JPH05212360A - 減圧洗浄方法及びその装置 - Google Patents
減圧洗浄方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH05212360A JPH05212360A JP4756592A JP4756592A JPH05212360A JP H05212360 A JPH05212360 A JP H05212360A JP 4756592 A JP4756592 A JP 4756592A JP 4756592 A JP4756592 A JP 4756592A JP H05212360 A JPH05212360 A JP H05212360A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- tank
- article
- vacuum
- bag hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】物品の外周面の微小径の袋穴や微細な隙間の汚
れまでも確実に洗浄除去でき、また、前記物品に付着し
た洗浄液を洗浄する純水の使用量を節減できる減圧洗浄
方法及びその装置を提供する 【構成】物品を第１の洗浄槽１４Ａの洗浄液４２に浸漬
し、洗浄槽１４Ａ内を減圧して前記物品の袋穴等に介在
する気泡を脱気し、洗浄液４２が前期袋穴等に侵入して
袋穴等の汚れを洗浄することができる。また、前期物品
を第１の真空槽２８Ａに移し、前記物品の袋穴等に滞留
する洗浄液４２が沸騰する状態の減圧下に置くことで、
前記洗浄液４２を汚れと共に前記袋穴等から除去するこ
とができる。続いて、上記操作を純水４４Ｂで行なうこ
とにより、前記物品に付着した洗浄液４２や汚れを洗浄
することができる。これにより、物品の洗浄しにくい袋
穴等を確実に洗浄することができる。また、前記物品の
袋穴等に付着する洗浄液を純水で洗浄する時、前記袋穴
等に純水が侵入、排出し易く、良く洗浄できるので、洗
浄回数を少なくすることができ、洗浄に使用する純水の
使用量を節減することができる。
れまでも確実に洗浄除去でき、また、前記物品に付着し
た洗浄液を洗浄する純水の使用量を節減できる減圧洗浄
方法及びその装置を提供する 【構成】物品を第１の洗浄槽１４Ａの洗浄液４２に浸漬
し、洗浄槽１４Ａ内を減圧して前記物品の袋穴等に介在
する気泡を脱気し、洗浄液４２が前期袋穴等に侵入して
袋穴等の汚れを洗浄することができる。また、前期物品
を第１の真空槽２８Ａに移し、前記物品の袋穴等に滞留
する洗浄液４２が沸騰する状態の減圧下に置くことで、
前記洗浄液４２を汚れと共に前記袋穴等から除去するこ
とができる。続いて、上記操作を純水４４Ｂで行なうこ
とにより、前記物品に付着した洗浄液４２や汚れを洗浄
することができる。これにより、物品の洗浄しにくい袋
穴等を確実に洗浄することができる。また、前記物品の
袋穴等に付着する洗浄液を純水で洗浄する時、前記袋穴
等に純水が侵入、排出し易く、良く洗浄できるので、洗
浄回数を少なくすることができ、洗浄に使用する純水の
使用量を節減することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は減圧洗浄方法及びその装
置に係り、特に精密装置の構成部品等のように部品に付
着した塵埃等が問題となる物品において、微小径な袋穴
や隙間等を有する物品の減圧洗浄方法及びその装置に関
する。
置に係り、特に精密装置の構成部品等のように部品に付
着した塵埃等が問題となる物品において、微小径な袋穴
や隙間等を有する物品の減圧洗浄方法及びその装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に磁気ディスク装置のような精密装
置の構成部品は、付着塵埃等による障害を防止するため
に高い清浄度で洗浄処理され付着塵埃や油等の汚れを取
り除いてから組み立てられている。従来、このような精
密装置の構成部品等の物品における、この種の洗浄技術
として、物品の微小径な袋穴や微細な隙間等への浸透性
及び排出性の良いフロンを主として用いた溶剤洗浄が行
われていた。
置の構成部品は、付着塵埃等による障害を防止するため
に高い清浄度で洗浄処理され付着塵埃や油等の汚れを取
り除いてから組み立てられている。従来、このような精
密装置の構成部品等の物品における、この種の洗浄技術
として、物品の微小径な袋穴や微細な隙間等への浸透性
及び排出性の良いフロンを主として用いた溶剤洗浄が行
われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
フロンの使用禁止に関する国際的了解からフロンが使え
なくなり、これに代わる洗浄方法が要望されている。代
替洗浄の１方法として、水溶性界面活性剤や純水を洗浄
剤として用いる水系の洗浄方法があるが、フロンに比較
し物品の微小径な袋穴や微細な隙間への浸透性及び排出
性で劣る。
フロンの使用禁止に関する国際的了解からフロンが使え
なくなり、これに代わる洗浄方法が要望されている。代
替洗浄の１方法として、水溶性界面活性剤や純水を洗浄
剤として用いる水系の洗浄方法があるが、フロンに比較
し物品の微小径な袋穴や微細な隙間への浸透性及び排出
性で劣る。
【０００４】特に超音波や噴流で一旦、袋穴等に充満し
た洗浄液は穴から殆ど出ない為、袋穴の中の汚れは洗浄
液と共に、袋穴に滞留したまま乾燥工程まで残留するの
で、洗浄後の物品の清浄度向上の妨げとなっている。ま
た、袋穴等に残存した洗浄液を純水で洗浄する場合も、
袋穴等に純水が侵入、排出しにくい為、何回も洗浄しな
くてはならず、純水の使用量が多くなる。
た洗浄液は穴から殆ど出ない為、袋穴の中の汚れは洗浄
液と共に、袋穴に滞留したまま乾燥工程まで残留するの
で、洗浄後の物品の清浄度向上の妨げとなっている。ま
た、袋穴等に残存した洗浄液を純水で洗浄する場合も、
袋穴等に純水が侵入、排出しにくい為、何回も洗浄しな
くてはならず、純水の使用量が多くなる。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、物品の袋穴や微細な隙間の汚れまでも確実に
洗浄でき、物品の清浄度を向上できると共に、前記物品
に付着した洗浄液を洗浄する純水の使用量を節減できる
減圧洗浄方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
たもので、物品の袋穴や微細な隙間の汚れまでも確実に
洗浄でき、物品の清浄度を向上できると共に、前記物品
に付着した洗浄液を洗浄する純水の使用量を節減できる
減圧洗浄方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、物品を減圧下の洗浄液に浸漬して前記物品の
袋穴等に介在する気泡を脱気すると共に、前記袋穴等に
洗浄液を侵入せしめて袋穴等の汚れを前記洗浄液に取込
む第１の工程と、第１の工程後の前記物品を、前記袋穴
等に滞留した洗浄液が沸騰する状態の減圧下に置き、前
記袋穴等の洗浄液を汚れとともに除去する第２の工程
と、から成ることを特徴とする。
する為に、物品を減圧下の洗浄液に浸漬して前記物品の
袋穴等に介在する気泡を脱気すると共に、前記袋穴等に
洗浄液を侵入せしめて袋穴等の汚れを前記洗浄液に取込
む第１の工程と、第１の工程後の前記物品を、前記袋穴
等に滞留した洗浄液が沸騰する状態の減圧下に置き、前
記袋穴等の洗浄液を汚れとともに除去する第２の工程
と、から成ることを特徴とする。
【０００７】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、物品が減圧下の洗浄液に浸漬される第１の洗浄槽
と、前記物品の前記袋穴等に滞留した洗浄液が沸騰する
ように減圧される第１の真空槽と、前記第１の洗浄槽及
び前記第１の真空槽を減圧する真空手段と、前記第１の
洗浄槽及び前記第１の真空槽の圧力を制御する制御手段
と、から成ることを特徴とする。
に、物品が減圧下の洗浄液に浸漬される第１の洗浄槽
と、前記物品の前記袋穴等に滞留した洗浄液が沸騰する
ように減圧される第１の真空槽と、前記第１の洗浄槽及
び前記第１の真空槽を減圧する真空手段と、前記第１の
洗浄槽及び前記第１の真空槽の圧力を制御する制御手段
と、から成ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明は以下に述べるように、物品が袋穴等を
有する為、前記袋穴等に洗浄液が侵入及び排出しずら
く、前記袋穴等の洗浄が難しい物品の洗浄を確実に行え
るようにしたものである。即ち、前期物品を、第１の洗
浄槽の洗浄液に浸漬し、真空手段により前記洗浄槽内を
減圧し、前期袋穴等に介在する気泡を脱気するので、前
記袋穴等に前記洗浄液が侵入し前記袋穴等の汚れを洗浄
することができる。
有する為、前記袋穴等に洗浄液が侵入及び排出しずら
く、前記袋穴等の洗浄が難しい物品の洗浄を確実に行え
るようにしたものである。即ち、前期物品を、第１の洗
浄槽の洗浄液に浸漬し、真空手段により前記洗浄槽内を
減圧し、前期袋穴等に介在する気泡を脱気するので、前
記袋穴等に前記洗浄液が侵入し前記袋穴等の汚れを洗浄
することができる。
【０００９】前記物品を洗浄液から取出し、第１の真空
槽内に置き、前記袋穴等の洗浄液が突沸するまで減圧に
することによって、前期袋穴等に滞留している洗浄液を
汚れとともに前記袋穴等から除去することができる。
槽内に置き、前記袋穴等の洗浄液が突沸するまで減圧に
することによって、前期袋穴等に滞留している洗浄液を
汚れとともに前記袋穴等から除去することができる。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る減圧洗浄
方法及びその装置の好ましい実施例について詳説する。
図１に本発明の減圧洗浄方法を行う工程を示したよう
に、洗剤洗浄工程、純水洗浄工程、乾燥工程の３工程か
ら構成され、各工程間はロボットより順次、搬送され
る。
方法及びその装置の好ましい実施例について詳説する。
図１に本発明の減圧洗浄方法を行う工程を示したよう
に、洗剤洗浄工程、純水洗浄工程、乾燥工程の３工程か
ら構成され、各工程間はロボットより順次、搬送され
る。
【００１１】次に、各工程の設備構成を詳説する。洗剤
洗浄工程は、耐圧槽１０と、その槽内に洗浄液４２を入
れ前記物品を洗浄する液槽１２Ａと、の二重構造で形成
された第１の洗浄槽１４Ａが設けられ、耐圧槽１０と液
槽１２Ａ間の空間部１６は、液槽１２Ａからのオーバー
フロー液を収容する液溜空間になっている。
洗浄工程は、耐圧槽１０と、その槽内に洗浄液４２を入
れ前記物品を洗浄する液槽１２Ａと、の二重構造で形成
された第１の洗浄槽１４Ａが設けられ、耐圧槽１０と液
槽１２Ａ間の空間部１６は、液槽１２Ａからのオーバー
フロー液を収容する液溜空間になっている。
【００１２】また、洗浄槽１４Ａの蓋１８Ａは密閉性を
有し真空容器としての機能を備え、洗浄槽１４Ａの上部
側面に設けられた配管接続口から空気配管２０を介して
真空吸引装置２２に接続されている。更に、液槽１２Ａ
内の低部及び片側面に洗浄液を振動させる超音波振動子
２４Ａ、２４Ａが設けられ更に、洗浄液４２を液槽１２
Ａとの間に循環させ加熱する加熱部材２６Ａが洗浄槽１
４Ａに近設されている。
有し真空容器としての機能を備え、洗浄槽１４Ａの上部
側面に設けられた配管接続口から空気配管２０を介して
真空吸引装置２２に接続されている。更に、液槽１２Ａ
内の低部及び片側面に洗浄液を振動させる超音波振動子
２４Ａ、２４Ａが設けられ更に、洗浄液４２を液槽１２
Ａとの間に循環させ加熱する加熱部材２６Ａが洗浄槽１
４Ａに近設されている。
【００１３】純水洗浄工程は、１〜５段のステップに分
かれており、３段目には洗剤洗浄工程と同じ構造の第２
の洗浄槽１４Ｃが設けられ、１、５段目には前記洗剤洗
浄工程の洗浄槽１４Ａから蓋１８Ａを取除いた構造の予
備洗浄槽１４Ｂ、リンス洗浄槽１４Ｄが設けられ、２、
４段目には真空容器としての機能を有した第１の真空槽
２８Ａ、と第２の真空槽２８Ｂが設けられている。
かれており、３段目には洗剤洗浄工程と同じ構造の第２
の洗浄槽１４Ｃが設けられ、１、５段目には前記洗剤洗
浄工程の洗浄槽１４Ａから蓋１８Ａを取除いた構造の予
備洗浄槽１４Ｂ、リンス洗浄槽１４Ｄが設けられ、２、
４段目には真空容器としての機能を有した第１の真空槽
２８Ａ、と第２の真空槽２８Ｂが設けられている。
【００１４】また、３段目の洗浄槽１４Ｃは空気配管３
０を介して前記真空吸引装置２２に接続され、２、４段
目の真空槽２８Ａ、２８Ｂは空気配管３２、３４を介し
て別の真空吸引装置３６に接続されている。更に、１、
３、５段目の洗浄槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄには、各々
の液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ内の低部及び片側面に純
水を振動させる超音波振動子２４Ｂ、２４Ｂ、２４Ｃ、
２４Ｃ、２４Ｄ、２４Ｄが設けられると共に、純水４４
Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄとの
間に循環させ加熱する加熱部材２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ
が各洗浄槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄに近設されている。
０を介して前記真空吸引装置２２に接続され、２、４段
目の真空槽２８Ａ、２８Ｂは空気配管３２、３４を介し
て別の真空吸引装置３６に接続されている。更に、１、
３、５段目の洗浄槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄには、各々
の液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ内の低部及び片側面に純
水を振動させる超音波振動子２４Ｂ、２４Ｂ、２４Ｃ、
２４Ｃ、２４Ｄ、２４Ｄが設けられると共に、純水４４
Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄとの
間に循環させ加熱する加熱部材２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ
が各洗浄槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄに近設されている。
【００１５】乾燥工程は、前記純水洗浄工程の２、４段
目と同じ構造の真空槽２８Ａ、２８Ｂに加熱ヒータ３
８、３８を内蔵した真空乾燥槽２８Ｃが設けられてい
る。更に、真空乾燥槽２８Ｃは、空気配管４６を介して
真空吸引装置３６に接続されている。次に、このような
設備構成された工程において、その内部に外周面と連通
され入口の狭い袋穴を有する物品を洗浄する方法を説明
する。
目と同じ構造の真空槽２８Ａ、２８Ｂに加熱ヒータ３
８、３８を内蔵した真空乾燥槽２８Ｃが設けられてい
る。更に、真空乾燥槽２８Ｃは、空気配管４６を介して
真空吸引装置３６に接続されている。次に、このような
設備構成された工程において、その内部に外周面と連通
され入口の狭い袋穴を有する物品を洗浄する方法を説明
する。
【００１６】先ず洗浄作業に先立って、洗剤洗浄工程の
第１の洗浄槽１４Ａの液槽１２Ａに界面活性剤の濃度が
５〜１０％の洗浄液４２を入れ、３０〜５０℃に加温し
ておく。また、純水洗浄工程の１、３、５段目の各洗浄
槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄの各液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１
２Ｄに純水４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを入れ、３０〜６０
℃に加温しておく。
第１の洗浄槽１４Ａの液槽１２Ａに界面活性剤の濃度が
５〜１０％の洗浄液４２を入れ、３０〜５０℃に加温し
ておく。また、純水洗浄工程の１、３、５段目の各洗浄
槽１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄの各液槽１２Ｂ、１２Ｃ、１
２Ｄに純水４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃを入れ、３０〜６０
℃に加温しておく。
【００１７】上記準備作業後、洗浄される前記物品は、
籠４０容器に収容され、洗剤洗浄工程までローラ搬送装
置等で搬送され、所定のタクトタイム（１槽の処理時
間）に従って連続的に、各槽への搬入、各槽からの搬出
を繰返すことにより洗浄される。即ち、前記物品は、ロ
ボットにより籠４０ごと洗剤洗浄工程の第１の洗浄槽１
４Ａの洗浄液４２に浸漬され、洗浄槽１４Ａの蓋１８Ａ
が密閉される。そして超音波振動子２４Ａ、２４Ａを作
動させ、物品の外周面を洗浄すると共に、真空吸引装置
２２のポンプ２２Ａを起動し洗浄槽１４Ａ内を減圧にし
ていく。
籠４０容器に収容され、洗剤洗浄工程までローラ搬送装
置等で搬送され、所定のタクトタイム（１槽の処理時
間）に従って連続的に、各槽への搬入、各槽からの搬出
を繰返すことにより洗浄される。即ち、前記物品は、ロ
ボットにより籠４０ごと洗剤洗浄工程の第１の洗浄槽１
４Ａの洗浄液４２に浸漬され、洗浄槽１４Ａの蓋１８Ａ
が密閉される。そして超音波振動子２４Ａ、２４Ａを作
動させ、物品の外周面を洗浄すると共に、真空吸引装置
２２のポンプ２２Ａを起動し洗浄槽１４Ａ内を減圧にし
ていく。
【００１８】洗浄槽１４Ａ内が、洗浄液４２の沸騰する
２０〜７０Ｔｏｒｒ（実施例では６０Ｔｏｒｒ）の真空
度に達した時、真空吸引装置２２の制御弁２２Ｂを切換
えて大気開放し洗浄槽１４Ａ内を常圧に戻す。この過程
で、減圧時、物品の袋穴内の気泡が洗浄液４２を介して
脱気され袋穴内が真空状態になり、常圧に戻した時に真
空状態になっている袋穴内に洗浄液４２が吸込まれる。
２０〜７０Ｔｏｒｒ（実施例では６０Ｔｏｒｒ）の真空
度に達した時、真空吸引装置２２の制御弁２２Ｂを切換
えて大気開放し洗浄槽１４Ａ内を常圧に戻す。この過程
で、減圧時、物品の袋穴内の気泡が洗浄液４２を介して
脱気され袋穴内が真空状態になり、常圧に戻した時に真
空状態になっている袋穴内に洗浄液４２が吸込まれる。
【００１９】これにより、袋穴内の壁面に付着した汚れ
は、超音波振動子２４Ａ、２４Ａにも助長され壁面から
剥がれ袋穴内の洗浄液４２に懸濁あるいは溶解した状態
で袋穴内に滞留する。このように洗剤洗浄工程が終了し
た後、物品は純水洗浄工程の１段目の予備洗浄槽１４Ｂ
の純水４４Ａに浸漬される。ここでは洗剤洗浄工程で物
品の外表面に付着した洗浄液を洗い落とす予備洗浄が行
われ、２段目の第１の真空槽２８Ａに移される。
は、超音波振動子２４Ａ、２４Ａにも助長され壁面から
剥がれ袋穴内の洗浄液４２に懸濁あるいは溶解した状態
で袋穴内に滞留する。このように洗剤洗浄工程が終了し
た後、物品は純水洗浄工程の１段目の予備洗浄槽１４Ｂ
の純水４４Ａに浸漬される。ここでは洗剤洗浄工程で物
品の外表面に付着した洗浄液を洗い落とす予備洗浄が行
われ、２段目の第１の真空槽２８Ａに移される。
【００２０】２段目の真空槽２８Ａの蓋１８Ｂが密閉さ
れ、真空吸引装置３６のポンプ３６Ａを起動し真空槽２
８Ａ内を減圧にしてゆく。そして、真空槽２８Ａ内を、
洗浄液４２が沸騰する２０〜７０Ｔｏｒｒ（実施例では
２０Ｔｏｒｒ）の真空度まで短時間で減圧し、前記真空
度に達した時、真空吸引装置３６の制御弁３６Ａを切換
えて大気開放し真空槽２８Ａ内を常圧に戻す。
れ、真空吸引装置３６のポンプ３６Ａを起動し真空槽２
８Ａ内を減圧にしてゆく。そして、真空槽２８Ａ内を、
洗浄液４２が沸騰する２０〜７０Ｔｏｒｒ（実施例では
２０Ｔｏｒｒ）の真空度まで短時間で減圧し、前記真空
度に達した時、真空吸引装置３６の制御弁３６Ａを切換
えて大気開放し真空槽２８Ａ内を常圧に戻す。
【００２１】この過程で、減圧が前記真空度に達した
時、物品の袋穴内の洗浄液４２は突沸し袋穴の外に飛出
す。この時、袋穴内の洗浄液４２中に滞留する汚れも洗
浄液４２と一緒に穴外に放出される。次に、物品は３段
目の第２の洗浄槽１４Ｃの純水４４Ｂに浸漬され、洗浄
槽１４Ｃの蓋１８Ｃが密閉される。
時、物品の袋穴内の洗浄液４２は突沸し袋穴の外に飛出
す。この時、袋穴内の洗浄液４２中に滞留する汚れも洗
浄液４２と一緒に穴外に放出される。次に、物品は３段
目の第２の洗浄槽１４Ｃの純水４４Ｂに浸漬され、洗浄
槽１４Ｃの蓋１８Ｃが密閉される。
【００２２】そして、物品の外周面に付着している洗浄
液４２が洗浄されると共に、真空吸引装置２２のポンプ
２２Ａを起動し洗浄槽１４Ｃ内を減圧にしていく。洗浄
槽１４Ｃ内が、純水４４Ｂの沸騰する２０〜７０Ｔｏｒ
ｒ（実施例では６０Ｔｏｒｒ）の真空度に達した時、真
空吸引装置２２の制御弁２２Ｂを切換えて大気開放し洗
浄槽１４Ｃ内を常圧に戻す。
液４２が洗浄されると共に、真空吸引装置２２のポンプ
２２Ａを起動し洗浄槽１４Ｃ内を減圧にしていく。洗浄
槽１４Ｃ内が、純水４４Ｂの沸騰する２０〜７０Ｔｏｒ
ｒ（実施例では６０Ｔｏｒｒ）の真空度に達した時、真
空吸引装置２２の制御弁２２Ｂを切換えて大気開放し洗
浄槽１４Ｃ内を常圧に戻す。
【００２３】この過程で、減圧時、物品の袋穴内の気泡
が純水４４Ｂを介して脱気され袋穴内が真空状態にな
り、常圧に戻した時に真空状態になっている袋穴内に純
水４４Ｂが吸込まれる。これにより、袋穴内に残留する
洗浄液４２や汚れは、純水４４Ｂに懸濁あるいは溶解し
た状態で袋穴内に滞留する。
が純水４４Ｂを介して脱気され袋穴内が真空状態にな
り、常圧に戻した時に真空状態になっている袋穴内に純
水４４Ｂが吸込まれる。これにより、袋穴内に残留する
洗浄液４２や汚れは、純水４４Ｂに懸濁あるいは溶解し
た状態で袋穴内に滞留する。
【００２４】次に、物品は４段目の第２の真空槽２８Ｂ
に移され、２段目と同じ操作が繰返される。通常、ここ
までの工程で、物品の外周面及び袋穴内の汚れの大部分
が洗浄される。次に、物品は５段目のリンス洗浄槽１４
Ｄの５０〜９０℃に温められ純水４４Ｃに浸漬される。
ここでは、物品を収納した籠４０を上下に揺動し超音波
振動子２４Ｄ、２４Ｄを作動させて物品の仕上げリンス
が行われる。
に移され、２段目と同じ操作が繰返される。通常、ここ
までの工程で、物品の外周面及び袋穴内の汚れの大部分
が洗浄される。次に、物品は５段目のリンス洗浄槽１４
Ｄの５０〜９０℃に温められ純水４４Ｃに浸漬される。
ここでは、物品を収納した籠４０を上下に揺動し超音波
振動子２４Ｄ、２４Ｄを作動させて物品の仕上げリンス
が行われる。
【００２５】以上のように洗剤洗浄工程及び純水洗浄工
程をおえた物品は乾燥工程の真空乾燥槽２８Ｃに移さ
れ、蓋１８Ｅが密閉され真空吸引装置３６のポンプ３６
Ａが起動し、空気配管４６を介して真空乾燥槽２８Ｃ内
を減圧にしていき真空度を２０〜１００Ｔｏｒｒ（実施
例では２０Ｔｏｒｒ）にする。更に、物品に付着した付
着水の蒸発に必要なエネルギーを補充するため、真空乾
燥槽２８Ｃ内に内蔵されたヒータ３８、３８で真空乾燥
槽２８Ｃ内の空気温度を１２０℃程度にする。
程をおえた物品は乾燥工程の真空乾燥槽２８Ｃに移さ
れ、蓋１８Ｅが密閉され真空吸引装置３６のポンプ３６
Ａが起動し、空気配管４６を介して真空乾燥槽２８Ｃ内
を減圧にしていき真空度を２０〜１００Ｔｏｒｒ（実施
例では２０Ｔｏｒｒ）にする。更に、物品に付着した付
着水の蒸発に必要なエネルギーを補充するため、真空乾
燥槽２８Ｃ内に内蔵されたヒータ３８、３８で真空乾燥
槽２８Ｃ内の空気温度を１２０℃程度にする。
【００２６】これにより、物品の外周面及び袋穴内に付
着した水分は２〜５分程度の短時間で蒸発する。以上の
工程を経ることにより、物品の外周面及び袋穴内の汚れ
を確実に洗浄することができる。尚、洗浄槽、真空槽の
数は、物品の洗浄し易さの難易により適宜、増減するこ
とができる。
着した水分は２〜５分程度の短時間で蒸発する。以上の
工程を経ることにより、物品の外周面及び袋穴内の汚れ
を確実に洗浄することができる。尚、洗浄槽、真空槽の
数は、物品の洗浄し易さの難易により適宜、増減するこ
とができる。
【００２７】
【発明の効果】以上、説明したように本発明に係る減圧
洗浄方法及びその装置によれば、物品を第１の洗浄槽の
洗浄液に浸漬し、洗浄槽内を減圧して前記物品の袋穴等
に介在する気泡を脱気し、洗浄液が前記袋穴等に侵入す
るようにしたので前記袋穴等の汚れを洗浄することがで
きる。
洗浄方法及びその装置によれば、物品を第１の洗浄槽の
洗浄液に浸漬し、洗浄槽内を減圧して前記物品の袋穴等
に介在する気泡を脱気し、洗浄液が前記袋穴等に侵入す
るようにしたので前記袋穴等の汚れを洗浄することがで
きる。
【００２８】そして、前期物品を第１の真空槽に移し、
前記真空槽内の洗浄液が沸騰する状態の減圧下に置くこ
とにより前記物品の袋穴等に滞留する洗浄液を汚れと共
に前記袋穴から除去することができるので、前記物品の
洗浄しにくい袋穴等を確実に洗浄することができる。
前記真空槽内の洗浄液が沸騰する状態の減圧下に置くこ
とにより前記物品の袋穴等に滞留する洗浄液を汚れと共
に前記袋穴から除去することができるので、前記物品の
洗浄しにくい袋穴等を確実に洗浄することができる。
【図１】本発明に係る減圧洗浄方法及びその装置の工程
図。
図。
１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ…洗浄槽 ２０、３０、３２、３４、４６…空気配管 ２２、３６…真空吸引装置 ２２Ｂ、３６Ｂ…制御弁 ２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ…加温部材 ２８Ａ、２８Ｂ…真空槽 ２８Ｃ…真空乾燥槽 ４２…洗浄液 ４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ…純水
Claims (4)
- 【請求項１】物品を減圧下の洗浄液に浸漬して前記物品
の袋穴等に介在する気泡を脱気すると共に、前記袋穴等
に洗浄液を侵入せしめて袋穴等の汚れを前記洗浄液に取
込む第１の工程と、 第１の工程後の前記物品を、前記袋穴等に滞留した洗浄
液が沸騰する状態の減圧下に置き、前記袋穴等の洗浄液
を汚れとともに除去する第２の工程と、から成ることを
特徴とする減圧洗浄方法。 - 【請求項２】前記第２の工程終了後、前記物品を減圧下
の第２の洗浄液に浸漬して、前記袋穴等に前期第２の洗
浄液を侵入せしめる第３の工程と、 第３の工程後の前記物品を、前記袋穴等に滞留した第２
の洗浄液が沸騰する状態の減圧下に置き、前記袋穴等の
第２の洗浄液を除去する第４の工程と、から成ることを
特徴とする請求項１の減圧洗浄方法。 - 【請求項３】物品が減圧下の洗浄液に浸漬される第１の
洗浄槽と、 前記物品の前記袋穴等に滞留した洗浄液が沸騰するよう
に減圧される第１の真空槽と、 前記第１の洗浄槽及び前記第１の真空槽を減圧する真空
手段と、 前記第１の洗浄槽及び前記第１の真空槽の圧力を制御す
る制御手段と、から成ることを特徴とする減圧洗浄装
置。 - 【請求項４】第１の真空槽から取出された前記物品が減
圧下の第２の洗浄液に浸漬される第２の洗浄槽と、 第２の洗浄槽から取出された前記物品が前記袋穴等に滞
留した第２の洗浄液が沸騰するように減圧される第２の
真空槽と、 前記第２の洗浄槽及び前記第２の真空槽を減圧する真空
手段と、 前記第２の洗浄槽及び前記第２の真空槽の圧力を制御す
る制御手段と、から成ることを特徴とする請求項３の減
圧洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4756592A JPH05212360A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 減圧洗浄方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4756592A JPH05212360A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 減圧洗浄方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05212360A true JPH05212360A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12778749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4756592A Pending JPH05212360A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 減圧洗浄方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05212360A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01186938A (ja) * | 1988-01-21 | 1989-07-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | ハロゲン化銀カラー写真感光材料 |
| WO2015177893A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | 日産自動車株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61154130A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Toshiba Corp | 減圧流水洗浄装置 |
| JPH0330329A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ洗浄装置 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4756592A patent/JPH05212360A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61154130A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Toshiba Corp | 減圧流水洗浄装置 |
| JPH0330329A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ洗浄装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01186938A (ja) * | 1988-01-21 | 1989-07-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | ハロゲン化銀カラー写真感光材料 |
| WO2015177893A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | 日産自動車株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置 |
| JPWO2015177893A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2017-04-20 | 日産自動車株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5653820A (en) | Method for cleaning metal articles and removing water from metal articles | |
| JP3441706B2 (ja) | 真空蒸留洗浄方法 | |
| JPH05212360A (ja) | 減圧洗浄方法及びその装置 | |
| JP2977922B2 (ja) | 圧力スイング洗浄方法および装置 | |
| JP2006013015A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JP2006093740A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
| JP2003080187A (ja) | 部品洗浄乾燥方法、及び部品洗浄乾燥装置 | |
| JP2015202421A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH0691986B2 (ja) | 基板洗浄方法 | |
| JP2836888B2 (ja) | 板状体の洗浄方法 | |
| JP3273339B2 (ja) | 脱脂洗浄方法および装置 | |
| JP2784159B2 (ja) | 被洗浄物の洗浄方法及びその装置 | |
| JPH07214014A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2973772B2 (ja) | 減圧洗浄装置 | |
| JPH06252115A (ja) | 被洗浄物の洗浄方法 | |
| JP3321726B2 (ja) | 洗浄処理方法及びその装置 | |
| JP2554017B2 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH0957223A (ja) | 部品洗浄装置 | |
| JP3184672B2 (ja) | 金属品洗浄方法及び金属品洗浄装置 | |
| JPH05169039A (ja) | 超音波洗浄方法 | |
| WO2018006914A1 (en) | Method for restoring damaged electronic devices by cleaning and apparatus therefor | |
| JPH06101080A (ja) | ワーク洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JP2908157B2 (ja) | 回路基板のエッチング方法およびエッチング装置 | |
| JPH07328886A (ja) | 部品洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH0618627Y2 (ja) | ワークの洗浄、水切り装置 |