JP2008089760A - カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008089760A JP2008089760A JP2006268316A JP2006268316A JP2008089760A JP 2008089760 A JP2008089760 A JP 2008089760A JP 2006268316 A JP2006268316 A JP 2006268316A JP 2006268316 A JP2006268316 A JP 2006268316A JP 2008089760 A JP2008089760 A JP 2008089760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- substrate
- colored layer
- color filter
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】減圧加熱装置8は、減圧部9によりチャンバ41内の空気を吸引して減圧し、加熱部10により基板3の着色層45を加熱する。着色層45から水分や溶剤が気化して気化成分51が生じる。気化成分51は、分離膜42を透過するので、下室44から上室43へ流入する(図5(a))。上室43に流入した気化成分51は、放熱等による温度低下により、結露52となって上室43の内面に付着する(図5(b))。複数の基板3の減圧加熱処理を継続すると、結露52の付着量が大きくなり、液滴53となって落下する。液滴53は、分離膜42を透過しないので、分離膜42の上に滞留する(図5(c))。
【選択図】図5
Description
インクジェット法では、基板上にパターン形成されたインク受容層にインクを付与することにより、着色層が形成される。あるいは、基板上に遮光部により画設された開口部にインクを塗布することにより、着色層が形成される。インク受容層あるいはインクを乾燥及び硬化させるためには、加熱工程が必要となる。例えば、ホットプレートを用いて加熱することにより、プリベイク(乾燥工程)及びポストベイク(硬化工程)が行われる。一般に、吐出安定性を確保するために遅乾性溶媒(例えば、沸点250℃)がインクの主溶剤として用いられる。加熱により溶剤を気化(揮発)させることによりプリベイクが行われる。
最初に、図1を参照しながら、カラーフィルタ製造装置1の構成について説明する。
図1は、カラーフィルタ製造装置1の構成図である。
カラーフィルタ製造装置1は、基板3に対してインクジェットヘッド5からインクを吐出してパターニングを行い、カラーフィルタを製造する装置である。
吸着テーブル4は、基板3を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブル4と基板3との間の空気を減圧あるいは真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔(図示しない)が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ(図示しない)等により空気の吸引が行われる。
移動部6は、吸着テーブル4及びインクジェットヘッド5の移動及び位置決めを行う装置である。尚、移動機構としては、汎用のガイド機構や移動用アクチュエータを用いることができる。例えば、移動用アクチュエータとして、ステップモータ、サーボモータ、リニアモータを用い、ガイド機構として、直線移動機構、エアースライドを用いることができる。
アライメントカメラ7は、基板3の位置座標を検出するために、基板3の所定箇所(基板上に形成されるアライメントマーク等)を撮像するカメラである。
次に、図2及び図3を参照しながら、カラーフィルタ製造方法について説明する。
図2は、インク受容層にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図である。
図2(b)に示すように、フォトマスク24を用いて光23を照射してパターン露光が行われる。インク受容層22にネガ型の樹脂組成物が用いられる場合、露光部分のインク受容層22は、インク受容能を失って非着色域25となる。露光部分以外のインク受容層22は、着色域26となる。
図2(d)に示すように、着色層28が形成された基板3は、減圧加熱装置8に搬送される。減圧加熱装置8は、基板3を減圧環境下で加熱し、着色層28に含まれる水分や溶剤成分を除去して乾燥させる。その後、減圧加熱装置8は、基板3をさらに高温で加熱して着色層28全体を硬化させる。
図2(e)に示すように、必要に応じて着色層28上に保護層29を形成してもよい。
図3は、開口部にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図である。
図3(b)に示すように、インクジェットヘッド5からインク32が吐出される。インク32は、染料あるいは顔料等の着色剤を含有する。開口部にインク32が塗布され、着色層33が形成される。この段階では、着色層33は、水分や溶剤成分を含み、湿潤状態(ウェット状態)である。
図3(c)に示すように、着色層33が形成された基板3は、減圧加熱装置8に搬送される。減圧加熱装置8は、基板3を減圧環境下で加熱し、着色層33に含まれる水分や溶剤成分を除去して乾燥させる。その後、減圧加熱装置8は、基板3をさらに高温で加熱して着色層33全体を硬化させる。
図3(d)に示すように、必要に応じて着色層33上に保護層34を形成してもよい。
次に、図4を参照しながら、第1の実施の形態に係る減圧加熱装置8について説明する。
図4は、減圧加熱装置8の構成図である。
分離膜42は、気化した物質を透過させ、液化した物質を透過させない膜である。分離膜42としては、例えば、微細な連続多孔質構造の素材を用いることができる。また、シリコン樹脂やフッ素樹脂を用いて、分離膜42に撥水性を持たせるようにしてもよい。
次に、図5を参照しながら、減圧加熱装置8による乾燥処理について説明する。
図5は、減圧加熱装置8による乾燥処理の流れを示す図である。
上室43に流入した気化成分51は、放熱等による温度低下により、結露52となって上室43の内面に付着する(図5(b))。
複数の基板3の減圧加熱処理を継続すると、結露52の付着量が大きくなり、液滴53となって落下する。液滴53は、分離膜42を透過しないので、分離膜42の上に滞留する(図5(c))。
次に、図6を参照しながら、第2の実施の形態に係る減圧加熱装置8aについて説明する。
図6は、減圧加熱装置8aの構成図である。
減圧加熱装置8aでは、上室43の上方に減圧部9の吸引孔61が設けられる。
次に、図7及び図8を参照しながら、第3の実施の形態に係る減圧加熱装置8bについて説明する。
図7は、減圧加熱装置8bの構成図である。
図8は、チャンバ41内の温度分布81を示すグラフである。
減圧加熱装置8bでは、上室43側に冷却部71が設けられ、下室44側に加熱部10が設けられる。
着色層45から気化した気化成分51は、下室44から上昇して上室43に流入する。下室44は上室43より高温であるので、上室43で結露が生じることがあっても下室44で結露が生じることはない。
図9は、表示装置91を示す図である。ここでは、表示装置91として液晶ディスプレイパネルを挙げて説明する。
基板92は、カラーフィルタ製造装置1により製造されたカラーフィルタである。基板92には、液晶封入空間を確保するためのスペーサ96が形成される。基板93は、TFT(Thin Film Transistor)等のアレイ基板である。基板92と基板93とを貼り合わせ、基板の周辺部分にシール材94を設け、基板間に液晶97を封入することにより、表示装置91が製造される。
以上詳細に説明したように、減圧加熱装置に分離膜を設け、着色層からの気化成分が結露となり液滴となって落下しても、分離膜の上に滞留させることにより湿潤状態(ウェット状態)の着色層への再付着を防止することができる。従って、混色や色ムラ等の欠陥を防止することができる。
また、インクの吐出は、インクジェットヘッドに限られず、例えば、ディスペンサ等を用いることもできる。
[実施例1]
[1−1.基材の調製工程]
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み0.7mm、横370mm、縦470mmのCorning社製EAGLE2000を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィ法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。
ブラックマトリクスは、開口部が100μm×300μm、遮光部分の線幅が20μmとなるように形成し、横方向に120μmピッチ、縦方向に320μmピッチにて縦横ともそれぞれ1000画素ずつ配置されるものとした。この際、遮光部分の膜厚は平均1.5μmとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対して、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域(着色層形成領域)を親液性とした。この際、表面張力40mN/mの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で65°、着色層形成領域で10°であった。
上記親疎液性を有する基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用インクを塗布した。
着色層形成用インクは、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるRGB各色の顔料分散型インクを用い、1つの開口部(着色層形成領域)あたり1500plにて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。
インクジェットヘッドの印加電圧は、75V、パルス幅は6μsであった。インクジェットヘッドは、1ヘッドにつき100ノズルを有するものを用い、1色につき1ヘッド、すなわちRGB3色にて3ヘッドを用いた。
塗布は、各着色層形成領域(1画素)あたり1ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用インクの各液滴が、上記着色層形成領域内に着弾するように行った。着色層形成用インクは、横方向にRGBの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。
上記着色層形成用インクを着弾させた基板を、分離膜として多孔質ポリテトラフルオロエチレンフィルム(厚さ約30μm、平均孔径約0.2μm、空孔率85%)を具備した減圧加熱装置に配置した。この際、減圧圧力30Pa、減圧時間100s、ホットプレート温度70℃であった。
上記方法にてカラーフィルタを製造したところ、混色決壊のないカラーフィルタを製造することができた。
[2−1.基材の調製工程〜インク塗布工程〜減圧加熱乾燥工程]
[実施例1]と同様に基材の調製、インク塗布、減圧加熱乾燥を行った。
[2−2.プリベイク及びポストベイク、パネル化]
減圧加熱乾燥後、100℃ホットプレートで10分間プリベイクを実施した。さらに、200℃オーブンで30分間のポストベイクを実施し、基板をパネル化して点灯試験を行った。
[2−3.結果]
上記方法にてカラーフィルタを備える表示装置を製造したところ、表示不良のない表示装置を製造することができた。
[比較例1]
[1−1.基材の調製工程〜インク塗布工程]
[実施例1]と同様に基材の調製、インク塗布を行った。
[1−2.減圧加熱乾燥工程]
着色層形成用インクを塗布した基板を、分離膜を具備しない減圧加熱装置に配置し、[実施例1]と同条件にて減圧加熱した。
[1−3.結果]
上記方法にてカラーフィルタを製造したところ、減圧加熱装置上蓋に液滴が付着し、カラーフィルタ基板上に液滴落下に起因する混色箇所が発生していた。
[2−1.基材の調製工程〜インク塗布工程]
[実施例2]と同様に基材の調製、インク塗布を行った。
[2−2.減圧加熱乾燥工程]
着色層形成用インクを塗布した基板を、分離膜を具備しない減圧加熱装置に配置し、[実施例2]と同条件にて減圧加熱した。
[2−3.パネル化]
[実施例2]と同様にプリベイク及びポストベイクをし、パネル化して点灯試験を行った。
[2−4.結果]
上記方法にてカラーフィルタを備える表示装置を製造したところ、混色および混色に起因する膜厚変化により、表示装置に表示不良が発生した。
2………制御部
3………基板
4………吸着テーブル
5………インクジェットヘッド
6………移動部
7………アライメントカメラ
8、8a、8b………減圧加熱装置
9………減圧部
10………加熱部
21、31………遮光層
22………インク受容層
27、32………インク
28、33、45………着色層
41………チャンバ
42………分離膜
43………上室
44………下室
51………気化成分
52………結露
53………液滴
61………吸引孔
62………気流
71………冷却部
81………温度分布
91………表示装置
92………カラーフィルタ基板
93………アレイ基板
Claims (24)
- 基板にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造装置であって、 前記基板を収容する容器と、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜と、
を具備することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。 - 加熱処理により前記基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱部を具備することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記容器内の減圧を行う減圧部を具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記第1室から前記第2室の方向へ気流を生じさせることにより、前記着色層からの気化成分を前記分離膜を介して前記第1室から前記第2室に流入させることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記第1室内の温度を前記第2室内の温度より高くすることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
- 基板にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法であって、
前記基板を容器に収容する基板収容ステップと、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜を介して、前記第1室に収容される基板の着色層からの気化成分を前記第1室から前記第2室に流入させる流入ステップと、
を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 加熱処理により前記容器内の基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱ステップを具備することを特徴とする請求項6に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記容器内の減圧を行う減圧ステップを具備することを特徴とする請求項6または請求項7に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記第1室から前記第2室の方向へ気流を生じさせることにより、前記着色層からの気化成分を前記分離膜を介して前記第1室から前記第2室に流入させることを特徴とする請求項6から請求項8までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記第1室内の温度を前記第2室内の温度より高くすることを特徴とする請求項6から請求項9までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
- 基板にインクを付与して形成される着色層を乾燥する乾燥装置であって、
前記基板を収容する容器と、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜と、
を具備することを特徴とする乾燥装置。 - 加熱処理により前記基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱部を具備することを特徴とする請求項11に記載の乾燥装置。
- 前記容器内の減圧を行う減圧部を具備することを特徴とする請求項11または請求項12に記載の乾燥装置。
- 前記第1室から前記第2室の方向へ気流を生じさせることにより、前記着色層からの気化成分を前記分離膜を介して前記第1室から前記第2室に流入させることを特徴とする請求項11から請求項13までのいずれかに記載の乾燥装置。
- 前記第1室内の温度を前記第2室内の温度より高くすることを特徴とする請求項11から請求項14までのいずれかに記載の乾燥装置。
- 基板にインクを付与して形成される着色層を乾燥する乾燥方法であって、
前記基板を容器に収容する基板収容ステップと、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜を介して、前記第1室に収容される基板の着色層からの気化成分を前記第1室から前記第2室に流入させる流入ステップと、
を具備することを特徴とする乾燥方法。 - 加熱処理により前記容器内の基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱ステップを具備することを特徴とする請求項16に記載の乾燥方法。
- 前記容器内の減圧を行う減圧ステップを具備することを特徴とする請求項16または請求項17に記載の乾燥方法。
- 前記第1室から前記第2室の方向へ気流を生じさせることにより、前記着色層からの気化成分を前記分離膜を介して前記第1室から前記第2室に流入させることを特徴とする請求項16から請求項18までのいずれかに記載の乾燥方法。
- 前記第1室内の温度を前記第2室内の温度より高くすることを特徴とする請求項16から請求項19までのいずれかに記載の乾燥方法。
- 基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造装置であって、
前記基板を収容する容器と、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜と、
を具備することを特徴とする表示装置の製造装置。 - 加熱処理により前記基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱部を具備することを特徴とする請求項21に記載の表示装置の製造装置。
- 基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造方法であって、
前記基板を容器に収容する基板収容ステップと、
気体が透過可能であり液体が透過不能であり、前記容器を第1室と第2室とに隔てる分離膜を介して、前記第1室に収容される基板の着色層からの気化成分を前記第1室から前記第2室に流入させる流入ステップと、
を具備することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 加熱処理により前記容器内の基板の着色層に含まれる溶媒成分を気化させる加熱ステップを具備することを特徴とする請求項23に記載の表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006268316A JP5245236B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006268316A JP5245236B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008089760A true JP2008089760A (ja) | 2008-04-17 |
JP5245236B2 JP5245236B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=39374010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006268316A Expired - Fee Related JP5245236B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245236B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010026229A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
JP2010026230A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
CN110908152A (zh) * | 2019-11-08 | 2020-03-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板组立机台及基板组立成盒的方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63174438A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Nec Corp | デイジタル伝送システム |
JPH102665A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 真空乾燥装置 |
JP2002182028A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Canon Inc | カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いてなる液晶素子 |
JP2002239441A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Tokyo Electron Ltd | 減圧乾燥方法及び塗布膜形成装置 |
JP2002358877A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの液膜の乾燥方法及びその装置 |
JP2004193349A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Sony Corp | 熱処理装置 |
JP2006059844A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Seiko Epson Corp | 減圧乾燥装置 |
-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006268316A patent/JP5245236B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63174438A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Nec Corp | デイジタル伝送システム |
JPH102665A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 真空乾燥装置 |
JP2002182028A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Canon Inc | カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いてなる液晶素子 |
JP2002239441A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Tokyo Electron Ltd | 減圧乾燥方法及び塗布膜形成装置 |
JP2002358877A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの液膜の乾燥方法及びその装置 |
JP2004193349A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Sony Corp | 熱処理装置 |
JP2006059844A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Seiko Epson Corp | 減圧乾燥装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010026229A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
JP2010026230A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
CN110908152A (zh) * | 2019-11-08 | 2020-03-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板组立机台及基板组立成盒的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5245236B2 (ja) | 2013-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5190812B2 (ja) | 表示素子の製造方法、表示素子の製造装置、及び表示装置 | |
JP6271165B2 (ja) | インクジェットプリントヘッド、これを含む有機発光表示装置の製造装置およびその方法 | |
US9818802B2 (en) | Electroluminescent device comprising channels, its manufacturing method, and display device | |
JP2008264608A (ja) | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 | |
JP5245236B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP2007044582A (ja) | 表面処理方法、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 | |
JP2006088070A (ja) | インクジェット塗布方法及び表示デバイスの製造方法 | |
JP2007206686A (ja) | カラーフィルタ製造方法 | |
JP2008277103A (ja) | 塗布方法およびパターン形成方法 | |
JP5045346B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、減圧加熱装置、減圧加熱方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP5089092B2 (ja) | 機能性膜の製造方法 | |
JP2008225082A (ja) | カラーフィルタ用基板、およびその製造方法 | |
JP2008249986A (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP5430070B2 (ja) | 機能性膜の製造方法 | |
JP2007178532A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示装置の製造方法 | |
JP5358908B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP4404046B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示装置の製造方法 | |
KR101038782B1 (ko) | 잉크젯 방식을 이용하여 프린팅 패턴을 인쇄하는 프린팅장치 및 프린팅 패턴의 인쇄 방법 | |
JP2010176138A (ja) | 塗布方法およびパターン形成方法 | |
JP2007213054A (ja) | カラーフィルタの製造装置 | |
JP7370770B2 (ja) | 機能素子、機能素子の製造方法、機能素子の製造装置、制御プログラム及び記録媒体 | |
JP2009180888A (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP4882821B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、乾燥装置、乾燥方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 | |
JP5453793B2 (ja) | 積層構造体の製造方法、有機薄膜トランジスタの製造方法及び有機薄膜トランジスタアレイの製造方法 | |
JP2009086388A (ja) | カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120626 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |