KR950031519A - 페이스트 도포기 - Google Patents

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유끼히로 가와스미
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우찌가사끼 노리이찌로우
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    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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    • B05C5/0212Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles

Abstract

(목적) 노즐과 기판과의 대향간격의 제어를 양자를 수평방향으로상대이동시키는 제어에 대하여 독립시킴으로써 기판상에 소망형상의 복수의 페이스트패턴을 동시에 고정밀도로, 또한 고속으로 도포묘획할 수 있는 페이스트 도포기를 제공한다.
(구성) 노즐(1a,1b)과 이들 각 노즐의 분출구와 기판(7)의 표면과의 대향간격을 개별로 계측하는 광학식 거리계(3a,3b)와 주제어장치(14a)에 제어되어 각 노즐과 기판(7)을 수평방향으로 상대적으로 이동시키는 데이블(6,8)과 이 상대적으로 이동시에 있어서의 각 거리계(3a,3b)의 데이터를 이용하여 각 노즐의 분출구와 기판(7)의 표면과의 대향간격을 개별로 제어하는 부제어장치(14b)를 구비하였다.

Description

페이스트 도포기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 페이스트 도포기의 일 실시예를 나타낸 개략 사시도, 제3도는 동 실시예의 제어장치의 구체적 예를 나타낸 블록도.

Claims (8)

  1. 노즐의 페이스트 분출구와 대향하도록 기판을 테이블상에 얹어 놓고, 페이스트 수납통에 수납한 페이스트를 상기 분출구로부터 상기 기판상에 분출시키면서, 상기 노즐과 상기 기판과의 상대위치를 변화시켜 상기 기판상에 소망형상의 페이스트 패턴을 묘획 형성하는 페이스트 도포기에 있어서, 복수의 노즐과, 상기 각 노즐의 페이스트분출구와, 상기 기판의 표면과의 대향간격을 개별로 계측하는 복수의 계측장치와, 상기 각 노즐과 상기 기판을 수평방향으로 상대적으로 이동시키는 주제어장치와, 이 상대적 이동시에 있어서의 상기 각 계측장치의 계측데이터를 이용하여 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와 상기 기판의 표면과의 대향관계를 개별로 제어하는 부제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 노즐이 상기 테이블상에 얹어놓은 복수의 기판에 대하여 개별로 페이스트를 분출하는 것과 함께, 상기 주제어장치가 상기 각 노즐과 상기 각 기판과의 수평방향의 상대적 이동을 동량 또한 동시에 행하게 하는 것임을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 부제어장치가 상기 각 계측장치의 계측데이터 및 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와 상기 기판의 표면과의 미리 설정된 대향간격의 데이터를 기억하는 기억장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  4. 제1항에 있어서, 각 노즐에 대응시켜 페이스트 수납통을 구비하고, 상기 주제어장치가 각 페이스트 수납통에 수납한 페이스트를 각 노즐의 분출구로부터 상기 기판상에 분출시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 주제어장치가 각 페이스트 수납통에 수납한 페이스트를 각 노즐의 분출구로부터 상기 기판상에 분출시키면, 부제어장치가 상기 각 계측장치의 계측데이터를 이용하여 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와, 상기 기판의 표면과의 대향간격을 개별로 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 주제어장치는, 상기 부제어장치가 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와, 상기 기판의 표면과의 대향간격이 미리 설정된 높이로 한 것의 완료통지를 상기 부제어장치로 부터 얻어 상기 각 노즐과 상기 기판을 수평방향으로 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  7. 제3항에 있어서, 상기 부제어장치는 상기 각 계측장치의 계측데이터와 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와, 상기 기판의 표면과의 미리 설정된 대향 간격을 비교하여 상기 각 노즐의 페이스트 분출구와 상기 기판의 표면과의 대향간격을 미리 설정된 대향간격으로 하는 것임을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  8. 제1항에 있어서, 상기 복수의 노즐이 상기 테이블상에 얹어놓은 1매의 기판에 대하여 개별로 페이스트를 분출하는 것임을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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