JP4673904B2 - コールドトラップ、及びコールドトラップの再生方法 - Google Patents
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- 排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置され、該排気対象容積から該排気流路を通じて該真空ポンプへと吸入されて排気される気体の一部を表面に凍結して捕捉するコールドトラップであって、
前記排気流路に露出して配置されたコールドパネルと、
前記コールドパネルに熱的に接続され前記コールドパネルを冷却する冷凍機と、
前記コールドパネルの表面に凍結した気体を気化して前記真空ポンプで外部に排出する再生処理において前記冷凍機を制御することにより、コールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドパネルを昇温し、かつ当該温度においてコールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化するように前記排気流路の圧力を調節する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記排気流路の圧力が前記コールドパネルに凍結した気体の三重点の圧力を超えないように前記冷凍機を制御し、
前記制御部は、前記排気流路の圧力が上限圧力を超えた場合に、前記コールドパネルを冷却することにより前記排気流路の圧力を前記上限圧力以下に復帰させることを特徴とするコールドトラップ。 - 排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置され、該排気対象容積から該排気流路を通じて該真空ポンプへと吸入されて排気される気体の一部を表面に凍結して捕捉するコールドトラップであって、
前記排気流路に露出して配置されたコールドパネルと、
前記コールドパネルに熱的に接続され前記コールドパネルを冷却する冷凍機と、
前記コールドパネルの表面に凍結した気体を気化して前記真空ポンプで外部に排出する再生処理において前記冷凍機を制御することにより、コールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドパネルを昇温し、かつ当該温度においてコールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化するように前記排気流路の圧力を調節する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記排気流路の圧力が前記コールドパネルに凍結した気体の三重点の圧力を超えないように前記冷凍機を制御し、
前記制御部は、前記排気流路の圧力が許容圧力範囲を超えた場合に前記非液化温度範囲から選択される待機温度に前記コールドパネルを冷却することを特徴とするコールドトラップ。 - 排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置され、該排気対象容積から該排気流路を通じて該真空ポンプへと吸入されて排気される気体の一部を表面に凍結して捕捉するコールドトラップであって、
前記排気流路に露出して配置されたコールドパネルと、
前記コールドパネルに熱的に接続され前記コールドパネルを冷却する冷凍機と、
前記コールドパネルの表面に凍結した気体を気化して前記真空ポンプで外部に排出する再生処理において前記冷凍機を制御することにより、コールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドパネルを昇温し、かつ当該温度においてコールドパネル表面に凍結した気体が融解することなく気化するように前記排気流路の圧力を調節する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記排気流路の圧力が前記コールドパネルに凍結した気体の三重点の圧力を超えないように前記冷凍機を制御し、
前記制御部は、前記非液化温度範囲から選択される圧力判定温度に前記コールドパネルを昇温し、昇温後に前記排気流路の圧力が基準圧力を超えているか否かを判定し、
前記排気流路の圧力が前記基準圧力を超えている場合には前記非液化温度範囲から選択される温度に前記コールドパネルを冷却し、前記排気流路の圧力が前記基準圧力を超えていない場合には前記非液化温度範囲を超える温度に前記コールドパネルを昇温することを特徴とするコールドトラップ。 - 前記制御部は、前記排気流路の圧力が前記真空ポンプの許容吸入圧力を超えないように前記冷凍機を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコールドトラップ。
- 前記制御部は、前記待機温度において前記排気流路の圧力が許容圧力範囲を下回った場合に、前記非液化温度範囲を超える温度に前記コールドパネルを昇温することを特徴とする請求項2に記載のコールドトラップ。
- 前記制御部は、前記非液化温度範囲を超える温度においては前記非液化温度範囲における昇温速度よりも遅い昇温速度で前記コールドパネルを昇温することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコールドトラップ。
- 再生処理において前記排気流路に生じ得る全圧力範囲を計測範囲に含み、前記排気流路の圧力を測定するように配置され、測定値を前記制御部に出力するよう前記制御部に接続された圧力センサをさらに備え、
前記制御部は、前記圧力センサの測定値に基づいて前記排気流路の圧力を制御することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のコールドトラップ。 - コールドトラップの表面に捕捉した氷を気化して外部に排出するコールドトラップの再生方法であって、
コールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温する昇温工程と、
前記非液化温度範囲を超える温度においてコールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化するようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御する排出工程と、を備え、
前記排出工程は、水の三重点の圧力を超えないようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御し、
前記排出工程は、コールドトラップの雰囲気圧力が上限圧力を超えた場合に、コールドトラップを冷却することにより雰囲気圧力を前記上限圧力以下に復帰させることを特徴とする再生方法。 - コールドトラップの表面に捕捉した氷を気化して外部に排出するコールドトラップの再生方法であって、
コールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温する昇温工程と、
前記非液化温度範囲を超える温度においてコールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化するようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御する排出工程と、を備え、
前記排出工程は、水の三重点の圧力を超えないようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御し、
前記排出工程は、コールドトラップの雰囲気圧力が許容圧力範囲を超えた場合に前記非液化温度範囲から選択される待機温度にコールドトラップを冷却することを特徴とする再生方法。 - コールドトラップの表面に捕捉した氷を気化して外部に排出するコールドトラップの再生方法であって、
コールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温する昇温工程と、
前記非液化温度範囲を超える温度においてコールドトラップ表面に捕捉されている氷が融解することなく気化するようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御する排出工程と、を備え、
前記排出工程は、水の三重点の圧力を超えないようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御し、
前記昇温工程は、前記非液化温度範囲から選択される圧力判定温度にコールドトラップを昇温し、昇温後に前記雰囲気圧力が基準圧力を超えているか否かを判定し、
前記雰囲気圧力が前記基準圧力を超えている場合には前記非液化温度範囲から選択される温度で氷を昇華させて外部に排出し、前記雰囲気圧力が前記基準圧力を超えていない場合には前記非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温することを特徴とする再生方法。 - 前記排出工程は、気化した水蒸気をターボ分子ポンプで外部に排出することを更に含み、該ターボ分子ポンプの許容吸入圧力を超えないようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御することを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載の再生方法。
- 前記排出工程は、前記待機温度においてコールドトラップの雰囲気圧力が前記許容圧力範囲を下回った場合に、前記非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温することを特徴とする請求項9に記載の再生方法。
- 前記昇温工程は、前記非液化温度範囲を超える温度においては前記非液化温度範囲における昇温速度よりも遅い昇温速度でコールドトラップを昇温することを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載の再生方法。
- 前記昇温工程の開始から前記排出工程の完了までコールドトラップの雰囲気圧力を共通の圧力センサで測定することを特徴とする請求項8から13のいずれかに記載の再生方法。
- コールドトラップの表面に凍結した気体を気化して外部に排出する再生処理を実行する再生制御装置であって、
コールドトラップ表面に凍結した気体が融解することなく気化することが保証されている非液化温度範囲を超える温度にコールドトラップを昇温し、当該温度においてコールドトラップ表面に凍結した気体が融解することなく気化するようにコールドトラップの雰囲気圧力を制御し、
前記雰囲気圧力の制御は、再生中に前記非液化温度範囲を超える温度に昇温されているときにコールドトラップの冷却を一時的に許容することを含むことを特徴とする再生制御装置。 - コールドトラップの表面に凍結した気体を気化して外部に排出するコールドトラップの再生方法であって、
再生中にコールドトラップの雰囲気圧力をモニタし、
モニタされた雰囲気圧力が許容圧力範囲を超える場合にコールドトラップを一時的に冷却することを特徴とする再生方法。
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