JP5748682B2 - コールドトラップおよびコールドトラップの制御方法 - Google Patents
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Description
コールドトラップ10は、第1冷却ユニット20と、第1冷却ユニット20とは独立して制御可能な第2冷却ユニット22と、第1冷却ユニット20および第2冷却ユニット22と接続された制御部32と、を備える。第1冷却ユニット20と第2冷却ユニット22とは隣り合っている。第1冷却ユニット20は第1冷凍機24とルーバー構造を有する第1パネルユニット26とを含む。第2冷却ユニット22は第2冷凍機28とルーバー構造を有する第2パネルユニット30とを含む。
第2パネルユニット30も同様に、第2ハウジング42と、3つの第2伝熱バー44と、16枚の第2羽板46と、を有する。
なお、第1パネルユニット26、第2パネルユニット30はシェブロン形状に形成されていてもよいし格子状等他の形状に形成されていてもよい。
第2冷却ユニット22の制御モードにも同様に通常運転モードと再生モードとが含まれる。
図3は、第1冷却ユニット20、第2冷却ユニット22およびターボ分子ポンプ12の動作状態の遷移を示すタイムチャートである。ターボ分子ポンプ12は常時オン状態となっている。
時刻t3から時刻t4までの第2冷却ユニット再生期間TP2中、制御部32は第2冷却ユニット22を再生モードとし、第1冷却ユニット20を通常運転モードとする。時刻t4において、制御部32は第2冷却ユニット22の制御モードを再生モードから通常運転モードに切り替える。
なお、隙間カバー60を第2ハウジング42に取り付けてもよい。
この場合、実施の形態に係るコールドトラップ10によって奏される作用効果と同様の作用効果が奏される。
Claims (3)
- 個別に制御可能な複数の冷却ユニットを備え、排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置されるコールドトラップであって、
各冷却ユニットは、
前記排気流路に露出して配置されたパネルユニットと、
前記パネルユニットに熱的に接続され前記パネルユニットを冷却する冷凍機と、を含み、
各冷却ユニットのパネルユニットは他の冷却ユニットのパネルユニットから離れて配置され、
前記コールドトラップは、隣り合う2つのパネルユニットのいずれか一方と熱的に接続され、それら2つのパネルユニットの隙間を少なくとも部分的に覆うカバー部をさらに備えることを特徴とするコールドトラップ。 - 各冷却ユニットの制御モードを、前記排気対象容積から前記排気流路を通じて到来する気体を前記パネルユニットの表面に凍結して捕捉する通常運転モードと前記パネルユニットの表面に凍結した気体を気化させて前記真空ポンプにより外部に排出する再生モードとの間で切り替える制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記複数の冷却ユニットのうちの一部の冷却ユニットが前記通常運転モードとなっている際、前記複数の冷却ユニットのうちの別の一部の冷却ユニットを前記再生モードとすることを特徴とする請求項1に記載のコールドトラップ。 - 個別に制御可能な複数の冷却ユニットを備え、排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置されるコールドトラップの制御方法であって、
各冷却ユニットは、
前記排気流路に露出して配置されたパネルユニットと、
前記パネルユニットに熱的に接続され前記パネルユニットを冷却する冷凍機と、を含み、
各冷却ユニットのパネルユニットは他の冷却ユニットのパネルユニットから離れて配置されており、
前記コールドトラップは、隣り合う2つのパネルユニットのいずれか一方と熱的に接続され、それら2つのパネルユニットの隙間を少なくとも部分的に覆うカバー部をさらに備え、
本制御方法は、
各冷却ユニットの制御モードを、前記排気対象容積から前記排気流路を通じて到来する気体を前記パネルユニットの表面に凍結して捕捉する通常運転モードと前記パネルユニットの表面に凍結した気体を気化させて前記真空ポンプにより外部に排出する再生モードとの間で切り替えるステップと、
前記複数の冷却ユニットのうちの一部の冷却ユニットが前記通常運転モードとなっている際、前記複数の冷却ユニットのうちの別の一部の冷却ユニットを前記再生モードとするステップと、を含むことを特徴とする制御方法。
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