KR970003540A - 페이스트 도포기 - Google Patents

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하루오 미시나
유끼히로 가와수미
토미오 요네다
마사유끼 사이토
히로시 츠츠미
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우치게사키 기이치로우
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Abstract

본 발명은 기판상에 소망의 패턴형상에 페스트를 도포하는 페이스트 도포기에 관한 것이다.
본 발명 페이스트 도포기의 특징은 테이블상에 착탈 자재로 재치된 기판상에 페이스트가 수납되는 페이스트 수납통에 연통한 노즐에서 페이스트를 토츨시키면서 해당 노즐과 기판을 재치한 상기 테이블의 상대위치관계를 변화시켜 상기 기판상에 소망형상의 페이스트 패턴을 형성하는 페이스트 도포기에서 상기 페이스트 수납통과 함께 교환한 노즐을 사용하여 상기 테이블에 재치된 기판상에 페이스트 패턴을 도포하고, 페이스트 토출구의 중심에 중심이 거의 일치한 도포한 페이스트 패턴에서 해당 교환한 노즐의 페이스트 토출구의 위치를 계측하는 계측수단, 해당 계측수단에 의한 계측결과에서 노즐교환에 의한 페이스트 토출구의 위치변동을 산출하는 산출수단 및 해당 산출수단에서 얻어진 결과에서 노즐교환후의 페이스트 토출구에 대하여 상기 기판을 소망위치에 위치결정하는 위치결정수단을 구비하는 것이다.

Description

페이스트 도포기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (7)

  1. 기판을 착탈자재에 재치하는 테이블과, 페이스트가 수납되는 페이스트 수납통과, 해당 페이스트 수납통에 연통하고, 상기 테이블에 재치된 기판의 주면에 대향하는 페이스트 토출구를 가지는 노즐과, 해당 노즐과 상기 테이블에 재치된 기판의 상대위치관계를 변화시켜 상기 기판상에 페이스트를 도포하고 소망형상의 페이스트패턴을 형성하는 수단과, 상기 페이스트 수납통과 함께 교환한 노즐을 사용하여 상기 테이블에 유지된 기판상에 페이스트 패턴을 도포하고, 페이스트 토출구의 중심에 중심이 거의 일치한 도포한 페이스트 패턴에서 해당 교환한 노즐의 페이스트 토출구의 위치를 계측하는 계측수단과, 해당 계측수단에 의한 계측결과에서 노즐교환에 의한 페이스트 토출구의 위치변동을 산출하는 산출수단과, 해당 산출수단으로 얻게된 결과에서 노즐교환후의 페이스트 토출구에 대하여 상기 기판을 소망위치에 위치결정하는 위치결정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 계측수단은 노즐교환시에서 노즐의 페이스트 토출구의 위치를 기판의 서로 떨어진 임의수의 점상 페이스트 패턴에서 계측한 것이고, 상기 산출수단은 해당 계측수단에 의한 각 점상 페이스트 패턴에 관한 전체의 계측결과의 통계처리로 교환된 노즐의 페이스트 토출구의 위치변동을 산출하는 페이스트 도포기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 계측수단은 노즐교환시에서 노즐의 페이스트 토출구의 위치를 기판의 서로 떨어진 임의수의 점상 페이스트 패턴에서 계측한 것이고, 상기 산출수단은 해당 계측수단에 의한 각 점상페이스트 패턴에 관한 전체의 계측결과 중 최초에 도피된 점상페이스트 패턴을 제거하는 나머지의 점상 페이스트 패턴에 관한 계측결과의 통계처리로 교환된 노즐의 페이스트 토출구의 위치변동을 산출하는 페이스트 도포기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 계측수단은 노즐교환시에서 노즐의 페이스트 토출구의 위치를 기판의 서로 떨어진 임의수의 점상 페이스트 패턴 중 최후에 도포된 점상 페이스트 패턴에서 계측된 것이고, 상기 산출수단은 해당 계측수단에 의한 최후에 도포된 점상 페이스트 패턴에 관한 계측결과로 교환된 노즐의 페이스트 토출구의 위치변동을 산출하는 페이스트 도포기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 계측수단은 노즐교환시에서 노즐을 사용하여 기판상에 서로 교차하는 직선상의 제1, 제2의 페이스트 패턴을 도포하고, 양페이스트 패턴의 교차점의 중심점을 계측하는 페이스트 도포기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 계측수단은 노즐교환시에서 노즐을 사용하여 기판상에 서로 교차하는 직선상의 제1, 제2의 페이스트 패턴을 도포한데 대응하여 최초에 도포하는 제1의 페이스트 패턴을 다음에 도포하는 제2의 페이스트 패턴보다도 길게되도록 하고, 그의 제1의 페이스트 패턴의 긴부분이 기록부로 되도록 하는 기판과, 테이블의 상대위치관계를 변화시키는 상대이동수단을 구비하는 페이스트 도포기.
  7. 제1항에 있어서, 노즐교환후의 새로운 노즐의 페이스트 토출구에 대한 기판의 위치결정동작을 행하였는지 아닌지를 표시하는 정보를 기억하는 정보수단을 구비하고, 해당 기억수단의 해당 정보에 의해 해당 위치결정동작이 행하여저 있지 않은 것이 판정된 때에 상기 계측수단, 산출수단 및 위치결정수단에 의해 상기 새로운 노즐의 페이스트 토출구에 대해 기판을 소망위치에 위치결정하는 동작이 행하게되는 페이스트 도포기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960023350A 1995-06-23 1996-06-24 페이스트 도포기 KR100229855B1 (ko)

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