JP5105792B2 - 機能性膜の製造方法 - Google Patents
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Description
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを前記前駆体の形成領域の周囲の前記基板上に付与することで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法である。
本発明の第2は、機能性膜の形成材料を含む液体Aを、基板上の複数箇所に付与し、乾燥することで、機能性膜の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを前記基板の周囲に配置した隣接基板上に付与することで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法である。
本発明の第3は、機能性膜の形成材料を含む液体Aを、基板上の複数箇所に付与し、乾燥することで、機能性膜の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを付与した対向基板の前記液体Bの付与面を前記基板の前記前駆体の形成面に対向させることで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法である。
前記基板の配置された雰囲気内への前記液体Bの導入を、前記基板の冷却前に又は前記基板の冷却をしながら行うこと、
前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程において、前記基板を露点以下に冷却すること、
前記機能性膜の形成材料を含む前記液体Aの前記基板上への付与は、インクジェット法により行われること、
である。
機能性膜として、画像表示装置に用いられる、電子放出素子の電子放出膜を基板上に複数形成した。図2に示される描画乾燥装置を用い、基板ステージ17上に基板1全面を冷却可能なペルチェ素子を基板温度調整機構16として設置し、該ペルチェ素子上に基板1としてガラス基板を設置した。本例においては、機能性膜として電子放出膜の形状の均一性を問題にしているため、まずは、基板1上に複数の電子放出膜のみを形成した。即ち、これら複数の電子放出膜への電気的配線は形成しなかった。
B.膜厚:10nm±7%、有効エリア:90μm
C.膜厚:10nm±8%、有効エリア:91μm
B.膜厚:8nm±20%、有効エリア:85μm
C.膜厚:4nm±50%、有効エリア:90μm
実施例1と同様にして、図2の装置を用いてガラス基板上に、液体Aとして、有機パラジウム溶液を付与して乾燥させ、電子放出膜の前駆体を形成した。
B.膜厚:8nm±10%、有効エリア:90μm
C.膜厚:10nm±6%、有効エリア:89μm
B.膜厚:8nm±20%、有効エリア:85μm
C.膜厚:4nm±50%、有効エリア:90μm
実施例1と同様にして、図2の装置を用いてガラス基板上に、液体Aとして、有機パラジウム溶液を付与して乾燥させ、電子放出膜の前駆体を形成した。
B.膜厚:10nm±5%、有効エリア:90μm
C.膜厚:10nm±6%、有効エリア:90μm
B.膜厚:8nm±20%、有効エリア:85μm
C.膜厚:4nm±50%、有効エリア:90μm
実施例1と同様にして、図2の装置を用いてガラス基板上に、液体Aとして有機パラジウム溶液を付与して乾燥させ、電子放出膜の前駆体を形成した。
B.膜厚:10nm±8%、有効エリア90μm
C.膜厚:10nm±9%、有効エリア90μm
B.膜厚:8nm±20%、有効エリア:85μm
C.膜厚:4nm±50%、有効エリア:90μm
機能性膜として、各種デバイスに展開可能な導電性配線を作製する目的で、直径5nm程度のAg微粒子を含有する液体Aを図2に示される描画装置を用いてガラス基板1上に付与した。
B.膜厚:50nm±10%、有効エリア:300μm
C.膜厚:50nm±15%、有効エリア:300μm
B.膜厚:45nm±30%、有効エリア:300μm
C.膜厚:30nm±70%、有効エリア:310μm
1−a 基板中央部
1−b 基板外周部
2 機能性膜の前駆体
3 昇温過程で蒸発する液体の付与領域
4 隣接基板
5 対向基板
Claims (7)
- 機能性膜の形成材料を含む液体Aを、基板上の複数箇所に付与し、乾燥することで、機能性膜の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを前記前駆体の形成領域の周囲の前記基板上に付与することで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法。 - 機能性膜の形成材料を含む液体Aを、基板上の複数箇所に付与し、乾燥することで、機能性膜の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを前記基板の周囲に配置した隣接基板上に付与することで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法。 - 機能性膜の形成材料を含む液体Aを、基板上の複数箇所に付与し、乾燥することで、機能性膜の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の形成後、前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程と、
前記前駆体に吸湿させた後、前記基板を昇温して、吸湿した前記前駆体を乾燥する工程とを有し、
前記基板の昇温による前記前駆体の乾燥速度を緩和する液体Bを付与した対向基板の前記液体Bの付与面を前記基板の前記前駆体の形成面に対向させることで、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入し、前記基板の昇温を、前記液体Bを前記基板の配置された雰囲気内に導入した状態で行うことを特徴とする機能性膜の製造方法。 - 前記液体Bが、水又は前記液体Aの溶媒成分であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の機能性膜の製造方法。
- 前記基板の配置された雰囲気内への前記液体Bの導入を、前記基板の冷却前に又は前記基板の冷却をしながら行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の機能性膜の製造方法。
- 前記基板を冷却して前記前駆体に吸湿させる工程において、前記基板を露点以下に冷却することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の機能性膜の製造方法。
- 前記機能性膜の形成材料を含む前記液体Aの前記基板上への付与は、インクジェット法により行われることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の機能性膜の製造方法。
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