CN1828053A - 低温泵再生辅助设备及其再生方法 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种低温泵再生辅助设备及其再生方法。本发明低温泵再生辅助设备包括有充氮系统及再生辅助装置，其中再生辅助装置包括有氮气加热器(1)、安全阀(2)、压力表(3)、温控器(4)，氮气加热器(1)内设有发热元件(11)，压力表(3)及安全阀(2)装设在氮气加热器(1)上，温控器(4)的温度探头置于氮气加热器(1)内。本发明低温泵再生的方法，包括有如下步骤：1)再生辅助设备通电将氮气加热；2)接通氮气，将再生辅助设备内的水分排出；3)向低温泵提供氮气；4)高温氮气将熔点高的酸性和粘性油类物质加热至气体，经再生阀和机械泵排出腔体。本发明低温泵再生辅助设备整体结构紧凑，移动、安装、维护方便，温度自动控制，运行可靠。本发明低温泵再生方法操作简单，再生彻底。
Description
1、技术领域：
本发明是一种低温泵再生辅助设备及其再生方法，属于低温泵再生辅助设备及其再生方法的创新技术。
2、背景技术：
真空设备中的低温泵在正常工作时，将气体存储在泵内而不排出，当达到饱和时，即冻结气体的冻结和再蒸发达到平衡，低温泵的抽气效果会愈来愈差，最后造成低温泵抽气失效，通常解决的办法是将低温泵的温度升高，以蒸发冻结的气体分子，由前级泵抽出，重新恢复低温泵的抽气功能，这一过程叫再生。在实际生产过程中，空气中的二氧化碳、油脂、氯气、硫等吸附在真空管内部，最终将变成酸性物质，在低温泵给真空管抽真空时，大量的酸性物质积聚在低温泵内，加速了低温泵的老化。
目前低温泵再生时，将低温泵关闭，让低温泵自然升温，自然升温三至四小时，甚至五、六小时，这要看腔体内的酸性物质以及粘性油类胶状物质的多少，酸性胶状粘性油类物质在常温下难以分解，在显微镜下观察，为多孔疏松结构，结构松散，热传导性能差，致使凝结热无法顺利导出，造成凝结面温度提高。由于酸性胶状粘性油类物质散布在低温泵的腔体内的各个部件上，特别是在一级冷头和二级冷头的表面，严重阻挡冷头和腔体内气体的热交换。自然升温再生，因为温度低，再生不彻底，只将冷头的表面的水、氧、氮等排走，所以再生后，有时低温泵达不到真空度；即使达到，使用一、两天后，抽气能力严重下降，又得重新再生，如此恶性循环，导致酸性物质和档板化学反应，使档板表面的导热层散失，最终只有更换。这期间不但耗工、耗时，而且严重影响产品品质。一般使用一个月的低温泵，以这种方式再生后，工作三至四炉，比较正常，以后基本上达不到5.4*10-5Pa(工艺最低要求)，有的低温泵工作三小时以上仍达不到工艺要求。
3、发明内容：
本发明的目的在于克服上述缺点而提供一种整体结构紧凑，移动、安装、维护方便，温度自动控制，运行可靠的低温泵再生辅助设备。
本发明的另一目的在于提供一种操作简单，再生彻底的用低温泵再生辅助设备进行低温泵再生的方法。
本发明低温泵再生辅助设备的结构示意图如附图所示，包括有充氮系统及再生辅助装置，再生辅助装置串联在充氮系统，其中再生辅助装置包括有氮气加热器(1)、安全阀(2)、压力表(3)、温控器(4)，氮气加热器(1)内设有发热元件(11)，用以观察氮气压力的压力表(3)及确保氮气压力最高限值的安全阀(2)装设在氮气加热器(1)上，温控器(4)的温度探头置于氮气加热器(1)内。
上述氮气加热器(1)的氮气进口处装设有阀门(5)。
上述阀门(5)上安装有细孔过滤网。
上述充氮系统包括有高真空阀V1、初抽阀V2、充氮阀V3、再生阀V4、机械泵RP，其中充氮阀V3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口相通，充氮阀V3的出口通过管路分别与高真空阀V1及初抽阀V2的进口相通，初抽阀V2的出口通过管路与机械泵RP相通，高真空阀V1的出口通过管路与低温泵CRYO相通，再生阀V4连接在高真空阀V1的出口与初抽阀V2的出口之间。
上述初抽阀V2与机械泵RP之间的管路上装设有油过滤器FT。
上述充氮阀V3的出口与高真空阀V1及初抽阀V2的进口之间的管路上装设有真空计PG2。
上述高真空阀V1的出口与低温泵CRYO之间的管路上装设有真空计PG1；上述再生阀V4与低温泵CRYO之间的管路上装设有电离真空计IG1。
上述充氮阀V3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口之间的管路上装设有阀门(6)。
用本发明低温泵再生设备进行低温泵再生的方法，其包括有如下步骤：
1)再生辅助设备通电将氮气加热；
2)接通氮气，将再生辅助设备内的水分排出；
3)将氮气加热器(1)的氮气出口与充氮阀V3的进口串联，向低温泵提供氮气；
4)当低温泵停止30±5分钟时，氮气由充氮阀V3进入真空槽，通过V1到达低温泵的腔体，高温氮气迅速充满整个低温泵腔体，将熔点高的酸性和粘性油类物质加热至气体，经再生阀V4和机械泵RP排出腔体，将低温泵内的酸性胶状粘性油类物质清除。
上述步骤1)辅助设备通电将氮气加热至60±5℃范围内；上述步骤3)及步骤4)的充氮操作两至三次。
本发明由于采用充氮系统与再生辅助装置串联的结构，用本发明低温泵再生设备进行低温泵再生时，由高温氮气做媒体，将热量迅速、均匀地传给低温泵内的各个部件，特别是对酸性物质的分解起到更加积极的作用；粘性油类物将变成气体或液体。低温泵再生时产生的所有气体由机械泵抽出，极少量的油性物质还原为液体，从档板流下，存积在低温泵的底部，在低温泵保养时，通过清洗排除，所以再生彻底。此外，高温氮气做媒体，将热量迅速、均匀地传给低温泵内的各个部件，缩短各种难解气体的分解时间，所以再生时间短，能及时投入生产。另外，氮气由真空系统进入低温泵，可将真空槽加热，起到清洁真空系统的作用。而低温泵排出的气体经过V4释放，不影响真空系统，避免二次污染，提高了再生的附加效应。本发明是一种整体结构紧凑，移动、安装、维护方便，温度自动控制，运行可靠的低温泵再生辅助设备。本发明用低温泵再生辅助设备进行低温泵再生的方法操作简单，再生彻底。
4、附图说明：
图1为本发明的结构示意图。
5、具体实施方式：
实施例：
本发明的结构示意图如图1所示，包括有充氮系统及再生辅助装置，再生辅助装置串联在充氮系统，其中再生辅助装置包括有氮气加热器(1)、安全阀(2)、压力表(3)、温控器(4)，氮气加热器(1)内设有发热元件(11)，用以观察氮气压力的压力表(3)及确保氮气压力最高限值的安全阀(2)装设在氮气加热器(1)上，温控器(4)的温度探头置于氮气加热器(1)内。
上述氮气加热器(1)的氮气进口处装设有阀门(5)。
上述阀门(5)上安装有细孔过滤网。
上述充氮系统包括有高真空阀V1、初抽阀V2、充氮阀V3、再生阀V4、机械泵RP，其中充氮阀V3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口相通，充氮阀V3的出口通过管路分别与高真空阀V1及初抽阀V2的进口相通，初抽阀V2的出口通过管路与机械泵RP相通，高真空阀V1的出口通过管路与低温泵CRYO相通，再生阀V4连接在高真空阀V1的出口与初抽阀V2的出口之间。
上述初抽阀V2与机械泵RP之间的管路上装设有油过滤器FT。
上述充氮阀V3的出口与高真空阀V1及初抽阀V2的进口之间的管路上装设有真空计PG2。
上述高真空阀V1的出口与低温泵CRYO之间的管路上装设有真空计PG1；上述再生阀V4与低温泵CRYO之间的管路上装设有电离真空计IG1。
上述充氮阀V3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口之间的管路上装设有阀门(6)。
用本发明低温泵再生设备进行低温泵再生的方法，其包括有如下步骤：
1)再生辅助设备通电将氮气加热；
2)接通氮气，将再生辅助设备内的水分排出；
3)将氮气加热器(1)的氮气出口与充氮阀V3的进口串联，向低温泵提供氮气；
4)当低温泵停止30±5分钟时，氮气由充氮阀V3进入真空槽，通过V1到达低温泵的腔体，高温氮气迅速充满整个低温泵腔体，将熔点高的酸性和粘性油类物质加热至气体，经再生阀V4和机械泵RP排出腔体，将低温泵内的酸性胶状粘性油类物质清除。
上述步骤1)辅助设备通电将氮气加热至60±5℃范围内；上述步骤3)及步骤4)的充氮操作两至三次。
Claims (10)
1、一种低温泵再生设备，其特征在于包括有充氮系统及再生辅助装置，再生辅助装置串联在充氮系统，其中再生辅助装置包括有氮气加热器(1)、安全阀(2)、压力表(3)、温控器(4)，氮气加热器(1)内设有发热元件(11)，用以观察氮气压力的压力表(3)及确保氮气压力最高限值的安全阀(2)装设在氮气加热器(1)上，温控器(4)的温度探头置于氮气加热器(1)内。
2、根据权利要求1所述的低温泵再生设备，其特征在于上述氮气加热器(1)的氮气进口处装设有阀门(5)。
3、根据权利要求2所述的低温泵再生设备，其特征在于上述阀门(5)上安装有细孔过滤网。
4、根据权利要求1所述的低温泵再生设备，其特征在于上述充氮系统包括有高真空阀V1、初抽阀V2、充氮阀V3、再生阀V4、机械泵RP，其中充氮阀V 3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口相通，充氮阀V3的出口通过管路分别与高真空阀V1及初抽阀V2的进口相通，初抽阀V2的出口通过管路与机械泵RP相通，高真空阀V1的出口通过管路与低温泵CRYO相通，再生阀V4连接在高真空阀V1的出口与初抽阀V2的出口之间。
5、根据权利要求4所述的低温泵再生设备，其特征在于上述初抽阀V2与机械泵RP之间的管路上装设有油过滤器FT。
6、根据权利要求4所述的低温泵再生设备，其特征在于上述充氮阀V3的出口与高真空阀V1及初抽阀V2的进口之间的管路上装设有真空计PG2。
7、根据权利要求4所述的低温泵再生设备，其特征在于上述高真空阀V1的出口与低温泵CRYO之间的管路上装设有真空计PG1；上述再生阀V4与低温泵CRYO之间的管路上装设有电离真空计IG1。
8、根据权利要求4所述的低温泵再生设备，其特征在于上述充氮阀V3的进口与氮气加热器(1)的氮气出口之间的管路上装设有阀门(6)。
9、一种根据权利要求1所述的低温泵再生设备的再生方法，其特征在于包括有如下步骤：
1)再生辅助设备通电将氮气加热；
2)接通氮气，将再生辅助设备内的水分排出；
3)将氮气加热器(1)的氮气出口与充氮阀V3的进口串联，向低温泵提供氮气；
4)当低温泵停止30±5分钟时，氮气由充氮阀V3进入真空槽，通过V1到达低温泵的腔体，高温氮气迅速充满整个低温泵腔体，将熔点高的酸性和粘性油类物质加热至气体，经再生阀V4和机械泵RP排出腔体，将低温泵内的酸性胶状粘性油类物质清除。
10、根据权利要求5所述的再生方法，其特征在于上述步骤1)辅助设备通电将氮气加热至60±5℃范围内；上述步骤3)及步骤4)的充氮操作两至三次。
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| CN 200510033352 CN1828053A (zh) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 低温泵再生辅助设备及其再生方法 |
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| CN 200510033352 CN1828053A (zh) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 低温泵再生辅助设备及其再生方法 |
Publications (1)
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| CN1828053A true CN1828053A (zh) | 2006-09-06 |
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| CN 200510033352 Pending CN1828053A (zh) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 低温泵再生辅助设备及其再生方法 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN1828053A (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102400887A (zh) * | 2010-09-13 | 2012-04-04 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及过滤器装置 |
| CN103291585A (zh) * | 2012-03-01 | 2013-09-11 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及其再生方法 |
| TWI507605B (zh) * | 2013-03-12 | 2015-11-11 | Sumitomo Heavy Industries | Cryogenic pump and its regeneration method |
| CN106762534A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-05-31 | 和舰科技(苏州)有限公司 | 一种低温泵再生装置及方法 |
-
2005
- 2005-03-02 CN CN 200510033352 patent/CN1828053A/zh active Pending
Cited By (6)
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| CN103291585B (zh) * | 2012-03-01 | 2016-01-20 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵及其再生方法 |
| TWI507605B (zh) * | 2013-03-12 | 2015-11-11 | Sumitomo Heavy Industries | Cryogenic pump and its regeneration method |
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