 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 면위치설정방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 주사방향과 상기 주사방향에 수직한 방향중의 하나에 대한 상기 기판의 위치를 측정하는 단계와, 상기 기판을 소정위치로 이동시키기 위하여 보정구 등을 행하는 단계와, 상기 보정구동의 시간 간격을 상기 면위치측정의 시간간격보다 짧게 설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 면위치설정방법.
  13. 원형과 기판을 상대주사하면서 상기 기판상에 상기 원형의 기판을 프린트하는 스캔노광방법에 있어서, 측정위치에 대해 기판표면을 상대주사하면서, 상기 측정위치에서 상기 기표면의 면위치를 측정하는 측정단계와; 상기 측정위치를 통과한 상기 기판상의 소정위치가 노광위치에 놓일 때, 상기 측정단계에서 얻어진 측정치에 의거하여 목표치를 설정하고, 상기 기판의 면위치가 상기 목표치와 정확히 일치하도록 상기 기판을 이동시키는 구동단계와; 상기 구동단계에서의 목표치를 변경하는 시간간격을 상기 측정단계에서의 측정시간 간격보다 짧게 설정하는 설정단계와; 특정위치전후에 상기 측정위치에 관련된 측정치에 의거해서 상기 기판상의 여러측정위치사이의 특정위치에 대한 목표치를 결정하는 결정단계; 로 구성된 것을 특징으로 하는 스캔노광방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 결정단계에 있어서, 상기 특정위치에 대한 목표치는 상기 특정위치 전후의 상기 측정위치와 관련된 상기 측정치의 보간의 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법
  15. 제14항에 있어서, 상기 보간은 직선보간과 다차근사보간중의 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법
  16. 제13항에 있어서, 상기 주사방향과 이 주사방향에 수직한 방향중의 하나에 대한 상기 기판의 위치를 측정하는 단계와 상기 기판을 소정위치에 이동시키기 위하여 보정구동을 행하는 단계와, 상기 보정구동의 시간간격을 상기 면위치측정의 시간간격보다 짧게 설정하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스캔노광방법
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