JP2014173571A - クライオポンプ及びその再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプの再生方法は、クライオポンプ容器の排気とパージガスの供給とを第1圧力範囲で交互に行うことを含む第1排出工程(S12)と、第1圧力範囲を下回る低圧領域までクライオポンプ容器を排気することを含む第2排出工程(S18)と、を備える。第2排出工程は、第2排出工程を終了するか否かを低圧領域で少なくとも一回判定することと、第2排出工程を終了するか否かの初回の判定より前に、クライオポンプ容器にパージガスを供給することと、を含む。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- クライオパネルと、
前記クライオパネルを収容するクライオポンプ容器と、
前記クライオパネルの再生のために前記クライオポンプ容器の排気と前記クライオポンプ容器へのパージガスの供給とを制御するよう構成されている制御部と、を備え、
前記制御部は、前記クライオポンプ容器の排気と前記パージガスの供給とを第1圧力範囲で交互に行うことを含む第1排出工程と、前記第1圧力範囲を下回る低圧領域まで前記クライオポンプ容器を排気することを含む第2排出工程と、を実行し、
前記第2排出工程は、前記第2排出工程を終了するか否かを前記低圧領域で少なくとも一回判定することと、前記第2排出工程を終了するか否かの初回の判定より前に、前記クライオポンプ容器にパージガスを供給することと、を含むことを特徴とするクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記第1排出工程を終了することと、前記第1圧力範囲から前記低圧領域へと前記クライオポンプ容器を排気することと、前記クライオポンプ容器にパージガスを供給することと、を逐次実行することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記第2排出工程は、前記クライオポンプ容器を前記低圧領域まで排気することと、前記クライオポンプ容器にパージガスを供給することと、を交互に行うことを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- クライオポンプ容器の排気とパージガスの供給とを第1圧力範囲で交互に行うことを含む第1排出工程と、
前記第1圧力範囲を下回る低圧領域まで前記クライオポンプ容器を排気することを含む第2排出工程と、を備え、
前記第2排出工程は、前記第2排出工程を終了するか否かを前記低圧領域で少なくとも一回判定することと、前記第2排出工程を終了するか否かの初回の判定より前に、前記クライオポンプ容器にパージガスを供給することと、を含むことを特徴とするクライオポンプの再生方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016160884A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 |
JP2019203508A (ja) * | 2019-08-23 | 2019-11-28 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、クライオポンプ再生方法、及びクライオポンプ |
WO2023176157A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプの再生方法およびクライオポンプ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6857046B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2021-04-14 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP7320496B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2023-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプシステム、クライオポンプの再生方法 |
JP7369071B2 (ja) * | 2020-03-18 | 2023-10-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの制御方法 |
CN112032022B (zh) * | 2020-09-10 | 2024-04-26 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 |
JP7455040B2 (ja) * | 2020-10-05 | 2024-03-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの再生方法 |
KR102536330B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-05-26 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프의 재생 방법 |
KR102580537B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-09-21 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프의 재생 방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012237293A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5375424A (en) * | 1993-02-26 | 1994-12-27 | Helix Technology Corporation | Cryopump with electronically controlled regeneration |
US5517823A (en) * | 1995-01-18 | 1996-05-21 | Helix Technology Corporation | Pressure controlled cryopump regeneration method and system |
JP3301279B2 (ja) | 1995-06-29 | 2002-07-15 | ダイキン工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプの再生方法 |
JP3029243B2 (ja) * | 1995-11-21 | 2000-04-04 | アネルバ株式会社 | クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ |
WO1997035111A1 (en) * | 1996-03-20 | 1997-09-25 | Helix Technology Corporation | Purge and rough cryopump regeneration process, cryopump and controller |
US6154478A (en) * | 1998-06-30 | 2000-11-28 | The Boeing Company | Chemical oxygen-iodine laser (coil)/cryosorption vacuum pump system |
JP2002249876A (ja) | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Nec Kansai Ltd | 真空排気方法および真空装置 |
KR100782913B1 (ko) * | 2003-11-28 | 2007-12-07 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 물의 재생방법 및 장치 |
CN1828053A (zh) * | 2005-03-02 | 2006-09-06 | 佛山市美的日用家电集团有限公司 | 低温泵再生辅助设备及其再生方法 |
CN101595305B (zh) * | 2007-01-17 | 2013-02-13 | 布鲁克机械公司 | 没有压力爆发的高容量低温泵 |
JP4791520B2 (ja) * | 2007-11-01 | 2011-10-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | クライオポンプ装置、真空処理装置及びクライオポンプ装置の動作方法 |
US7841192B2 (en) * | 2007-12-27 | 2010-11-30 | General Electric Company | Ice in bucket detection for an icemaker |
JP2009156220A (ja) | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | クライオポンプおよびその再生方法 |
JP5679913B2 (ja) | 2011-06-14 | 2015-03-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプ監視方法 |
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- 2014-03-12 US US14/206,510 patent/US9810208B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012237293A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016160884A (ja) * | 2015-03-04 | 2016-09-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 |
JP2019203508A (ja) * | 2019-08-23 | 2019-11-28 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、クライオポンプ再生方法、及びクライオポンプ |
WO2023176157A1 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-09-21 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプの再生方法およびクライオポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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