KR20070079337A - 잉크젯 도포 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 과제는 액적의 도포를 항상 안정적으로 행할 수 있는 동시에, 기판에 도포된 용매의 건조를 관리할 수 있는 잉크젯 도포 장치를 제공하는 것이다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서, 액적을 분사하는 노즐(50)의 분사구를 갖는 잉크젯 헤드(42)와, 노즐(50)의 분사구를 압력 용기(96)로 밀폐하는 밀폐 기구(97)와, 노즐(50)에 용매를 일정 압력으로 공급하는 용매 공급 기구(91)를 구비한다. 또한, 액적을 분사하기 위한 노즐(50)이 설치된 잉크젯 헤드(42)의 노즐(50)로부터 도포 대상(30)으로 액적을 분사시켜 도포하는 도포부(3)와, 도포부(3)에 있어서 도포 대상(30)을 덮는 동시에, 용제 보유 지지체(52)를 보유 지지하는 커버(51)와, 커버(51)에 보유 지지되는 용제 보유 지지체(52)에 용제를 공급하는 용제 공급부(53)를 구비한다.
잉크젯 도포 장치, 노즐, 밀폐 기구, 용제 보유 지지체, 커버
Description
본 발명은 잉크의 액적을 분사시켜 도포 대상에 도포하는 잉크젯 도포 장치에 관한 것이다.
퍼스널 컴퓨터 등에 있어서는 그 표시 장치로서 액정 디스플레이가 이용되고 있다. 이 액정 모니터의 제조 공정에 있어서는 노즐로부터 미소한 액적을 분사하도록 이루어진, 소위 잉크젯 도포 장치(특허문헌 1 참조)를 이용하여 투명 기판 상에 R(적색), G(녹색), B(청색)의 각 색의 잉크를 차례로 도포함으로써 이들 각 색의 도트가 차례로 배열되어 이루어지는 컬러 필터를 작성하도록 이루어져 있다.
컬러 필터의 주위에는 백라이트로부터의 빛을 차광하기 위한 차광 영역이 설치되어 있다. 이와 같은 차광 영역에 있어서는, 예를 들어 흑색의 잉크를 영역 내의 전면에 도포함으로써 표시 영역의 주위에 있어서 백라이트로부터의 불필요한 빛을 차광하도록 이루어져 있다.
컬러 필터에 각 색의 도트를 도포하는 경우나 컬러 필터의 차광 영역에 흑색의 잉크를 도포하는 경우에는 잉크젯 도포 장치가 이용되고 있다. 잉크젯 도포 장치에 있어서는 잉크를 분사하기 위한 노즐이 복수 설치된 잉크젯 헤드와 도포 대상 인 기판을 상대적으로 이동시키면서 잉크의 도포 위치에 있어서 잉크를 분사시키도록 이루어져 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2004-111074호 공보
잉크젯 도포 장치에 있어서는 잉크젯 헤드에 용매를 충전할 때에 상압(常壓)으로 용매를 송액(送液)하고 있음으로써 용매에 기포가 혼입하는 경우가 있고, 기포가 혼입하면 이 기포가 용매와 함께 흘러 노즐 내에 체류한다. 기포가 노즐 내에 체류하면 노즐에 대해 압전 소자에 의해 압력을 가해도 기포에 의해 압력이 흡수됨으로써 용매를 노즐로부터 분사시키는 것이 곤란해진다.
또한, 도포 대상인 기판 등에 액적을 도포한 경우, 기판에 도포된 액적은 외기에 접촉한 환경 하에 있어서 기판의 주위로부터 건조가 진행된다. 이 경우, 기판의 주위와 중심부에서는 용매의 건조 시간이 다른 것에 의해 도포된 용매의 막압이 불균일해진다.
본 발명은 이와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 액적의 도포를 항상 안정적으로 행할 수 있는 동시에, 기판에 도포된 용매의 건조를 관리할 수 있는 잉크젯 도포 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 특징은 잉크젯 도포 장치에 있어서, 액적을 분사하는 노즐의 분사구를 갖는 잉크젯 헤드와, 노즐의 분사구를 압력 용기로 밀폐하는 밀폐 기구와, 노즐에 용매를 일정 압력으로 공급하는 용매 공급 기구를 구비하는 것이다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 관한 특징은 잉크젯 도포 장치에 있어서, 액적 을 분사하기 위한 노즐이 설치된 잉크젯 헤드의 노즐로부터 도포 대상으로 액적을 분사시켜 도포하는 도포부와, 잉크젯 헤드와 도포 대상이 적재되는 테이블 사이에 배치되어 도포 대상을 덮는 동시에 용제 보유 지지체를 보유 지지하는 커버와, 커버에 보유 지지되는 용제 보유 지지체에 용제를 공급하는 용제 공급부를 구비하는 것이다.
본 발명에 따르면, 잉크젯 도포 장치에 있어서 액적의 도포를 항상 안정적으로 행하는 동시에, 기판에 도포된 용매의 건조를 관리하는 것을 가능하게 한다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
(제1 실시 형태)
[잉크젯 도포 장치의 전체 구성]
도1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 잉크젯 도포 장치(1)는 노즐로부터 잉크의 액적을 분사하는 잉크젯 헤드(42)를 이용하여 기판(30)에 잉크를 도포하는 잉크 도포부(3)와, 잉크젯 헤드(42)의 노즐의 건조를 방지하는 동시에, 항상 안정적으로 잉크 액적을 분사시키는 상태로 노즐을 유지하는 메인터넌스부(4)와, 잉크 액적의 분사 위치를 조정하는 도포 위치 조정부(5)와, 잉크 액적이 도포되는 기판(30)을 덮어 기판(30)에 도포된 잉크의 건조를 억제하는 용매 분위기 보유 지지부(6)와, 잉크 도포부(3)에 있어서 기판(30)을 보유 지지하는 기판 보유 지지 테이블을 XY 평면 내에서 이동시키는 동시에 θ방향으로 회전시키는 이동 기구(7)를 구비하고 있다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서는, 전체를 차폐 커버(1a)에 의해 덮음으로써 외기로부터 차폐하도록 이루어져 있다.
도2에 도시한 바와 같이, 이동 기구(7)는 가대(2)(도1)의 표면에 Y축 방향 가이드판(20)이 고정되어 있고, 이 Y방향 가이드판(20)의 상면에는 Y방향에 복수의 가이드 레일(21)이 연장 설치되어 있다. 이 가이드 레일(21)에는 Y방향 이동 테이블(22)의 하면에 설치된 가이드 부재(23)가 결합되고, 이에 의해 Y방향 이동 테이블(22)은 가이드 레일(21)에 가이드되어 Y방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 Y방향 이동 테이블(22)의 하면에는 돌기부(24)가 설치되고, 이 돌기부(24)에 나사 결합된 이송 나사(25)를 Y방향 이동 모터(도시하지 않음)에 의해 회전 구동함으로써 Y방향 이동 테이블(22)을 안내 홈(21)을 따라서 Y방향으로 이동하도록 이루어져 있다.
또한, Y방향 이동 테이블(22)의 상면에는 X방향에 복수의 가이드 레일(도시하지 않음)이 연장 설치되어 있다. 이 가이드 레일에는 X방향 이동 테이블(26)의 하면에 설치된 가이드 부재(도시하지 않음)가 결합되고, 이에 의해 X방향 이동 테이블(26)은 이 가이드 레일에 가이드되어 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 X방향 이동 테이블(26)의 하면에는 돌기부(27)가 설치되고, 이 돌기부(27)에 나사 결합된 이송 나사(28)를 X방향 이동 모터(29)에 의해 회전 구동함으로써 X방향 이동 테이블(26)을 가이드 레일을 따라서 X방향으로 이동하도록 이루어져 있다.
X방향 이동 테이블(26)의 상면에는 베어링을 이용한 θ방향 회전 기구(31)가 설치되어 있고, X방향 이동 테이블(26)에 대해 하우징(32)을 θ방향으로 회전 가능하게 지지하고 있다. θ방향 회전 기구(31)의 하우징(32)은 θ방향 회전 모터(도시하지 않음)를 이용한 구동 기구에 의해 θ방향으로 회전 구동된다. 하우징(32)의 상면에는 기판 보유 지지 테이블(33)이 설치되어 있고, 하우징(32)의 회전에 수반하여 θ방향으로 회전한다.
기판 보유 지지 테이블(33)은 진공 흡착 기구(도시하지 않음)에 의해, 잉크의 도포 대상인 기판(30)을 흡착 보유 지지하도록 이루어져 있다.
기판 보유 지지 테이블(33)의 X방향으로의 이동량은 X방향 엔코더(도시하지 않음)의 펄스 형상의 출력 신호를 기초로 하여 검출할 수 있고, 기판 보유 지지 테이블(33)의 Y방향으로의 이동량은 Y방향 엔코더(도시하지 않음)의 펄스 형상의 출력 신호를 기초로 하여 검출할 수 있고, 기판 보유 지지 테이블(33)의 θ방향으로의 회전량은 θ방향 엔코더(도시하지 않음)의 펄스 형상의 출력 신호를 기초로 하여 검출할 수 있다.
잉크젯 도포 장치(1)의 배면측에 있어서는 기판 수납부(도시하지 않음)로부터 도포 전의 기판(30)을 수납하여 기판 보유 지지 테이블(33)에 적재하는 동시에, 잉크 도포 완료된 기판(30)을 기판 수납부에 배출하기 위한 도입 배출부(9)가 설치되어 있다.
도1에 도시하는 잉크 도포부(3)에 있어서, 가대(2)의 상방에는 잉크젯 헤드 유닛(40)이 X방향, Y방향 및 상하 방향인 Z방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.
즉 잉크 도포부(3)에 있어서, 가대(2)의 상면에는 Y방향 가이드판(20)을 협 지하는 위치에 1세트의 컬럼(34a, 34b)이 세워 설치되어 있고, 이 컬럼(34a, 34b)의 상부에는 X방향 가이드판(35)이 가로로 걸쳐져 있다.
X방향 가이드판(35)의 전방면에는 X방향으로 가이드 기구(36)가 연장 설치되어 있고, 이 가이드 기구(36)에는 복수의 잉크젯 헤드 유닛(40)이 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.
도3에 도시한 바와 같이, 잉크젯 헤드 유닛(40)에 있어서, 이 잉크젯 헤드 유닛(40)을 수직 설치하는 베이스판(41)이 가이드 기구(36)에 결합되어 있다. 이 베이스판(41)은 헤드 유닛 이동 모터(도시하지 않음)를 이용한 구동 기구에 의해 가이드 기구(36)를 따라서 X방향으로 이동된다. 이 X방향으로의 이동량은 X방향 엔코더(도시하지 않음)의 펄스 형상의 출력 신호를 기초로 하여 검출할 수 있다.
잉크 도포부(3)에 있어서는 잉크젯 도포 장치(1)의 동작을 제어하는 제어부(10)에 의해 Y방향 이동 테이블(22)의 Y방향으로의 이동, X방향 이동 테이블(26)의 X방향으로의 이동 및 베이스판(41)의 X방향으로의 이동을 각각 제어하고, 이에 의해 기판 보유 지지 테이블(33)에 보유 지지된 기판(30)과 베이스판(41)에 수직 설치된 잉크젯 헤드 유닛(40)과의 상대 위치를 다양하게 변화시킬 수 있다.
베이스판(41)에는 복수의 잉크젯 헤드 유닛(40)이 수직 설치되어 있고, 이 잉크젯 헤드 유닛(40)에 있어서, 그 하단부에 설치된 잉크젯 헤드(42)에 의해 하방으로 잉크를 분사하도록 이루어져 있다. 이들 복수의 잉크젯 헤드 유닛(40)은 각각 동일한 구성을 갖는다.
도3에 도시한 바와 같이, 잉크젯 헤드 유닛(40)에 있어서는 베이스판(41)에 지지되어 이동부(44a)를 Z방향(상하 방향)으로 이동 가능하게 지지하는 Z방향 이동 기구(44)와, 이 Z방향 이동 기구(44)의 이동부(44a)에 지지되어 이동부(45a)를 Y방향으로 이동 가능하게 지지하는 Y방향 이동 기구(45)와, 이 Y방향 이동 기구(45)의 이동부(45a)에 지지되어 회전부(46a)를 Z방향 주위의 회전 방향인 θ방향으로 회전 가능하게 지지하는 θ방향 회전 기구(46)와, 이 θ방향 회전 기구(46)의 회전부(46a)에 수직 하강되는 잉크젯 헤드(42)를 갖고, Z방향 이동 기구(44)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 위치를 기판(30)에 대해 Z방향으로 높이 조정할 수 있는 동시에, Y방향 이동 기구(45)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 위치를 기판(30)에 대해 Y방향으로 조정할 수 있다. 또한, θ방향 회전 기구(46)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 방향을 기판(30)에 대해 θ방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, Y방향 이동 기구(45) 및 Z방향 이동 기구(44)에는 각각 모터 등을 이용한 Y방향 헤드 조정용 작동기(45b) 및 Z방향 헤드 조정용 작동기가 설치되고, 이에 의해 잉크젯 헤드(42)를 Y방향, Z방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, θ방향 회전 기구(46)에는 모터 등을 이용한 θ방향 회전 작동기(46b)가 설치되어 있고, 이에 의해 잉크젯 헤드(42)를 모터 구동에 의해 θ방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드(42)의 Y방향으로의 이동량, Z방향으로의 이동량 및 θ방향으로의 회전량은 각각 Y방향 엔코더(도시하지 않음), Z방향 엔코더(도시하지 않음) 및 θ방향 엔코더(도시하지 않음)의 펄스 형상의 출력 신호를 기초로 하여 검출할 수 있다.
이와 같이 잉크젯 헤드 유닛(40)에 있어서는 기판 보유 지지 테이블(26)에 대한 잉크젯 헤드(42)의 위치를 다양하게 조정할 수 있다.
도4에 도시한 바와 같이, 이 잉크젯 헤드 유닛(40)의 하단부에 설치된 잉크젯 헤드(42)에 있어서, 그 하방을 향하게 된 노즐면(48)에는 복수의 노즐이 각각 노즐 분사구(50)를 하방을 향하도록 하여 일정한 간격을 두고 직렬로 뚫려 있다.
잉크젯 헤드(42)의 내부에는 각 노즐에 연통하여 이루어지는 잉크실이 설치되어 있고, 이 잉크 탱크의 상면에는 각 노즐마다 다이어그램 및 압전 소자가 설치되어 있다. 제어부(10)로부터의 분사 제어 신호에 의해 이 압전 소자를 구동시킴으로써 잉크실 내의 압력을 변화시켜 상기 잉크실 내의 잉크를 노즐로부터 분사시키도록 이루어져 있다. 잉크젯 헤드 유닛(40)에서는 이와 같이 하여 노즐 분사구로부터 하방으로 잉크를 분사시킴으로써, 잉크젯 헤드(42)의 하방에 있어서 기판 보유 지지 테이블(26)에 보유 지지된 기판(30)의 표면에 잉크를 도포한다.
[용매 분위기 보유 지지부의 구성]
용매 분위기 보유 지지부(6)(도1)는 잉크 도포부(3)에 있어서 기판 보유 지지 테이블(33)의 상방에 배치되어 기판 보유 지지 테이블(33)에 보유 지지되는 기판(30)을 상방으로부터 간격을 두고 덮는 커버(51)와, 이 커버(51)의 내부에 적재되는 부직포 등의 용제 보유 지지체(52)(도6)와, 이 용제 보유 지지체(52)에 용제를 공급하는 용제 공급부(53)를 구비한다.
도5 및 도6에 도시한 바와 같이, 용매 분위기 보유 지지부(6)에 있어서 커버(51)는 전체가 상자 형상으로 구성되어 있고, 지지 부재(도시하지 않음)에 의해 잉크젯 도포 장치(1)의 가대(2)에 고정되어 있다. 커버(51)의 상면에는 개구부(55)가 형성되어 있고, 이 개구부(55)의 상방에 용제 공급부(53)가 설치되어 있 다. 용제 공급부(53)는 복수의 중공 원관 형상의 용제 공급관(54)을 갖고, 각 용제 공급관(54)에는 하방을 향하는 분사구(54a)가 형성되어 있다. 용제 공급관(54)에 용제를 공급함으로써 분사구(54a)로부터 하방으로 용제를 분사시키도록 이루어져 있다. 분사구(54a)로부터 분사된 용제는 커버(51)의 개구부(55)를 거쳐서 커버(51)의 내부에 공급된다.
상자 형상의 커버(51)는 그 내부에, 예를 들어 부직포 등의 용제 보유 지지체(52)를 수납하는 수납부를 구성하여 내부 바닥면에 용제 보유 지지체(52)를 적재한다. 이 용제 보유 지지체(52)의 상부에는 평판(56)이 적재된다. 이 평판(56)에는 한쪽 면으로부터 다른 쪽 면으로 관통하는 복수의 관통 구멍(56a)이 형성되어 있다. 용제 공급관(54)으로부터 분사된 용제는 평판(56)의 관통 구멍(56a)을 통해 용제 보유 지지체(52)에 이르고, 이 용제 보유 지지체(52)에 흡수된다. 용제 보유 지지체(52)의 상부에 장착된 평판(56)에 의해 용제 보유 지지체(52)에 흡수된 용제의 증발을 억제한다.
커버(51)의 바닥면에는 커버(51)의 내부와 외부를 연통시키는 복수의 관통 구멍(51a)이 형성되어 있다. 용제 보유 지지체(52)에 흡수되어 있는 용제는 커버(51)의 관통 구멍(51a)을 거쳐서 커버(51)의 하방으로 증발한다. 커버(51)의 하방의 공간에서는 기판(30)에 도포된 잉크 액적의 용매 분위기가 상방으로부터 하방으로 증발하는 용제에 의해 유지하게 된다. 이에 의해, 기판(30)에 도포된 잉크 액적의 건조를 억제할 수 있다.
도7에 도시한 바와 같이, 커버(51)에 있어서는 잉크젯 헤드(42)에 대향하는 위치에 개구부(57)가 형성되어 있고, 이 개구부(57)에는 어댑터(58)가 삽입되어 보유 지지된다. 어댑터(58)에는 그 주위에 플랜지(58b)가 형성되어 있고, 이 플랜지(58b)를 커버(51)의 상면에 적재함으로써 어댑터(58)를 커버(51)의 개구부(57)에 보유 지지할 수 있다. 커버(51)의 상면에는 위치 결정 핀(59)이 설치되어 있고, 이 위치 결정 핀(59)에 의해 어댑터(58)를 위치 결정할 수 있다.
어댑터(58)에는 잉크젯 헤드(42)로부터 분사된 잉크 액적을 하방으로 통과시키기 위한 개구부(58a)가 형성되어 있고, 이 개구부(58a)의 형상은 어댑터마다 다르다. 즉 잉크 액적을 도포하는 기판(30)의 크기 및 그 도포 위치에는 다양한 것이 있고, 이에 대응하기 위해 잉크젯 헤드(42)를 X방향 이동 기구[X방향 가이드판(35)]에 의해 X방향으로 이동시킬 필요가 있다. 복수의 잉크젯 헤드(42)를 각각의 간격을 넓혀 배치하는 경우, 어댑터(58)의 개구부(58a)는 그것에 따라서 큰 개구가 필요해지고, 이에 대해 복수의 잉크젯 헤드(42)의 간격을 좁게 하여 배치하는 경우, 어댑터(58)의 개구부(58a)는 좁은 범위가 된다. 개구부(58a)의 크기는 잉크젯 헤드(42)의 위치에 맞추어 잉크 액적을 통과시키기 위한 최소한의 크기로 형성함으로써, 커버(51)의 하방의 용매 분위기를 효과적으로 유지할 수 있다. 따라서 다양한 크기의 개구부(58a)를 갖는 복수의 어댑터(58)를 준비해 두고, 도포 대상인 기판(30)에 따른 어댑터(58)를 선택하여 커버(51)에 장착함으로써, 기판(30)에 따라서 효과적으로 용매 분위기를 유지할 수 있다.
도1 및 도6에 도시한 바와 같이, 잉크젯 도포 장치(1)의 가대(2) 상에는 용매 분위기 보유 지지부(6)에 인접하여 기체 분사 기구인 블로우 유닛(49)이 지지 부(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 블로우 유닛(49)은 기판 보유 지지 테이블(33)의 이동 영역 상에 배치되어 있고, 블로우 유닛(49)의 하방으로 이동된 기판 보유 지지 테이블(33) 상의 기판(30)에 대해 기체 공급원(도시하지 않음)으로부터 공급되는 질소 등의 기체를 분사 노즐(49a)로부터 분사하도록 이루어져 있다. 이 분사 노즐(49a)은 기판 보유 지지 테이블(33)의 치수를 포함하는 범위에서 복수 배치되어 있음으로써 기판(30) 전체에 대해 기체를 분사할 수 있다. 이에 의해, 블로우 유닛(49)은 잉크 액적이 도포된 기판(30) 상에 기체를 분사하여 잉크 액적을 전체적으로 단시간에 건조시킨다.
[메인터넌스부의 구성]
도1에 도시한 바와 같이, 잉크젯 도포 장치(1)의 가대(2)의 상면에 배치된 메인터넌스부(4)는 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 잉크의 용매에 침지하는 침지부(60)와, 노즐면(48)에 액적의 용제를 분사하는 용제 분사부(70)와, 노즐면(48)을 닦는 닦기부(80)와, 잉크젯 헤드(42)에 잉크 용매를 공급하는 동시에 노즐 내에 체류한 기포를 제거하는 기포 제거부(90)가 설치되어 있다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서는 X방향 가이드판(35)(도1) 및 헤드 유닛 이동용 모터에 의한 X방향 이동 기구와, Y방향 이동 기구(45)(도3)와, Z방향 이동 기구(44)(도3)에 의해 메인터넌스부(4)의 상부에 있어서 잉크젯 헤드(42)를 X방향, Y방향 및 Z방향으로 이동시킴으로써 잉크젯 헤드(42)를 침지부(60), 용제 분사부(70), 닦기부(80) 또는 기포 제거부(90) 중 어느 하나에 위치 결정할 수 있다.
도8의 (a)에 도시한 바와 같이, 침지부(60)는 용매조(61)와 이 용매조(61)에 용매(64)를 공급하는 용매 보관 탱크(62)를 구비하고 있다. 용매 보관 탱크(62)는 그 내부에 용매(64)를 저류시켜 외부로부터 정압을 가함으로써, 내부의 용매(64)를 공급관(63)을 거쳐서 용매조(61)에 공급하도록 이루어져 있다.
용매조(61)에 용매를 저류시킨 상태에 있어서, X방향 이동 기구 및 Y방향 이동 기구(45)(도3)에 의해 용매조(61)의 상부 개구의 상방에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 위치 결정한 후, Z방향 이동 기구(44)(도3)에 의해 강하시킴으로써, 도8의 (b)에 도시한 바와 같이 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 용매조(61)의 용매(64)에 침지한다. 이에 의해 노즐면(48)에 설치된 노즐 분사구(50)가 건조되는 것을 방지할 수 있다.
도9의 (a)에 도시한 바와 같이, 용제 분사부(70)는 용기(71)의 내부에 설치된 용제 분사 유닛(71)과, 이 용제 분사 유닛(71)에 분사하는 잉크의 용매와 같은 용제(76)를 공급하는 용제 보관 탱크(75)를 구비하고 있다. 용제 보관 탱크(75)는 그 내부에 용제(76)를 저류시켜 외부로부터 정압을 가함으로써, 내부의 용제(76)를 공급관(77)을 거쳐서 용제 분사 유닛(72)에 공급하도록 이루어져 있다.
용제 분사 유닛(72)을 갖는 용기(71)는 지지 프레임(78)에 고정된 작동기(79)에 의해 Z방향으로 상하 이동 가능하게 지지되어 있다. 용기(71)에 있어서는 용제 분사 유닛(72)의 분사 방향인 상부에 개구(73)를 갖고, 용기(71)의 외벽부에는 개구(73)를 둘러싸는 위치에 패킹(74)이 설치되어 있다.
X방향 이동 기구 및 Y방향 이동 기구(45)(도3)에 의해 용기(71)의 개구(73)의 상방에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 위치 결정한 후, 작동기(79)에 의해 용 기(71)를 Z방향으로 상승시킴으로써, 도9의 (b)에 도시한 바와 같이 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 패킹(74)을 거쳐서 용기(71)의 개구(73)에 대치시킨다. 이 상태에 있어서, 용제 보관 탱크(75)에 저류된 용제(76)를 용제 분사 유닛(72)에 공급함으로써, 용제 분사 유닛(72)으로부터 개구(73)를 거쳐서 노즐면(48)에 용제(76)를 분사시킨다. 이에 의해 노즐면(48)을 세정할 수 있다.
도10의 (a)에 도시한 바와 같이, 닦기부(80)는 메인터넌스부(4)(도1)의 일부에 배치되어 부직포(81)를 권취한 조출 롤러(82)와, 이 조출 롤러(82)로부터 조출된 부직포(81)를 위치 결정하는 가이드 롤러(83)와, 부직포(81)를 권취하는 권취 롤러(84)와, 가이드 롤러(83)를 스프링(85)에 의해 상방으로 압박하는 텐션 기구(86)를 구비하고 있다. 권취 롤러(84)는 모터를 이용한 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 회전하여 부직포(81)를 권취하도록 이루어져 있다.
가이드 롤러(83)에 의해 부직포(81)를 위치 결정한 상태에 있어서, X방향 이동 기구 및 Y방향 이동 기구(45)(도3)에 의해 가이드 롤러(83)의 상방에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 위치 결정한 후, Z방향 이동 기구(44)(도3)에 의해 강하시킴으로써, 도10의 (b)에 도시한 바와 같이 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 가이드 롤러(83)에 위치 결정된 부직포(81)에 접촉시키고, 이 상태에서 권취 롤러(84)를 회전시켜 부직포(81)를 조출 롤러(82)로부터 가이드 롤러(83)를 거쳐서 권취 롤러(84)로 이동시킴으로써, 부직포(81)를 노즐면(48)에 접촉시키면서 이동시킬 수 있다. 이에 의해 부직포(81)에 의해 노즐면(48)이 닦인다. 이와 같이 하여 노즐면(48)을 닦음으로써 노즐면(48)에 부착된 용제나 이물질을 제거할 수 있다.
도11에 도시한 바와 같이, 기포 제거부(90)는 잉크젯 헤드(42)에 대해 잉크의 용매를 송액하는 송액 유닛(91)과, 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 밀봉하는 밀봉 유닛(95)을 각 잉크젯 헤드 유닛(40)마다 구비한다.
송액 유닛(91)은 용매(93)를 저류하는 용매 보관 탱크(92a)와, 잉크젯 헤드(42)에 대한 용매의 송액을 제어하기 위한 중간 탱크(92b)를 구비하고, 용매 보관 탱크(92a)에 대해 밸브(94a)를 거쳐서 정압을 가함으로써 내부에 저류되어 있는 용매(93)를, 밸브(94b)를 거쳐서 중간 탱크(92b)에 공급한다.
중간 탱크(92b)에 있어서는 외부로부터 밸브(94c)를 거쳐서 정압을 가함으로써 내부에 저류되어 있는 용매(93)를 잉크젯 헤드(42)에 공급한다. 이 중간 탱크(92b)의 내부의 압력은 밸브(94c)를 거쳐서 가해지는 정압에 의해 조정하는 것이 가능하게 되어 있고, 또한 밸브(94d)를 거쳐서 가해지는 부압에 의해 감압할 수 있다.
잉크젯 헤드(42)는 그 내부에 잉크실(42a)을 갖고, 송액 유닛(91)에 의해 이 잉크실(42a) 내의 압력을 조정할 수 있다.
밀봉 유닛(95)은 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 밀봉하기 위한 압력 용기(96)와, 이 압력 용기(96)를 상하 이동시키는 상하 이동 기구(97)를 구비하고 있다. 상하 이동 기구(97)에 있어서는 작동기(98)에 의해 상하 이동하는 지지 부재(99)에 의해 압력 용기(96)를 지지하고 있고, 작동기(98)를 상하 이동시킴으로써 지지 부재(99)를 거쳐서 압력 용기(96)를 상하 이동시킬 수 있다.
도12에 도시한 바와 같이, 잉크젯 헤드(42)를 메인터넌스부(4)(도1)의 기포 제거부(90)의 상방에 위치 결정한 상태에 있어서, 작동기(98)에 의해 압력 용기(96)를 상방으로 이동하면 압력 용기(96)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)이 밀봉되도록 이루어져 있다.
즉 도13에 도시한 바와 같이, 압력 용기(96)의 상면부에는 오목 형상의 배액부(排液部)(101)가 형성되어 있고, 이 배액부(101)의 주위의 측벽부(102)의 상면부(103)를 노즐면(48)에 접촉시킴으로써 노즐면(48)을 배액부(101)의 내부 바닥면 및 측벽부(102)의 내측면에 의해 외부로부터 차폐하여 밀봉하도록 이루어져 있다. 또한 압력 용기(96)의 상면부(103)에는 패킹(104)이 설치되어 있고, 상면부(103)를 노즐면(48)에 접촉시켰을 때에 이 패킹(104)이 노즐면(48)에 접촉함으로써 노즐면(48)을 외부로부터 충분히 밀폐시킬 수 있다.
이와 같이 압력 용기(96)에 의해 노즐면(48)을 밀폐한 상태에 있어서, 송액 유닛(91)(도11, 도12)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 잉크실(42a)에 용매(93)를 일정한 압력으로 송액함으로써 잉크실(42a)의 내부의 압력을 높일 수 있다.
도14에 도시한 바와 같이, 잉크젯 헤드(42)의 잉크실(42a)에 용매가 공급된 상태에 있어서, 잉크실(42a)의 압력을 높임으로써 용매 내의 기포(110)의 부피를 수축시켜 용매와 함께 노즐(50)로부터 배액부(101)로 배출시킬 수 있다. 배액부(101)에 배출된 용매는 배액관(106)을 거쳐서 외부로 배출된다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서는 잉크젯 헤드(42)에 잉크 용매를 충전할 때에 기포 제거부(90)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 잉크실(42a)을 고압으로 함으로써 용매 내의 기포를 제거한다. 이에 의해 노즐(50)에 있어서 기포에 의한 분사 불량 을 미연에 방지할 수 있다.
[도포 위치 조정부의 구성]
도1에 도시한 바와 같이, 도포 위치 조정부(5)는 잉크 액적을 시험하는 가도포 스테이지(121)와, 가도포 스테이지(121)에 도포된 잉크 액적을 촬상하는 촬상 유닛(122)을 구비하고 있다.
가도포 스테이지(121)는 Y방향 이동 테이블(22) 상에 있어서 X방향으로 연장 설치된 가이드 레일을 따라서 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, X방향 이동 모터(29)에 의해 X방향으로 이동시킬 수 있다. 잉크젯 헤드(42)와 가도포 스테이지(121)를 상대적으로 이동시킴으로써 가도포 스테이지(121) 상에 배치된 용지(도시하지 않음)에 대해 잉크젯 헤드(42)에 의해 잉크 액적을 도포하도록 이루어져 있다.
촬상 유닛(122)은 X방향 가이드판(35)의 전방면에 설치된 가이드 기구(36)에 의해 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, 가이드 기구(36)에 설치된 헤드 유닛 이동 모터를 구동함으로써 X방향으로 이동시킬 수 있다.
후술하는 제어부(10)(도15)에 있어서는 가도포 스테이지(121)에 잉크 액적을 도포하는 기준 위치 정보가 메모리 장치(17)에 격납되어 있고, 제어부(10)는 가도포 스테이지(121)와 잉크젯 헤드(42)를 상대 이동시킴으로써 이 기준 위치로 잉크젯 헤드(42)를 이동시켜 잉크 액적을 분사시킴으로써, 가도포 스테이지(121)에 배치된 용지에 있어서는 기준 위치에서 분사된 잉크 액적이 도포된다.
제어부(10)는 촬상 유닛(122)을 이동시켜 가도포 스테이지(121)의 용지에 도 포된 잉크 액적을 촬상한다. 제어부(10)는 이 촬상 유닛(122)에 의해 촬상된 화상을 기초로 하여 잉크 액적이 도포된 위치를 검출하고, 이 검출 결과를 기초로 하여 잉크젯 헤드(42)의 X방향, Y방향 및 θ방향의 위치를 조정한다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서는 이와 같은 도포 위치의 조정과 함께 각 노즐(50)로부터의 잉크 액적의 분사량을 조정하도록 이루어져 있다. 즉, 제어부(10)는 가도포 스테이지(121)에 도포된 잉크 액적의 착탄 직경을 촬상 유닛(122)에 의해 촬상한다. 제어부(10)는 이 촬상 결과를 기초로 착탄 직경을 계측하고, 이 계측 결과를 기초로 하여 각 노즐(50)의 압전 소자에 인가하는 전압치를 변화시킴으로써 착탄 직경을 변화시킬 수 있다. 또한 제어부(10)는 촬상 유닛(122)에 있어서 촬상된 화상을 기초로 하여 잉크 액적이 분사되어 있지 않은 노즐(50)을 확인한다.
[제어부의 구성]
다음에, 잉크의 도포 처리를 제어하는 제어부(10)에 대해 설명한다. 도15에 도시한 바와 같이, 제어부(10)에 있어서는 기판 보유 지지 테이블(26) 및 잉크젯 헤드(42)를 이동 제어하는 동시에 잉크젯 헤드(42)에 있어서의 잉크의 분사를 제어하는 제어 회로(11)가 설치되어 있다. 이 제어 회로(11)에는 기판 보유 지지 테이블(33)을 이동시키기 위한 X방향 이동 모터(29)(도2), Y방향 이동 모터 및 θ방향 회전 모터를 구동하기 위한 구동 회로(12a)와, 헤드 유닛(40)에 있어서 잉크젯 헤드(42)를 이동시키기 위한 헤드 유닛 이동 모터, Y방향 헤드 조정용 작동기(45b), Z방향 헤드 조정용 작동기 및 θ방향 회전 작동기(46b)를 구동하기 위한 구동 회로(12b)가 접속되어 있다.
또한 제어부(10)에는 기판 보유 지지 테이블(33)의 이동량을 검출하기 위한 Y방향 엔코더 및 X방향 엔코더의 각 펄스 출력을 각각 카운트하는 Y방향 카운터(13a) 및 X방향 카운터(13b)가 설치되어 있고, 이들 카운터는 X방향 엔코더, Y방향 엔코더로부터 출력되는 펄스 수의 카운트 결과가 미리 설정되는 카운트치에 도달하였을 때에 상기 카운트치에 도달한 것을 나타내는 카운트 결과 신호를 제어 회로(11)로 송출한다. 또한 제어부(10)에는 기판 보유 지지 테이블(33)의 θ방향의 회전량을 검출하기 위한 θ방향 엔코더의 펄스 출력을 카운트하는 θ방향 카운터(13c)가 설치되어 있고, 이 카운터는 θ방향 엔코더로부터 출력되는 펄스 수의 카운트 결과가 미리 설정되는 카운트치에 도달하였을 때에 상기 카운트치에 도달한 것을 나타내는 카운트 결과 신호를 제어 회로(11)로 송출한다.
이에 의해 제어 회로(11)는 기판 보유 지지 테이블(33)을 이동시키기 위한 각 모터에 대해 구동 신호를 송출하였을 때에 기판 보유 지지 테이블(26)이 미리 설정되는 이동량만큼 이동하였는지 여부를 Y방향 카운터(13a) 및 X방향 카운터(13b)로부터 각각 출력되는 카운트 결과 신호를 기초로 하여 판단할 수 있고, 또한 기판 보유 지지 테이블(33)이 미리 설정되는 회전량만큼 회전하였는지 여부를 θ방향 카운터(13c)로부터 출력되는 카운트 결과 신호를 기초로 하여 판단할 수 있다.
또한 제어부(10)에는 잉크젯 헤드(42)의 이동량을 검출하기 위한 X방향 엔코더, Y방향 엔코더 및 Z방향 엔코더의 각 펄스 출력을 각각 카운트하는 X방향 카운터(14a), Y방향 카운터(14b) 및 Z방향 카운터(14c)가 설치되어 있고, 이들 카운터 는 X방향 엔코더, Y방향 엔코더 및 Z방향 엔코더로부터 출력되는 펄스 수의 카운트 결과가 미리 설정되는 카운트치에 도달하였을 때에 상기 카운트치에 도달한 것을 나타내는 카운트 결과 신호를 제어 회로(11)로 송출한다. 또한 제어부(10)에는 잉크젯 헤드(42)의 θ방향의 회전량을 검출하기 위한 θ방향 엔코더의 펄스 출력을 카운트하는 θ방향 카운터(14d)가 설치되어 있고, 이 카운터는 θ방향 엔코더로부터 출력되는 펄스의 수의 카운트 결과가 미리 설정되는 카운트치에 도달하였을 때에 상기 카운트치에 도달한 것을 나타내는 카운트 결과 신호를 제어 회로(11)로 송출한다.
이에 의해 제어 회로(11)는 잉크젯 헤드(42)를 이동시키기 위한 각 모터에 대해 구동 신호를 송출하였을 때에 잉크젯 헤드(42)가 미리 설정되는 이동량만큼 이동하였는지 여부를 X방향 카운터(14a), Y방향 카운터(14b) 및 Z방향 카운터(14c)로부터 각각 출력되는 카운트 결과 신호를 기초로 하여 판단할 수 있고, 또한 잉크젯 헤드(42)가 미리 설정되는 회전량만큼 회전하였는지 여부를 θ방향 카운터(14d)로부터 출력되는 카운트 결과 신호를 기초로 하여 판단할 수 있다.
제어 회로(11)에는 메모리 장치(17)가 접속되어 있고, 이 메모리 장치(17)에는 잉크젯 헤드(42)의 각 노즐의 압전 소자에 인가하는 전압 파형의 데이터 및 각 잉크 도트마다의 잉크 분사 조건에 관한 파라미터가 미리 기억된다. 메모리 장치(17)는 이들 전압 파형 데이터 및 파라미터를 각 잉크 도트 위치를 나타내는 데이터에 대응시켜 기억하고 있다. 이 메모리 장치(17)로서는, 예를 들어 수정 가능한 EPROM(이레이저블 프로그래머블 롬)이 이용된다.
노즐의 압전 소자에 인가되는 전압 파형을 변화시킴으로써, 잉크젯 헤드(42)의 노즐로부터 분사되는 잉크의 액적량을 제어 가능하므로, 각 잉크 도트 위치에 따라서 가장 적절한 액적량이 되는 전압 파형 데이터가 메모리 장치(17)에 기억된다.
제어 회로(11)에는 잉크젯 헤드(42)의 각 노즐의 압전 소자에 전압을 인가하기 위한 노즐 구동 회로(18)가 접속되어 있고, 제어 회로(11)는 기판(30)에 대한 잉크젯 헤드(42)의 상대 위치가 잉크 도포 위치에 도달하였을 때에 메모리 장치(17)에 기억되어 있는 그 잉크 도포 위치(잉크 도트 위치)에 대응한 전압 파형 데이터를 판독하여 노즐 구동 회로(18)로 송출한다. 노즐 구동 회로(18)는 전압 파형 데이터를 기초로 하여 전압을 발생시켜 노즐에 인가한다. 이에 의해 기판(30)의 잉크 도포 위치에 도달한 잉크젯 헤드(42)의 노즐로부터 잉크를 분사시킬 수 있다.
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서, 제어부(10)는 잉크젯 헤드(42)에 잉크 용매를 충전할 때에 기포 제거부(90)에 의해 잉크젯 헤드(42) 내의 기포를 제거함으로써 잉크 액적의 분사 불량을 회피한다.
잉크젯 헤드(42)에 잉크 용매가 충전되면, 제어부(10)는 잉크 액적의 도포 대상인 기판(10)을 도입 배출부(9)를 거쳐서 잉크 도포부(3)에 도입한다.
제어부(10)는 기판(30)에 대한 잉크 액적의 도포가 완료되었을 때에는 침지부(60)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 침지조(61)의 용매에 침지시킴으로써 노즐(50)의 건조를 방지한다. 또한, 기판(30)에 잉크 액적을 도포하는 경우, 제어부(10)는 침지부(60)의 침지조(61)로부터 잉크젯 헤드(42)를 인상하여 용제 분사부(70)에 의해 노즐면(48)에 용제를 분사한 후, 닦기부(80)에 의해 노즐면(48)의 용제나 이물질을 닦는다. 이에 의해 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)이 세정된다.
노즐면(48)을 세정한 후, 제어부(10)는 도포 위치 조정부(5)에 의해 잉크젯 헤드(42)에 의한 잉크 액적의 분사 위치를 조정한다. 또한, 도포 위치 조정부(5)에 있어서, 잉크 액적의 분사가 확인되지 않은 경우에는, 제어부(10)는 메인터넌스부(4)의 용제 분사부(70) 및 닦기부(80)에 의해 다시 노즐면(48)을 세정한다.
이에 의해 노즐(50)로부터 잉크 액적이 안정적으로 분사되는 상태가 된다. 그 후, 제어부(10)는 이동 기구(7)에 의해 기판 보유 지지 테이블(33)과 잉크젯 헤드(42)의 상대 위치를 제어함으로써, 기판(30)의 소정 위치에 잉크 액적을 도포한다. 이 도포 공정에 있어서, 기판(30)의 상부에 배치되어 있는 용매 분위기 보유 지지부(6)에 의해 기판(30)에 도포된 잉크의 건조가 억제된다. 기판(30)에 잉크 액적이 도포된 후, 제어부(10)는 블로우 유닛(49)에 의해 기판(30)의 표면에 질소 등의 기체를 분사시킴으로써 기판(30)에 도포된 잉크 액적을 건조시킨다.
이와 같은 잉크 도포 공정이 종료되면 제어부(10)는 도입 배출부(9)에 의해 잉크 도포 완료된 기판(30)을 배출한다.
[실시 형태의 작용, 효과]
잉크젯 도포 장치(1)에 있어서, 잉크젯 헤드(42)에 잉크 용매를 충전하는 경우, 기포 제거부(90)에 의해 잉크젯 헤드(42)의 잉크실(42a) 내의 압력을 높임으로써 잉크실(42a) 내에 충전된 잉크 용매에 포함되는 기포가 제거된다. 잉크실(42a) 내의 용매의 기포가 제거되면 노즐(50)에 기포가 체류하지 않게 되어 기포에 의한 노즐(50)의 분사 불량의 발생을 미연에 방지할 수 있다.
또한 잉크젯 도포 장치(1)에 있어서, 도입 배출부(9)를 거쳐서 잉크 도포 전의 기판(30)이 기판 보유 지지 테이블(33)에 보유 지지되면 제어부(10)에 의해 기판 보유 지지 테이블(33)이 잉크젯 헤드(42)의 하방으로 이동된다. 잉크젯 헤드(42)와 기판(30) 사이에는 용매 분위기 보유 지지부(6)가 설치되어 있고, 이 용매 분위기 보유 지지부(6)에 의해 기판(30)에 도포된 잉크 액적의 건조가 억제된다.
기판(30)에 도포된 잉크 액적의 건조가 억제되면 자연 건조에 의한 불균일한 건조가 억제되고, 잉크젯 도포 장치(1)에 있어서의 잉크 액적의 도포 공정으로 이어지는 건조 장치의 건조 공정에 있어서, 기판(30)의 건조 처리를 용이하게 관리하는 것이 가능해진다. 또한 기판(30)에 잉크 액적이 도포된 후에 블로우 유닛(49)에 의해 기판(30) 전체를 단시간에 건조시킴으로써, 기판(30) 전체에 있어서 잉크의 막 두께를 균일하게 할 수 있다.
(그 밖의 실시 형태)
상술한 제1 실시 형태에 있어서는 닦기부(80)에 의해 노즐면(48)에 부착된 용제나 이물질을 제거하는 경우에 대해 서술하였지만, 닦기부(80) 대신에, 도16에 도시한 바와 같이 메인터넌스부(4)(도1)의 일부에 노즐면(48)을 흡입하는 흡입부(130)를 이용하도록 해도 좋다. 도16의 (a)에 도시한 바와 같이, 흡입부(130)는 상하 방향으로 관통한 흡입 구멍(131)을 갖는 흡입 유닛(132)과, 이 흡입 유 닛(132)의 흡입 구멍(131)에 대해 부압을 부여하는 흡입 탱크(134)를 구비하고 있다. 흡입 유닛(132)의 흡입 구멍(131)의 하부 개구와 흡입 탱크(134)는 흡입관(133)을 거쳐서 연통되어 있고, 흡입 탱크(134)에 대해 외부로부터 부압을 부여함으로써 흡입관(133)을 거쳐서 흡입 구멍(131)에 부압을 부여할 수 있다.
흡입 구멍(131)의 상부는 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)의 형상보다도 약간 큰 개구 형상이 되고, 이 개구 부분에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 삽입하도록 이루어져 있다. 즉, 헤드 유닛 이동 모터를 이용한 구동 기구와, 잉크젯 헤드 유닛(40)의 Y방향 이동 기구(45)(도2)에 의해 흡입 구멍(131)의 상부 개구의 상방에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 위치 결정한 후, 잉크젯 헤드 유닛(40)의 Z방향 이동 기구(44)(도2)에 의해 강하시킴으로써, 도16의 (b)에 도시한 바와 같이 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 흡입 구멍(131)의 상부 개구의 내부에 삽입한다. 이 상태에 있어서, 흡입 구멍(131)의 내벽면과 잉크젯 헤드(42)의 측면과의 사이에는 약간의 간격이 형성됨으로써, 흡입 구멍(131)에 부압을 부여하면 이 간격을 거쳐서 외부의 공기가 관통 구멍(131) 내에 흡입된다. 이에 의해 닦기부(80)(도10)에 의해 닦는 경우와 마찬가지로 하여 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)에 부착되어 있는 용제나 이물질 등을 제거할 수 있다.
또한, 상술한 제1 실시 형태의 닦기부(80) 대신에, 노즐면(48)에 대해 에어 블로우를 행함으로써 노즐면(48)에 부착된 용제나 이물질을 제거하도록 해도 좋다. 이 경우, 예를 들어 도17의 (a)에 도시한 바와 같이 메인터넌스부(4)(도1)의 일부에 기체를 분사하는 기체 분사부(140)를 설치하고, 잉크젯 헤드(42)를 이 기체 분 사부에 위치 결정하여 기체를 뿜도록 한다. 기체 분사부(140)는 메인터넌스부(4)의 프레임에 고정된 기체 분사 노즐(141)과, 이 기체 분사 노즐(141)에 기체를 공급하는 밸브(142)를 구비하고, 헤드 유닛 이동 모터를 이용한 구동 기구와, 헤드 유닛(40)의 Y방향 이동 기구(45)(도2)에 의해 기체 분사 노즐(141)의 상방에 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 위치 결정한 후, 헤드 유닛(40)의 Z방향 이동 기구(44)(도2)에 의해 강하시킴으로써 도17의 (b)에 도시한 바와 같이, 잉크젯 헤드(42)의 노즐면(48)을 기체 분사 노즐(141)에 접근시키고, 이 상태에서 밸브(142)를 개방함으로써 노즐면(48)에 기체를 뿜는다. 이에 의해 닦기부(80)(도10)에 의해 닦는 경우와 마찬가지로 하여 노즐면(48)에 부착된 용제나 이물질을 제거할 수 있다.
또한 닦기부(80)에 의한 닦기, 흡입부(130)에 의한 흡입 및 기체 분사부(140)에 의한 에어 블로우 중 2개 이상을 병용하도록 해도 좋다.
또한, 예를 들어 노즐면(48)을 덮는 위치 및 이 덮는 위치로부터 퇴피한 위치 사이에서 진퇴 가능하게 지지되는 캡을 설치하고, 잉크 액적의 분사를 중지하는 동안에 캡에 의해 노즐면(48)을 덮음으로써 노즐(50)의 건조를 억제하도록 해도 좋다.
도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 잉크젯 도포 장치를 도시하는 사시도.
도2는 도1의 잉크젯 도포 장치에 있어서의 기판의 이동 기구를 도시하는 단면도.
도3은 도1의 잉크젯 도포 장치의 잉크젯 헤드 유닛을 도시하는 사시도.
도4는 도1의 잉크젯 도포 장치의 잉크젯 헤드를 도시하는 사시도.
도5는 도1의 잉크젯 도포 장치의 용매 분위기 보유 지지부를 도시하는 사시도.
도6은 도5의 용매 분위기 보유 지지부를 도시하는 단면도.
도7은 도5의 용매 분위기 보유 지지부를 도시하는 단면도.
도8은 도1의 잉크젯 도포 장치의 침지부를 도시하는 단면도.
도9는 도1의 잉크젯 도포 장치의 용제 분사부를 도시하는 단면도.
도10은 도1의 잉크젯 도포 장치의 닦기부를 도시하는 단면도.
도11은 도1의 잉크젯 도포 장치의 기포 제거부를 도시하는 측면도.
도12는 도1의 잉크젯 도포 장치의 기포 제거부를 도시하는 단면도.
도13은 도11의 기포 제거부의 상세 구성을 도시하는 단면도.
도14는 도11의 기포 제거부의 상세 구성을 도시하는 단면도.
도15는 도1의 잉크젯 도포 장치의 제어부를 도시하는 블럭도.
도16은 다른 실시 형태에 관한 흡입부를 도시하는 단면도.
도17은 다른 실시 형태에 관한 기체 분사부를 도시하는 측면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 잉크젯 도포 장치
2 : 가대
3 : 잉크 도포부
4 : 메인터넌스부
5 : 도포 위치 조정부
6 : 용매 분위기 보유 지지부
7 : 이동 기구
10 : 제어부
11 : 제어 회로
12a, 12b : 구동 회로
13a, 14b : Y방향 카운터
13b, 14a : X방향 카운터
13c, 14d : θ방향 카운터
14c : Z방향 카운터
18 : 노즐 구동 회로
30 : 기판
40 : 잉크젯 헤드 유닛
42 : 잉크젯 헤드
48 : 노즐면
50 : 노즐
51 : 커버
52 : 용제 보유 지지체
60 : 침지부
70 : 용제 분사부
80 : 닦기부
90 : 기포 제거부
130 : 흡입부
140 : 기체 분사부
Claims (2)
- 액적을 분사하기 위한 노즐이 설치된 잉크젯 헤드의 상기 노즐로부터 도포 대상으로 상기 액적을 분사시켜 도포하는 도포부와,상기 잉크젯 헤드와 상기 도포 대상이 적재되는 테이블 사이에 배치되어 상기 도포 대상을 덮는 동시에, 용제 보유 지지체를 보유 지지하는 커버와,상기 커버에 보유 지지되는 상기 용제 보유 지지체에 용제를 공급하는 용제 공급부를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 커버는,상기 용제 보유 지지체를 수납하는 수납부와,상기 커버에 의해 덮이는 공간과 상기 수납부 내를 연통시키는 연통부를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장치.
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