JP2008249986A - カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】着色層の形状を改善して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５を移動させつつ基板３に対してインクを塗布し、インク塗布を行った分だけインクジェットヘッド５を移動させる。カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５の移動に伴い、シート９を移動させて基板３の着色層の上方を覆う。これにより、シート９で覆われた着色層の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層の乾燥環境を均一にすることにより、着色層の変形を防止して表面形状を改善することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、カラーフィルタ製造装置及び製造方法に関する。詳細には、着色層の形状を改善するカラーフィルタ製造装置及び製造方法に関する。

近年、パーソナルコンピュータや携帯電話の普及に伴い、高精細かつ軽薄な表示装置が必要とされる。表示装置は、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイパネル）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）である。これらの表示装置の構成部材として、カラーフィルタが用いられる。

カラーフィルタにおける着色層の形成方法として、インクジェット法、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法がある。
インクジェット法では、基板上にパターン形成されたインク受容層にインクを付与することにより、着色層が形成される。あるいは、基板上に遮光部により画設された開口部にインクを塗布することにより、着色層が形成される。インク受容層あるいはインクを乾燥及び硬化させるためには、加熱工程が必要となる。例えば、ホットプレートを用いて加熱することにより、プリベイク（乾燥工程）及びポストベイク（硬化工程）が行われる。一般に、吐出安定性を確保するために遅乾性溶媒成分（例えば、沸点２５０℃）がインクの主溶剤として用いられる。加熱により溶剤を気化（揮発）させることによりプリベイクが行われる。

また、減圧環境下において加熱乾燥を行うことにより、乾燥時間の短縮化を図るカラーフィルタの製造方法が提案されている（例えば、［特許文献１］参照。）。

特開２００２−１８２０２８号公報

しかしながら、インク塗布後の経過時間に伴う乾燥の進行により、着色層の形状が悪化し、色ムラや発色不良等の欠陥が発生するという問題点がある。特に、額縁部近傍の着色層周縁部では、他の部分より膜厚が大きくなり局部的に膜厚が異なるという問題点がある。

着色層に含まれる溶媒成分（水分や溶剤成分やバインダ）は、インク塗布直後から上方や横方向に揮発する。画素長手方向の額縁部近傍の領域である着色層の端部周辺は、大気中の飽和度が低く、横方向の揮発が発生しやすい。着色層の端部周辺のように溶媒成分の揮発が速い部分では、溶質のフローが生じて固形分が集まる。すなわち、溶媒成分の揮発が進むにつれて着色層は周辺方向に移動する。そして、着色層の端部の膜厚が厚くなったり、着色層の端部が周辺方向に傾くように変形したりする。このまま着色層が硬化すると、着色層の表面形状が均一でなく局部的に膜厚が異なるものとなり、色ムラや発色不良等が生じる。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、額縁部近傍の着色層周縁部が、他の部分より膜厚が大きくなり、局部的に膜厚が異なることを抑え、色ムラや発色不良等の欠陥を無くして品質を向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために第１の発明は、基板にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造装置であって、前記基板に前記インクを付与するヘッドと、前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートと、前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動手段と、前記基板に対して相対的に前記シートを移動させるシート移動手段と、を具備し、前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆うことを特徴とするカラーフィルタ製造装置である。

カラーフィルタ製造装置は、インクを塗布するヘッドの移動に応じて、順次シートを移動させて着色層を覆う。カラーフィルタ製造装置は、シート及びインクを塗布するヘッド及び基板が載置されるステージを互いに相対的に移動させることが望ましい。また、シートと基板との間の距離は、０．３ｍｍ以上３０ｍｍ以下とすることが望ましい。尚、シートと基板との距離とは、シートの下面と基板の上面との距離を指す。シートと基板との距離の測定には、例えば、スキマゲージを用いることができる。
シートは、着色層の上方や側方を覆うことが可能な部材である。シートとして、例えば、金属板、ガラス板、プラスチック板、紙、スポンジ、多孔質材、吸収材等を用いることができる。また、少なくともこれら二つ以上組み合わせた材料からなる多重層のシートであっても良い。

シートで覆われた着色層の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近くなる。着色層に含まれる溶媒成分（水分や溶剤成分やバインダ）の揮発が抑制され、基板全体において着色層の乾燥環境が均一になる。
これにより、着色層の変形を防止して表面形状を改善することができる。特に、額縁部に近い着色層の周縁部分の表面形状を改善することができる。

また、着色層の全面でなく、着色層のうち変形が生じやすい所定範囲のみをシートで覆うようにしてもよい。例えば、画素長手方向の額縁部近傍の領域のみをシートで覆うようにしてもよい。
これにより、シートの大きさを小さくすることができ、シート移動機構等の装置構成を簡素化あるいは小型化することができる。

また、着色層の上方だけでなく側方も覆うことが可能なシートの形状とすることが望ましい。
これにより、密閉度が増して大気中の飽和度が大きくなり、より飽和蒸気環境に近づけて、着色層に含まれる溶媒成分の揮発を抑制することができる。

また、シートとしてスポンジや多孔質材等の吸収材を用い、当該シートに揮発成分を含ませてもよい。揮発成分は、主溶媒成分と同一なものの他、着色層と相溶性のある溶媒成分が良い。
これにより、シートからの揮発成分の分圧が生じ、さらに、着色層に含まれる溶媒成分の揮発を抑制することができる。

第２の発明は、基板にヘッドからインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法であって、前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動ステップと、前記基板に対して相対的に前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートを移動させるシート移動ステップと、前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆う覆蓋ステップと、を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。

第２の発明は、基板にヘッドからインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法に関する発明である。

第３の発明は、基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造装置であって、前記基板に前記インクを付与するヘッドと、前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートと、前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動手段と、前記基板に対して相対的に前記シートを移動させるシート移動手段と、を具備し、前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆うことを特徴とする表示装置の製造装置である。

第３の発明は、基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造装置に関する発明である。

第４の発明は、基板にヘッドからインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造方法であって、前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動ステップと、前記基板に対して相対的に前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートを移動させるシート移動ステップと、前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆う覆蓋ステップと、を具備することを特徴とする表示装置の製造方法である。

第４の発明は、基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造方法に関する発明である。

本発明によれば、着色層の形状を改善して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供することができる。

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ製造装置及び製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。

（１．カラーフィルタ製造装置１の構成）
最初に、図１を参照しながら、カラーフィルタ製造装置１の構成について説明する。
図１は、カラーフィルタ製造装置１の構成図である。

カラーフィルタ製造装置１は、制御部２、基板３が載置される吸着テーブル４、インクジェットヘッド５、移動部６、アライメントカメラ７、乾燥装置８、シート９から構成される。
カラーフィルタ製造装置１は、基板３に対してインクジェットヘッド５からインクを吐出してパターニングを行い、カラーフィルタを製造する装置である。

シート９は、基板３の上方等を覆うシートである。シート９の形状や材質に関しては、基板３の上方で撓まないようにシート９を保持することができれば、特に限定されない。シート９としては、例えば、金属板、ガラス板、プラスチック板、紙、スポンジ、多孔質材、吸収材を用いることができる。

基板３は、ガラス基板やフィルム基板である。
吸着テーブル４は、基板３を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブル４と基板３との間の空気を減圧あるいは真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔（図示しない）が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。

インクジェットヘッド５は、着色剤等を含むインクを吐出する装置である。インクジェットヘッド５は、基板３上に形成されたインク受容層にインクを付与したり、遮光部により画設された開口部にインクを塗布する。
移動部６は、吸着テーブル４及びインクジェットヘッド５及びシート９の移動及び位置決めを行う装置である。尚、移動機構としては、汎用のガイド機構や移動用アクチュエータを用いることができる。例えば、移動用アクチュエータとして、ステップモータ、サーボモータ、リニアモータを用い、ガイド機構として、直線移動機構、エアースライドを用いることができる。
アライメントカメラ７は、基板３の位置座標を検出するために、基板３の所定箇所（基板上に形成されるアライメントマーク等）を撮像するカメラである。

乾燥装置８は、基板３に対して加熱処理や減圧処理を行う装置である。乾燥装置８は、インクが付与されたインク受容層あるいは塗布されたインクを乾燥及び硬化させる。

制御部２は、演算処理や各装置の動作制御を行う装置である。制御部２は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）やメモリを備える。制御部２は、アライメントカメラ７による撮像画像に基づいて基板３の位置座標を算出し、移動部６を介してインクジェットヘッド５及び基板３及びシート９の移動及び位置決めを行う。また、制御部２は、インクジェットヘッド５におけるインク吐出タイミングを制御する。

（２．カラーフィルタ製造方法）
次に、図２及び図３を参照しながら、カラーフィルタ製造方法について説明する。

（２−１．インク受容層にインクを付与するカラーフィルタ製造方法）
図２は、インク受容層にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図である。

図２（ａ）に示すように、基板３に遮光層２１及びインク受容層２２が形成される。遮光層２１は、光を透過させない層である。遮光層２１は、着色層を画設するブラックマトリクスあるいはブラックストライプである。遮光層２１に関しては、インク受容層２２の上に形成するようにしてもよい。インク受容層２２は、インク付与により着色される着色媒体である。
図２（ｂ）に示すように、フォトマスク２４を用いて光２３を照射してパターン露光が行われる。インク受容層２２にネガ型の樹脂組成物が用いられる場合、露光部分のインク受容層２２は、インク受容能を失って非着色域２５となる。露光部分以外のインク受容層２２は、着色域２６となる。

図２（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド５からインク２７が吐出される。インク２７は、染料あるいは顔料等の着色剤を含有する。インク受容層２２の着色域２６にインク２７が付与されて着色される。インク２７は、インク受容層２２の着色域２６に吸収されて拡散する。着色された着色域２６と着色されない非着色域２５とからなる着色層２８が形成される。この段階では、着色層２８は、水分や溶剤成分を含み、湿潤状態（ウェット状態）である。着色層２８の上方は、シート９により覆われる。

図２（ｄ）に示すように、着色層２８が形成された基板３は、乾燥装置８に搬送される。乾燥装置８は、基板３を減圧環境下で加熱し、着色層２８に含まれる水分や溶剤成分を除去して乾燥させる。その後、乾燥装置８は、基板３をさらに高温で加熱して着色層２８全体を硬化させる。
図２（ｅ）に示すように、必要に応じて着色層２８上に保護層２９を形成してもよい。

以上の過程を経て、基板３に形成されるインク受容層２２にインク２７を付与することにより、カラーフィルタが製造される。

（２−２．開口部にインクを塗布するカラーフィルタ製造方法）
図３は、開口部にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図である。

図３（ａ）に示すように、基板３に遮光層３１が形成される。遮光層３１は、隔壁部である。遮光層３１により、各画素に対応する開口部が形成される。
図３（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド５からインク３２が吐出される。インク３２は、染料あるいは顔料等の着色剤を含有する。開口部にインク３２が塗布され、着色層３３が形成される。この段階では、着色層３３は、水分や溶剤成分を含み、湿潤状態（ウェット状態）である。着色層３３の上方は、シート９により覆われる。
図３（ｃ）に示すように、着色層３３が形成された基板３は、乾燥装置８に搬送される。乾燥装置８は、基板３を減圧環境下で加熱し、着色層３３に含まれる水分や溶剤成分を除去して乾燥させる。その後、乾燥装置８は、基板３をさらに高温で加熱して着色層３３全体を硬化させる。
図３（ｄ）に示すように、必要に応じて着色層３３上に保護層３４を形成してもよい。

以上の過程を経て、基板３に形成される開口部にインク３２を塗布することにより、カラーフィルタが製造される。

（３．着色層における溶媒成分の揮発と形状）
次に、図４及び図５を参照しながら、着色層における溶媒成分の揮発と形状について説明する。
図４は、着色層４１における溶媒成分の揮発と形状を示す図である。着色層４１は、図２の着色層２８及び図３の着色層３３に相当する。
図５は、額縁部４４を示す図である。額縁部４４は、遮光層４５の外周枠部分である。遮光層４５は、図２の遮光層２１及び図３の遮光層３１に相当する。

図４（ａ）に示すように、着色層４１は、一般に蒲鉾状の断面形状となる。着色層４１に含まれる溶媒成分（水分や溶剤成分やバインダ）は、上方への揮発４２や横方向への揮発４３となって揮発する。着色層４１の端部４０は、画素長手方向の額縁部４４近傍の領域５０に位置する。
着色層４１の端部４０周辺は、大気中の飽和度が低く、横方向の揮発４３が発生しやすい。着色層４１の端部４０周辺のように溶媒成分の揮発が速い部分では、溶質のフローが生じて固形分が集まる。すなわち、溶媒成分の揮発が進むにつれて着色層４１は周辺方向に移動する。そして、図４（ｂ）に示すように、着色層４１の端部４０の膜厚が厚くなったり、着色層４１の端部４０が周辺方向に傾くように変形したりする。この着色層４１が硬化すると、着色層４１の表面形状が均一でなく局部的に膜厚が異なるものとなり、色ムラや発色不良等が生じる。

尚、図４では、画素内だけでなく画素長手方向を横断するブラックマトリクス上にもインクを滴下して、ライン方向に着色層４１を形成する場合（ライン塗布）について図示した。これに対し、ブラックマトリクス上にはインクを滴下せずに画素内のみにインクを滴下して、ライン方向に着色層を形成する場合（画素塗布）にも、図４（ｂ）の場合と同様に、着色層の端部の膜厚が厚くなったり、着色層の端部が周辺方向に傾くように変形したりする。
本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１では、ライン方向の着色層形成工程に関して、ブラックマトリクス上のインク滴下の有無を問わず、何れの場合についても着色層形状を改善することができる。

（４．シート９を用いた着色層の形成）
次に、図６〜図１０を参照しながら、シート９を用いた着色層４１の形成について説明する。

図６は、シート９による溶媒成分の揮発抑制を示す図である。
空間４６は、シート９で覆われていない着色層４１の上方の空間である。空間４８は、シート９で覆われている着色層４１の上方の空間である。空間４８は、空間４６より小さい。空間４８では空間４６と比較して、大気中の飽和度が大きいので、着色層４１からの溶媒成分の揮発が抑制される。従って、空間４８への揮発４９は、空間４６への揮発４７と比較して進行しにくい。

（４−１．着色層全面及びライン垂直方向にシートを投入）
図７は、シート９ａの投入動作を示す図である。Ｙ方向は、着色層４１のライン方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と垂直な方向である。
シート９ａは、着色層４１の全体を覆うことが可能な形状及び大きさを有する。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５をＹ方向に移動させつつ基板３に対してインクを塗布する（Ｓ１１）。カラーフィルタ製造装置１は、Ｙ方向についてインク塗布を終了すると、最大、インクジェットヘッド５をＸ方向（ヘッド走査方向）にインク塗布を行ったライン分だけ移動させる（Ｓ１２）。
カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５のＸ方向の相対移動に伴い、シート９ａをＸ方向に移動させる（Ｓ１３）。シート９ａは、着色層４１の上方を覆う。

尚、シート９ａの移動量に関しては、塗布直後の着色層４１の位置までシート９ａを移動させてもよい。あるいは、インクジェットヘッド５からの吐出インクがシート９ａに付着しないように、塗布直後の着色層４１の位置から多少手前の位置に、シート９ａを移動させるようにしてもよい。
カラーフィルタ製造装置１は、上記の処理（Ｓ１１〜Ｓ１３）を繰り返し、基板３の額縁部４４の内側全体に着色層４１を形成する。

このように、カラーフィルタ製造装置１は、インク塗布の進行状況に応じて、着色層４１の上方を順次シート９ａで覆う。
これにより、シート９ａで覆われた着色層４１の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層４１に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層４１の乾燥環境を均一にし、着色層４１に含まれる溶媒成分を均一に揮発させた上で、基板３を乾燥装置８に送って着色層４１を硬化させることができる。従って、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。

（４−２．着色層の一部及びライン垂直方向にシートを投入）
図８は、シート９ｂの投入動作を示す図である。Ｙ方向は、着色層４１のライン方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と垂直な方向である。
シート９ｂは、着色層４１の所定範囲を覆うことが可能な形状及び大きさを有する。所定範囲は、例えば、額縁部４４の長手方向近傍の領域５０−１及び領域５０−２である。領域５０−１及び領域５０−２は、着色層変形が生じやすい範囲である。シート９ｂは、シート９−１及びシート９−２から構成される。シート９−１及びシート９−２は、それぞれ、領域５０−１及び領域５０−２を覆うことが可能な形状及び大きさを有する。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５をＹ方向に移動させつつ基板３に対してインクを塗布する（Ｓ２１）。カラーフィルタ製造装置１は、Ｙ方向についてインク塗布を終了すると、最大、インクジェットヘッド５をＸ方向（ヘッド走査方向）にインク塗布を行ったライン分だけ移動させる（Ｓ２２）。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５のＸ方向移動に伴い、シート９ｂをＸ方向に移動させる（Ｓ２３）。シート９ｂは、着色層４１の端部の上方を覆う。
尚、シート９ｂの移動量に関しては、塗布直後の着色層４１の位置までシート９ｂを移動させてもよい。あるいは、インクジェットヘッド５からの吐出インクがシート９ｂに付着しないように、塗布直後の着色層４１の位置から多少手前の位置に、シート９ｂを移動させるようにしてもよい。
カラーフィルタ製造装置１は、上記の処理（Ｓ２１〜Ｓ２３）を繰り返し、基板３の額縁部４４の内側全体に着色層４１を形成する。

このように、カラーフィルタ製造装置１は、インク塗布の進行状況に応じて、着色層４１の端部についてのみ、上方を順次シート９ｂで覆い、着色層４１の端部における溶媒成分の揮発を抑制する。
これにより、シート９ｂで覆われた着色層４１の端部では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層４１に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層４１の乾燥環境を均一にし、着色層４１に含まれる溶媒成分を均一に揮発させた上で、基板３を乾燥装置８に送って着色層４１を硬化させることができる。従って、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。
また、所定範囲のみをシート９ｂで覆うので、シート９ｂの大きさを小さくすることができ、シート９ｂの移動機構等の装置構成を簡素化あるいは小型化することができる。

（４−３．着色層全面及びライン方向にシートを投入）
図９は、シート９ｃの投入動作を示す図である。Ｙ方向は、着色層４１のライン方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と垂直な方向である。
シート９ｃは、着色層４１の全体を覆うことが可能な形状及び大きさを有する。尚、図９のシート９ｃは、図７のシート９ａに相当する。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５をＸ方向に移動させつつ基板３に対してインクを塗布する（Ｓ３１）。カラーフィルタ製造装置１は、Ｘ方向についてインク塗布を終了すると、インクジェットヘッド５をＹ方向（ヘッド走査方向）にインク塗布を行った分だけ移動させる（Ｓ３２）。
カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５のＹ方向移動に伴い、シート９ｃをＹ方向に移動させる（Ｓ３３）。シート９ｃは、着色層４１の上方を覆う。

尚、シート９ｃの移動量に関しては、塗布直後の着色層４１の位置までシート９ｃを移動させてもよい。あるいは、インクジェットヘッド５からの吐出インクがシート９ｃに付着しないように、塗布直後の着色層４１の位置から多少手前の位置に、シート９ｃを移動させるようにしてもよい。
カラーフィルタ製造装置１は、上記の処理（Ｓ３１〜Ｓ３３）を繰り返し、基板３の額縁部４４の内側全体に着色層４１を形成する。

このように、カラーフィルタ製造装置１は、インク塗布の進行状況に応じて、着色層４１の上方を順次シート９ｃで覆う。
これにより、シート９ｃで覆われた着色層４１の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層４１に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層４１の乾燥環境を均一にし、着色層４１に含まれる溶媒成分を均一に揮発させた上で、基板３を乾燥装置８に送って着色層４１を硬化させることができる。従って、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。

（４−４．着色層の一部及びライン方向にシートを投入）
図１０は、シート９ｄの投入動作を示す図である。Ｙ方向は、着色層４１のライン方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と垂直な方向である。
シート９ｄは、着色層４１の所定範囲を覆うことが可能な形状及び大きさを有する。所定範囲は、例えば、額縁部４４の長手方向近傍の領域５０−１である。領域５０−１は、着色層変形が生じやすい範囲である。尚、図１０のシート９ｄは、図８のシート９−１に相当する。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５をＸ方向に移動させつつ基板３に対してインクを塗布する（Ｓ４１）。カラーフィルタ製造装置１は、Ｘ方向についてインク塗布を終了すると、インクジェットヘッド５をＹ方向（ヘッド走査方向）にインク塗布を行った分だけ移動させる（Ｓ４２）。

カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５のＹ方向移動に伴い、シート９ｄをＹ方向に移動させる（Ｓ４３）。シート９ｄは、着色層４１の塗布開始側端部の上方を覆う。
尚、シート９ｄの移動量に関しては、塗布直後の着色層４１の位置までシート９ｄを移動させてもよい。あるいは、インクジェットヘッド５からの吐出インクがシート９ｄに付着しないように、塗布直後の着色層４１の位置から多少手前の位置に、シート９ｄを移動させるようにしてもよい。
カラーフィルタ製造装置１は、上記の処理（Ｓ４１〜Ｓ４３）を繰り返し、基板３の額縁部４４の内側全体に着色層４１を形成する。

このように、カラーフィルタ製造装置１は、インク塗布の進行状況に応じて、着色層４１の塗布開始側端部についてのみ、上方を順次シート９ｄで覆い、着色層４１の端部における溶媒成分の揮発を抑制する。
これにより、シート９ｄで覆われた着色層４１の端部では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層４１に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層４１の乾燥環境を均一にし、着色層４１に含まれる溶媒成分を均一に揮発させた上で、基板３を乾燥装置８に送って着色層４１を硬化させることができる。従って、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。
また、所定範囲のみをシート９ｄで覆うので、シート９ｄの大きさを小さくすることができ、シート９ｄの移動機構等の装置構成を簡素化あるいは小型化することができる。

尚、図１０のシート９ｄには、図８のシート９−２に相当する部分が存在しない。領域５０−２は、額縁部４４の近傍に位置するが、最後にインク塗布が行われる部分であり、着色層４１の塗布終了側端部の領域である。領域５０−２におけるインク塗布が終了した直後に、基板３は乾燥装置８に送られるので、必ずしも領域５０−２をシート９により覆う必要がない。

（５．シート９の形態及び材質）
次に、図１１〜図１３を参照しながら、シート９の形状及び材質について説明する。

（５−１．シート９の大きさ）
図１１は、シート９ｅの一態様を示す図である。
シート９ｅの大きさは、着色層４１の面積より大きい。着色層４１の範囲と同一の大きさのシート９の場合と比較して、シート９ｅにより着色層４１を覆う場合には、着色層４１の端部斜め上方の空間５１が小さくなり、空間５１における大気中の飽和度が大きくなる。従って、着色層４１の端部斜め方向の揮発５２を抑制することができる。

これにより、着色層４１の端部斜め方向の揮発５２を抑制し、基板３全体において、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。

（５−２．シート９の形状）
図１２は、シート９ｆの一態様を示す図である。
シート９ｆは、断面がコの字形状であり、壁面５５を有する。シート９ｆにより着色層４１を覆う際、壁面５５の下端は、基板３上に載置される。
壁面５５がないシート９の場合と比較して、シート９ｆにより着色層４１を覆う場合には、着色層４１の端部横の空間５３が小さくなり、密閉度が増して空間５３における大気中の飽和度が大きくなる。従って、着色層４１の端部横方向の揮発５４を抑制することができる。

これにより、着色層４１の端部横方向の揮発５４を抑制し、基板３全体において、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。

（５−３．シート９の材質）
図１３は、シート９ｇの一態様を示す図である。
シート９ｇは、スポンジや多孔質材等の吸収材である。シート９ｇは、溶剤５６を吸収して保持する。
シート９ｇからは溶剤５６の揮発５７が生じる。一方、着色層４１からは溶媒成分の揮発５８が生じる。着色層４１の上方の空間５９において、大気中の飽和度は、揮発５７による分圧と揮発５８による分圧との和に影響される。溶剤５６を含まないシート９の場合と比較して、シート９ｇにより着色層４１を覆う場合には、シート９ｇからの揮発５７による分圧が存在する分、着色層４１からの揮発５８が抑制される。

これにより、シート９ｇからの揮発５７による分圧が存在する分、さらに、着色層４１からの揮発５８を抑制し、基板３全体において、着色層４１の変形を防止して表面形状を改善することができる。

（６．シート９の有無と着色層４１の表面形状）
次に、図１４〜図１８を参照しながら、シート９の有無と着色層４１の表面形状について説明する。

図１４は、計測対象の画素６１及び画素７１を示す図である。
画素６１は、シート９に覆われない部分の着色層４１の画素（Ｒ、Ｇ、Ｂ）である。画素７１は、シート９に覆われた部分の着色層４１の画素（Ｒ、Ｇ、Ｂ）である。画素６１及び画素７１は、共に、額縁部４４に隣接する画素である。

図１５は、画素６１の表面形状の計測図である（シート９無し：Ｙ方向断面図）。図１６は、画素７１の表面形状の計測図である（シート９有り：Ｙ方向断面図）。図１７は、画素６１の表面形状の計測図である（シート９無し：Ｘ方向断面図）。図１８は、画素７１の表面形状の計測図である（シート９有り：Ｘ方向断面図）。
図１５及び図１７は、シート９を用いずにインク塗布を行い、乾燥工程を経て着色層４１が硬化した後に計測した表面形状のグラフを示す。図１６及び図１８は、シート９を用いてインク塗布を行い、乾燥工程を経て着色層４１が硬化した後に計測した表面形状のグラフを示す。

図１５及び図１６において画素６１の表面形状６３と画素７１の表面形状７３とを比較すると、画素７１の額縁部４４に近い部分７５は、画素６１の額縁部４４に近い部分６５と比較して、偏りが小さい。
図１７及び図１８において画素６１の表面形状６７と画素７１の表面形状７７とを比較すると、画素７１の中央部分７９は、画素６１の中央部分６９と比較して、平坦度が大きい。

このように、シート９に覆われた部分の着色層４１は、シート９に覆われない部分の着色層４１と比較して、乾燥後の表面形状の偏りや平坦度等が改善される。

（７．表示装置９１の製造）
図１９は、表示装置９１を示す図である。ここでは、表示装置９１として液晶ディスプレイパネルを挙げて説明する。
基板９２は、カラーフィルタ製造装置１により製造されたカラーフィルタである。基板９２には、液晶封入空間を確保するためのスペーサ９６が形成される。基板９３は、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等のアレイ基板である。基板９２と基板９３とを貼り合わせ、基板の周辺部分にシール材９４を設け、基板間に液晶９７を封入することにより、表示装置９１が製造される。

（８．その他）
以上詳細に説明したように、カラーフィルタ製造装置は、インク塗布の進行状況に応じて、着色層の上方を順次シートで覆う。シートで覆われた着色層の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近くなる。着色層に含まれる溶媒成分の揮発が抑制され、基板全体において着色層の乾燥環境が均一になる。これにより、着色層の変形を防止して表面形状を改善することができる。特に、額縁部に近い着色層の周縁部分の表面形状を改善することができる。

尚、上述の実施の形態では、シート及びインクジェットヘッド及び基板の移動に関して、静止させた基板に対してシート及びインクジェットヘッドを移動させるものとして説明したが、これに限られない。シート及びインクジェットヘッド及び基板を互いに相対的に移動させることにより、シートを基板上に移動させたり、インクジェットヘッドを基板上で走査させたりしてもよい。
また、シートの移動に関しては、汎用のガイド機構や移動用アクチュエータを備える移動機構を用いるものとして説明したがこれに限られない。シートが枚葉の部材である場合には、リジッド基板等を搬送するリジッドハンドを用いてシートを取り扱ってもよい。シートが紙等であって可撓性を有する場合には、未使用時にシートをロールに巻き取って収納し、使用時にシートをロールから引き出すようにしてもよい。

また、着色層を覆う際のシートと基板との間隔に関しては、小さいほど、少ない溶媒の揮発量で飽和環境に近付き、乾燥の進行に伴う形状の悪化を抑制することができるため、シートと着色層とが接触しない範囲で十分小さくすることが望ましい。例えば、シートと基板との間隔は、インクジェットヘッドと基板との間隔と同程度の間隔（例えば、０．５〜０．７ｍｍ）としてもよい。
また、インクの吐出は、インクジェットヘッドに限られず、例えば、ディスペンサ等を用いることもできる。

以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるカラーフィルタ製造装置及び製造方法の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

（９．実施例）
以下に実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する。
［実施例１］
塗布方向が画素長手方向であり（縦）、シート形状が着色層全面を覆うことが可能な平面シートであり（ベタ）、シート投入方向が画素短手方向の塗布開始側であり（横）、シートと基板との距離が０．７ｍｍである場合について説明する。尚、［実施例１］は、図７に相当する。尚、シートと基板との距離とは、シートの下面と基板の上面との距離を指す。また、スキマゲージ等を用いてシートと基板との間隔の調整を実施することができる。

［１−１．着色層形成用基板作製］
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィ法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。
ブラックマトリクスは開口部が１５０μｍ×４００μｍ、遮光部分の線幅が縦１００μｍ、横２０μｍとなるように形成し、横方向に１７０μｍピッチ、縦方向に５００μｍピッチにて縦横ともそれぞれ８００画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成用領域）を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で６０°、着色層形成用領域で１０°であった。

［１−２．着色層形成工程及びシート保護方法］
上記親疎液性を有する着色層形成用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、１つの開口部（着色層形成用領域）あたり５０滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。
このときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は２μｓであった。また、インクジェットヘッドは１ヘッドにつき１００ノズルを有するものを用い、１色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。
塗布は、各着色層形成用領域（１画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また、着色層形成用塗工液は画素短手方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、画素長手方向には同色が並ぶように配置した。そして、インクジェットヘッドを画素長手方向に走査しつつ着色層形成用塗工液を塗布した。

次に、画素長手方向の塗布を終了すると、上記、画素短手方向の着色された画素数分インクジェットヘッドを画素短手方向に移動させた。その後、着色された画素上方に、シートを配置した。シートは、着色層形成用基板と同じ材質およびサイズを用いた。シートの投入は、基板とシートとの間隔を０．７ｍｍに設定し、着色層形成用基板と同方向とし、画素短手方向の塗布開始側からとした。上記、インクジェットヘッド塗布工程とシートによる覆蓋工程とを順次に繰り返し行うことにより、着色層を形成した。この際、各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。

［１−３．プリベイク工程］
上記着色層形成用塗工液を着弾させたカラーフィルタ用基板を１２０℃のホットプレートに設置し、１０分間プリベイクした。プリベイク後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。

［１−４．ポストベイク工程］
上記、プリベイク後が終了したカラーフィルタ用基板を２００℃のオーブンに設置し、３０分間ポストベイクを行った。

［１−５．着色層形状検査工程］
上記ポストベイク後のカラーフィルタ用基板の着色層を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用いて測定した。測定は、カラーフィルタ用基板の中央部および額縁部の着色層形成領域（１画素）、すなわち１７０μｍ×５００μｍの範囲における表面形状を計測した。
カラーフィルタ用基板の中央部および額縁部の画素断面形状について比較した結果、形状は同じであり、変形防止が可能であることを確認した。また、額縁部での色ムラが無く、良質なカラーフィルタ用基板が作製できた。

［実施例２］
塗布方向が画素長手方向であり（縦）、シート形状が基板全面を覆うことが可能な多孔質の平面シートであり（多孔質ベタ）、シート投入方向が画素短手方向の塗布開始側であり（横）、シートと基板との距離が０．７ｍｍである場合について説明する。尚、［実施例２］は、図７のシート９ａに代えて図１３のシート９ｇを用いた場合に相当する。

［２−１．着色層形成用基板作製］［２−２．着色層形成工程及びシート保護方法］［２−３．プリベイク工程］［２−４．ポストベイク工程］［２−５．着色層形状検査工程］については、着色層形成用基板の材質に代えて多孔質の材質のシートを用いたこと以外は［実施例１］と同様であるので説明を省略する。

［実施例３］
図２２は、シート９ｈの投入動作を示す図である。
塗布方向は、画素短手方向である（横）。シート９ｈは、着色層の画素短手方向周縁を覆うことが可能な１辺のシート９ｈ−１と着色層の画素長手方向周縁を覆うことが可能な２辺のシート９ｈ−２及びシート９ｈ−３とから構成される（横１辺縦２辺）。シート投入方向は、画素長手方向の塗布開始側である（縦）。シートと基板との距離が０．７ｍｍである場合について説明する。尚、シート９ｈの投入に関しては、シート９ｈ−１は画素長手方向の塗布開始側で変形が生じやすい範囲８０を覆った後に固定され、その後は、塗布工程を繰り返すことにより、シート９ｈ−２及びシート９ｈ−３のみが移動する。

［３−１．着色層形成用基板作製］
［実施例１］と同様であるので説明を省略する。
［３−２．着色層形成工程及びシート保護方法］
着色層形成工程に関しては、［実施例３］では［実施例１］と異なりインクジェットヘッドを画素短手方向に走査しつつ着色層形成用塗工液を塗布した。

次に、画素短手方向の塗布を終了すると、上記、画素長手方向の着色された画素数分インクジェットヘッドを画素長手方向に移動させた。その後、着色された画素上方に、シートを配置した。シートは、着色層形成用基板と同じ材質を用いた。シートの投入は、基板とシートとの間隔を０．７ｍｍに設定し、着色層形成用基板と同方向とし、画素長手方向の塗布開始側からとした。上記、インクジェットヘッド塗布工程とシートによる覆蓋工程とを順次に繰り返し行うことにより、着色層を形成した。この際、各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。

［３−３．プリベイク工程］［３−４．ポストベイク工程］［３−５．着色層形状検査工程］については、［実施例１］と同様であるので説明を省略する。

［実施例４］
塗布方向が画素短手方向であり（横）、シート形状が着色層の上方及び側方を覆うことが可能なコの字形状であり（コの字）、シート投入方向が画素長手方向の塗布開始側であり（縦）、シートと基板との距離が０．７ｍｍである場合について説明する。尚、［実施例４］は、図９のシート９ｃに代えて図１２のシート９ｆを用いた場合に相当する。

［４−１．着色層形成用基板作製］［４−２．着色層形成工程及びシート保護方法］［４−３．プリベイク工程］［４−４．ポストベイク工程］［４−５．着色層形状検査工程］については、［実施例３］と同様であるので説明を省略する。

［実施例５］
塗布方向が画素短手方向であり（横）、シート形状が着色層の画素長手方向を覆うことが可能な１辺のシートであり（横１辺）、シート投入方向が画素長手方向の塗布開始側であり（縦）、シートと基板との距離が０．７ｍｍである場合について説明する。尚、［実施例５］は、図１０に相当する。

［５−１．着色層形成用基板作製］［５−２．着色層形成工程及びシート保護方法］［５−３．プリベイク工程］［５−４．ポストベイク工程］［５−５．着色層形状検査工程］については、［実施例３］と同様であるので説明を省略する。

[実施例６]
塗布方向が画素長手方向であり（縦）、シートによる着色層の保護を一切行わない場合について説明する。尚、［実施例６］は、上記の「実施例１」〜「実施例５」に対する比較例に相当する。

［６−１．着色層形成用基板作製］［６−２．着色層形成工程］［６−３．プリベイク工程］［６−４．ポストベイク工程］については、［実施例１］と同様であるので説明を省略する。尚、［６−２．着色層形成工程］の後段においてシートによる着色層の保護は行われない。

［６−５．着色層形状検査工程］
上記ポストベイク後のカラーフィルタ用基板の着色層を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用いて測定した。測定は、カラーフィルタ用基板の中央部および額縁部の着色層形成領域（１画素）、すなわち１７０μｍ×５００μｍの範囲における表面形状を計測した。
カラーフィルタ用基板の中央部および額縁部の画素断面形状について比較した結果、額縁部最端形状に変形が生じた。また、額縁部での色ムラがを確認した。

［７．基板とシートとの距離］
図２０は、シート保護方式毎、及び、基板〜シート間の距離毎に、着色層の変形に関する検査結果を示す図である。図２１は、図２０におけるシート保護方式の詳細を示す図である。尚、図２０及び図２１の「方式１」〜「方式５」は、それぞれ、上述の「実施例１」〜「実施例５」に用いられたシート保護方式に対応する。「方式６」は上述の「実施例６」に対応し、シートによる着色層の保護が行われない場合を示す。

図２０の着色層の変形に関する検査結果を参照すると、「方式１」〜「方式５」では、基板〜シート間距離が０．２５ｍｍの場合にはシートが着色層と接触し、基板〜シート間距離が０．３ｍｍ〜３０ｍｍの場合には着色層が変形せず、基板〜シート間距離が３５ｍｍの場合には着色層が変形する。「方式６」では、着色層が変形する。
以上の結果から、基板〜シート間距離は、０．３ｍｍ〜３０ｍｍとすることが望ましい。

カラーフィルタ製造装置１の構成図 インク受容層にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図 開口部にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法を示す図 着色層４１における溶媒成分の揮発と形状を示す図 額縁部４４を示す図 シート９による溶媒成分の揮発抑制を示す図 シート９ａの投入動作を示す図 シート９ｂの投入動作を示す図 シート９ｃの投入動作を示す図 シート９ｄの投入動作を示す図 シート９ｅの一態様を示す図 シート９ｆの一態様を示す図 シート９ｇの一態様を示す図 計測対象の画素６１及び画素７１を示す図 画素６１の表面形状の計測図（シート９無し：Ｙ方向断面図） 画素７１の表面形状の計測図（シート９有り：Ｙ方向断面図） 画素６１の表面形状の計測図（シート９無し：Ｘ方向断面図） 画素７１の表面形状の計測図（シート９有り：Ｘ方向断面図） 表示装置９１を示す図 シート保護方式毎、及び、基板〜シート間の距離毎に、着色層の変形の検査結果を示す図 図２０におけるシート保護方式の詳細を示す図 シート９ｈの投入動作を示す図

符号の説明

１………カラーフィルタ製造装置
２………制御部
３………基板
４………吸着テーブル
５………インクジェットヘッド
６………移動部
７………アライメントカメラ
８………乾燥装置
９、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｆ、９ｇ………シート
２１、３１、４５………遮光層
２２………インク受容層
２７、３２………インク
２８、３３、４１………着色層
４０………着色層の端部
４４………額縁部
４６、４８、５１、５３、５９………空間
４７、４９、５２、５４、５８………溶媒成分の揮発
５０………額縁部４４近傍の領域
５６………溶剤
５７………溶剤５６の揮発
６１、７１………画素
６３、６７、７３、７７………表面形状
９１………表示装置
９２………カラーフィルタ基板
９３………アレイ基板

Claims (14)

1. 基板にインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造装置であって、
   前記基板に前記インクを付与するヘッドと、
   前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートと、
   前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動手段と、
   前記基板に対して相対的に前記シートを移動させるシート移動手段と、
   を具備し、
   前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆うことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
2. 前記基板を前記ヘッド及び前記シートに対して相対的に移動させる基板移動手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
3. 前記着色層のうち変形が生じる範囲のみを前記シートで覆うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ製造装置。
4. 前記シートは、前記着色層の少なくとも上方または、上方及び側方を覆うことが可能であることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
5. 前記シートと前記基板との間の距離は、０．３ｍｍ以上３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
6. 前記シートは、揮発成分を含むことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
7. 基板にヘッドからインクを付与して着色層を形成するカラーフィルタ製造方法であって、
   前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動ステップと、
   前記基板に対して相対的に前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートを移動させるシート移動ステップと、
   前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆う覆蓋ステップと、
   を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
8. 前記基板を前記ヘッド及び前記シートに対して相対的に移動させる基板移動ステップを具備することを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルタ製造方法。
9. 前記覆蓋ステップは、前記着色層のうち変形が生じる範囲のみを前記シートで覆うことを特徴とする請求項７または請求項８に記載のカラーフィルタ製造方法。
10. 前記覆蓋ステップは、前記着色層の少なくとも上方または、上方及び側方を前記シートで覆うことを特徴とする請求項７から請求項９までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
11. 前記覆蓋ステップは、前記シートと前記基板との間の距離を０．３ｍｍ以上３０ｍｍ以下として前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆うことを特徴とする請求項７から請求項１０までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
12. 前記シートに揮発成分を含ませることを特徴とする請求項７から請求項１１までのいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
13. 基板にインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造装置であって、
    前記基板に前記インクを付与するヘッドと、
    前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートと、
    前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動手段と、
    前記基板に対して相対的に前記シートを移動させるシート移動手段と、
    を具備し、
    前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆うことを特徴とする表示装置の製造装置。
14. 基板にヘッドからインクを付与して着色層が形成されたカラーフィルタを備える表示装置の製造方法であって、
    前記基板に対して相対的に前記ヘッドを移動させるヘッド移動ステップと、
    前記基板に対して相対的に前記基板の少なくとも一部を覆うことが可能なシートを移動させるシート移動ステップと、
    前記ヘッドの移動に伴い順次前記シートを移動させることにより、前記着色層の少なくとも一部を前記シートで覆う覆蓋ステップと、
    を具備することを特徴とする表示装置の製造方法。

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