JP5037145B2 - カラーフィルタ製造方法 - Google Patents

カラーフィルタ製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5037145B2
JP5037145B2 JP2007007320A JP2007007320A JP5037145B2 JP 5037145 B2 JP5037145 B2 JP 5037145B2 JP 2007007320 A JP2007007320 A JP 2007007320A JP 2007007320 A JP2007007320 A JP 2007007320A JP 5037145 B2 JP5037145 B2 JP 5037145B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
ink layer
substrate
solvent
filter manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007007320A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007206686A (ja
Inventor
聖雄 金
承柱 辛
晟鎭 金
啓示 權
相一 金
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2007206686A publication Critical patent/JP2007206686A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5037145B2 publication Critical patent/JP5037145B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/22Absorbing filters
    • G02B5/223Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47GHOUSEHOLD OR TABLE EQUIPMENT
    • A47G19/00Table service
    • A47G19/22Drinking vessels or saucers used for table service
    • A47G19/2288Drinking vessels or saucers used for table service with means for keeping liquid cool or hot
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

本発明は、カラーフィルタ製造方法に係り、より詳細には、色特性を向上させることができるカラーフィルタ製造方法に関する。
従来、TV及びコンピュータの情報を表示するためにCRT(Cathode Ray Tube)モニタが主に使われてきたが、最近では、画面の大型化にともなって、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)、プラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)、有機EL(Electro Luminescence)、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)、及び電界放出ディスプレイ(FED:Field Emission Display)のような平板ディスプレイ装置が使われている。このような平板ディスプレイ装置のうち、消費電力が少なく、コンピュータモニタ、ノート型パーソナルコンピュータなどに主に使われるLCDが脚光を浴びている。
このようなLCDは、液晶層によって変調された白色光を通過させて所望の色相の画像を形成するカラーフィルタを備える。カラーフィルタは、透明な基板上に複数の赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)のピクセルが所定形態に配列された構造を有する。カラーフィルタを製造する方法として、従来には染色法(dyeing method)、顔料分散法(pigment dispersion method)、印刷法(printing method)、電着法(electrode position method)などが使用されていた。しかし、このようなカラーフィルタの製造方法では、各色相のピクセル別に所定の工程を繰り返さなければならないため、製造工程の効率が低下し、製造コストが増加するという問題点があった。
したがって、最近では製造工程を単純化させ、製造コストも低減できるインクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法が提案されている。インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法は、インクジェットヘッドのノズルを通じて所定色相、例えば、赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)のインク滴を基板上のピクセルの内部に吐出させることでカラーフィルタを製造する。
図1A及び図1Bには、インクジェット方式を利用してカラーフィルタを製造する従来の方法が開示されている。まず、図1Aを参照して説明すると、インクジェットヘッド(図示せず)のノズルから所定色相のインク液滴を基板10上のブラックマトリックス20によって区画されたピクセルの内部に吐出させると、ピクセルの内部は、液状インク層30で充填される。次に、図1Aに示す液状インク層30を乾燥させると、図1Bに示すように、ピクセルの内部には所定色相の乾燥されたインク層31が形成される。
米国特許出願公開第2003/0030715号明細書 米国特許第6627364号明細書 米国特許第6312971号明細書
しかし、上記のようなカラーフィルタの製造方法では、液状インク層30を乾燥する過程でブラックマトリックス20の性質、インクの特性、乾燥速度などによって、ピクセルの内部で多様な物質流動が発生するため、ピクセルの内部に形成される乾燥されたインク層31の厚さは、図1Bに示すように非常に不均一になる。また、カラーフィルタのピクセル位置によって乾燥条件も異なるため、ピクセル内に形成される乾燥されたインク層31の形状も互いに異なる。このように、ピクセル内の乾燥されたインク層31の厚さが不均一になると、ピクセルから光が漏れる現象(光漏れ現象)や画像に染みが生じる現象が引き起こされて、カラーフィルタの色特性が低下する。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、ピクセル内に充填されたインク層の厚さを均一にしてカラーフィルタの色特性を向上させることが可能な、新規かつ改良されたカラーフィルタ製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板上に複数のピクセルを形成するブラックマトリックスを形成する段階と、ピクセルの内部に液状のインク層を形成した後、液状のインク層を乾燥させる段階と、乾燥されたインク層の表面が流動性を有するように、乾燥されたインク層の表面に溶媒蒸気を浸透させる段階と、流動性を有するインク層の表面を乾燥させる段階と、を含むカラーフィルタ製造方法が提供される。
ここで、溶媒蒸気で充填されたチャンバ内に乾燥されたインク層を配置することによって、乾燥されたインク層の表面に溶媒蒸気を浸透させるようにしてもよい。
また、溶媒は、乾燥されたインク層に対して溶解性のある物質からなるものであってもよい。また、ブラックマトリックスに対して親和性のある物質からなるものであ
また、溶媒の表面張力は、0.01N/m〜0.08N/mであってもよい。
また、溶媒は、DPMA、PGMEA、酢酸エチル、及びアセトンからなる群から選択される少なくとも一つからなるものであってもよい。
また、上記基板は、透明基板であってもよい。
また、ブラックマトリックスを形成する段階は、基板の上面に所定の厚さの遮光層を形成する段階と、遮光層をパターニングして基板上にピクセルを形成する段階と、を含んでもよい。
また、液状のインク層は、インクジェットプリンティング方式によってピクセルの内部に形成されるようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、ピクセル内に充填されたインク層の厚さを均一にしてカラーフィルタの色特性を向上させることができる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
まず、本発明の一実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法について説明する。
図2A〜図2Fは、本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
まず、図2Aに示すように、基板110上にブラックマトリックス120を形成する。基板110は、透明な基板であって、ガラス基板またはプラスチック基板であってもよい。ブラックマトリックス120は、基板110上に遮光層を形成した後、これをフォトリソグラフィ工程によってパターニングすることで形成することができる。具体的には、基板110上に液状の遮光物質をスピンコーティング、ダイコーティング、ディップコーティングのような方法で塗布した後、これをソフトベーキングして遮光層を形成する。次いで、遮光層を露光現像してパターニングした後、パターニングされた遮光層をハードベーキングすると、ブラックマトリックス120が完成する。ここで、ブラックマトリックス120は、例えば、高さが約1.5μmであり、幅は、約30μmであってもよい。このようにして完成されたブラックマトリックス120によって、基板110上には複数のピクセル150が形成される。
次いで、図2Bに示すように、ピクセル150の内部に液状インク層130を形成する。液状インク層130は、インクジェットプリンティング方式によって形成されることが望ましい。この場合、液状インク層130は、インクジェットヘッド(図示せず)のノズルから所定色相のインク液滴をピクセル150の内部に吐出させることによって形成されることができる。
次いで、図2Cに示すように、ピクセル150の内部に充填された液状インク層130を乾燥させる。この過程で、ピクセル150の内部では乾燥速度などが変わることによって物質流動が発生し、その結果、ピクセル150の内部には、図2Cに示すように、不均一な厚さを有する乾燥されたインク層131が形成される。また、ピクセル150の位置によって乾燥条件も異なるため、ピクセル150内に形成される乾燥されたインク層131の形状も互いに異なる。
次いで、図2Dに示すように、上述したのような不均一な厚さを有する乾燥されたインク層131が形成された基板110を溶媒蒸気170で充填されたチャンバ160内に入れる。本実施形態において、溶媒蒸気170として用いられる溶媒は、乾燥されたインク層131に対して溶解性のある物質からなることが望ましい。例えば、溶媒は、DPMA(Di Propylene glycol Methyl ether Acetate)、PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)、酢酸エチル、及びアセトンからなる群から選択された少なくとも一つからなりうる。一方、本発明にかかるカラーフィルタ製造方法において用いられる溶媒は、上述した物質以外の他の物質からなるものであってもよい。
上述のように、溶媒蒸気170で充填されたチャンバ160内に乾燥されたインク層131が形成された基板110を入れると、溶媒蒸気170は、乾燥されたインク層131の表面に浸透してインク層131の表面を溶解させる。これにより、乾燥されたインク層131の表面は、流動性を有するようになる。次いで、流動性を有する乾燥されたインク層132の表面は、表面エネルギーと重力とによって安定した形態に再形成される。これにより、図2Eに示すように、表面に流動性を有するインク層132が、ピクセル150の内部に均一な形状をなして形成される。この過程で形成されるインク層132の形状は、用いられる溶媒の表面張力によって異なる。本実施形態においては、約0.01N/m〜0.08N/m程度の表面張力を有する溶媒が用いられてもよい。さらに、上記溶媒は、ブラックマトリックス120に対して親和性のある物質、すなわち、ブラックマトリックス120に対して接触角の小さな物質からなることが望ましい。一方、チャンバ160内に充填される溶媒蒸気170の圧力、処理時間などは、インク層132を均一な形状に形成するために最適化されることができる。
最後に、流動性の表面を有する均一な形状のインク層132を乾燥させる。この過程では、吸収される溶媒の量がごく少なく、非常に短時間に乾燥が行われるので、物質流動による厚さ変化はほとんど発生しない。したがって、ピクセル150の内部には、図2Fに示すように、均一な厚さを有するインク層133が形成される。
図3は、従来のカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタを示す写真であり、図4は、本発明にかかるカラーフィルタ製造方法によって製造されたカラーフィルタを示す写真である。図3及び図4に示すように、従来のカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタでは、ピクセルの内部にインク層が不均一な厚さに形成されているが、本発明にかかるカラーフィルタ製造方法によって製造されたカラーフィルタでは、ピクセルの内部にインク層が比較的均一な厚さに形成されていることが分かる。
以上説明したように、本発明にかかるカラーフィルタ製造方法によれば、乾燥されたインク層の表面に溶媒蒸気を浸透させて溶解させた後、これをさらに乾燥させることによって、カラーフィルタのピクセルの内部に均一な厚さを有するインク層を形成することができる。これにより、従来の問題点である光漏れ現象や染み現象が減少し、その結果、カラーフィルタの色特性が向上する。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば、上記実施形態では、LCD分野に主に使われるカラーフィルタの製造方法について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、有機EL(OLED:Organic Light Emitting Diode)の製造時にインクジェット方式を利用して有機発光層を形成する場合や、有機薄膜トランジスタ(OTFT:Organic Thin Film Transistor)の製造時にインクジェット方式を利用して有機半導体物質を形成する場合にも同様に適用可能である。
本発明は、LCD関連の技術分野に好適に用いられる。
従来のカラーフィルタの製造方法を説明するための図面である。 従来のカラーフィルタの製造方法を説明するための図面である。 本発明の一実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 同実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 同実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 同実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 同実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 同実施形態にかかるカラーフィルタ製造方法を説明するための断面図である。 従来のカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタを示す写真である。 本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタを示す写真である。
符号の説明
110 基板
120 ブラックマトリックス
130、131、132、133 インク層
150 ピクセル
160 チャンバ
170 溶媒蒸気

Claims (8)

  1. 基板上に複数のピクセルを形成するブラックマトリックスを形成する段階と、
    前記ピクセルの内部に液状のインク層を形成した後、前記液状のインク層を乾燥させる段階と、
    前記乾燥されたインク層の表面が流動性を有するように、前記乾燥されたインク層の表面に溶媒蒸気を浸透させる段階と、
    流動性を有する前記インク層の表面を乾燥させる段階と、
    を含み、
    前記溶媒は、前記ブラックマトリックスに対して親和性のある物質からなることを特徴とする、カラーフィルタ製造方法。
  2. 前記溶媒蒸気で充填されたチャンバ内に前記乾燥されたインク層を配置することによって、前記乾燥されたインク層の表面に前記溶媒蒸気を浸透させることを特徴とする、請求項1に記載のカラーフィルタ製造方法。
  3. 前記溶媒は、前記乾燥されたインク層に対して溶解性のある物質からなることを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
  4. 前記溶媒の表面張力は、0.01N/m〜0.08N/mであることを特徴とする、請求項1〜のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
  5. 前記溶媒は、DPMA、PGMEA、酢酸エチル、及びアセトンからなる群から選択される少なくとも一つからなることを特徴とする、請求項1〜のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
  6. 前記基板は、透明基板であることを特徴とする、請求項1〜のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
  7. 前記ブラックマトリックスを形成する段階は、
    前記基板の上面に所定の厚さの遮光層を形成する段階と、
    前記遮光層をパターニングして前記基板上に前記ピクセルを形成する段階と、
    を含むことを特徴とする、請求項1〜のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
  8. 前記液状のインク層は、インクジェットプリンティング方式によって前記ピクセルの内部に形成されることを特徴とする、請求項1〜のいずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
JP2007007320A 2006-02-04 2007-01-16 カラーフィルタ製造方法 Active JP5037145B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060010921A KR100738103B1 (ko) 2006-02-04 2006-02-04 컬러 필터의 제조방법
KR10-2006-0010921 2006-02-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007206686A JP2007206686A (ja) 2007-08-16
JP5037145B2 true JP5037145B2 (ja) 2012-09-26

Family

ID=37888321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007007320A Active JP5037145B2 (ja) 2006-02-04 2007-01-16 カラーフィルタ製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7704649B2 (ja)
EP (1) EP1816494B1 (ja)
JP (1) JP5037145B2 (ja)
KR (1) KR100738103B1 (ja)
DE (1) DE602006002362D1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200907424A (en) * 2007-08-10 2009-02-16 Au Optronics Corp Manufacturing method of filter and color filter
JP2009139568A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Tokyo Electron Ltd 塗布装置
JP5186518B2 (ja) * 2010-02-26 2013-04-17 東京エレクトロン株式会社 塗布方法およびパターン形成方法
KR20120070254A (ko) 2010-12-21 2012-06-29 삼성전자주식회사 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 구비하는 표시 패널
JP5974244B2 (ja) * 2012-02-22 2016-08-23 株式会社Joled 有機膜の製造方法
CN107077802B (zh) * 2014-04-04 2019-11-08 康宁股份有限公司 用于改善粘附的玻璃表面处理
KR102326371B1 (ko) * 2020-04-08 2021-11-15 이봉우 잉크젯을 이용한 패턴 형성 장치 및 방법

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5448238A (en) 1977-09-22 1979-04-16 Ricoh Co Ltd Ink jet head
JPS6052347A (ja) 1983-08-31 1985-03-25 Nec Corp インクジェット記録用インク乾燥防止装置
JPS62231786A (ja) * 1985-11-20 1987-10-12 Toppan Printing Co Ltd 着色被膜形成方法
JPH03116003A (ja) * 1989-09-29 1991-05-17 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター製造方法
JPH0545509A (ja) * 1991-08-08 1993-02-23 Fujitsu Ltd カラーフイルタ及びその製造方法
JPH06347634A (ja) 1993-04-15 1994-12-22 Toshiba Corp カラーフィルタの製造装置および製造方法
JPH07102176A (ja) * 1993-09-30 1995-04-18 Sekisui Chem Co Ltd カラーフィルタの製造方法
US6147347A (en) * 1994-03-15 2000-11-14 Hitachi, Ltd. Ion source and mass spectrometer instrument using the same
JP3133949B2 (ja) * 1995-08-25 2001-02-13 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JP3747127B2 (ja) 1997-07-28 2006-02-22 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた情報処理装置の製造方法
JP3919356B2 (ja) * 1998-09-09 2007-05-23 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの製造装置、および液晶素子の製造方法
US6630274B1 (en) * 1998-12-21 2003-10-07 Seiko Epson Corporation Color filter and manufacturing method therefor
CN1321254A (zh) 1999-07-28 2001-11-07 松下电器产业株式会社 滤色片的制造方法、滤色片和液晶器件
JP4290905B2 (ja) * 2001-07-10 2009-07-08 Nec液晶テクノロジー株式会社 有機膜の平坦化方法
TW523611B (en) * 2001-12-11 2003-03-11 Ind Tech Res Inst Ink spraying process and apparatus of color filter
JP2004031070A (ja) * 2002-06-25 2004-01-29 Toshiba Corp 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置
JP4440523B2 (ja) * 2002-09-19 2010-03-24 大日本印刷株式会社 インクジェット法による有機el表示装置及びカラーフィルターの製造方法、製造装置
JP3949045B2 (ja) * 2002-10-23 2007-07-25 株式会社リコー 機能性素子シートおよびその製造方法
TW583453B (en) * 2003-01-06 2004-04-11 Toppoly Optoelectronics Corp Method of manufacturing black matrix
JP2005118752A (ja) * 2003-10-20 2005-05-12 Seiko Epson Corp 薄膜形成方法及び液滴吐出装置
JP2005227684A (ja) 2004-02-16 2005-08-25 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ製造装置、電気光学装置、並びに電子機器
US20050276910A1 (en) * 2004-06-09 2005-12-15 Osram Opto Semiconductors Gmbh Post processing of films to improve film quality
JP2006007079A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Hitachi Displays Ltd 薄膜形成方法及びそれを用いた表示装置の製造方法
JP2006017980A (ja) * 2004-07-01 2006-01-19 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
US8334012B2 (en) * 2004-12-20 2012-12-18 Palo Alto Research Center Incorporated Method for preprinting and/or reliquifying subpixels to achieve color uniformity in color filters
JP2006350295A (ja) * 2005-05-20 2006-12-28 Sharp Corp 薄膜の部分的形成方法および薄膜の部分的欠陥修復方法ならびに薄膜の欠陥修復装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR100738103B1 (ko) 2007-07-12
JP2007206686A (ja) 2007-08-16
US7704649B2 (en) 2010-04-27
EP1816494A1 (en) 2007-08-08
EP1816494B1 (en) 2008-08-20
DE602006002362D1 (de) 2008-10-02
US20070184362A1 (en) 2007-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6564478B2 (ja) 高解像度有機発光ダイオードデバイス
JP5037145B2 (ja) カラーフィルタ製造方法
TWI613933B (zh) 噴墨印頭以及使用此噴墨印頭製造有機發光顯示器之設備及方法
JP4413535B2 (ja) インクジェット法による有機el表示装置及びカラーフィルターの製造方法、製造装置
US20060132666A1 (en) Substrate for display device and manufacturing method thereof
US20200044169A1 (en) Substrate and method of manufacturing the same, display panel and display device
JP2004358299A (ja) 薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器
CN101013220A (zh) 滤色片黑矩阵的制造方法
JP2004253179A (ja) 機能性素子の製造方法およびその製造装置
KR101296651B1 (ko) 유기전계발광 소자의 제조방법
KR100738106B1 (ko) 컬러 필터의 제조장치
CN112599711B (zh) Oled器件的制备方法及oled器件
JP2004362818A (ja) 薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器
JP2007095630A (ja) インキ吐出印刷物
CN110610976B (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置
US20080266350A1 (en) Apparatus to print printing patterns using inkjet technique and method thereof
US20080166641A1 (en) Method of manufacturing color filter
CN111276635B (zh) 有机发光显示面板及其制作方法、显示装置
JP2004358298A (ja) 薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器
KR20090005630A (ko) 컬러 필터용 기판 구조체 및 이를 구비하는 컬러 필터
KR20070080986A (ko) 컬러 필터의 제조방법
CN114695818A (zh) 一种薄膜、电致发光器件及其制备方法
JP2013214396A (ja) 機能膜の形成方法、有機elパネルの製造方法、表示装置
KR20060025635A (ko) 박막 형성 장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091124

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20091124

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110719

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111019

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120626

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120704

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5037145

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

S631 Written request for registration of reclamation of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313631

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

S631 Written request for registration of reclamation of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313631

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250