JP4912438B2 - クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 - Google Patents
クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4912438B2 JP4912438B2 JP2009167436A JP2009167436A JP4912438B2 JP 4912438 B2 JP4912438 B2 JP 4912438B2 JP 2009167436 A JP2009167436 A JP 2009167436A JP 2009167436 A JP2009167436 A JP 2009167436A JP 4912438 B2 JP4912438 B2 JP 4912438B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- cryopanel
- cryopump
- stage
- refrigerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
Description
Claims (11)
- 真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気するクライオポンプであって、
1段クライオパネルと、
1段クライオパネルを目標温度に制御する1段温度制御を実行するための制御部と、
前記1段温度制御の結果として1段クライオパネルよりも低温に冷却される2段クライオパネルと、を備え、
前記制御部は、
前記真空装置において設定されている2段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に2段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第1判定と、
前記警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して2段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第2判定と、を前記1段温度制御中に行うことを特徴とするクライオポンプ。 - 前記温度範囲の下限は、前記真空処理が正常に行われることが保証されている温度帯よりも高温に設定されていることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記制御部は、前記クライオポンプの稼動当初に測定された2段クライオパネルの最低到達温度と排気運転中の2段クライオパネル温度との温度差が閾値を超える状態が前記設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第3判定を、前記1段温度制御中に行うことを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記温度差が閾値を超える状態であるか否かを判定する基準温度は、前記温度範囲の下限よりも低温に設定されていることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 前記持続時間は、前記真空装置のベーキング処理に要する時間よりも長く設定されていることを特徴とする請求項3に記載のクライオポンプ。
- 熱サイクルを繰り返して寒冷を発生し、1段クライオパネル及び2段クライオパネルを冷却する冷凍機をさらに備え、
前記制御部は、前記真空装置のベーキング処理中に想定される冷凍機の運転周波数よりも低い周波数で冷凍機が運転されているときに測定された2段クライオパネル温度を用いて第3判定を行うことを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記1段温度制御と、前記2段クライオパネルを目標温度に制御する2段温度制御と、を切替可能であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 真空処理を行う真空装置を排気するクライオポンプの監視方法であって、
高温クライオパネルを目標温度に制御する温調制御中に、当該温調制御の結果として冷却される低温クライオパネルの温度が、前記真空装置において設定されている低温クライオパネル上限温度に接近したか否かを判定し、
前記温調制御中に前記低温クライオパネルの温度が前記上限温度に接近していないと判定された場合に、前記真空処理が正常に行われることが保証されている温度帯から前記低温クライオパネルの温度が継続的に逸脱しているか否かを判定することを特徴とするクライオポンプの監視方法。 - 前記クライオポンプの低温クライオパネル最低到達温度から低温クライオパネル温度が乖離した状態が、低温クライオパネル温度の前記温度帯からの継続的逸脱の判定基準時間を超えて長期的に継続したか否かを判定することを特徴とする請求項8に記載のクライオポンプの監視方法。
- 高温クライオパネルと、低温クライオパネルと、真空処理に応じて設定された監視温度範囲に前記低温クライオパネルが冷却されているか否かを、前記高温クライオパネルの温度制御中に監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記監視温度範囲より低温である基準温度を前記低温クライオパネルの最低到達温度が超えたか否かを監視することを特徴とするクライオポンプ。 - 真空処理に応じて設定された監視温度範囲に低温クライオパネルが冷却されているか否かを、高温クライオパネルの温度制御中に監視することと、
前記温度制御中に、前記監視温度範囲より低温である基準温度を前記低温クライオパネルの最低到達温度が超えたか否かを監視することと、を含むことを特徴とするクライオポンプの監視方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009167436A JP4912438B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 |
KR1020100065277A KR101144189B1 (ko) | 2009-07-16 | 2010-07-07 | 크라이오펌프 및 크라이오펌프의 감시 방법 |
CN201010229725XA CN101956690B (zh) | 2009-07-16 | 2010-07-13 | 低温泵及低温泵的监控方法 |
US12/805,181 US9068564B2 (en) | 2009-07-16 | 2010-07-16 | Cryopump and method of monitoring cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009167436A JP4912438B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011021550A JP2011021550A (ja) | 2011-02-03 |
JP4912438B2 true JP4912438B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=43484232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009167436A Active JP4912438B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9068564B2 (ja) |
JP (1) | JP4912438B2 (ja) |
KR (1) | KR101144189B1 (ja) |
CN (1) | CN101956690B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018235661A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプ制御方法 |
US11078900B2 (en) | 2016-03-22 | 2021-08-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump, cryopump controller, and cryopump control method |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5669658B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-02-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、圧縮機、及びクライオポンプの再生方法 |
JP5972666B2 (ja) | 2012-05-22 | 2016-08-17 | 住友重機械工業株式会社 | 冷却システム及びメンテナンス要否判定方法 |
CN108981561B (zh) * | 2018-08-02 | 2020-11-03 | 河北盛世天昕电子科技有限公司 | 一种漏气孔确定方法、真空电机及其吸附物品检测方法 |
CN113294315B (zh) * | 2021-06-17 | 2022-08-12 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种实现选择性抽气与再生的双级低温泵及其吸附再生方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4604871A (en) * | 1985-01-17 | 1986-08-12 | General Electric Company | Over-temperature warning system for refrigerator appliance |
EP0336992A1 (de) * | 1988-04-13 | 1989-10-18 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Funktion einer refrigeratorbetriebenen Kryopumpe |
US6318093B2 (en) * | 1988-09-13 | 2001-11-20 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
US5054294A (en) | 1990-09-21 | 1991-10-08 | Carrier Corporation | Compressor discharge temperature control for a variable speed compressor |
JPH06301617A (ja) | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Ulvac Kuraio Kk | 生産管理システム |
EP0918159B1 (en) * | 1994-04-28 | 2002-11-20 | Ebara Corporation | Cryopump |
JPH07301178A (ja) * | 1994-05-02 | 1995-11-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプおよびその製造方法 |
JP3027713B2 (ja) * | 1996-05-14 | 2000-04-04 | 株式会社ハーマン | 給湯器 |
JPH10122144A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-05-12 | Anelva Corp | クライオトラップ |
JP2000018158A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプおよびクライオポンプによるキセノンガスの凝縮方法 |
US6060987A (en) * | 1999-05-06 | 2000-05-09 | Marlia; Kim | Retrofittable device to warn of refrigerator door-ajar condition |
US7249465B2 (en) * | 2004-03-29 | 2007-07-31 | Praxair Technology, Inc. | Method for operating a cryocooler using temperature trending monitoring |
JP2006160538A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上げ装置の湯漏れ検出器および単結晶引上げ装置ならびに湯漏れ検出方法 |
JP4927642B2 (ja) * | 2007-05-28 | 2012-05-09 | キヤノンアネルバ株式会社 | 二段式冷凍機の運転制御方法、二段式冷凍機を用いたクライオポンプの運転制御方法、二段式冷凍機及びクライオポンプ |
JP2009156220A (ja) | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | クライオポンプおよびその再生方法 |
-
2009
- 2009-07-16 JP JP2009167436A patent/JP4912438B2/ja active Active
-
2010
- 2010-07-07 KR KR1020100065277A patent/KR101144189B1/ko active IP Right Grant
- 2010-07-13 CN CN201010229725XA patent/CN101956690B/zh active Active
- 2010-07-16 US US12/805,181 patent/US9068564B2/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11078900B2 (en) | 2016-03-22 | 2021-08-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump, cryopump controller, and cryopump control method |
WO2018235661A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプ制御方法 |
US11428216B2 (en) | 2017-06-23 | 2022-08-30 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method for controlling cryopump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101956690B (zh) | 2013-07-03 |
KR20110007576A (ko) | 2011-01-24 |
US20150152856A1 (en) | 2015-06-04 |
US9068564B2 (en) | 2015-06-30 |
CN101956690A (zh) | 2011-01-26 |
JP2011021550A (ja) | 2011-02-03 |
KR101144189B1 (ko) | 2012-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5084794B2 (ja) | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 | |
JP4686572B2 (ja) | クライオポンプ、真空排気システム、及びその診断方法 | |
JP4912438B2 (ja) | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 | |
JP6253464B2 (ja) | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 | |
TWI600832B (zh) | Cryogenic pump, cryogenic pump control method and freezer | |
US9810208B2 (en) | Cryopump and method for regenerating the cryopump using two-stage discharge process | |
JP5679913B2 (ja) | クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプ監視方法 | |
KR101763249B1 (ko) | 콜드트랩 및 콜드트랩의 제어방법 | |
US11078900B2 (en) | Cryopump, cryopump controller, and cryopump control method | |
US11428216B2 (en) | Cryopump and method for controlling cryopump | |
JP5404702B2 (ja) | 真空排気システム | |
WO2020049915A1 (ja) | クライオポンプおよびクライオポンプの監視方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4912438 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |