JP4228840B2 - コールドトラップおよび真空排気装置 - Google Patents
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Description
このコールドトラップは、極低温に冷却された面(以下、コールドパネルという)と接するようにガスを通過させ、このような通過するガスに含まれる水蒸気を冷却して氷に凍結して捕集する装置であり、真空チャンバ内に水蒸気の少ない真空環境を得ることができる。
コールドトラップの水蒸気除去により、ターボ分子ポンプに水蒸気をあらかじめ取り除いたガスを流入させて、真空チャンバの排気速度を向上させることができる。また、コールドトラップは冷却温度を適宜設定することにより、他のガス(例えば、Br2,NH3,Cl2,CO2等)も凍結捕集することができる。
特許文献1には、GM方式(ギフォード・マクマホン方式)のヘリウム冷凍機を利用するコールドトラップについて記載されている。
ほぼ常温であるケーシングおよび真空チャンバが、低温のコールドパネルの周りを覆うという機械的構造のため、ケーシングおよび真空チャンバの内壁面から放射される熱がコールドパネルへ侵入するという問題があった。
ガスを吸着するために冷凍出力が熱侵入分より一桁小さい冷凍能力であることを考慮すると、例えば、6インチクラスのコールドトラップの場合では、約3Wの熱がコールドトラップへ侵入する。小型の冷凍機の70K冷凍における消費電力は冷凍能力1Wあたり約40Wであるため、熱侵入分の消費電力は約120Wと大きい。
ケーシングと、
ケーシング内空間に設置されるシールド部と、
シールド部内空間に設置されるコールドパネルと、
圧縮機、および、冷却端を含む膨張機を有し、少なくともケーシングの内部でこの冷却端がコールドパネルに熱的に接続されて配置される冷凍機と、
を備え、
前記シールド部は、両円錐台形状であって、シールド部の開口部をケーシングの開口部と対向するように形成することを特徴とする。
そこで、両円錐台形状(そろばんの玉の形状であって中空状の形状)として両円錐台形の狭い面に開口部を設けることで開口面積を小さくするとともにガスが流れやすいようにした。さらに、シールド部の開口部をケーシングの開口部と対向する(好ましくはシールド部の開口部の開口面と、ケーシングの開口部の開口面とは略平行とする。)ようにしてケーシングとコールドパネルが直接向き合う面を極力減らした。
請求項1記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部の円錐台形の底面と斜辺のなす角は30°以上90°未満であることを特徴とする。
請求項1または請求項2に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部は、複数層にわたり形成されることを特徴とする。
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部は、熱伝導率が大きい銅または銅合金とすることを特徴とする。
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部の外表面を放射率の小さな光沢面とすることを特徴とする。
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、低温域における熱伝導率が大きい純チタンを材料とすることを特徴とする。
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、低温域における熱伝導率が大きい銅または銅合金を材料とすることを特徴とする。
請求項7に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、その表面に耐食性を向上させる保護層を形成したことを特徴とする。
請求項1〜請求項8の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルの水分子を凍結捕集するトラップ面の表面積を大きくすることを特徴とする。
請求項1〜請求項9の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記膨張機は、パルスチューブ膨張機であることを特徴とする。
請求項1〜請求項10の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルを加熱する加熱手段と、
前記コールドパネルの温度を計測する温度計測手段と、
加熱手段、冷凍機および温度計測手段が接続される温度制御手段と、
を備え、
この温度制御手段は、温度計測手段が計測したコールドパネルの温度に基づき、コールドパネルの温度を所定温度とするように冷凍機または加熱手段を制御することを特徴とする。
請求項11記載のコールドトラップにおいて、
前記加熱手段は、コールドパネルに内蔵されることを特徴とする。
水分子を凍結捕集した残りのガスを流出させる請求項1〜請求項12の何れか一項に記載のコールドトラップと、
コールドトラップから流出したガスを排気するターボ分子ポンプと、
を備えることを特徴とする。
まず、請求項1〜請求項10の発明に係る第1形態について説明する。図1は本形態のコールドトラップ100の構成図であり、図1(a)は平面図、図1(b)はA−A線断面図である。図2はコールドトラップ100の断面斜視図である。図3はシールド部による熱遮断原理の説明図である。
ケーシング11は、胴部11a、フランジ11bを備えている。
コールドパネル12は、上側パネル12a、下側パネル12b、上側支持部12c、下側支持部12dを備えている。
シールド部13は、外周下側シールド13a、外周上側シールド13b、内周下側シールド13c、内周上側シールド13dを備えている。
パルスチューブ冷凍機14は、冷却端14a、本体14bを備えている。
支持部15は、上側支持部15a、下側支持部15bを備えている。
パルスチューブ冷凍機14は、ケーシング11の胴部11aの外側面に膨張機14bが取り付けられ、また、ケーシング11の胴部11aの内部に冷却端14aが配置されるように取り付けられる。
同様に下側パネル12bは下方向に先細るように略円錐台形状に形成され、図1(a),(b),図2で示すように、一カ所(図1(a),(b)では右側)に切れ込みが入っており、切れ込み端部の二カ所に下側支持部12dが連接して形成されている。また、内部は中空であって上下側で開口部が形成されている。これにより、コールドパネル12は概略両円錐台形状となる。
また、このコールドパネル12の上側パネル12a、下側パネル12b、上側支持部12c、下側支持部12dは、70K(−203℃)程度の極低温域における熱伝導率が大きい銅または銅合金を材料としている。これら構成により、冷却端14aが低温になったとき、冷却端14aの熱が直ちにコールドパネル12に熱伝導されて短時間でコールドパネル12全体が冷却端14aと同じ温度となる。この場合、コールドパネル12全体の表面温度分布が均一な状態となり、通常用いられる熱伝導率が小さいステンレス材のように不均一な温度分布とならないため、コールドパネル12の有効表面積を大きくすることができ、コールドパネル12の全面で水分子を捕集できる。
このようにコールドパネル12は、パルスチューブ冷凍機14の冷却端14aに熱的に接続されており、上側支持部12cを介して上側パネル12aが、また、下側支持部12dを介して下側パネル12bが、パルスチューブ冷凍機14により冷却される。
なお、70K(−203℃)程度の極低温域の熱伝導性と耐腐食性とが共に良好である純チタンを材料としてコールドパネル12を形成しても同様の効果を得ることができるが、コスト等を勘案すると上記の銅・銅合金にニッケルメッキ処理を施したコールドパネル12とすることが望ましい。
このようなシールド部13は概略両円錐台形状となり、シールド部12の内部にシールド部内空間が形成されている。このシールド部内空間にコールドパネル12が配置されている。
例えば、図3(a)のようにケーシング11とコールドパネル12との間にシールド部がない場合、外部温度に近いケーシング11(例えば300K)の熱がコールドパネル12へ熱放射されることとなるが、図3(b)のように1枚のシールドによるシールド部13があることにより、シールド部13はケーシング11からの常温域の放射熱と、コールドパネル12からの低温域の放射熱とを受け、シールド部13はケーシング11の温度(例えば300K)とコールドパネル12(例えば100K)の温度との中間の温度(200K)となり、シールド部13からコールドパネル11への放射熱はこの中間温度(200K)の熱となる。つまりケーシング11の胴部11aの内周壁面からコールドパネル12表面への放射熱は両側の熱の総和の約1/2とすることができ、熱侵入を抑止することが可能となる。
このようにシールド部13は複数層のシールドにより形成することが好ましい。
円錐台形の狭い面に開口部を設けることで開口面積を小さくすることができる。また、ガスの流れ方向に対してシールド面が斜め方向に面するため、排気速度の低下を極力抑止することが可能である。
排気速度の低下が所定範囲内で開口面積を狭くしていったとき上記角度が条件を満たすことを知見した。
例えば、開口面が胴部11aの内周壁面に対向すると考えると胴部11aから開口面を経て熱放射がコールドパネル12に到達することから考えて、逆に上記のような構成とすれば、ケーシング11からコールドパネル12の視野が狭くなる、つまりケーシング11とコールドパネル12との間に最も多くシールド部13が介在できて遮蔽能力を高めており、ケーシング11の胴部11aの内周壁面からの放射熱がコールドパネル12へ到達しないようにする。
例えば、コールドパネル12がシールド部13の開口部から突き出るような場合、胴部11aから熱放射がコールドパネル12に到達することから考えて、逆に上記のような構成とすれば、ケーシング11からコールドパネル12の視野が狭くなる、つまりケーシング11とコールドパネル12との間に最も多くシールド部13が介在できて遮蔽能力を高めており、ケーシング11の胴部11aの内周壁面からの放射熱がコールドパネル12へ到達しないようにする。
さらにシールド部13は、その表面に耐食性を向上させる保護層(具体的にはニッケルメッキ層)を形成し、ガスが銅・銅合金と接触しないようにし、耐食性を向上させてガス(特に水蒸気)により緑青等が生じないように配慮しても良い。
このコールドトラップ100は、三層のシールドからなるシールド部を有するものであり、図4に示すように、シールド部13は、外周下側シールド13e、外周上側シールド13f、中間下側シールド13g、中間上側シールド13h、内周下側シールド13i、内周上側シールド13jを備えている。
このように三層とすることで、ケーシング11からコールドパネル12へ到達する放射熱をさらに少なくすることができ、コールドパネル12の冷凍効率を高めることが可能となる。
このコールドトラップ100は、円筒状のコールドパネル12および円筒状の複数層のシールドからなるシールド部を有するものであり、図5に示すように、コールドパネル12は、上側パネル12e、下側パネル12f、上側支持部12g、下側支持部12hを備え、また、シールド部13は、外周下側シールド13k、外周上側シールド13l、内周下側シールド13m、内周上側シールド13nを備えている。
このように円錐台形ではなく、筒状とすることで、開口部は大きくなるものの、製造が容易になるという利点がある。このようにシールドを円筒状とするか円錐台形状とするかは性能・製造コストを勘案して選択されるものであるが、このような形態でもケーシング11からコールドパネル12へ到達する放射熱を少なくすることができ、コールドパネル12の冷凍効率を高めることができる。
このコールドトラップ100は、複数枚の板を角錐台形状に配置したコールドパネル、および、複数枚の板を角錐台形状に配置して一個のシールドを形成し、さらにこのようなシールドを複数層とするシールド部を有するものであり、図6に示すように、コールドパネル12は、上側パネル12i、下側パネル12j、上側支持部12k、下側支持部12lを備え、また、シールド部13は、外周下側シールド13o、外周上側シールド13p、内周下側シールド13q、内周上側シールド13rを備えている。
このように複数の板により角錐台形とすることで、隙間から熱放射が侵入するが、一枚の板を円錐台形状とするよりは製造が容易になるという利点がある。このようなシールドは性能・製造コストを勘案して選択されるものであるが、このような形態でもケーシング11からコールドパネル12へ到達する放射熱を少なくすることができ、コールドパネル12の冷凍効率を高めることができる。
これらのようにシールド部は各種形態が可能であるが、ケーシング11とコールドパネル12との間で熱放射を遮断するような各種構成を採用することができる。
本形態のコールドトラップ100は、ケーシング11と、コールドパネル12と、シールド部13と、パルスチューブ冷凍機14と、支持部15と、ヒータ16と、温度センサ17と、端子部18と、コントローラ19と、電源20と、を備えている。
なお、ケーシング11、コールドパネル12、シールド部13、パルスチューブ冷凍機14、支持部15は第1形態と同じ構成であるため、同じ符号を付するとともに重複する説明を省略し、相違点について説明する。
コールドトラップ100は、冷却されたコールドパネル12に気体分子を凍結吸着させて、コールドパネル100全面が氷で覆われるまで溜めるという溜め込み方式であり、一定の運転時間ごとにコールドパネル12から氷を除去する再生を行う必要がある。
コールドパネル12の再生には、外部ヒータによる加熱方法や、または、コールドパネル12近傍に配管を配置しておき、ガスなどの冷媒を加熱して流すことにより、コールドパネル12の温度を上昇させる。
なお、ヒータ13は、コールドパネル12の上側パネル12aおよび下側パネル12bにほぼ均一に設置できればシーズヒータのような線状ヒータでも良い。また、コールドパネル12の上側パネル12aおよび下側パネル12bを鋳物として製造する場合には、鋳込みヒータとしても良く、各種ヒータの採用が可能である。
端子18は、ヒータ16に接続された電流線および温度センサ17に接続された信号線をケーシング11から引き出すために設けられる。この端子18は真空下で使用できるものであり、例えばハーメチック等が用いられる。
電源20は、コントローラ19を介してヒータ16やパルスチューブ冷凍機14へ電源を供給する。このコールドトラップ10の温度制御系は図8で示すようになる。なお、圧力センサ21については後述する。
この構成によれば、コールドパネルの表面温度(トラップ面)を吸着・再生に最適な任意の温度とするため、冷凍機または加熱手段を温度制御することで実現することができる
これらコールドトラップ100およびターボ分子ポンプ200により真空排気装置1000が構成される。このような真空排気装置1000では、冷凍効率が高いコールドトラップにより効率的に水分子を冷凍捕集するため、排気性能を高めることができる。
真空チャンバ300内のガスが排気され始めると、真空チャンバ300内のガスの圧力が低下し始める。真空チャンバ300内のガスの圧力の低下とともに真空チャンバ300の水分は水蒸気へと気化する。これらの水蒸気を含むガスが、ゲートバルブ400を経てコールドトラップ100を通過する。
例えば、コールドパネル12の所定温度の一例として水蒸気のみを凍結捕集する最適な温度である120K〜150K(−153℃〜−123℃)の範囲内の温度を選択して制御し、コールドパネル12に水蒸気を凍結捕集して吸着させるようにする。
これにより、真空チャンバ300内の水分が吸着され、水分以外の分子はターボ分子ポンプ200で高い圧縮比に圧縮されて排気される。
例えば、従来技術のGM式の冷凍機では、一旦稼働させたならば負荷に関係なく定格で連続運転していたが、本実施形態のコールドトラップ100では、パルスチューブ冷凍機14の運転を、コールドパネル100の吸着能力に応じた最適な温度となるような電力とするだけでよく、無駄な電力消費を回避できる。
この構成によれば、コールドパネルの温度について、吸着時は、ガスの吸着特性に合わせた効果的な温度を選択して最適な選択吸着を可能とし、再生処理時には、水分の放出に効果的な温度を選択し、コールドパネル12のトラップ面の温度が最適となるように制御することができ、水蒸気だけでなく任意のガス(例えばBr2,NH3,Cl2,CO2等)を選択吸着することも可能である。
本方法では、凝結した氷を急速に高温加熱して全て水蒸気とし、コールドトラップ100内から排気除去して、コールドパネル12を急速に再生するというものである。以下、図7,図8,図11を参照しつつ時系列的に説明する。
(2)図7,図8で示すように、コントローラ19がパルスチューブ冷凍機14の運転を停止するように制御する。
(3)コントローラ19がヒータ16を制御し、コールドパネル12を一気に300℃まで加熱する。コントローラ19は温度センサ17から出力される温度計測信号に基づいて、立ち上がり時間が最短となるように温度制御する。
(4)ケーシング11の胴部11aに設けた図示しない再生排気口から気化した水蒸気を排出する。なお、再生排気口の下流には図示しない真空ポンプが接続され、高速に排気する。
(5)コントローラ19がパルスチューブ冷凍機14の運転を再開するように制御する。
(6)図11で示すように、真空チャンバ300とコールドトラップ100との間に設けたゲートバルブ400を開き、ターボ分子ポンプ200による真空チャンバ400内の排気を継続する。
本方法では、真空排気装置1000を通常運転している最中に、コールドパネル12に凍結した氷を少しづつ水蒸気に昇華し、コールドトラップ100内からターボ分子ポンプ200を経て少しづつ排気除去して、コールドパネル12を緩速(ゆっくり)に再生するというものである。
(2)コントローラ19は、この圧力計測信号から算出した圧力に対応する水蒸気の飽和温度を図示しないメモリから読み出す。例えば10−8Pa に対応する飽和温度は約130Kである。
(5)以下、コールドパネル12の温度を飽和温度130Kに近づけるように徐々に上昇させて、コールドパネル12を徐々に再生する。ここで温度上昇時間は予め実験等により最適な時間を図示しないメモリに登録するようにしても良い。
なお、温度上昇が急激すぎると、水蒸気分子の増大により真空チャンバ300内の真空度が低下するため、コントローラ19は、圧力センサ21から出力される圧力計測信号から得られる圧力値を監視し、圧力が急激に上昇しないようにヒータ16(またはパルスチューブ冷凍機14)の温度を上昇させていき、圧力値が上昇(真空度が低下)したならば、ヒータ16を停止させる(またはパルスチューブ冷凍機14による冷却温度を上昇させる)ような制御を行うようにしてもよい。
例えば、図12で示すように、真空チャンバ300の上流にコールドトラップ100を、また、下流にターボ分子ポンプ200を接続してもよい。
また、図13で示すように真空チャンバ300にそれぞれ多数の真空排気装置1000を並列に取り付けても良い。真空チャンバ300の大きさによって接続数が決定される。
11:ケーシング
11a:胴部
11b:フランジ
12:コールドパネル
12a:上側パネル
12b:下側パネル
12c:上側支持部
12d:下側支持部
12e:上側パネル
12f:下側パネル
12g:上側支持部
12h:下側支持部
12i:上側パネル
12j:下側パネル
12k:上側支持部
12l:下側支持部
13:シールド部
13a:外周下側シールド
13b:外周上側シールド
13c:内周下側シールド
13d:内周上側シールド
13e:外周下側シールド
13f:外周上側シールド
13g:中間下側シールド
13h:中間上側シールド
13i:内周下側シールド
13j:内周上側シールド
13k:外周下側シールド
13l:外周上側シールド
13m:内周下側シールド
13n:内周上側シールド
13o:外周下側シールド
13p:外周上側シールド
13q:内周下側シールド
13r:内周上側シールド
14:パルスチューブ冷凍機
14a:冷却端
14b:膨張機
14c:圧縮機
15:支持部
15a:上側支持部
15b:下側支持部
16:ヒータ
17:温度センサ
18:端子部
19:コントローラ
20:電源
21:圧力センサ
200:ターボ分子ポンプ
300:真空チャンバ
400:ゲートバルブ
Claims (13)
- ケーシングと、
ケーシング内空間に設置されるシールド部と、
シールド部内空間に設置されるコールドパネルと、
圧縮機、および、冷却端を含む膨張機を有し、少なくともケーシングの内部でこの冷却端がコールドパネルに熱的に接続されて配置される冷凍機と、
を備え、
前記シールド部は、両円錐台形状であって、シールド部の開口部をケーシングの開口部と対向するように形成することを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部の円錐台形の底面と斜辺のなす角は30°以上90°未満であることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1または請求項2に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部は、複数層にわたり形成されることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部は、熱伝導率が大きい銅または銅合金とすることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記シールド部の外表面を放射率の小さな光沢面とすることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、低温域における熱伝導率が大きい純チタンを材料とすることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、低温域における熱伝導率が大きい銅または銅合金を材料とする
ことを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項7に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルは、その表面に耐食性を向上させる保護層を形成したことを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項8の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルの水分子を凍結捕集するトラップ面の表面積を大きくすることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項9の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記膨張機は、パルスチューブ膨張機であることを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項1〜請求項10の何れか一項に記載のコールドトラップにおいて、
前記コールドパネルを加熱する加熱手段と、
前記コールドパネルの温度を計測する温度計測手段と、
加熱手段、冷凍機および温度計測手段が接続される温度制御手段と、
を備え、
この温度制御手段は、温度計測手段が計測したコールドパネルの温度に基づき、コールドパネルの温度を所定温度とするように冷凍機または加熱手段を制御することを特徴とするコールドトラップ。 - 請求項11に記載のコールドトラップにおいて、
前記加熱手段は、コールドパネルに内蔵されることを特徴とするコールドトラップ。 - 水分子を凍結捕集した残りのガスを流出させる請求項1〜請求項12の何れか一項に記載のコールドトラップと、
コールドトラップから流出したガスを排気するターボ分子ポンプと、
を備えることを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003304065A JP4228840B2 (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | コールドトラップおよび真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003304065A JP4228840B2 (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | コールドトラップおよび真空排気装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005069209A JP2005069209A (ja) | 2005-03-17 |
JP4228840B2 true JP4228840B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=34407854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003304065A Expired - Fee Related JP4228840B2 (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | コールドトラップおよび真空排気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4228840B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101440713B1 (ko) | 2012-01-31 | 2014-09-17 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 콜드트랩 및 콜드트랩의 제어방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010002884A2 (en) * | 2008-07-01 | 2010-01-07 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for providing temperature control to a cryopump |
EP3470681B1 (de) * | 2017-10-10 | 2021-09-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Elektrische durchführung für ein vakuumgerät, in der form einer dichtungsplatine |
-
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005069209A (ja) | 2005-03-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080626 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080724 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080924 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20081215 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20090414 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |