CN115531907A - 一种下装载式冷阱结构及升华仪 - Google Patents
一种下装载式冷阱结构及升华仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115531907A CN115531907A CN202210998978.6A CN202210998978A CN115531907A CN 115531907 A CN115531907 A CN 115531907A CN 202210998978 A CN202210998978 A CN 202210998978A CN 115531907 A CN115531907 A CN 115531907A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid nitrogen
- cavity
- cold
- trap structure
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 title abstract description 17
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 title abstract description 17
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 132
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 68
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 66
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D7/00—Sublimation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
本发明公开了一种下装载式冷阱结构及升华仪，包括液氮内胆、外腔体、用于驱动液氮内胆升降的升降机构和分子泵，所述液氮内胆包括封闭内胆，所述封闭内胆的底部向外延伸有第一法兰面，所述封闭内胆的内腔分别连通有液氮注入管道、液氮排出管道和排气管道，本发明涉及升华仪技术领域。该下装载式冷阱结构及升华仪，通过采用倒立的冷阱结构，可以在升华结束后，将冷阱中的冷液放回液氮储罐中，使得冷阱快速恢复室温，减少液氮的浪费，另外，通过机构冷阱可以直接落下，便于拆装，冷阱中未使用完的液氮可以取出，减少液氮损失，减少两次升华过程中的间隔，提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及升华仪技术领域，具体为一种下装载式冷阱结构及升华仪。
背景技术
升华仪利用材料的升华温度和凝华温度的不同，来进行材料的分离提纯。特别是在有机小分子发光材料的提纯中应用广泛。有机小分子材料升华仪一般采用卧式结构，采用分子泵和机械泵作为真空泵组。分子泵容易受到未沉积的材料污染而受损，因此一般在分子泵前设置冷阱。冷阱中加入液氮，利用低温吸附空间中的材料，避免材料进入分子泵中。目前的冷阱的结构如申请号为202110663750.7所示。升华仪从结束升华到冷却可以取材料，一般需要1个小时左右。但是升华过程中，存在以下问题：
(1)很难精确的计算冷阱中添加液氮的量，如果液氮添加量过多，冷阱处于很低的温度，会导致冷阱内壁温度很低，有大气接触冷阱内壁时，其中的水蒸气会在内壁上凝结，使得整个系统的真空度变差。
(2)另外，冷阱一般采用不锈钢材质，20L的冷阱有二十千克以上的重量，使用时间久了之后，如果想取出清洗，其拆装也较为困难。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种下装载式冷阱结构及升华仪，解决了上述提出的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种下装载式冷阱结构，包括液氮内胆、外腔体、用于驱动液氮内胆升降的升降机构和分子泵，所述液氮内胆包括封闭内胆，所述封闭内胆的底部向外延伸有第一法兰面，所述封闭内胆的内腔分别连通有液氮注入管道、液氮排出管道和排气管道；
所述外腔体套设在液氮内胆的表面，所述外腔体包括套设在封闭内胆表面的腔体，所述腔体底部固定有与第一法兰面真空密封的第二法兰面，所述第一法兰面的顶部固定连接有与第二法兰面的表面抵接的密封垫，所述腔体的顶部通过顶部法兰端面与分子泵相连，所述腔体的侧面设置有与外界生化仪连接的侧壁法兰端面，所述腔体的内腔固定连接有阻挡条。
作为本发明进一步的方案：所述升降机构包括固定在腔体表面的动力箱，所述动力箱的内腔转动连接有通过驱动电机驱动的螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有升降盘，所述第一法兰面的底部固定连接有托举板，所述托举板的底部与升降盘的顶部卡接。
作为本发明进一步的方案：所述动力箱的内腔固定连接有与升降盘的表面滑动连接的限位杆，所述螺纹杆和限位杆均位于升降盘的后方。
作为本发明进一步的方案：所述排气管道的上端口高于液氮注入管道的上端口，所述液氮排出管道的上端口与第一法兰面的顶部齐平。
作为本发明进一步的方案：所述封闭内胆为封闭的圆柱体，所述腔体为圆柱形腔体。
作为本发明进一步的方案：所述封闭内胆的顶部与阻挡条的表面抵接。
一种升华仪，包括下装载式冷阱结构，还包括左法兰件，石英腔体、加热炉、右法兰件和前级泵，所述左法兰件、右法兰件分别位于石英腔体的两侧通过密封圈实现真空密封连接，所述加热炉环绕于石英腔体外侧，所述右法兰件与下装载式冷阱结构的冷阱密封连接，所述下装载式冷阱结构的分子泵与前级泵之间通过真空波纹管连接。
该升华仪的使用方法包括以下步骤：
步骤一、升华仪密封后，依次抽粗真空、高真空，然后封闭液氮排出管道，通过液氮注入管道向封闭内胆注入液氮，冷却后，开始通过加热炉对石英腔体加热，进行升华提纯，当升华结束后，打开液氮排出管道，使得封闭内胆中剩余的液氮排出，液氮排出后，可以继续通过液氮注入管道或者排气管道对内部通气，使得液氮冷阱的温度快速恢复至室温，避免开腔后大气中的水蒸气在内壁凝结。
步骤二、需要清理冷阱内结构时，通过电机驱动螺纹杆，使得螺纹杆带动升降盘向下运动，升降盘失去对托举板的向上推挤，封闭内胆向下落下，然后将其从升降盘顶部取下，清理后安装即可。
本发明与现有技术相比具备以下有益效果：通过采用倒立的冷阱结构，可以在升华结束后，将冷阱中的冷液放回液氮储罐中，使得冷阱快速恢复室温，减少液氮的浪费，另外，通过机构冷阱可以直接落下，便于拆装，冷阱中未使用完的液氮可以取出，减少液氮损失，减少两次升华过程中的间隔，提高生产效率。
附图说明
图1为本发明的冷阱结构示意图；
图2为本发明液氮内胆和外腔体的结构连接示意图；
图3为本发明液氮内胆的结构示意图；
图4为本发明升华仪的结构示意图。
图中：4、分子泵；11、封闭内胆；12、第一法兰面；13、液氮注入管道；14、液氮排出管道；15、排气管道；16、密封垫；17、托举板；21、腔体；22、第二法兰面；23、顶部法兰端面；24、侧壁法兰端面；25、阻挡条；31、动力箱；32、螺纹杆；33、升降盘；34、限位杆；41、左法兰件；42、石英腔体；43、加热炉；44、右法兰件；46、前级泵。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种下装载式冷阱结构，包括液氮内胆、外腔体、用于驱动液氮内胆升降的升降机构和分子泵4，液氮内胆包括封闭内胆11，封闭内胆11的底部向外延伸有第一法兰面12，封闭内胆11的内腔分别连通有液氮注入管道13、液氮排出管道14和排气管道15，当升华结束后，打开液氮排出管道14，使得封闭内胆11中剩余的液氮排出，液氮排出后，可以继续通过液氮注入管道13或者排气管道15对内部通气，使得液氮冷阱的温度快速恢复至室温，避免开腔后大气中的水蒸气在内壁凝结，冷阱中未使用完的液氮可以取出，减少液氮损失，减少两次升华过程中的间隔，提高生产效率，液氮的装卸更便捷，便于操作；
外腔体套设在液氮内胆的表面，外腔体包括套设在封闭内胆11表面的腔体21，腔体21底部固定有与第一法兰面12真空密封的第二法兰面22，第一法兰面12的顶部固定连接有与第二法兰面22的表面抵接的密封垫16，腔体21的顶部通过顶部法兰端面23与分子泵4相连，腔体21的侧面设置有与外界生化仪连接的侧壁法兰端面24，腔体21的内腔固定连接有阻挡条25。
升降机构包括固定在腔体21表面的动力箱31，动力箱31的内腔转动连接有通过驱动电机驱动的螺纹杆32，螺纹杆32的表面螺纹连接有升降盘33，第一法兰面12的底部固定连接有托举板17，托举板17的底部与升降盘33的顶部卡接。
动力箱31的内腔固定连接有与升降盘33的表面滑动连接的限位杆34，螺纹杆32和限位杆34均位于升降盘33的后方。
排气管道15的上端口高于液氮注入管道13的上端口，液氮排出管道14的上端口与第一法兰面12的顶部齐平。
封闭内胆11为封闭的圆柱体，腔体21为圆柱形腔体。
封闭内胆11的顶部与阻挡条25的表面抵接。
一种升华仪，包括下装载式冷阱结构，还包括左法兰件41，石英腔体42、加热炉43、右法兰件44和前级泵46，左法兰件41、右法兰件44分别位于石英腔体42的两侧通过密封圈实现真空密封连接，加热炉43环绕于石英腔体42外侧，右法兰件44与下装载式冷阱结构的冷阱密封连接，下装载式冷阱结构的分子泵4与前级泵46之间通过真空波纹管连接。
该升华仪的使用方法包括以下步骤：
步骤一、升华仪密封后，依次抽粗真空、高真空，然后封闭液氮排出管道14，通过液氮注入管道13向封闭内胆11注入液氮，冷却后，开始通过加热炉43对石英腔体42加热，进行升华提纯，当升华结束后，打开液氮排出管道14，使得封闭内胆11中剩余的液氮排出，液氮排出后，可以继续通过液氮注入管道13或者排气管道15对内部通气，使得液氮冷阱的温度快速恢复至室温，避免开腔后大气中的水蒸气在内壁凝结。
步骤二、需要清理冷阱内结构时，通过电机驱动螺纹杆32，使得螺纹杆32带动升降盘33向下运动，升降盘33失去对托举板17的向上推挤，封闭内胆11向下落下，然后将其从升降盘33顶部取下，清理后安装即可。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (7)
1.一种下装载式冷阱结构，包括液氮内胆、外腔体、用于驱动液氮内胆升降的升降机构和分子泵(4)，其特征在于：所述液氮内胆包括封闭内胆(11)，所述封闭内胆(11)的底部向外延伸有第一法兰面(12)，所述封闭内胆(11)的内腔分别连通有液氮注入管道(13)、液氮排出管道(14)和排气管道(15)；
所述外腔体套设在液氮内胆的表面，所述外腔体包括套设在封闭内胆(11)表面的腔体(21)，所述腔体(21)底部固定有与第一法兰面(12)真空密封的第二法兰面(22)，所述第一法兰面(12)的顶部固定连接有与第二法兰面(22)的表面抵接的密封垫(16)，所述腔体(21)的顶部通过顶部法兰端面(23)与分子泵(4)相连，所述腔体(21)的侧面设置有与外界生化仪连接的侧壁法兰端面(24)，所述腔体(21)的内腔固定连接有阻挡条(25)。
2.根据权利要求1所述的一种下装载式冷阱结构，其特征在于：所述升降机构包括固定在腔体(21)表面的动力箱(31)，所述动力箱(31)的内腔转动连接有通过驱动电机驱动的螺纹杆(32)，所述螺纹杆(32)的表面螺纹连接有升降盘(33)，所述第一法兰面(12)的底部固定连接有托举板(17)，所述托举板(17)的底部与升降盘(33)的顶部卡接。
3.根据权利要求2所述的一种下装载式冷阱结构，其特征在于：所述动力箱(31)的内腔固定连接有与升降盘(33)的表面滑动连接的限位杆(34)，所述螺纹杆(32)和限位杆(34)均位于升降盘(33)的后方。
4.根据权利要求1所述的一种下装载式冷阱结构，其特征在于：所述排气管道(15)的上端口高于液氮注入管道(13)的上端口，所述液氮排出管道(14)的上端口与第一法兰面(12)的顶部齐平。
5.根据权利要求1所述的一种下装载式冷阱结构，其特征在于：所述封闭内胆(11)为封闭的圆柱体，所述腔体(21)为圆柱形腔体。
6.根据权利要求1所述的一种下装载式冷阱结构，其特征在于：所述封闭内胆(11)的顶部与阻挡条(25)的表面抵接。
7.一种升华仪，包括权利要求1-6中任意一项所述的下装载式冷阱结构，其特征在于：还包括左法兰件(41)，石英腔体(42)、加热炉(43)、右法兰件(44)和前级泵(46)，所述左法兰件(41)、右法兰件(44)分别位于石英腔体(42)的两侧通过密封圈实现真空密封连接，所述加热炉(43)环绕于石英腔体(42)外侧，所述右法兰件(44)与下装载式冷阱结构的冷阱密封连接，所述下装载式冷阱结构的分子泵(4)与前级泵(46)之间通过真空波纹管连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210998978.6A CN115531907A (zh) | 2022-08-19 | 2022-08-19 | 一种下装载式冷阱结构及升华仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210998978.6A CN115531907A (zh) | 2022-08-19 | 2022-08-19 | 一种下装载式冷阱结构及升华仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115531907A true CN115531907A (zh) | 2022-12-30 |
Family
ID=84725101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210998978.6A Pending CN115531907A (zh) | 2022-08-19 | 2022-08-19 | 一种下装载式冷阱结构及升华仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115531907A (zh) |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009262083A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | コールドトラップ、及びコールドトラップの再生方法 |
| CN101738062A (zh) * | 2008-11-14 | 2010-06-16 | 兰州科近真空冻干技术有限公司 | 一种真空冻干装置 |
| CN103017990A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 中核（天津）机械有限公司 | 多路冷冻检漏设备 |
| JP2014044187A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Yukitaka Ajimi | 放射性廃液を昇華圧利用で分離処理する方法と装置 |
| CN203598808U (zh) * | 2013-10-17 | 2014-05-21 | 浙江泛泰仪器有限公司 | 一种高低温串联反应装置 |
| CN204437683U (zh) * | 2015-01-05 | 2015-07-01 | 南京特种气体厂有限公司 | 硅烷纯化装置与灌装系统 |
| CN108854137A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-11-23 | 杭州赛威斯真空技术有限公司 | 冷屏、装有该冷屏的有机物升华提纯设备及其提纯方法 |
| CN209645884U (zh) * | 2019-03-11 | 2019-11-19 | 吉林华微电子股份有限公司 | 冷阱灌液氮装置及冷阱 |
| CN111790175A (zh) * | 2020-05-29 | 2020-10-20 | 安徽贝意克智能科技有限公司 | 一种双泵500管径的升华仪 |
| CN113457197A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-10-01 | 上海煜志科技有限公司 | 升华仪真空系统及其控制方法 |
| CN217198220U (zh) * | 2022-02-11 | 2022-08-16 | 海宁奕诺炜特科技有限公司 | 一种用于升华仪的冷阱取放装置 |
-
2022
- 2022-08-19 CN CN202210998978.6A patent/CN115531907A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009262083A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | コールドトラップ、及びコールドトラップの再生方法 |
| CN101738062A (zh) * | 2008-11-14 | 2010-06-16 | 兰州科近真空冻干技术有限公司 | 一种真空冻干装置 |
| JP2014044187A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Yukitaka Ajimi | 放射性廃液を昇華圧利用で分離処理する方法と装置 |
| CN103017990A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 中核（天津）机械有限公司 | 多路冷冻检漏设备 |
| CN203598808U (zh) * | 2013-10-17 | 2014-05-21 | 浙江泛泰仪器有限公司 | 一种高低温串联反应装置 |
| CN204437683U (zh) * | 2015-01-05 | 2015-07-01 | 南京特种气体厂有限公司 | 硅烷纯化装置与灌装系统 |
| CN108854137A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-11-23 | 杭州赛威斯真空技术有限公司 | 冷屏、装有该冷屏的有机物升华提纯设备及其提纯方法 |
| CN209645884U (zh) * | 2019-03-11 | 2019-11-19 | 吉林华微电子股份有限公司 | 冷阱灌液氮装置及冷阱 |
| CN111790175A (zh) * | 2020-05-29 | 2020-10-20 | 安徽贝意克智能科技有限公司 | 一种双泵500管径的升华仪 |
| CN113457197A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-10-01 | 上海煜志科技有限公司 | 升华仪真空系统及其控制方法 |
| CN217198220U (zh) * | 2022-02-11 | 2022-08-16 | 海宁奕诺炜特科技有限公司 | 一种用于升华仪的冷阱取放装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100298764B1 (ko) | 가반식 밀폐 컨테이너용 가스퍼지 유니트 | |
| CN108179396B (zh) | 环形循环连续式真空镀膜装置 | |
| CN112974083B (zh) | 一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置 | |
| CN101469414A (zh) | 平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构 | |
| CN115531907A (zh) | 一种下装载式冷阱结构及升华仪 | |
| CN214625007U (zh) | 一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置 | |
| CN219559269U (zh) | 一种肺癌活性化合物的溶解装置 | |
| CN114887441B (zh) | 一种原油VOCs治理工艺 | |
| CN214193430U (zh) | 一种长晶炉 | |
| CN210845836U (zh) | 一种垃圾中转站恶臭气体uv光解净化设备 | |
| JP3973512B2 (ja) | 真空排気装置の戻水貯水槽内ガスの換気方法及び戻水貯水槽の水封蓋 | |
| CN220309981U (zh) | 一种废气中有机溶剂回收装置 | |
| CN220779049U (zh) | 一种可降低含硫量的氯乙酰氯蒸馏釜 | |
| CN116252366B (zh) | 一种用于熏蒸木托盘加工的熏蒸设备 | |
| CN220221679U (zh) | 一种便于转运的生物试剂用存储盒 | |
| CN219898193U (zh) | 一种生物操作废液负压收集装置 | |
| CN2725809Y (zh) | 真空蓄电池极板干燥炉 | |
| CN218328907U (zh) | 一种软膏剂生产冷却设备 | |
| CN117685750A (zh) | 一种固态电池生产用真空干燥箱 | |
| CN213853285U (zh) | 一种金属表面处理废物回收用抽滤罐 | |
| CN113694559B (zh) | 一种有机材料提纯系统及使用方法 | |
| CN219547087U (zh) | 一种平移机构及立式成膜装置 | |
| CN215240987U (zh) | 一种气体净化系统及手套箱设备 | |
| CN220675031U (zh) | 一种果蔬真空冷冻干燥设备 | |
| CN221152781U (zh) | 一种浆果新型等离子体杀菌保鲜设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |