JP6189161B2 - 乾燥装置、乾燥処理方法、基板ホルダ及び溶媒吸着シート - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る枚葉式の乾燥装置の概略構成を示す断面図である。本実施の形態の乾燥装置100は、被処理体として、例えば有機ELディスプレイ用のガラス基板(以下、単に「基板」と記す)Sに対して、その表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥処理に用いられる。
処理容器1は、真空引き可能な耐圧容器である。処理容器1は、金属材料によって形成されている。処理容器1を形成する材料としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス等が用いられる。処理容器1は、底壁11、角筒状の4つの側壁13及び天井部15を備えている。
処理容器1の内部には、基板Sを支持する基板支持部としての載置台3が配備されている。載置台3は、底壁11に支柱3aを介して固定されている。載置台3は、図示を省略するが、基板Sを昇降変位させるための機構、例えばリフトピンなどを有しており、基板Sを受け渡す受け渡し位置と、載置台3上に載置して乾燥処理を行う処理位置との間で基板Sの高さ位置を調整することができる。
本実施の形態の乾燥装置100において、シート支持部5は、処理容器1内で有機材料膜から揮発した溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シート200を支持する。シート支持部5は、載置台3及びそこに支持された基板Sに対して、溶媒吸着シート200を離間させた状態で配置する。本実施の形態において、シート支持部5は、未使用の溶媒吸着シート200を巻回した状態で保持する第1のロール保持部51Aと、処理容器1内の雰囲気に曝した溶媒吸着シート200を巻取って保持する第2のロール保持部51Bと、を備えている。
ここで、図2を参照しながら、溶媒吸着シート200の構成例について説明する。図2は、溶媒吸着シート200の好ましい態様における断面構造を示している。溶媒吸着シート200は、可撓性を有しており、フィルム状のベース樹脂層201と、このベース樹脂層201の上に形成された溶媒吸収層202とを備えている。溶媒吸着シート200は、乾燥装置100の処理容器1内で載置台3及び基板Sに対して離間した状態で配置され、基板Sの表面に塗布された有機材料膜から揮発した溶媒を吸着する。溶媒吸着シート200を用いて処理容器1内の溶媒を吸着することによって、雰囲気中の溶媒濃度を低下させ、有機材料膜からの溶媒の揮発を促すとともに、処理容器1の内壁への溶媒の付着量を低減できる。
本実施の形態の乾燥装置100は、さらに排気装置19を備えている。なお、排気装置19は、乾燥装置100の一構成部分でもよいし、乾燥装置100とは別の外部の装置でもよい。排気装置19は、例えば、ターボ分子ポンプやドライポンプ等の真空ポンプを有している。乾燥装置100は、更に、排気口11aと排気装置19とを接続する排気管17と、排気管17の途中に設けられたAPC(Adaptive Pressure Control)バルブ23と、を備えている。排気装置19の真空ポンプを作動させるとともに、APCバルブ23の開度を調節することにより、処理容器1の内部空間を所定の真空度に減圧排気することができる。なお、APCバルブ23は、1つのマスタバルブと複数のスレーブバルブにより構成され、各スレーブバルブは、マスタバルブに連動して作動する。
本実施の形態の乾燥装置100は、処理容器1内へガスを供給するガス供給装置27を備えている。なお、ガス供給装置27は、乾燥装置100の一構成部分でもよいし、乾燥装置100とは別の外部の装置でもよい。処理容器1の天井部15には、ガス導入部15aが設けられている。ガス導入部15aには、ガス供給装置27が接続されている。ガス導入部15aは天井部15以外の位置、例えば側壁13などに設けてもよい。ガス供給装置27は、ガス導入部15aへガスを供給するガス供給源29と、ガス供給源29とガス導入部15aとを接続し、ガス導入部15aへガスを供給する一本又は複数本の配管31(1本のみ図示)を備えている。ガス導入部15aには、図示しないノズルやシャワーヘッドが設けられていてもよい。また、ガス供給装置27は、配管31の途中に、ガス流量を制御するマスフローコントローラ(MFC)33と、複数の開閉バルブ35(2つのみ図示)を備えている。ガス導入部15aから処理容器1内に導入されるガスの流量等は、マスフローコントローラ33および開閉バルブ35によって制御される。ガス供給源29から供給するガスとしては、例えば、酸素ガス、オゾンガスなどの酸化性ガス、アルゴンガスなどのプラズマ形成用の不活性ガス、窒素ガス、ドライエアなどの置換用ガスを用いることが好ましい。
図1に示したように、乾燥装置100の各構成部は、制御部6に接続されて制御される構成となっている。制御部6は、CPUを備えたコントローラ61と、ユーザーインターフェース62と記憶部63とを備えている。コントローラ61は、コンピュータ機能を有しており、乾燥装置100において、各構成部を統括して制御する。ユーザーインターフェース62は、工程管理者が乾燥装置100を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、乾燥装置100の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等から構成される。記憶部63には、乾燥装置100で実行される各種処理をコントローラ61の制御にて実現するための制御プログラム(ソフトウエア)や処理条件データ等が記録されたレシピが保存されている。ユーザーインターフェース62および記憶部63は、コントローラ61に接続されている。
図4は、第1の変形例の乾燥装置100の要部を示す図面である。図5は、本変形例において、処理容器1内部を天井部15側から見た状態を示している。
図6は、第2の変形例の乾燥装置100の要部を示す図面である。図7は、本変形例において、処理容器1内部を天井部15側から見た状態を示している。本変形例の乾燥装置100では、溶媒吸着シート200と基板Sとの間に、溶媒吸着シート200への溶媒の吸着量を調節する吸着量調節板としてのプレート73を備えている。プレート73は、第1のロール保持部51Aの支柱53A及び第2のロール保持部51Bの支柱53Bから、それぞれ斜め下方に向けて設置されたアーム57A及び57Bによって支持されている。また、プレート73は、載置台3に載置された基板Sの上面に対して略平行に、かつ離間した状態で配置されている。本変形例において、プレート73は、例えば基板Sの中央部分に対応する位置に貫通した開口73aを有している。プレート73の開口73aによって、溶媒吸着シート200と基板Sが直接向き合う基板Sの中央部分では、有機材料膜から揮散した溶媒を効率良く溶媒吸着シート200に吸着させることができる。一方、基板Sのエッジ部では、溶媒吸着シート200と基板Sとの間に介在するプレート73が邪魔板の役割を果たし、溶媒吸着シート200への溶媒の吸着が抑制される。その結果、基板Sの中央部分の有機材料膜からの溶媒の揮発をエッジ部に比べて促し、基板Sの面内で均一な乾燥を実現できる。
図8は、第3の変形例の乾燥装置100の要部を示す図面である。図9は、本変形例において、処理容器1内部を天井部15側から見た状態を示している。本変形例の乾燥装置100では、シート支持部5に支持された溶媒吸着シート200に向けて気化した溶媒を噴霧する溶媒噴霧部75を備えている。溶媒噴霧部75は、溶媒を噴霧するノズル部77と、溶媒貯留部79と、ノズル部77から溶媒貯留部79までを接続する配管81とを備えている。なお、配管81には、図示しないバルブや気化器などを備えていてもよい。
以上のように構成された乾燥装置100を用いる乾燥処理の手順について説明する。まず、前段階として、外部のインクジェット印刷装置(図示省略)で基板S上に有機材料膜を所定のパターンで印刷する。次に、ゲートバルブGVを開放し、有機材料膜が印刷された基板Sを外部の搬送装置(図示省略)によって乾燥装置100の載置台3へ受け渡す。
有機EL素子の製造は、陽極と陰極との間に、EL層として、複数の有機機能膜を形成する。本実施の形態の乾燥装置100は、どのような積層構造の有機EL素子の製造にも適用できる。ここでは、EL層として、陽極側から陰極側へ向けて、正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層を有する有機EL素子を製造する場合を例に挙げて、乾燥装置100による具体的な処理を説明する。
次に、図11から図13を参照しながら、本発明の第2の実施の形態の乾燥装置について説明する。図11は、第2の実施の形態に係る乾燥装置101の概略構成を示す断面図である。第1の実施の形態の乾燥装置100との主な相違点として、本実施の形態の乾燥装置101では、基板Sを搬送可能に保持する基板ホルダ90を使用するとともに、この基板ホルダ90に可撓性の溶媒吸着シート200を装着できるように構成している。以下、第1の実施の形態の乾燥装置100との相違点を中心に説明し、本実施の形態の乾燥装置101において、第1の実施の形態と同じ構成には同一の符号を付して説明を省略する。
以上のように構成された乾燥装置101を用いる乾燥処理の手順について説明する。まず、前段階として、外部のインクジェット印刷装置(図示省略)で基板S上に有機材料膜を所定のパターンで印刷する。次に、基板ホルダ90の基板保持部材91によって有機材料膜が印刷された基板Sを保持した後、短冊状の溶媒吸着シート200をシート支持部材93に装着する。このように基板Sを保持し、かつ、溶媒吸着シート200を装着した基板ホルダ90を多段に重ねる。そして、ゲートバルブGVを開放し、多段に重ねた基板ホルダ90を外部の搬送装置(図示省略)によって乾燥装置101の載置台3Aへ受け渡す。
次に、図14を参照しながら、本発明の第3の実施の形態の乾燥装置について説明する。図14は、第3の実施の形態に係る乾燥装置102の概略構成を示す断面図である。第1の実施の形態の乾燥装置100との主な相違点として、本実施の形態の乾燥装置102では、基板Sを水平方向に載置する載置台3に代えて、基板Sを鉛直方向に支持する基板支持部3Bを有するとともに、基板支持部3Bによって支持された縦置きの基板Sに対して平行に溶媒吸着シート200を装着できるように、シート支持部5を配置している。以下、第1の実施の形態の乾燥装置100との相違点を中心に説明し、本実施の形態の乾燥装置102において、第1の実施の形態と同じ構成には同一の符号を付して説明を省略する。
処理容器1は、真空引き可能な耐圧容器である。処理容器1は、金属材料によって形成されている。処理容器1を形成する材料としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス等が用いられる。処理容器1は、底壁11、角筒状の4つの側壁13及び天井部15を備えている。
処理容器1の内部には、基板Sを支持する基板支持部3Bが配備されている。基板支持部3Bは、側壁13に支柱3aを介して固定されている。基板支持部3Bは、基板Sを鉛直方向に縦置きの状態で保持するためのクランプ4を備えている。クランプ4によって、基板Sを基板支持部3Bに安定して保持できる。
本実施の形態の乾燥装置102において、シート支持部5は、処理容器1内で有機材料膜から揮発した溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シート200を支持する。本実施の形態において、シート支持部5は、未使用の溶媒吸着シート200を巻回した第1のロール保持部51Aと、処理容器1内の雰囲気に曝した溶媒吸着シート200を巻取る第2のロール保持部51Bと、を備えている。第1のロール保持部51A及び第2のロール保持部51Bは、基板支持部3Bによって支持された縦置きの基板Sに対して平行に溶媒吸着シート200を装着できるように、側壁13に固定されている。
次に、溶媒吸着シート200による効果を確認した試験結果について説明する。シート支持部5を有しない点以外は、図1の乾燥装置100と同様の構成の乾燥装置において、処理容器1内に短冊状の溶媒吸着シート200を2枚横に並べて配備し、基板S上の有機材料膜の乾燥処理を行った。2枚の溶媒吸着シート200の合計面積は、基板Sの面積よりも大きくなるようにした。
Claims (11)
- 基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥装置であって、
真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で前記基板を支持する基板支持部と、
前記処理容器内で前記有機材料膜から揮発した前記溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シートを、前記基板支持部に対して離間させた状態で配置するシート支持部と、
を備え、
前記シート支持部は、相対的に、前記基板の中央部分との距離が小さく、前記基板のエッジ部分との距離が大きくなるように、前記溶媒吸着シートを撓ませた状態で支持するものであることを特徴とする乾燥装置。 - 前記溶媒吸着シートは、樹脂フィルムと、該樹脂フィルムの上に形成された溶媒吸収層と、を備えており、
前記シート支持部は、前記溶媒吸収層が前記基板の前記有機材料膜に向き合うように支持する請求項1に記載の乾燥装置。 - さらに、前記シート支持部に支持された前記溶媒吸着シートと前記基板との間に、前記溶媒吸着シートへの前記溶媒の吸着量を調節する吸着量調節板を備えている請求項1又は2に記載の乾燥装置。
- さらに、前記シート支持部に支持された前記溶媒吸着シートを前記基板側へ向けて押圧する押圧部材を備えている請求項1又は2に記載の乾燥装置。
- 基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥装置であって、
真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で前記基板を支持する基板支持部と、
前記処理容器内で前記有機材料膜から揮発した前記溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シートを、前記基板支持部に対して離間させた状態で配置するシート支持部と、
を備え、
さらに、前記シート支持部に支持された前記溶媒吸着シートと前記基板との間に、前記溶媒吸着シートへの前記溶媒の吸着量を調節する吸着量調節板を備えている乾燥装置。 - さらに、前記シート支持部に支持された前記溶媒吸着シートに向けて、前記溶媒と同種もしくは異種の溶媒を噴霧する溶媒噴霧部を備えている請求項1又は2に記載の乾燥装置。
- 基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥装置であって、
真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で前記基板を支持する基板支持部と、
前記処理容器内で前記有機材料膜から揮発した前記溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シートを、前記基板支持部に対して離間させた状態で配置するシート支持部と、
を備え、
前記基板支持部は、前記基板を鉛直方向に支持するものである乾燥装置。 - 前記溶媒吸着シートは長尺に形成されており、
前記シート支持部は、
前記溶媒吸着シートを巻回した状態で保持する第1のロール保持部と、前記処理容器内の雰囲気に曝した前記溶媒吸着シートを巻取って保持する第2のロール保持部と、を備えている請求項1から7のいずれか1項に記載の乾燥装置。 - 基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥装置であって、
真空引き可能な処理容器と、
前記処理容器内で、基板ホルダを支持するホルダ支持部と、
を備えており、
前記基板ホルダは、前記有機材料膜中の溶媒を除去して乾燥させる乾燥処理に用いる基板ホルダであって、前記基板を保持する基板保持部材と、前記有機材料膜から揮発した前記溶媒を吸着する可撓性の溶媒吸着シートを前記基板保持部材に保持された前記基板の前記有機材料膜に対して離間させ、かつ、少なくとも部分的に対向させた状態で支持するシート支持部材と、を備え、前記基板を保持した状態で、前記処理容器内へ搬入され、又は、前記処理容器外へ搬出されるものであり、
前記ホルダ支持部は、複数の前記基板ホルダを多段に重ねた状態で支持する乾燥装置。 - 基板の表面に塗布された有機材料膜中の溶媒を減圧下で除去して乾燥させる乾燥処理方法であって、
請求項1から9のいずれか1項に記載された乾燥装置を用い、可撓性の溶媒吸着シートを、前記基板に対して離間させ、かつ、少なくとも部分的に対向させた状態で配置し、前記有機材料膜から揮発した前記溶媒を吸着させることを特徴とする乾燥処理方法。 - 前記有機材料膜が、有機EL素子の製造においてインクジェット印刷法によって前記基板上に塗布されたものである請求項10に記載の乾燥処理方法。
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