KR102245081B1 - 감압 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 상의 용매의 감압 건조 처리와 용매 포집부로부터 용매의 이탈 처리를 동시에 신속하게 수행할 수 있는 감압 건조 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판이 올려지고, 승강 가능하게 설치진 트레이; 상기 트레이가 수용될 수 있는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 트레이에 올려진 기판과 대향되게 설치되는 용매 포집부; 및 상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버 내부의 기체를 배기하는 배기부;를 포함하고, 상기 용매 포집부는, 상기 트레이 상측에 이격되게 배치되고, 상기 기판의 용매를 흡착시키는 폐루프 타입의 저온 흡착 벨트와, 상기 저온 흡착 벨트의 내부 양측에 접촉되고, 상기 저온 흡착 벨트를 회전시키는 한 쌍의 롤러를 포함하는 감압 건조 장치를 제공한다.

Description

감압 건조 장치 {Reduced-pressure drying apparatus}
본 발명은 기판 상의 용매의 감압 건조 처리와 용매 포집부로부터 용매의 이탈 처리를 동시에 신속하게 수행할 수 있는 감압 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode : OLED)를 이용한 디스플레이는 박형 경량이고 저소비 전력이며 응답속도 및 시야각이 우수하다.
OLED 는 기판 상의 양극과 음극의 사이에 유기 EL(Electroluminescence)층을 둔 구조를 가지고 있다. 유기 EL층은 양극측으로부터 순서대로 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층이 적층되도록 형성된다. 이들 유리 EL층의 각 층(정공 주입층, 정공 수송층 및 발광층)을 형성하기 위해서는, 잉크젯 방식으로 유기 재료의 액적을 기판 상에 토출하는 방법이 이용된다.
잉크젯 방식으로 기판 상에 토출된 유기 재료 중에는 다량의 용매가 포함되어 있다. 따라서, 기판 상의 용매를 제거하기 위해 챔버 내부를 저진공으로 구성함으로서, 기화점을 낮춰 상온에서 기판 상의 용매를 기화시킬 수 있다.
하지만, 면적이 넓은 기판의 경우, 챔버 내부를 고진공으로 구성하더라도 기판의 중심부에서 유동이 잘 이뤄지지 않고, 기화된 용매가 빠져나가지 못하여 기판 위에 머물러 있으므로, 용매의 농도 차에 의한 추가적인 기화가 발생하지 못한다.
따라서, 기판의 중심부와 에지부에서 용매 건조 시간 차이가 발생되고, 이로 인하여 기판에 얼룩이 남게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 기판의 상측에 중심부와 에지부의 온도 편차가 있는 용매 포집부를 구성하고, 기판의 중심부에서 기화된 용매를 용매 포집부가 포집하도록 구성함으로서, 기판의 중심부와 에지부에서 용매를 균일하게 건조시키는 감압 건조 처리가 많이 적용되고 있다.
일본등록특허 제6328434호(2014.01.30.출원)에 개시된 건조 장치는 진공 흡인 가능한 처리 용기와, 처리 용기 내에서 기판을 지지하는 탑재대와, 탑재대에 지지되는 기판에 대항하여 마련되고, 기판 상의 유기 재료막으로부터 휘발하는 용매를 포집하는 용매 포집부를 구비한다. 상기의 용매 포집부는 기판의 표면과 거의 평행하게 배치된 금속제의 포집 플레이트를 갖고, 해당 포집 플레이트에 관통 개구가 형성된다.
그러나, 상기의 감압 건조 장치는 기판의 용매를 기화시킨 다음, 포집 플레이트에 포집된 용매를 건조시키는 과정이 순차적으로 진행되기 때문에 공정 시간이 길어지는 문제점이 있다.
일본공개특허 제2018-59697호(2016.09.30.우선일)에 개시된 감압 건조 장치는 기판 상의 용매의 감압 건조 처리와 용매 포집부로부터 용매의 이탈 처리를 동시에 진행한다.
챔버 내에 수납된 기판 상의 용액을 감압 상태에서 건조시키는 것으로, 그물 형상의 판인 용매 포집부가 기판으로부터 기화한 용액 중의 용매를 일시적으로 포함하는 용매 포집부를 구비하고, 용매 포집부는 챔버 내의 기판에 대향하도록 마련되며, 용매 포집부를 구성하는 그물 형상판은 개구율이 60 ~ 80% 이하이고, 단위 면적당의 열용량이 850J/Km2 이하로 구성된다.
상기와 같은 기술에 따르면, 하나의 챔버 내부에서 기판 측 용매의 감압 건조 처리가 완료된 후, 5분 이내에 용매 포집부의 복사열에 의해 용매 포집부로부터 용매의 이탈 처리가 이뤄질 수 있다.
그러나, 상기의 감압 건조 장치는 용매 포집부가 기판 측 용매를 포집한 후, 용매 포집부의 용매 이탈 처리가 이뤄지기 때문에 공정 시간을 단축시키는데 한계가 있고, 용매 포집부의 온도가 높아짐에 따라 용매 포집 성능이 떨어질 수 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 측의 용매 감압 건조 처리와 용매 포집부의 용매 이탈 처리가 동시에 수행될 수 있고, 용매 포집부의 용매 포집 성능을 향상시킬 수 있는 감압 건조 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 용매 포집부의 용매를 건조하기 위한 건조 유닛 또는 용매 포집부를 냉각하기 위한 쿨러를 챔버 내부에 간단하게 구성할 수 있는 감압 건조 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판이 올려지고, 승강 가능하게 설치진 트레이; 상기 트레이가 수용될 수 있는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 트레이에 올려진 기판과 대향되게 설치되는 용매 포집부; 및 상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버 내부의 기체를 배기하는 배기부;를 포함하고, 상기 용매 포집부는, 상기 트레이 상측에 이격되게 배치되고, 상기 기판의 용매를 흡착시키는 폐루프 타입의 저온 흡착 벨트와, 상기 저온 흡착 벨트의 내부 양측에 접촉되고, 상기 저온 흡착 벨트를 회전시키는 한 쌍의 롤러를 포함하는 감압 건조 장치를 제공한다.
상기 저온 흡착 벨트는, 1mm 이내의 다공성 금속 포집망으로 구성될 수 있다.
상기 롤러들은, 상기 트레이에 올려진 기판의 양측 단부 보다 외측에 위치되고, 상기 저온 흡착 벨트의 하부는, 상기 트레이에 올려진 기판보다 더 넓게 위치될 수 있다.
본 발명은, 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 용매 포집부에 포집된 용매를 건조시키는 건조 유닛;을 더 포함할 수 있다.
상기 건조 유닛은, 상기 저온 흡착 벨트의 하부를 상부로 안내하는 방향에 위치한 상기 롤러들 중 하나에 내장될 수 있다.
상기 건조 유닛은, 상기 저온 흡착 벨트를 가열하는 가열부를 포함할 수 있다.
상기 가열부는, 상기 롤러들 중 하나에 내장되는 전기 히터로 구성되거나, 상기 롤러들 중 하나에 내장되고, 온수가 순환되는 가열관으로 구성될 수 있다.
상기 건조 유닛은, 상기 저온 흡착 벨트에 고온의 기체를 공급하는 공급 노즐을 포함할 수 있다.
상기 공급 노즐은, 상기 롤러들 중 하나의 표면에 균일하게 형성되고, 고온의 질소 기체를 공급하는 복수개의 분사홀로 구성될 수 있다.
본 발명은, 상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 용매 포집부를 냉각시키는 쿨러;를 더 포함할 수 있다.
상기 쿨러는, 상기 저온 흡착 벨트의 상부를 하부로 안내하는 방향에 위치한 상기 롤러들 중 하나에 내장될 수 있다.
상기 쿨러는, 상기 롤러들 중 하나에 내장되고, 냉각수가 순환되는 냉각관일 수 있다.
본 발명에 따른 감압 건조 장치는, 기판의 용매가 저온 흡착 벨트의 하부에 포집되면, 롤러들이 저온 흡착 벨트의 상부와 하부가 바뀌도록 저온 흡착 벨트를 회전시키고, 새로운 기판의 용매가 저온 흡착 벨트의 하부에 포집되는 과정을 연속하여 진행할 수 있다.
따라서, 저온 흡착 벨트에 포집된 용매를 건조하기 위한 시간을 줄일 수 있으므로, 공정 시간을 단축할 수 있고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 저온 흡착 벨트가 롤러에 의해 회전하는 동안, 롤러에 내장된 건조 유닛이 저온 흡착 벨트의 묻은 용매를 신속하게 건조시키고, 롤러에 내장된 쿨러가 용매가 건조된 저온 흡착 벨트를 냉각시킨 다음, 용매가 제거된 깨끗한 저온 흡착 벨트를 저온 상태로 기판 위로 공급할 수 있다.
따라서, 기판의 용매가 기화될 때, 저온 흡착 벨트의 용매 포집 성능 및 용매 포집량을 향상시킬 수 있으므로, 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
한편, 용매 포집부에 포집된 용매를 건조하기 위한 건조 유닛 또는 용매 포집부를 냉각하기 위한 쿨러를 챔버 외측에 별도로 구성하지 않고, 챔버 내부에 간단하고 용이하게 구성할 수 있어, 비용을 절감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 감압 건조 장치의 일 실시예가 개략적으로 도시된 측단면도.
도 2는 도 1에 적용될 수 있는 저온 흡착 벨트의 일 실시예가 도시된 구성도.
도 3은 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제1실시예가 도시된 구성도.
도 4는 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제2실시예가 도시된 구성도.
도 5는 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제3실시예가 도시된 구성도.
도 6은 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제4실시예가 도시된 구성도.
도 7은 도 1에 적용될 수 있는 쿨러의 일 실시예가 도시된 구성도.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 감압 건조 장치의 일 실시예가 개략적으로 도시된 측단면도이고, 도 2는 도 1에 적용될 수 있는 저온 흡착 벨트의 일 실시예가 도시된 구성도이다.
본 발명의 감압 건조 장치는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 트레이(T)와, 챔버(110)와, 배기부(121,122)와, 용매 포집부(130)와, 건조 유닛(140)과, 쿨러(150)를 포함한다.
트레이(tray : T)는 기판(substrate : S)이 올려질 수 있는 평판 형상으로서, 잉크젯 방식으로 기판(S)에 도포된 용액 중에 다량의 용매가 포함될 수 있으며, 용매 중 하나인 솔벤트를 예를 들 수 있다.
챔버(110)는 기판(S)이 올려진 트레이(110)가 수용될 수 있는 소정의 밀폐 공간을 제공하는데, 하기에서 설명될 용매 포집부(130)가 기판(S) 측의 용매를 포집하고, 용매 포집부(130)에 포집된 용매를 건조시키는 공간을 제공한다.
그리고, 트레이(T)가 출입할 수 있도록 챔버(110) 일측에 출입구(111) 및 도어(미도시)가 구비되고, 트레이(T)가 이송 또는 지지될 수 있도록 챔버(110) 내부의 하측에 이송 롤러(112)가 구비될 수 있다.
배기부(121,122)는 챔버(110) 내부에 진공 압력을 제공함으로서, 기판의 용매를 기화시킬 수 있다.
실시예에 따르면, 배기부(121,122)가 챔버(110)의 하부 양측에 연통되게 구비된 한 쌍의 진공 펌프 형태로 구성될 수 있다.
용매 포집부(130)는 기판(S)에 잉크젯 방식으로 도포된 용액으로부터 기화한 용매를 포집함으로서, 기판(S)의 용매 농도를 균일하게 구성할 수 있다.
물론, 용매의 포집 성능을 높이기 위하여, 용매 포집부(130)는 챔버(120) 내측의 상부에 구비되고, 트레이(110)에 올려진 기판(S)과 마주하도록 설치될 수 있다.
상세하게, 용매 포집부(130)는 저온 흡착 벨트(131)와, 저온 흡착 벨트를 회전시키는 제1,2롤러(132,133)로 구성될 수 있다.
저온 흡착 벨트(131)는 열 전도성이 우수한 금속으로 제작된 1mm 이내의 다공성 금속 포집망으로 구성될 수 있고, 포집 효율을 높이기 위하여 메쉬의 크기를 조정할 수 있다.
그리고, 저온 흡착 벨트(131)는 폐루프 타입으로 구성됨으로서, 저온 흡착 벨트(131)의 상/하부(131a,131b)가 평행한 상태로 제1,2롤러(132,133)에 의해 회전될 수 있으며, 저온 흡착 벨트 하부(131b)가 트레이(T)에 올려진 기판(S)과 평행하게 위치될 수 있다.
제1,2롤러(132,133)는 저온 흡착 벨트(131)의 내부 양측을 지지하도록 설치되고, 별도의 구동 모터들(미도시)과 연결되어 각각 회전될 수 있다.
실시예에 따르면, 제1,2롤러(132,133)는 길이 방향으로 긴 축 형상으로 구성되는데, 하기에서 설명될 건조 유닛(140) 또는 쿨러(150)가 내장될 수 있도록 중공 형태로 구성될 수 있으나, 한정되지 아니한다.
물론, 제1,2롤러(132,133)는 각각의 구동 모터에 의해 같은 방향과 같은 속도로 회전되어야 한다.
바람직하게는, 저온 흡착 벨트(131)의 용매 포집 성능을 높이기 위하여, 저온 흡착 벨트(131)는 트레이(T)에 올려진 기판(S) 보다 더 넓게 위치되어야 하고, 제1,2롤러(132,133)은 트레이(T)에 올려진 기판(S)의 양측 단부 보다 더 외측에 위치되어야 한다.
따라서, 챔버(110) 내부에 진공 압력이 걸리면, 기판(S) 측의 용매가 기화되는 동시에 저온 흡착 벨트(131)의 하부에 포집될 수 있다.
기판(S) 측 용매가 감압 건조되면, 제1,2롤러(132,133)가 작동됨에 따라 용매가 포집된 저온 흡착 벨트 하부(131b)가 상측으로 이동되는 동시에 용매가 제거된 깨끗한 저온 흡착 벨트 상부(131a)가 하측으로 이동될 수 있고, 저온 흡착 벨트가 회전되는 동안, 저온 흡착 벨트(131)에 포집된 용매가 챔버(110) 내부의 감압 조건 하에서 기화되거나, 하기에서 설명될 건조 유닛(140)에 의해 별도로 건조될 수 있다.
이후, 새로운 기판(S)이 챔버(110) 내부에 투입되고, 챔버(110) 내부에 진공 압력이 걸리면, 연속하여 상기와 같이 기판(S) 측의 용매가 기화되는 동시에 저온 흡착 벨트(131)의 용매가 제거되는 과정을 반복할 수 있다.
건조 유닛(140)은 저온 흡착 벨트(131)에 포집된 용매를 건조시키기 위한 것으로서, 제1,2롤러(132,133) 중 하나에 내장될 수 있다.
바람직하게는, 저온 흡착 벨트의 하부(131b)를 상측으로 안내하는 방향에 위치되는 제1,2롤러(132,133) 중 하나에 내장될 수 있는데, 좌우측에 위치된 제1,2롤러(132,133)가 시계 방향으로 회전할 경우, 건조 유닛(140)은 좌측에 위치된 제1롤러(132)에 내장될 수 있다.
따라서, 저온 흡착 벨트의 하부(131b)에 용매가 포집된 다음, 저온 흡착 벨트의 하부(131b)가 상측으로 이동될 때, 전조 유닛(140)이 작동됨에 따라 저온 흡착 벨트(131) 측의 용매를 건조시킬 수 있다.
건조 유닛(140)은 저온 흡착 벨트(131)에 포집된 용매를 건조하기 위한 고온 조건을 제공할 수 있는 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 하기에서 자세히 살펴 보기로 한다.
쿨러(150)는 저온 흡착 벨트(131)를 냉각시키기 위한 것으로서, 제1,2롤러(132,133) 중 하나에 내장될 수 있다.
바람직하게는, 저온 흡착 벨트의 상부(131b)를 하측으로 안내하는 방향에 위치되는 제1,2롤러(132,133) 중 하나에 내장될 수 있는데, 좌우측에 위치된 제1,2롤러(132,133)가 시계 방향으로 회전할 경우, 쿨러(150)는 우측에 위치된 제2롤러(133)에 내장될 수 있다.
따라서, 저온 흡착 벨트의 상부(131a)에 용매가 제거된 다음, 저온 흡착 벨트의 상부(131a)가 하측으로 이동될 때, 쿨러(150)가 작동됨에 따라 저온 흡착 벨트(131) 측의 온도를 낮출 수 있고, 이후에 기화된 용매가 저온 흡착 벨트(131)에 더욱 많이 포집될 수 있도록 한다.
쿨러(150) 역시 저온 흡착 벨트(131)를 냉각하기 위한 저온 조건을 제공할 수 있는 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 하기에서 자세히 살펴 보기로 한다.
상기와 같이 구성된 감압 건조 장치의 동작을 살펴보면, 다음과 같다.
기판(S)이 올려진 트레이(T)가 챔버(110) 내부에 공급되면, 챔버(110) 내부가 밀폐된 상태에서 배기부(121,122)가 작동되고, 챔버(110) 내부가 저진공으로 구성되면, 기판(S) 측의 용매가 기화된 다음, 배기부(121,122)를 통하여 배출된다.
이때, 챔버(110) 내부에 기화된 용매는 저온 흡착 벨트의 하부(131b)에 포집되도록 하여 기판(S)의 용매를 균일하게 기화시킬 수 있다.
이후, 저온 흡착 벨트의 하부(131b)에 용매가 포집되면, 제1,2롤러(132,133)가 작동됨에 따라 저온 흡착 벨트(131)가 회전하게 되고, 저온 흡착 벨트의 상/하부(131a,131b)가 바뀌게 된다.
저온 흡착 벨트의 하부(131b)가 상측으로 이동되는 동안, 제1롤러(132)에 내장된 건조 유닛(140)이 동작하면, 저온 흡착 벨트(131)의 용매가 건조되고, 저온 흡착 벨트의 상부(131a)에서 용매가 제거될 수 있다.
용매가 제거된 저온 흡착 벨트의 상부(131a)가 하측으로 이동되는 동안, 제2롤러(133)에 내장된 쿨러(150)가 작동하면, 저온 흡착 벨트(131)가 냉각되고, 저온 흡착 벨트의 하부(131b)에서 용매 포집 성능을 향상시킬 수 있다.
상기와 같이, 저온 흡착 벨트(131)가 제1,2롤러(132,133)에 의해 회전되는 동안, 제1롤러(132)에 내장된 건조 유닛(140)이 저온 흡착 벨트(131)를 가열하여 저온 흡착 벨트(131)에 포집된 용매를 신속하게 제거한 다음, 제2롤러(133)에 내장된 쿨러(150)가 저온 흡착 벨트(131)를 냉각시켜서 기판(S) 측의 용매를 포집할 수 있도록 바로 제공할 수 있다.
따라서, 공정 시간을 대폭 감소시킬 수 있고, 용매 포집 성능을 향상시킬 수 있으며, 챔버(110) 외부에 별도의 구성 없이 챔버(110) 내부에 간단하게 구성할 수 있다.
도 3은 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제1실시예가 도시된 구성도이다.
건조 유닛의 제1실시예는 전기 히터(141)로 구성될 수 있으며, 전기 히터(141)는 제1롤러(132)의 축방향을 따라 관통된 중공부(132h)에 내장될 수 있다.
전기 히터(141)는 전원 공급선과 연결된 길이 방향으로 길 형상의 써스 히터(sus heater)로 구성될 수 있고, 제1롤러(132)의 회전과 전기 히터(141)의 작동이 서로 연동될 수 있다.
제1롤러(132)의 내주면과 전기 히터(141)의 외주면 사이에 베어링 부재(미도시)가 장착되면, 제1롤러(132)는 회전 가능하게 설치되지만, 전기 히터(141)는 전원 공급선이 연결됨에 따라 고정된 상태로 설치될 수 있다.
물론, 베어링 부재 없이 전기 히터(141)가 제1롤러의 중공부(132h)에 맞물리도록 설치되고, 전기 히터(141)의 전원 공급선도 회전 가능하게 구성하면, 제1롤러(132)와 전기 히터(141)가 같이 회전 가능하게 설치될 수 있다.
따라서, 용매가 포집된 저온 흡착 벨트의 하부(131b : 도 2에 도시)가 제1롤러(132)와 접촉하면서 상측으로 이동되는 동안, 전기 히터(141)가 작동되면, 고온의 전기 히터(141)가 제1롤러(132) 및 이와 접촉된 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)를 가열하고, 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)의 용매를 신속하게 건조시킬 수 있다.
도 4는 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제2실시예가 도시된 구성도이다.
건조 유닛의 제2실시예(142)는 가열관(142a)과, 가열관(142a)에 온수를 공급 및 회수하는 칠러(chiller : 142b)로 구성될 수 있으며, 가열관(142a)은 제1롤러(132)의 축방향을 따라 관통된 중공부(132h)에 내장될 수 있다.
가열관(142a)은 열전달 효율이 높은 금속 재질의 파이프 형태로 구성될 수 있고, 순환 유로에 의해 칠러(142b)와 연결될 수 있다.
제1롤러(132)의 내주면과 가열관(142a)의 외주면 사이에 베어링 부재(미도시)가 장착되면, 제1롤러(132)는 회전 가능하게 설치되지만, 가열관(142a)은 고정된 상태로 설치될 수 있다.
칠러(142b)는 챔버(110 : 도 1에 도시) 외부에 구비되는데, 설정 온도로 가열한 온수를 순환 유로를 통하여 가열관(142a)으로 공급 및 회수할 수 있으며, 제1롤러(132)의 회전과 칠러(142b)의 작동이 서로 연동될 수 있다.
따라서, 용매가 포집된 저온 흡착 벨트의 하부(131b : 도 2에 도시)가 제1롤러(132)와 접촉하면서 상측으로 이동되는 동안, 칠러(142b)가 작동되면, 가열관(142a)을 통과하는 고온의 온수가 제1롤러(132) 및 이와 접촉된 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)를 가열하고, 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)의 용매를 신속하게 건조시킬 수 있다.
도 5는 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제3실시예가 도시된 구성도이다.
건조 유닛의 제3실시예(143)는 가열관(143a)과, 가열관(143a)의 입구 측에 설치된 라인 히터(line heater : 143b)로 구성될 수 있으며, 가열관(143a)은 제1롤러(132)의 축방향을 따라 관통된 중공부(132h)에 내장될 수 있다.
가열관(143a)은 CDA 또는 공기를 순환시키는 순환 유로의 일부로 구성될 수 있는데, 열교환 효율이 높은 금속 재질의 파이프 형태로 구성될 수 있고, 별도로 순환 유로 및 가열관(143a)을 따라 기체를 순환시키기 위한 송풍 장치 또는 순환 장치가 구비될 수 있다.
물론, 제1롤러(132)는 회전 가능하게 설치되지만, 가열관(143a)은 제1롤러의 중공부(132h) 내측에 고정된 상태로 장착될 수 있다.
라인 히터(143b)는 가열관(143a)으로 공급되기 직전에 CDA 또는 공기를 가열할 수 있도록 가열관(143a)의 입구 측에 설치될 수 있고, 제1롤러(132)의 회전과 라인 히터(143b)의 작동이 서로 연동될 수 있다.
따라서, 용매가 포집된 저온 흡착 벨트의 하부(131b : 도 2에 도시)가 제1롤러(132)와 접촉하면서 상측으로 이동되는 동안, 라인 히터(143b)가 작동되면, 가열관(143a)을 통과하는 고온의 CDA 또는 공기가 제1롤러(132) 및 이와 접촉된 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)를 가열하고, 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)의 용매를 신속하게 건조시킬 수 있다.
도 6은 도 1에 적용될 수 있는 건조 유닛의 제4실시예가 도시된 구성도이다.
건조 유닛의 제4실시예(144)는 제1롤러(132)의 내측으로 질소 가스를 공급하는 공급관(144a)과, 제1롤러(132)의 내부와 연통되도록 제1롤러(132) 표면에 형성된 복수개의 분사홀(144b)과, 공급관(144a)의 입구 측에 설치된 라인 히터(line heater : 144c)로 구성될 수 있다.
제1롤러(132)는 원통 형상의 중공축 형상으로서, 제1롤러(132)의 일단은 막힌 형상이고, 제1롤러(132)의 타단은 공급관(144a)과 연통될 수 있다. 물론, 제1롤러(132)는 회전 가능하게 설치되지만, 공급관(144a)은 베어링 부재에 의해 제1롤러(132)의 타단에 고정된 상태로 장착될 수 있다.
공급관(144a)은 질소 가스를 공급하기 위하여 제1롤러(132)의 일측에 구비되는데, 별도로 공급관(144a)으로 질소 가스를 공급하기 위한 송풍 장치(미도시)가 구비될 수 있다.
공급홀들(144b)은 제1롤러(132) 전체에 걸쳐 균일하게 배열될 수 있다.
라인 히터(144c)는 제1롤러(132)로 공급되기 직전에 질소 가스를 가열할 수 있도록 공급관(144a)의 입구 측에 설치되고, 제1롤러(132)의 회전과 라인 히터(143b)의 작동이 서로 연동될 수 있다.
따라서, 용매가 포집된 저온 흡착 벨트의 하부(131b : 도 2에 도시)가 제1롤러(132)와 접촉하면서 상측으로 이동되는 동안, 라인 히터(144c)가 작동되면, 고온의 질소 가스가 공급관(144a)을 통하여 제1롤러(132) 내부에 공급될 뿐 아니라 제1롤러(132) 측 분사홀들(144b)을 통하여 분사되고, 고온의 질소 가스가 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)를 직접 가열할 뿐 아니라 주변에 기류를 발생시킴으로서, 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)의 용매를 더욱 신속하게 건조시킬 수 있다.
도 7은 도 1에 적용될 수 있는 쿨러의 일 실시예가 도시된 구성도이다.
쿨러의 일 실시예(151)는 냉각관(151a)과, 냉각관(151a)에 냉수를 공급 및 회수하는 칠러(chiller : 151b)로 구성될 수 있으며, 냉각관(151a)은 제2롤러(133)의 축방향을 따라 관통된 중공부(133h)에 내장될 수 있다.
냉각관(151a)은 열전달 효율이 높은 금속 재질의 파이프 형태로 구성될 수 있고, 순환 유로에 의해 칠러(151b)와 연결될 수 있다.
제2롤러(133)의 내주면과 냉각관(151a)의 외주면 사이에 베어링 부재(미도시)가 장착되면, 제2롤러(133)는 회전 가능하게 설치되지만, 냉각관(151a)은 고정된 상태로 설치될 수 있다.
칠러(151b)는 챔버(110 : 도 1에 도시) 외부에 구비되는데, 설정 온도로 냉각시킨 냉수를 순환 유로를 통하여 냉각관(151a)으로 공급 및 회수할 수 있으며, 제2롤러(133)의 회전과 칠러(151b)의 작동이 서로 연동될 수 있다.
따라서, 용매가 제거된 저온 흡착 벨트의 상부(131a : 도 2에 도시)가 제2롤러(133)와 접촉하면서 하측으로 이동되는 동안, 칠러(151b)가 작동되면, 냉각관(151a)을 통하여 저온의 냉수가 제2롤러(133) 및 이와 접촉된 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)를 냉각시키고, 더욱 온도가 낮아져 용매 포집 성능이 향상된 저온 흡착 벨트(131 : 도 2에 도시)가 기판 측 용매를 포집할 수 있도록 제공될 수 있다.
110 : 챔버 111 : 출입구
112 : 이송 롤러 121,122 : 배기부
130 : 용매 포집부 131 : 저온 흡착 벨트
132,133 : 제1,2롤러 140 : 건조 유닛
150 : 쿨러 S : 기판
T : 트레이

Claims (13)

  1. 기판이 올려지고, 승강 가능하게 설치진 트레이;
    상기 트레이가 수용될 수 있는 공간을 제공하는 챔버;
    상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 트레이에 올려진 기판과 대향되게 설치되는 용매 포집부;
    상기 챔버와 연통되고, 상기 챔버 내부의 기체를 배기하는 배기부;를 포함하고,
    상기 용매 포집부는,
    상기 트레이 상측에 이격되게 배치되고, 상기 기판의 용매를 흡착시키는 폐루프 타입의 저온 흡착 벨트와,
    상기 저온 흡착 벨트의 내부 양측에 접촉되고, 상기 저온 흡착 벨트를 회전시키는 한 쌍의 롤러 및
    상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 용매 포집부에 포집된 용매를 건조시키는 건조 유닛을 포함하고,
    상기 건조 유닛은,
    상기 저온 흡착 벨트의 하부를 상부로 안내하는 방향에 위치한 상기 롤러들 중 하나에 내장되고
    상기 저온 흡착 벨트에 고온의 기체를 공급하는 공급 노즐을 포함하고,
    상기 공급 노즐은,
    상기 롤러들 중 하나의 표면에 균일하게 형성되고, 고온의 질소 기체를 공급하는 복수개의 분사홀로 구성되는,
    감압 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 저온 흡착 벨트는,
    1mm 이내의 다공성 금속 포집망으로 구성되는 감압 건조 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 롤러들은,
    상기 트레이에 올려진 기판의 양측 단부 보다 외측에 위치되고,
    상기 저온 흡착 벨트의 하부는,
    상기 트레이에 올려진 기판보다 더 넓게 위치되는 감암 건조 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 건조 유닛은,
    상기 저온 흡착 벨트를 가열하는 가열부를 포함하는 감압 건조 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가열부는,
    상기 롤러들 중 하나에 내장되는 전기 히터로 구성되는 감압 건조 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 가열부는,
    상기 롤러들 중 하나에 내장되고, 온수가 순환되는 가열관으로 구성되는 감압 건조 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 내측에 구비되고, 상기 용매 포집부를 냉각시키는 쿨러;를 더 포함하는 감압 건조 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 쿨러는,
    상기 저온 흡착 벨트의 상부를 하부로 안내하는 방향에 위치한 상기 롤러들 중 하나에 내장되는 감압 건조 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 쿨러는,
    상기 롤러들 중 하나에 내장되고, 냉각수가 순환되는 냉각관인 감압 건조 장치.
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