KR950015628A - 기판의 연마 후처리 방법 및 이것에 이용하는 연마 장치 - Google Patents

기판의 연마 후처리 방법 및 이것에 이용하는 연마 장치 Download PDF

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Abstract

화학 기계 연마 처리 후의 파티클 레벨을 대폭 저감할 수 있는 연마 후처리 방법 및 연마 장치를 제공한다.
화학 기계 연마→웨이퍼 반전 대기→물리 세정→약액 세정(스핀 세정)→린스에 이르는 일련의 공정을 웨이퍼를 건조시키지 않고 행한다.
이 때문에, 연마 유니트Ⅱ의 웨이퍼 마운트부(9,11)을 웨이퍼의 습윤 유지를 가능한 구성으로 하고, 또한 연마 유니트 Ⅱ, 세정유니트Ⅲ, 린스/건조 유니트 Ⅳ 사이의 반송에는 유니트간 습윤 반송기구(12,21), 세정 유니트Ⅲ내의 각 세정실(14,16,18,20) 사이의 반송에는 유니트내 습윤 반송기구(15,17,19)를 이용한다.
웨이퍼의 습윤 유지에 의해 연마 숫돌 입자의 실리카 입자와 SiO2막 표면과의 사이의 공유 결합의 생성이 방지되어 파티클 제거가 용이해진다. 장치의 점유 면적이 감소한다.

Description

기판의 연마 후처리 방법 및 이것에 이용하는 연마 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 화학 기계 연마로부터 스핀 세정에 이르기까지의 사이의 웨트 반송의 효과를 확인하는 실험의 수순 및 결과를 도시한 도면.
제2도는 스핀세정 전의 물리 세정의 효과를 확인하는 실험의 수순 및 결과를 도시한 도면.
제3도는 약액 세정으로서의 스핀 세정의 효과를 다른 세정 방법과 비교하는 실험의 수순 및 결과를 도시한 도면.
제4도는 본 발명의 연마 장치의 구성예를 도시한 모식적 상면도.

Claims (14)

  1. 기판에 연마 처리를 실시한 직후부터 후처리가 종료하기 까지의 사이에 이 기판의 습윤 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 기판의 연마 후처리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연마 처리는 화학 기계 연마 처리인 것을 특징으로 하는 기판의 연마 후처리방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 후처리는 약액 세정 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 연마 후처리 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 후처리는 물리 세정 공정과 약액 세정 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 연마 후처리 방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 약액 세정 공정에서는 스핀 세정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판의 연마 후처리 방법.
  6. 기판에 연마 처리를 실시하는 연마 유니트와, 이 기판의 세정 처리를 행하는 세정 유니트와, 이 기판의 린스 및 건조를 행하는 린스/건조 유니트를 구비하고, 인접하는 이들 유니트 사이가 상기 기판을 습윤 분위기 하에서 반송 가능한 유니트간 습윤 반송 기구에 의해 연결되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 연마 유니트는 화학 기계 연마 수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 연마 유니트는 연마 처리를 종료한 기판을 그 습윤 상태를 유지하면서 대기시키는 기판 대기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  9. 제6항 또는 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정 유니트는 상기 기판의 약액 세정을 행하는 약액 세정실을 적어도 1곳 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치
  10. 제6항 또는 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정 유니트는 상기 기판의 물리세정을 행하는 물리 세정실과, 상기 기판의 약액세정을 행하는 약액 세정실을 적어도 1곳씩 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 약액 세정실은 스핀 세정 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  12. 제9항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정 유니트 내의 인접하는 각 세정실 사이는 상기 기판을 습윤 분위기 하에서 반송가능한 유니트내 습윤 반송기구에 의해 연결되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  13. 제9항 또는 제12항중 어느 한항에 있어서, 상기 연마 유니트, 상기 세정 유니트 및 상기 건조 유니트는 격벽에 의해 그 내부 분위기가 서로 분리되고, 이 격벽에 상기 유니트간 습윤 반송 기구가 끼워넣어져 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  14. 제6항 또는 제13항중 어느 한항에 있어서, 상기 연마 유니트의 내부 분위기는 다른 유니트의 내부 분위기보다도 감압으로 되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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