KR950033087A - 크라이오펌프 - Google Patents

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Abstract

크라이오펌프는, 크라이오펌프의 현재의 작동사이클내의 경과작동시간에서 작동 피라미터를 검출하는 검출 수단과; 크라이오펌프의 이전의 작동 사이클내의 대응 경과작동시간에서의 다른 작동파라미터의 값을 처리파라미터로서 저장하는 저장수단과; 저장수단에 저장된 현재의 작동파라미터 및 처리파라미터에 의거하여 팽창모터의 후속회전속도를 계산하여 구동명령신호로 출력하며, 검출수단에 의해 검출된 크라이오펌프의 현재의 작동사이클내의 경과작동시간의 작동파라미터와 저장수단에 처리파라미터로서 저장된 크라이오펌프의 이전의 작동사이클내의 대응 경과작동시간에서의 작동파라미터를 사용함으로써, 크라이오패널의 온도 또는 크라이오펌프에 부착되는 진공실내의 압력이 소정값으로 유지되도록 팽창모터의 후속회전속도를 제어하는 산술제어수단과; 산술제어수단으로부터 출력된 구동명령신호에 따라 팽창모터를 구동하는 팽창모터구동수단을 포함하며, 이에 의해 일시적인 부하변동이 발생하더라도 크라이오펌프는 안정되게 작동될 수 있다.

Description

크라이오펌프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 크라이오펌프를 개략적으로 도시하는 구성도, 제6도는 본 발명의 재생 방법을 실행하기 위한 크라이오펌프용 재생 장치의 구성도.

Claims (16)

  1. 저압작용기체를 흡입하고 고압실온작용기체를 방출하는 압축장치와, 팽창모터에 의해 구동되어, 상기 압축장치로부터 방출되는 상기고압실온작용기체를 단열팽창하여 극저온을 생성하고, 상기 압축장치와 서로 연결되어 폐쇄회로를 형성하는 팽챙부와, 상기 팽창부에 의해 생성된 극저온에 의해 냉각되는 크라이오패널을 포함하는 크라이오펌프에 있어서 ; 상기 크라이오펌프의 현재의 작동사이클내의 경과작동시간에서의 작동파라미터를 검출하는 검출수단과;상기 크라이오펌프의이전의 작동사이클내의대응 경과작동시간에서의 다른 작동파라미터의 값을 처리파라미터로서 저장하는 저장수단과;상기 저장수단에 저장된 상기 현재의 작동파라미터 및 상기 처리파라미터에 의거하여 상기 팽창모터의 후속 회전속도를 계산하여 구동명령신호를 출력하며, 상기 팽창모터의 현재회전속도와 상기 저장수단에 처리 파라미터로서 저장된 상기 크라이오펌프의 상기 이전의 작동사이클내의 대응 경과작동시간에서의 회전속도를 사용함으로써, 상기 크라이오패널의 온도 또는 상기 크라이오펌프에 부착되는 진공실내의 압력이 소정값으로 유지되도록 상기 팽창모터의 후속회전속도를 제어하는 산술제어수단과; 상기 산술제어수단으로부터 출력된 구동명령신호에 따라 상기 팽창모터를 구동하는 팽창모터 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 작동파라미터는 상기 크라이오패널의 현재온도와 상기 팽창모터의 현재회전속도를 포함하며, 상기 다른 작동파라미터는 상기 이전의 작동사이클내의 대응 경과작동시간에서의 상기 팽창모터의 회전속도를 포함하고, 상기 산술제어수단은 상기 팽창모터의 속도를 제어하여, 상기 크라이오패널의 상기 온도를 상기 소정값으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 작동파라미터는 상기 진공펌프내의 현재압력과 상기 팽창모터의 현재 회전속도를 포함하며, 상기 다른 작동파라미터는 상기 이전의 작동사이클내 대응 경과작동시간에서의 상기 팽창모터의 회전속도를 포함하고, 상기 산술제어수단은 상기 팽창모터의 속도를 제어하여, 상기 진공실내의 상기 압력을 상기 소정값으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  4. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 이전의 작동사이클은 상기 크라이오펌프의 마지막 또는 마지막에서 두번째 작동사이클인 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  5. 저압작용기체를 흡입하고 고압실온작용기체를 방출하는 압축장치와, 팽창모터에 의해 구동되어, 상기 압축장치로 부터 방출되는 상기 고압실온 작용기체를 단열팽창하여 극저온을 생성하고, 상기 압축장치와 서로 연결되어 폐쇄회로를 형성하는 팽창부와, 상기 팽창부에 의해 생성된 극저온에 의해 냉각되는 크라이오패널을 포함하는 크라이오펌프에 있어서;상기 크라이오펌프의 현재의 작동사이클내의 경과작동시간에서의 작동파라미터를 검출하는 검출수단과;상기 크라이오펌프의 보수 또는 재생시간의 판단을 위한 진단피라미터의 값을 저장하는 저장수단과상기 검출수단에 의해 검출된 현재의 작동파라미터를 상기 저장수단에 저장된 진단파라미터의 값과 비교하여, 상기 크라이오펌프가 현재 보수 또는 재생시간에 있는지를 판단하여, 경고신호를 출력하는 산술제어수단과 ; 상기 산술제어수단으로부터 출력된 상기 경고신호에 의거하여 현재 상기 크라이오펌프가 보수 또는 재생시간에 있는 것을 표시하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로하는 크라이오펌프.
  6. 제5항에 있어서, 상기 작동파라미터는 상기 팽창모터의 현재회전속도를 포함하고, 상기 진단파라미터는 상기 팽창모터의 회전속도의 상한치 또는 상기 상한치보다 약간 낮은 값을 포함하고, 상기 산술제어수단은, 상기 현재회전속도가 상기 팽창모터의 회전속도의상한치 또는 상한치보다 약간 낮은 값을 초과할때, 상기 크라이오펌프가 현재 재생시간인지를 판단하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  7. 제5항에 있어서, 상기 작동파라미터는 상기 팽창모터의 현재회전속도를 포함하고, 상기 진단파라미터는 표적교환시간과 상기 팽창기의 회전속도한계의 상한치를 포함하고, 상기 산술제어수단은, 상기 현재회전속도가 상기 표적교환시간 이전에 상기 팽창모터의 회전속도의 상기 상한치를 초과할 때, 상기 크라이오펌프가 현재 보수시간에 있는지를 판단하는 것을 특징으로하는 크라이오펌프.
  8. 제5항에 있어서, 상기 작동파라미터는 상기 크라이오펌프의 현재온도, 압력,회전속도 또는 진동수를 포함하고,상기 진단 파라미터는 각 정상치보다 높은 상기 펌프의 온도, 압력, 회전속도 또는 진동수의 소정값을 포함하고, 상기 산술제어수단은, 상기 크라이오펌프의 상기 현재온도, 압력, 회전속도 또는 진동수의 소정값을 초과할때, 상기 크라이오펌프가 현재 보수시간에 있는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  9. 저압작용기체를 흡입하고 고압실온작용기체를 방출하는 압축장치와, 팽창모터에 의해 구동되어, 상기 압축장치로부터 방출되는 상기 고압실온작용기체를 단열팽창하여 극저온을 생성하고, 상기 압축장치와서로 연결되어 폐쇄회로를 형성하는 팽창부와, 상기팽창부에 의해 생성된 극저온에 의해 냉각되는 크라이오패널을 포함하는 크라이오펌프에 있어서; 상기 크라이오펌프의 현재의 작동사이클내의 경과작동시간에서의 작동파라미터를 검출하는 검출수단과; 상기 크라이오펌프의 이전의 작동사이클내의 대응 경과작동시간에서의 다른 작동파라미터의 값을 처리파라미터로서 저장하고, 상기 크라이오펌프의 보수 또는 재생시간의 판단을 위한 진단피라미터의 값을 저장하는 수단과; 상기 저장수단에 저장된 상기 현재의 작동파라미터 및 상기 처리파라미터에 의거하여상기 팽창모터의 후속회전속도를 계산하여 구동명령신호로 출력하며, 상기 팽창모터의 현재 회전속도와상기 이전의 작동사이클내의 대응 경과작동시간에서의 이전의 회전속도를 사용함으로써, 상기 크라이오패널의 온도 또는 상기 크라이오펌프에 부착되는 진공실내의 압력이 소정값으로 유지되도록 상기 팽창모터의 후속회전속도를 제어하고, 상기 검출수단에 의해 검출된 현재의 작동 파라미터를 상기 저장수단에 저장된 진단파라미터의 값과 비교하여, 상기 크라이오펌프가 현재 보수시간 또는 재생시간에 있는지를 판단하는 산술제어수단과;상기 산술제어수단으로부터 출력된 구동명령신호에따라 상기 팽창모터를 구동하는 팽창모터구동수단과;상기 산술제어수단으로부터 출력되는 경고신호에 의거하여,상기 크라이오펌프가 현재 보수시간 또는 재생시간에 있다는 것을 표시하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  10. 펌프작동동안 기체를 응축 및/또는 흡착하는 제1및 2단크라이오패널표면과 상기 크라이오패널표면을 냉각하는 냉각수단을 포함하는 크라이오펌프를 위한 재생방법에 있어서, 상기 크라이오패널 표면을 고정된 온도로 유지함으로써 상기 제1단의 크라이오패널표면 및/또는 제2단의 크라이오패널표면으로부터의 배기 완료시, 상기 크라이오펌프의 내부압력은 신속하게 1/103Pa(pascal)이하로 감소되면서, 상기 크라이오패널표면은 20K이하의 온도를 신속하게 냉각되는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프용 재생방법.
  11. 펌프작동동안 기체를 응축 및/또는 흡착하는 제1및 2단의 크라이오패널표면과 상기 크라이오패널표면을 냉각하는 냉각수단을 구비하는 크라이오펌프를 위한 재생장치에 있어서, 상기 제1단의 크라이오패널표면 및/또는 제2단의 크라이오패널표면을 가열하는 가열수단, 상기 크라이오패널표면의 온도를 검출하는 온도센서, 상기 크라이오펌프의 내부압력을 검출하는 압력검출수단, 상기 온도센서 및 압력검출수단으로부터의 출력에 응답하여 제어신호를 생성하는 제어수단, 및 상기 크라이오펌프의 내부압력을 감소시키는 압력감소수단을 구비하며, 상기 크라이오패널표면을 고정온도로 유지함으로써 상기 제1단의 크라이오패널 표면 및/또는 제2단의 크라이오패널표면으로부터의 배기 완료시, 상기 제어수단은, 상기 크라이오패널표면을 상기 고정된 온도로 유지시키도록 상기 가열수단을 제어하면서, 상기 압력감소 수단이 신속하게 상기 크라이오펌프의 내부압력을 1/103Pa이하로 감소되게 하고, 다음에 상기 냉각수단이 상기 제2단의 크라이오패널표면을 20K이하의 온도로 신속히 냉각되게 하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프용 재생장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 압력감소수단은 터보분자펌프를 포함하는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프용 재생장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 냉각수단은 상기 크라이오펌프의 냉각기의 팽창모터의 회전속도를 증가시킴으로써 급속냉각을 수행하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프용 재생장치.
  14. 제13항에 있어서, 냉각기의 상기 팽창모터의 최고 회전속도는 80-120rpm인 것을 특징으로 하는 크라이오펌프용 재생장치.
  15. 펌프작동동안 기체가 응축 및/또는 흡착되는 제1및/또는 제2단의 크라이오패널표면과, 상기 제1및/또는 상기 제2단의 크라이오패널의 표면을 냉각하여, 압축장치로부터 공급되는 고압실온에서의 작용기체를 팽창모터에 의해 구동되는 팽창기에 의해 단열팽창시켜 극저온을 생성하게 하는 냉각수단을 포함하는 크라이오펌프에 있어서; 상기 제1단의 크라이오패널표면의 온도를 검출하는 온도센서와;상기 제2단의 크라이오패널의 표면온도를 소정범위내로 조절하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.
  16. 펌프작동동안 기체가 응축되는 제1단의 크라이오패널의 표면과, 상기 크라이오패널의 표면을 냉각하고, 압축장치로부터 공급되는 고압실온에서의 작용기체를 팽창모터에 의해 구동되는 팽창기에 의해 구동되는 팽창기에 의해 단열팽창시켜 극저온을 생성하게 하는 냉각수단을 포함하는 콜드 트랩에 있어서, 상기 크라이오패널의 표면온도를 검출하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터의 검출신호에 의거하여, 상기 팽창기가 어느 기간의 시간동안 정지되거나 역회전되게 하여, 상기 크라이오패널의 표면의 온도를 소정범위내로 제어하는 것을 특징으로 하는 콜드 트랩.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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