JP6785695B2 - 除害機能付ドライ真空ポンプ - Google Patents
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Description
また、前記ドライポンプと前記除害部とを着脱不能に直結する流路を備えたことにより、ガスのリークに対してきわめて安全な接続方法が提供される。
さらに、ドライポンプと除害部とが直結されるため、メンテナンスが容易となる。
このような接続により、流路を短くできる。
処理すべき排ガスの量が多いほど燃焼部の高さが必要となるが、このような接続により、ドライポンプの高さ分、燃焼部の高さを稼ぐことができ、除害機能付真空ポンプ全体の高さを小さくできる。
除害部が処理すべき排ガスの量がそれほど大きくなくてもよい場合、このような接続も可能である。
これにより、効率よく排ガスを無害化できる。
除害機能付ドライ真空ポンプは、前記ドライポンプおよび前記除害部を移動可能なモジュールとし、スワップメンテナンスが可能であるのが望ましい。
前記ドライポンプは、前記ツールと接続された第1ポンプ(例えばブースタポンプ)と、前記第1ポンプと着脱可能に接続され、かつ、前記流路によって前記除害部と着脱不能に接続された第2ポンプ(例えばメインポンプ)と、を有してもよい。
さらに、前記除害部は、前記排ガスを燃焼する2以上の燃焼部と、前記2以上の燃焼部のいずれかを前記ドライポンプと接続する切り替え手段と、を有してもよい。
図2Aは、除害部2の主要部である燃焼部20の断面図である。燃焼部20は、上端が閉塞され、下端が開口した円筒状となっている。燃焼部20の上端部近傍において、燃料(燃料ガス)と、支燃性ガス(酸素含有ガス)と、ドライポンプ1によって吸引されたツール200からの排ガスとが導入されるようになっている。すなわち、燃焼部20の上部が、図1におけるメインポンプ1bと流路3を介して直結される。また、燃焼部20の上端部には点火用のパイロットバーナ22が設置されており、燃料および空気が供給されるようになっている。なお、実際には燃焼部20の下方に洗浄部などが設けられるが、図示を省略している。
1)ウエハ投入:ドライポンプ1の運転は不要であるが、ドライポンプ1を完全に止めると立ち上げに時間が掛かるので、たとえば20%程度出力を落とした状態で運転して、ツール200の真空排気をバルブで止める。
2)真空引き:ドライポンプ1は100%出力で運転する。
3)昇温:真空が保たれた状態であれば良いので、ドライポンプ1は、例えば70%出力で運転する。
4)成膜:材料ガスが供給されるので、ドライポンプ1は100%出力で運転する。
5)降温:ガスの流入が止まるので、少し出力を落とした運転でよいので、ドライポンプ1は、例えば70%出力で運転する。
6)大気圧復帰:酸化しないように、ツール200にN2を流入させる。ドライポンプ1の運転は不要であるが、1)と同じ理由で出力を落とした状態で運転していても良い。
7)ウエハ取り出し:1)と同じ。
図10は、メインポンプ1bの別の例であるルーツ型ポンプ40の垂直方向断面図(側方から見た図)である。図11は、ルーツ型ポンプ40の水平方向断面図(上から見た図)である。図12は、図11におけるB−B断面図である。以降、三葉ルーツ型ポンプを例示するが、二葉あるいは四葉以上のルーツ型ポンプであってもよい。
なお、図10(a),(c)に示すルーツ型ポンプ40の場合、排気用のアダプタ41cを通って排気が行われる。
図13は、ルーツ型ポンプ40と燃焼部20との第1接続例を示す模式図であり、同図(a)は上方から見た図、同図(b)は側方から見た図である。同図は横置きのルーツ型ポンプ40を示している。図示のように、ルーツ型ポンプ40の側面に排気口41bがある。そして、水平方向に延びる流路3の一端が排気口41bと接続され、他端が燃焼部20における排ガス用ノズル23cに接続される。このように接続することで、図5と同様に、流路3を極めて短くできる。
1a ブースタポンプ
1b メインポンプ
10 スクリュー型ポンプ
111 吸気側ハウジング
112 ケーシング
113 排気側ハウジング
11a 吸気口
11b 排気口
12 モータ部
13 ポンプ部
2 除害部
20 燃焼部
22 パイロットバーナ
23a 燃料用ノズル
23b 支燃性ガス用ノズル
23c 排ガス用ノズル
24 水供給ノズル
25 タンク
26 水洗搭
3 流路
3a 鉛直部分
3b 水平部分
4 全体制御盤
5a 下フレーム
5b 上フレーム
40 ルーツ型ポンプ
41 ハウジング
41a 吸気口
41b 排気口
42 モータ部
43 ポンプ部
100 除害機能付ドライ真空ポンプ
200 ツール
Claims (8)
- ツールからの排ガスを真空排気するドライポンプと、
前記ドライポンプによって真空排気された排ガスを除害する除害部と、
前記ドライポンプと前記除害部とを着脱不能に直結する流路と、を備え、
前記ドライポンプは、
前記ツールと接続された第1ポンプと、
前記第1ポンプと着脱可能に接続され、かつ、前記流路によって前記除害部と着脱不能に接続された第2ポンプと、を有する除害機能付ドライ真空ポンプ。 - 前記ドライポンプは、その側面に排気口が設けられ、
前記除害部は、前記排ガスを燃焼する燃焼部と、前記燃焼部に前記排ガスを導入するノズルと、を有し、
前記流路は水平方向に延びて、一端が前記ドライポンプの排気口に接続され、他端が前記除害部のノズルに接続される、請求項1に記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。 - 前記ドライポンプは、その上面に排気口が設けられ、
前記除害部は、前記排ガスを燃焼する燃焼部と、前記燃焼部に前記排ガスを導入するノズルと、を有し、
前記流路は鉛直部分および水平部分を有するL字形状であり、前記鉛直部分の下端が前記ドライポンプの排気口に接続され、前記水平部分の一端が前記除害部のノズルに接続される、請求項1に記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。 - 前記ドライポンプは、その下面に排気口が設けられ、
前記除害部は、前記排ガスを燃焼する燃焼部と、前記燃焼部に前記排ガスを導入するノズルと、を有し、
前記流路は鉛直部分および水平部分を有するL字形状であり、前記鉛直部分の上端が前記ドライポンプの排気口に接続され、前記水平部分の一端が前記除害部のノズルに接続される、請求項1に記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。 - 前記燃焼部は、円筒状であり、
前記ノズルは、前記燃焼部の側面に設けられ、前記燃焼部の接線方向に前記排ガスを導入する、請求項2乃至4のいずれかに記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。 - 前記ドライポンプは、スクリュー型ポンプまたはルーツ型ポンプである、請求項1乃至5のいずれかに記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。
- 前記ドライポンプおよび前記除害部を移動可能なモジュールとし、スワップメンテナンスが可能である、請求項1乃至6のいずれかに記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。
- 前記除害部は、
前記排ガスを燃焼する2以上の燃焼部と、
前記2以上の燃焼部のいずれかを前記ドライポンプと接続する切り替え手段と、を有する、請求項1乃至7のいずれかに記載の除害機能付ドライ真空ポンプ。
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